JP5729329B2 - 感放射線性組成物、並びに硬化膜及びその形成方法 - Google Patents
感放射線性組成物、並びに硬化膜及びその形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5729329B2 JP5729329B2 JP2012035073A JP2012035073A JP5729329B2 JP 5729329 B2 JP5729329 B2 JP 5729329B2 JP 2012035073 A JP2012035073 A JP 2012035073A JP 2012035073 A JP2012035073 A JP 2012035073A JP 5729329 B2 JP5729329 B2 JP 5729329B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- radiation
- sensitive composition
- group
- compound
- component
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims description 79
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims description 75
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 34
- -1 silane compound Chemical class 0.000 claims description 157
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 134
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 39
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 39
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 37
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 36
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 34
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 claims description 33
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims description 31
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 30
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 28
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 24
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 23
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims description 18
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 16
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 16
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 12
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims description 9
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims description 9
- 230000003301 hydrolyzing effect Effects 0.000 claims description 8
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 claims description 7
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 7
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 claims description 6
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 6
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011146 organic particle Substances 0.000 claims description 5
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 claims description 3
- 239000010954 inorganic particle Substances 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 124
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 29
- XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 26
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 21
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 21
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 21
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N monopropylene glycol Natural products CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 17
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 15
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 15
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 14
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 12
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 12
- 238000006482 condensation reaction Methods 0.000 description 11
- 238000011161 development Methods 0.000 description 11
- AQOSPGCCTHGZFL-UHFFFAOYSA-N 1-(3a-hydroxy-7-methoxy-1,2,4,8b-tetrahydropyrrolo[2,3-b]indol-3-yl)ethanone Chemical compound COC1=CC=C2NC3(O)N(C(C)=O)CCC3C2=C1 AQOSPGCCTHGZFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 101000985278 Escherichia coli 5-carboxymethyl-2-hydroxymuconate Delta-isomerase Proteins 0.000 description 10
- 102100040448 Leukocyte cell-derived chemotaxin 1 Human genes 0.000 description 10
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 9
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 9
- IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N Acetaldehyde Chemical compound CC=O IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N Succinic acid Natural products OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N [3-prop-2-enoyloxy-2-[[3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propoxy]methyl]-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N anhydrous diethylene glycol Natural products OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 8
- 239000000047 product Substances 0.000 description 8
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 8
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- FDSUVTROAWLVJA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO FDSUVTROAWLVJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- NJSVDVPGINTNGX-UHFFFAOYSA-N [dimethoxy(propyl)silyl]oxymethanamine Chemical compound CCC[Si](OC)(OC)OCN NJSVDVPGINTNGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- 239000007870 radical polymerization initiator Substances 0.000 description 6
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 5
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 5
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 5
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 5
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 5
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- YXIWHUQXZSMYRE-UHFFFAOYSA-N 1,3-benzothiazole-2-thiol Chemical compound C1=CC=C2SC(S)=NC2=C1 YXIWHUQXZSMYRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- LWRBVKNFOYUCNP-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-(4-methylsulfanylphenyl)-2-morpholin-4-ylpropan-1-one Chemical compound C1=CC(SC)=CC=C1C(=O)C(C)(C)N1CCOCC1 LWRBVKNFOYUCNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropane-1-thiol Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCS UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KBQVDAIIQCXKPI-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl prop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C=C KBQVDAIIQCXKPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N Butadiene Chemical compound C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 4
- 239000005456 alcohol based solvent Substances 0.000 description 4
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 4
- AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N benzyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1=CC=CC=C1 AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 4
- 239000000852 hydrogen donor Substances 0.000 description 4
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 4
- 125000003566 oxetanyl group Chemical group 0.000 description 4
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 4
- 239000001384 succinic acid Substances 0.000 description 4
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 4
- JOLQKTGDSGKSKJ-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypropan-2-ol Chemical compound CCOCC(C)O JOLQKTGDSGKSKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WYGWHHGCAGTUCH-UHFFFAOYSA-N 2-[(2-cyano-4-methylpentan-2-yl)diazenyl]-2,4-dimethylpentanenitrile Chemical compound CC(C)CC(C)(C#N)N=NC(C)(C#N)CC(C)C WYGWHHGCAGTUCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LTPSRQRIPCVMKQ-UHFFFAOYSA-N 2-amino-5-methylbenzenesulfonic acid Chemical compound CC1=CC=C(N)C(S(O)(=O)=O)=C1 LTPSRQRIPCVMKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MWDGNKGKLOBESZ-UHFFFAOYSA-N 2-oxooctanal Chemical compound CCCCCCC(=O)C=O MWDGNKGKLOBESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RXNCGNDMUNUADG-UHFFFAOYSA-N 3-(3-triethoxysilylsilylpropyl)oxolane-2,5-dione Chemical compound C(C)O[Si](OCC)(OCC)[SiH2]CCCC1C(=O)OC(C1)=O RXNCGNDMUNUADG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZADOWCXTUZWAKL-UHFFFAOYSA-N 3-(3-trimethoxysilylpropyl)oxolane-2,5-dione Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCC1CC(=O)OC1=O ZADOWCXTUZWAKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- URDOJQUSEUXVRP-UHFFFAOYSA-N 3-triethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCOC(=O)C(C)=C URDOJQUSEUXVRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XDQWJFXZTAWJST-UHFFFAOYSA-N 3-triethoxysilylpropyl prop-2-enoate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCOC(=O)C=C XDQWJFXZTAWJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WVDDGKGOMKODPV-UHFFFAOYSA-N Benzyl alcohol Chemical compound OCC1=CC=CC=C1 WVDDGKGOMKODPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 3
- 102100027370 Parathymosin Human genes 0.000 description 3
- DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane triacrylate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CC)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 3
- HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N [2-(hydroxymethyl)-3-prop-2-enoyloxy-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CO)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GUCYFKSBFREPBC-UHFFFAOYSA-N [phenyl-(2,4,6-trimethylbenzoyl)phosphoryl]-(2,4,6-trimethylphenyl)methanone Chemical compound CC1=CC(C)=CC(C)=C1C(=O)P(=O)(C=1C=CC=CC=1)C(=O)C1=C(C)C=C(C)C=C1C GUCYFKSBFREPBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 3
- 125000005907 alkyl ester group Chemical group 0.000 description 3
- VYHBFRJRBHMIQZ-UHFFFAOYSA-N bis[4-(diethylamino)phenyl]methanone Chemical compound C1=CC(N(CC)CC)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(N(CC)CC)C=C1 VYHBFRJRBHMIQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 3
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 3
- 239000012024 dehydrating agents Substances 0.000 description 3
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 3
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 3
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical compound OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 125000005395 methacrylic acid group Chemical group 0.000 description 3
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 3
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 3
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 3
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- ZNOCGWVLWPVKAO-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(phenyl)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C1=CC=CC=C1 ZNOCGWVLWPVKAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YSBPNMOAQMQEHE-UHFFFAOYSA-N (2-methyloxiran-2-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1(C)CO1 YSBPNMOAQMQEHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RSHKWPIEJYAPCL-UHFFFAOYSA-N (3-ethyloxetan-3-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1(CC)COC1 RSHKWPIEJYAPCL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MYWOJODOMFBVCB-UHFFFAOYSA-N 1,2,6-trimethylphenanthrene Chemical compound CC1=CC=C2C3=CC(C)=CC=C3C=CC2=C1C MYWOJODOMFBVCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PMBXCGGQNSVESQ-UHFFFAOYSA-N 1-Hexanethiol Chemical compound CCCCCCS PMBXCGGQNSVESQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 1-Octanol Chemical compound CCCCCCCCO KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQTPKSBXMONSJI-UHFFFAOYSA-N 1-cyclohexylpyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C1CCCCC1 BQTPKSBXMONSJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CNJRPYFBORAQAU-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxy-2-(2-methoxyethoxy)ethane Chemical compound CCOCCOCCOC CNJRPYFBORAQAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000003923 2,5-pyrrolediones Chemical class 0.000 description 2
- JKQRNTIBBOTABS-UHFFFAOYSA-N 2-(2,4-dichlorophenyl)-1-[2-(2,4-dichlorophenyl)-4,5-diphenylimidazol-2-yl]-4,5-diphenylimidazole Chemical compound ClC1=CC(Cl)=CC=C1C(N1C2(N=C(C(=N2)C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC=CC=2)C=2C(=CC(Cl)=CC=2)Cl)=NC(C=2C=CC=CC=2)=C1C1=CC=CC=C1 JKQRNTIBBOTABS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHDULSOPQSUKBQ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-chlorophenyl)-1-[2-(2-chlorophenyl)-4,5-diphenylimidazol-2-yl]-4,5-diphenylimidazole Chemical compound ClC1=CC=CC=C1C(N1C2(N=C(C(=N2)C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC=CC=2)C=2C(=CC=CC=2)Cl)=NC(C=2C=CC=CC=2)=C1C1=CC=CC=C1 MHDULSOPQSUKBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LEJBBGNFPAFPKQ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-prop-2-enoyloxyethoxy)ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOCCOC(=O)C=C LEJBBGNFPAFPKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IEQWWMKDFZUMMU-UHFFFAOYSA-N 2-(2-prop-2-enoyloxyethyl)butanedioic acid Chemical compound OC(=O)CC(C(O)=O)CCOC(=O)C=C IEQWWMKDFZUMMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PUBNJSZGANKUGX-UHFFFAOYSA-N 2-(dimethylamino)-2-[(4-methylphenyl)methyl]-1-(4-morpholin-4-ylphenyl)butan-1-one Chemical compound C=1C=C(N2CCOCC2)C=CC=1C(=O)C(CC)(N(C)C)CC1=CC=C(C)C=C1 PUBNJSZGANKUGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PTBAHIRKWPUZAM-UHFFFAOYSA-N 2-(oxiran-2-yl)ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCC1CO1 PTBAHIRKWPUZAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XFCMNSHQOZQILR-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)ethoxy]ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOCCOC(=O)C(C)=C XFCMNSHQOZQILR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HCLJOFJIQIJXHS-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-prop-2-enoyloxyethoxy)ethoxy]ethoxy]ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOCCOCCOCCOC(=O)C=C HCLJOFJIQIJXHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KUDUQBURMYMBIJ-UHFFFAOYSA-N 2-prop-2-enoyloxyethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOC(=O)C=C KUDUQBURMYMBIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VVBLNCFGVYUYGU-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Bis(dimethylamino)benzophenone Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 VVBLNCFGVYUYGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YJVIKVWFGPLAFS-UHFFFAOYSA-N 9-(2-methylprop-2-enoyloxy)nonyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCCCCCCCCOC(=O)C(C)=C YJVIKVWFGPLAFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N Acetophenone Natural products CC(=O)C1=CC=CC=C1 KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N Butylmethacrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)=C SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N Methyl acrylate Chemical compound COC(=O)C=C BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 2
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical group [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000004115 Sodium Silicate Substances 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MOYAFQVGZZPNRA-UHFFFAOYSA-N Terpinolene Chemical compound CC(C)=C1CCC(C)=CC1 MOYAFQVGZZPNRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DTQVDTLACAAQTR-UHFFFAOYSA-N Trifluoroacetic acid Chemical compound OC(=O)C(F)(F)F DTQVDTLACAAQTR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SEEVRZDUPHZSOX-UHFFFAOYSA-N [1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)carbazol-3-yl]ethylideneamino] acetate Chemical compound C=1C=C2N(CC)C3=CC=C(C(C)=NOC(C)=O)C=C3C2=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1C SEEVRZDUPHZSOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000008062 acetophenones Chemical class 0.000 description 2
- 239000003377 acid catalyst Substances 0.000 description 2
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 2
- 150000001346 alkyl aryl ethers Chemical class 0.000 description 2
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L barium sulfate Chemical compound [Ba+2].[O-]S([O-])(=O)=O TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 230000001588 bifunctional effect Effects 0.000 description 2
- SXPLZNMUBFBFIA-UHFFFAOYSA-N butyl(trimethoxy)silane Chemical compound CCCC[Si](OC)(OC)OC SXPLZNMUBFBFIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001244 carboxylic acid anhydrides Chemical class 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 2
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 2
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LQZZUXJYWNFBMV-UHFFFAOYSA-N dodecan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCCCCO LQZZUXJYWNFBMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 2
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 2
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- SBRXLTRZCJVAPH-UHFFFAOYSA-N ethyl(trimethoxy)silane Chemical compound CC[Si](OC)(OC)OC SBRXLTRZCJVAPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 2
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 description 2
- ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N hexan-1-ol Chemical compound CCCCCCO ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002768 hydroxyalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 2
- BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N methyltrimethoxysilane Chemical compound CO[Si](C)(OC)OC BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 2
- 239000003607 modifier Substances 0.000 description 2
- XZSZONUJSGDIFI-UHFFFAOYSA-N n-(4-hydroxyphenyl)-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CC(=C)C(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 XZSZONUJSGDIFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 2
- ZWRUINPWMLAQRD-UHFFFAOYSA-N nonan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCO ZWRUINPWMLAQRD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000011242 organic-inorganic particle Substances 0.000 description 2
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 2
- KRGGVEDZUSPSAC-UHFFFAOYSA-N oxetan-2-ylmethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CCO1 KRGGVEDZUSPSAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AMUUFLNQHMIHRP-UHFFFAOYSA-N oxetan-3-ylmethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1COC1 AMUUFLNQHMIHRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZADZUSCZHASNAH-UHFFFAOYSA-N oxetan-3-ylmethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC1COC1 ZADZUSCZHASNAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AHHWIHXENZJRFG-UHFFFAOYSA-N oxetane Chemical compound C1COC1 AHHWIHXENZJRFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 2
- 125000004309 pyranyl group Chemical group O1C(C=CC=C1)* 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N sodium silicate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Si]([O-])=O NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052911 sodium silicate Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- HJUGFYREWKUQJT-UHFFFAOYSA-N tetrabromomethane Chemical compound BrC(Br)(Br)Br HJUGFYREWKUQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000003527 tetrahydropyrans Chemical group 0.000 description 2
- CWERGRDVMFNCDR-UHFFFAOYSA-N thioglycolic acid Chemical compound OC(=O)CS CWERGRDVMFNCDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DENFJSAFJTVPJR-UHFFFAOYSA-N triethoxy(ethyl)silane Chemical compound CCO[Si](CC)(OCC)OCC DENFJSAFJTVPJR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N triethoxy(methyl)silane Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)OCC CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PYOKUURKVVELLB-UHFFFAOYSA-N trimethyl orthoformate Chemical compound COC(OC)OC PYOKUURKVVELLB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 2
- DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N (+)-borneol Chemical group C1C[C@@]2(C)[C@@H](O)C[C@@H]1C2(C)C DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N 0.000 description 1
- JKHVDAUOODACDU-UHFFFAOYSA-N (2,5-dioxopyrrolidin-1-yl) 3-(2,5-dioxopyrrol-1-yl)propanoate Chemical compound O=C1CCC(=O)N1OC(=O)CCN1C(=O)C=CC1=O JKHVDAUOODACDU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PVGATNRYUYNBHO-UHFFFAOYSA-N (2,5-dioxopyrrolidin-1-yl) 4-(2,5-dioxopyrrol-1-yl)butanoate Chemical compound O=C1CCC(=O)N1OC(=O)CCCN1C(=O)C=CC1=O PVGATNRYUYNBHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VLARLSIGSPVYHX-UHFFFAOYSA-N (2,5-dioxopyrrolidin-1-yl) 6-(2,5-dioxopyrrol-1-yl)hexanoate Chemical compound O=C1CCC(=O)N1OC(=O)CCCCCN1C(=O)C=CC1=O VLARLSIGSPVYHX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SSLASPHAKUVIRG-UHFFFAOYSA-N (2-methylcyclohexyl) prop-2-enoate Chemical compound CC1CCCCC1OC(=O)C=C SSLASPHAKUVIRG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJYDPRZKFMBCOT-UHFFFAOYSA-N (2-methyloxetan-2-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1(C)CCO1 KJYDPRZKFMBCOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YGHVWTFXOIPRCW-UHFFFAOYSA-N (2-methyloxetan-2-yl)methyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC1(C)CCO1 YGHVWTFXOIPRCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HJYNDQNAHMPLSS-UHFFFAOYSA-N (2-methyloxetan-3-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC1OCC1COC(=O)C(C)=C HJYNDQNAHMPLSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBAZJHNEFIPCQJ-UHFFFAOYSA-N (2-methyloxetan-3-yl)methyl prop-2-enoate Chemical compound CC1OCC1COC(=O)C=C CBAZJHNEFIPCQJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ARYIITVULFDIQB-UHFFFAOYSA-N (2-methyloxiran-2-yl)methyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC1(C)CO1 ARYIITVULFDIQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NJMCHQONLVUNAM-UHFFFAOYSA-N (2-nitrophenyl)methyl n-cyclohexylcarbamate Chemical compound [O-][N+](=O)C1=CC=CC=C1COC(=O)NC1CCCCC1 NJMCHQONLVUNAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MWMWRSCIFDZZGW-UHFFFAOYSA-N (2-oxooxolan-3-yl) prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC1CCOC1=O MWMWRSCIFDZZGW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTRBSIDLFIKYFI-UHFFFAOYSA-N (3-methyloxetan-2-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC1COC1COC(=O)C(C)=C NTRBSIDLFIKYFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DYYZHEYLGYPHBL-UHFFFAOYSA-N (3-methyloxetan-2-yl)methyl prop-2-enoate Chemical compound CC1COC1COC(=O)C=C DYYZHEYLGYPHBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZRHFXZYSAYFEDW-UHFFFAOYSA-N (4-methyloxetan-2-yl)methyl prop-2-enoate Chemical compound CC1CC(O1)COC(C=C)=O ZRHFXZYSAYFEDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004191 (C1-C6) alkoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004169 (C1-C6) alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- QYGBYAQGBVHMDD-XQRVVYSFSA-N (z)-2-cyano-3-thiophen-2-ylprop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C(\C#N)=C/C1=CC=CS1 QYGBYAQGBVHMDD-XQRVVYSFSA-N 0.000 description 1
- YHMYGUUIMTVXNW-UHFFFAOYSA-N 1,3-dihydrobenzimidazole-2-thione Chemical compound C1=CC=C2NC(S)=NC2=C1 YHMYGUUIMTVXNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CUVLMZNMSPJDON-UHFFFAOYSA-N 1-(1-butoxypropan-2-yloxy)propan-2-ol Chemical compound CCCCOCC(C)OCC(C)O CUVLMZNMSPJDON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QWOZZTWBWQMEPD-UHFFFAOYSA-N 1-(2-ethoxypropoxy)propan-2-ol Chemical compound CCOC(C)COCC(C)O QWOZZTWBWQMEPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NQUXRXBRYDZZDL-UHFFFAOYSA-N 1-(2-prop-2-enoyloxyethyl)cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1CCCCC1(CCOC(=O)C=C)C(O)=O NQUXRXBRYDZZDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLLFPKZTBLMEFG-UHFFFAOYSA-N 1-(4-hydroxyphenyl)pyrrole-2,5-dione Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1N1C(=O)C=CC1=O BLLFPKZTBLMEFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- USRJNCZFXRJTNN-UHFFFAOYSA-N 1-(furan-2-yl)propan-2-yl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC(C)CC1=CC=CO1 USRJNCZFXRJTNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XTWPKMFMPBGNKR-UHFFFAOYSA-N 1-[(4-hydroxyphenyl)methyl]pyrrole-2,5-dione Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CN1C(=O)C=CC1=O XTWPKMFMPBGNKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWEAGLZFYKQPLZ-UHFFFAOYSA-N 1-[4,5-diphenyl-2-(2,4,6-trichlorophenyl)imidazol-2-yl]-4,5-diphenyl-2-(2,4,6-trichlorophenyl)imidazole Chemical compound ClC1=CC(Cl)=CC(Cl)=C1C(N1C2(N=C(C(=N2)C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC=CC=2)C=2C(=CC(Cl)=CC=2Cl)Cl)=NC(C=2C=CC=CC=2)=C1C1=CC=CC=C1 RWEAGLZFYKQPLZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NCFIKBMPEOEIED-UHFFFAOYSA-N 1-acridin-9-ylpyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C1=C(C=CC=C2)C2=NC2=CC=CC=C12 NCFIKBMPEOEIED-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MKRBAPNEJMFMHU-UHFFFAOYSA-N 1-benzylpyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1CC1=CC=CC=C1 MKRBAPNEJMFMHU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWNUSVWFHDHRCJ-UHFFFAOYSA-N 1-butoxypropan-2-ol Chemical compound CCCCOCC(C)O RWNUSVWFHDHRCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LMAUULKNZLEMGN-UHFFFAOYSA-N 1-ethyl-3,5-dimethylbenzene Chemical compound CCC1=CC(C)=CC(C)=C1 LMAUULKNZLEMGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012956 1-hydroxycyclohexylphenyl-ketone Substances 0.000 description 1
- HIDBROSJWZYGSZ-UHFFFAOYSA-N 1-phenylpyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C1=CC=CC=C1 HIDBROSJWZYGSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GKZPEYIPJQHPNC-UHFFFAOYSA-N 2,2-bis(hydroxymethyl)propane-1,3-diol prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OCC(CO)(CO)CO GKZPEYIPJQHPNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YAJYJWXEWKRTPO-UHFFFAOYSA-N 2,3,3,4,4,5-hexamethylhexane-2-thiol Chemical compound CC(C)C(C)(C)C(C)(C)C(C)(C)S YAJYJWXEWKRTPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LZHUBCULTHIFNO-UHFFFAOYSA-N 2,4-dihydroxy-1,5-bis[4-(2-hydroxyethoxy)phenyl]-2,4-dimethylpentan-3-one Chemical compound C=1C=C(OCCO)C=CC=1CC(C)(O)C(=O)C(O)(C)CC1=CC=C(OCCO)C=C1 LZHUBCULTHIFNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKCPKDPYUFEZCP-UHFFFAOYSA-N 2,6-di-tert-butylphenol Chemical compound CC(C)(C)C1=CC=CC(C(C)(C)C)=C1O DKCPKDPYUFEZCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HUCCIEYHPJZYDI-UHFFFAOYSA-N 2,6-dimethyl-8-(oxan-2-yloxy)oct-1-en-3-one Chemical compound CC(=C)C(=O)CCC(C)CCOC1CCCCO1 HUCCIEYHPJZYDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWCJNVUIVCCXER-UHFFFAOYSA-N 2-(1-phenylprop-2-enoxymethyl)oxirane Chemical class C=1C=CC=CC=1C(C=C)OCC1CO1 GWCJNVUIVCCXER-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YDUGRFYVCNHEJD-UHFFFAOYSA-N 2-(2-ethyloxetan-3-yl)ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCC1OCC1CCOC(=O)C(C)=C YDUGRFYVCNHEJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyethoxy)ethanol Chemical compound COCCOCCO SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ROBIBSNZGULCFW-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methyloxetan-2-yl)ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCC1(C)CCO1 ROBIBSNZGULCFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- INGCLMRFCDQGLO-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methyloxetan-2-yl)ethyl prop-2-enoate Chemical compound C(C=C)(=O)OCCC1(OCC1)C INGCLMRFCDQGLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JJBFVQSGPLGDNX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methylprop-2-enoyloxy)propyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC(C)COC(=O)C(C)=C JJBFVQSGPLGDNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XYVAYAJYLWYJJN-UHFFFAOYSA-N 2-(2-propoxypropoxy)propan-1-ol Chemical compound CCCOC(C)COC(C)CO XYVAYAJYLWYJJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- REPUQJRGWWJJPK-UHFFFAOYSA-N 2-(3-ethyloxetan-3-yl)ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCC1(CC)COC1 REPUQJRGWWJJPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VCWMHBBURFAUMN-UHFFFAOYSA-N 2-(3-ethyloxetan-3-yl)ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCC1(CC)COC1 VCWMHBBURFAUMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AHNLTPNNRFETEC-UHFFFAOYSA-N 2-(3-trimethoxysilylpropyl)butanedioic acid Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCC(C(O)=O)CC(O)=O AHNLTPNNRFETEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VSYLPXRVOKCYFK-UHFFFAOYSA-N 2-(4-methyloxetan-2-yl)ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC1CC(CCOC(=O)C(C)=C)O1 VSYLPXRVOKCYFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNDCKNKAZCKUNN-UHFFFAOYSA-N 2-(oxetan-3-yl)ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCC1COC1 XNDCKNKAZCKUNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TXDUXCHFVCYQFK-UHFFFAOYSA-N 2-(oxetan-3-yl)ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCC1COC1 TXDUXCHFVCYQFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBKJLMZJKHOGEQ-UHFFFAOYSA-N 2-(oxiran-2-yl)ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCC1CO1 CBKJLMZJKHOGEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PFHOSZAOXCYAGJ-UHFFFAOYSA-N 2-[(2-cyano-4-methoxy-4-methylpentan-2-yl)diazenyl]-4-methoxy-2,4-dimethylpentanenitrile Chemical compound COC(C)(C)CC(C)(C#N)N=NC(C)(C#N)CC(C)(C)OC PFHOSZAOXCYAGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AZVWFKCGPXIZQP-UHFFFAOYSA-N 2-[(2-cyano-4-methoxy-4-methylpentan-2-yl)diazenyl]-4-methoxy-2,4-dimethylpentanenitrile;2-[(2-cyano-4-methylpentan-2-yl)diazenyl]-2,4-dimethylpentanenitrile Chemical compound CC(C)CC(C)(C#N)N=NC(C)(C#N)CC(C)C.COC(C)(C)CC(C)(C#N)N=NC(C)(C#N)CC(C)(C)OC AZVWFKCGPXIZQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JFWFAUHHNYTWOO-UHFFFAOYSA-N 2-[(2-ethenylphenyl)methoxymethyl]oxirane Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1COCC1OC1 JFWFAUHHNYTWOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OCKQMFDZQUFKRD-UHFFFAOYSA-N 2-[(3-ethenylphenyl)methoxymethyl]oxirane Chemical compound C=CC1=CC=CC(COCC2OC2)=C1 OCKQMFDZQUFKRD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZADXFVHUPXKZBJ-UHFFFAOYSA-N 2-[(4-ethenylphenyl)methoxymethyl]oxirane Chemical compound C1=CC(C=C)=CC=C1COCC1OC1 ZADXFVHUPXKZBJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LBNDGEZENJUBCO-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)ethyl]butanedioic acid Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCC(C(O)=O)CC(O)=O LBNDGEZENJUBCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LTHJXDSHSVNJKG-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOCCOCCOCCOC(=O)C(C)=C LTHJXDSHSVNJKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YQZZHMXSIYMFDK-UHFFFAOYSA-N 2-[bis(2-prop-2-enoyloxyethoxy)phosphoryloxy]ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOP(=O)(OCCOC(=O)C=C)OCCOC(=O)C=C YQZZHMXSIYMFDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVPLLZZDAKVSSO-UHFFFAOYSA-N 2-[bis[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)ethoxy]phosphoryloxy]ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOP(=O)(OCCOC(=O)C(C)=C)OCCOC(=O)C(C)=C VVPLLZZDAKVSSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 2-benzyl-2-(dimethylamino)-1-(4-morpholin-4-ylphenyl)butan-1-one Chemical compound C=1C=C(N2CCOCC2)C=CC=1C(=O)C(CC)(N(C)C)CC1=CC=CC=C1 UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004182 2-chlorophenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(Cl)=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVHOBHMAPRVOLO-UHFFFAOYSA-N 2-ethylbutanedioic acid Chemical compound CCC(C(O)=O)CC(O)=O RVHOBHMAPRVOLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VOGSBOVWPQXXAH-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-2-methyl-1-(4-propylphenyl)propan-1-one Chemical compound CCCC1=CC=C(C(=O)C(C)(C)O)C=C1 VOGSBOVWPQXXAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XMLYCEVDHLAQEL-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one Chemical compound CC(C)(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 XMLYCEVDHLAQEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical group OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWZMWHWAWHPNHN-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxypropyl prop-2-enoate Chemical group CC(O)COC(=O)C=C GWZMWHWAWHPNHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FLFWJIBUZQARMD-UHFFFAOYSA-N 2-mercapto-1,3-benzoxazole Chemical compound C1=CC=C2OC(S)=NC2=C1 FLFWJIBUZQARMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VFZKVQVQOMDJEG-UHFFFAOYSA-N 2-prop-2-enoyloxypropyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC(C)COC(=O)C=C VFZKVQVQOMDJEG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YEYKMVJDLWJFOA-UHFFFAOYSA-N 2-propoxyethanol Chemical compound CCCOCCO YEYKMVJDLWJFOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MQWCQFCZUNBTCM-UHFFFAOYSA-N 2-tert-butyl-6-(3-tert-butyl-2-hydroxy-5-methylphenyl)sulfanyl-4-methylphenol Chemical compound CC(C)(C)C1=CC(C)=CC(SC=2C(=C(C=C(C)C=2)C(C)(C)C)O)=C1O MQWCQFCZUNBTCM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FKPNWRXKYQBKIH-UHFFFAOYSA-N 3-(2-trimethoxysilylethyl)oxolane-2,5-dione Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCC1CC(=O)OC1=O FKPNWRXKYQBKIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCAHUFWKIQLBNB-UHFFFAOYSA-N 3-(3-methoxypropoxy)propan-1-ol Chemical compound COCCCOCCCO QCAHUFWKIQLBNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CVXRTIWVUKWNJA-UHFFFAOYSA-N 3-(3-silylpropyl)oxolane-2,5-dione Chemical compound [SiH3]CCCC1CC(=O)OC1=O CVXRTIWVUKWNJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ADXRZEBGDJHQDY-UHFFFAOYSA-N 3-(3-trimethoxysilylpropyl)oxane-2,6-dione Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCC1CCC(=O)OC1=O ADXRZEBGDJHQDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OMASDBUJEZKWEH-UHFFFAOYSA-N 3-(3-triphenoxysilylpropyl)oxane-2,6-dione Chemical compound O=C1OC(=O)CCC1CCC[Si](OC=1C=CC=CC=1)(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 OMASDBUJEZKWEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYOCTJUKGJPVHJ-UHFFFAOYSA-N 3-[3-[3-(2,6-dioxooxan-3-yl)propyl-dimethoxysilyl]propyl]oxane-2,6-dione Chemical compound O1C(C(CCC1=O)CCC[Si](OC)(OC)CCCC1C(OC(CC1)=O)=O)=O VYOCTJUKGJPVHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZKXZHAJXTYBRBS-UHFFFAOYSA-N 3-[3-[bis[3-(2,5-dioxooxolan-3-yl)propyl]-methoxysilyl]propyl]oxolane-2,5-dione Chemical compound O1C(C(CC1=O)CCC[Si](OC)(CCCC1C(OC(C1)=O)=O)CCCC1C(OC(C1)=O)=O)=O ZKXZHAJXTYBRBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LZMNXXQIQIHFGC-UHFFFAOYSA-N 3-[dimethoxy(methyl)silyl]propyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C LZMNXXQIQIHFGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MCDBEBOBROAQSH-UHFFFAOYSA-N 3-[dimethoxy(methyl)silyl]propyl prop-2-enoate Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCOC(=O)C=C MCDBEBOBROAQSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KHVFOZZWLSKDAT-UHFFFAOYSA-N 3-[dimethoxy(phenyl)silyl]propyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCC[Si](OC)(OC)C1=CC=CC=C1 KHVFOZZWLSKDAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UZXIKJQXHFZNCJ-UHFFFAOYSA-N 3-[dimethoxy(phenyl)silyl]propyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCC[Si](OC)(OC)C1=CC=CC=C1 UZXIKJQXHFZNCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDMRLRNXHLPZJN-UHFFFAOYSA-N 3-propoxypropan-1-ol Chemical compound CCCOCCCO LDMRLRNXHLPZJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JZYAVTAENNQGJB-UHFFFAOYSA-N 3-tripropoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCO[Si](OCCC)(OCCC)CCCOC(=O)C(C)=C JZYAVTAENNQGJB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HGEKXQRHZRDGKO-UHFFFAOYSA-N 3-tripropoxysilylpropyl prop-2-enoate Chemical compound CCCO[Si](OCCC)(OCCC)CCCOC(=O)C=C HGEKXQRHZRDGKO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VFXXTYGQYWRHJP-UHFFFAOYSA-N 4,4'-azobis(4-cyanopentanoic acid) Chemical compound OC(=O)CCC(C)(C#N)N=NC(C)(CCC(O)=O)C#N VFXXTYGQYWRHJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DBCAQXHNJOFNGC-UHFFFAOYSA-N 4-bromo-1,1,1-trifluorobutane Chemical compound FC(F)(F)CCCBr DBCAQXHNJOFNGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SSIZVBOERWVGFR-UHFFFAOYSA-N 5-(oxiran-2-yl)pentyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCCCCC1CO1 SSIZVBOERWVGFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CYKONRWVCOIAHL-UHFFFAOYSA-N 5-(oxiran-2-yl)pentyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCCCCC1CO1 CYKONRWVCOIAHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SAPGBCWOQLHKKZ-UHFFFAOYSA-N 6-(2-methylprop-2-enoyloxy)hexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCCCCCOC(=O)C(C)=C SAPGBCWOQLHKKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZTUXPCHXGIBVJU-UHFFFAOYSA-N 6-(furan-2-yl)-2-methylhex-1-en-3-one Chemical compound CC(=C)C(=O)CCCC1=CC=CO1 ZTUXPCHXGIBVJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IAEDLGNYFJXAQC-UHFFFAOYSA-N 6-(furan-2-yl)-6-methylhept-1-en-3-one Chemical compound C=CC(=O)CCC(C)(C)C1=CC=CO1 IAEDLGNYFJXAQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PPEXFZCDQFHINE-UHFFFAOYSA-N 6-(furan-2-yl)hex-1-en-3-one Chemical compound C=CC(=O)CCCC1=CC=CO1 PPEXFZCDQFHINE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VAYCBEIMJNGBGH-UHFFFAOYSA-N 7-oxabicyclo[4.1.0]heptan-4-yl prop-2-enoate Chemical compound C1C(OC(=O)C=C)CCC2OC21 VAYCBEIMJNGBGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical group [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PGDIJTMOHORACQ-UHFFFAOYSA-N 9-prop-2-enoyloxynonyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCCCCCCCCOC(=O)C=C PGDIJTMOHORACQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical group [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VSUMTRGATQCQSB-UHFFFAOYSA-N C(C)O[Si](OCC)(OCC)[SiH2]CCCC1C(=O)OC(CC1)=O Chemical compound C(C)O[Si](OCC)(OCC)[SiH2]CCCC1C(=O)OC(CC1)=O VSUMTRGATQCQSB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940126062 Compound A Drugs 0.000 description 1
- IEPRKVQEAMIZSS-UHFFFAOYSA-N Di-Et ester-Fumaric acid Natural products CCOC(=O)C=CC(=O)OCC IEPRKVQEAMIZSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEPRKVQEAMIZSS-WAYWQWQTSA-N Diethyl maleate Chemical compound CCOC(=O)\C=C/C(=O)OCC IEPRKVQEAMIZSS-WAYWQWQTSA-N 0.000 description 1
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N Dihydrogen sulfide Chemical class S RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FVCPXLWAKNJIKK-UHFFFAOYSA-N Dimexano Chemical compound COC(=S)SSC(=S)OC FVCPXLWAKNJIKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004386 Erythritol Substances 0.000 description 1
- UNXHWFMMPAWVPI-UHFFFAOYSA-N Erythritol Natural products OCC(O)C(O)CO UNXHWFMMPAWVPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- 206010073306 Exposure to radiation Diseases 0.000 description 1
- NLDMNSXOCDLTTB-UHFFFAOYSA-N Heterophylliin A Natural products O1C2COC(=O)C3=CC(O)=C(O)C(O)=C3C3=C(O)C(O)=C(O)C=C3C(=O)OC2C(OC(=O)C=2C=C(O)C(O)=C(O)C=2)C(O)C1OC(=O)C1=CC(O)=C(O)C(O)=C1 NLDMNSXOCDLTTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUCQQLCBOJJVRF-UHFFFAOYSA-N Lepalone Chemical compound CC(=C)C(=O)CCC=1C=COC=1 XUCQQLCBOJJVRF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000538132 Moya Species 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKKRPWIIYQTPQF-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane trimethacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(CC)(COC(=O)C(C)=C)COC(=O)C(C)=C OKKRPWIIYQTPQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IAXXETNIOYFMLW-COPLHBTASA-N [(1s,3s,4s)-4,7,7-trimethyl-3-bicyclo[2.2.1]heptanyl] 2-methylprop-2-enoate Chemical compound C1C[C@]2(C)[C@@H](OC(=O)C(=C)C)C[C@H]1C2(C)C IAXXETNIOYFMLW-COPLHBTASA-N 0.000 description 1
- YCWINENYANGRAA-UHFFFAOYSA-N [1-oxo-1-(oxolan-2-ylmethoxy)propan-2-yl] 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC(C)C(=O)OCC1CCCO1 YCWINENYANGRAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JUDXBRVLWDGRBC-UHFFFAOYSA-N [2-(hydroxymethyl)-3-(2-methylprop-2-enoyloxy)-2-(2-methylprop-2-enoyloxymethyl)propyl] 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(CO)(COC(=O)C(C)=C)COC(=O)C(C)=C JUDXBRVLWDGRBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XTYPXAFPPQSRSC-UHFFFAOYSA-N [3-dimethoxysilyl-1-(2-methylprop-2-enoyloxy)propyl] 2-methylprop-2-enoate Chemical group CO[SiH](CCC(OC(C(=C)C)=O)OC(C(=C)C)=O)OC XTYPXAFPPQSRSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 235000011054 acetic acid Nutrition 0.000 description 1
- 125000004018 acid anhydride group Chemical group 0.000 description 1
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 150000003926 acrylamides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000007605 air drying Methods 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 238000006136 alcoholysis reaction Methods 0.000 description 1
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 150000008044 alkali metal hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 125000005233 alkylalcohol group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 1
- XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N alpha-Methylstyrene Chemical compound CC(=C)C1=CC=CC=C1 XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IVHKZGYFKJRXBD-UHFFFAOYSA-N amino carbamate Chemical compound NOC(N)=O IVHKZGYFKJRXBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000005428 anthryl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C2C([H])=C3C(*)=C([H])C([H])=C([H])C3=C([H])C2=C1[H] 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 125000002029 aromatic hydrocarbon group Chemical group 0.000 description 1
- 238000007611 bar coating method Methods 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019445 benzyl alcohol Nutrition 0.000 description 1
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N bis[2-(1-hydroxycyclohexyl)phenyl]methanone Chemical compound C=1C=CC=C(C(=O)C=2C(=CC=CC=2)C2(O)CCCCC2)C=1C1(O)CCCCC1 MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012661 block copolymerization Methods 0.000 description 1
- OCWYEMOEOGEQAN-UHFFFAOYSA-N bumetrizole Chemical compound CC(C)(C)C1=CC(C)=CC(N2N=C3C=C(Cl)C=CC3=N2)=C1O OCWYEMOEOGEQAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N butanedioic acid Chemical compound O[14C](=O)CC[14C](O)=O KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012295 chemical reaction liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 1
- HNEGQIOMVPPMNR-IHWYPQMZSA-N citraconic acid Chemical compound OC(=O)C(/C)=C\C(O)=O HNEGQIOMVPPMNR-IHWYPQMZSA-N 0.000 description 1
- 229940018557 citraconic acid Drugs 0.000 description 1
- 239000013065 commercial product Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N crotonic acid Chemical compound C\C=C\C(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N 0.000 description 1
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 description 1
- 125000000582 cycloheptyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 1
- OIWOHHBRDFKZNC-UHFFFAOYSA-N cyclohexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC1CCCCC1 OIWOHHBRDFKZNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 1
- KBLWLMPSVYBVDK-UHFFFAOYSA-N cyclohexyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC1CCCCC1 KBLWLMPSVYBVDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000640 cyclooctyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 1
- WRAABIJFUKKEJQ-UHFFFAOYSA-N cyclopentyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC1CCCC1 WRAABIJFUKKEJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BTQLDZMOTPTCGG-UHFFFAOYSA-N cyclopentyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC1CCCC1 BTQLDZMOTPTCGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NHAQFLFLZGBOBG-UHFFFAOYSA-N decan-3-yl prop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCC(CC)OC(=O)C=C NHAQFLFLZGBOBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KQAHMVLQCSALSX-UHFFFAOYSA-N decyl(trimethoxy)silane Chemical compound CCCCCCCCCC[Si](OC)(OC)OC KQAHMVLQCSALSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- GUJOJGAPFQRJSV-UHFFFAOYSA-N dialuminum;dioxosilane;oxygen(2-);hydrate Chemical compound O.[O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3].O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Si]=O GUJOJGAPFQRJSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YPENMAABQGWRBR-UHFFFAOYSA-N dibutyl(dimethoxy)silane Chemical compound CCCC[Si](OC)(OC)CCCC YPENMAABQGWRBR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001991 dicarboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- ZEFVHSWKYCYFFL-UHFFFAOYSA-N diethyl 2-methylidenebutanedioate Chemical compound CCOC(=O)CC(=C)C(=O)OCC ZEFVHSWKYCYFFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEPRKVQEAMIZSS-AATRIKPKSA-N diethyl fumarate Chemical compound CCOC(=O)\C=C\C(=O)OCC IEPRKVQEAMIZSS-AATRIKPKSA-N 0.000 description 1
- XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol monoethyl ether Chemical compound CCOCCOCCO XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940075557 diethylene glycol monoethyl ether Drugs 0.000 description 1
- SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N diglyme Chemical compound COCCOCCOC SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JJQZDUKDJDQPMQ-UHFFFAOYSA-N dimethoxy(dimethyl)silane Chemical compound CO[Si](C)(C)OC JJQZDUKDJDQPMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AHUXYBVKTIBBJW-UHFFFAOYSA-N dimethoxy(diphenyl)silane Chemical compound C=1C=CC=CC=1[Si](OC)(OC)C1=CC=CC=C1 AHUXYBVKTIBBJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YQGOWXYZDLJBFL-UHFFFAOYSA-N dimethoxysilane Chemical compound CO[SiH2]OC YQGOWXYZDLJBFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VFHVQBAGLAREND-UHFFFAOYSA-N diphenylphosphoryl-(2,4,6-trimethylphenyl)methanone Chemical compound CC1=CC(C)=CC(C)=C1C(=O)P(=O)(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 VFHVQBAGLAREND-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- WNAHIZMDSQCWRP-UHFFFAOYSA-N dodecane-1-thiol Chemical compound CCCCCCCCCCCCS WNAHIZMDSQCWRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- UNXHWFMMPAWVPI-ZXZARUISSA-N erythritol Chemical compound OC[C@H](O)[C@H](O)CO UNXHWFMMPAWVPI-ZXZARUISSA-N 0.000 description 1
- 235000019414 erythritol Nutrition 0.000 description 1
- 229940009714 erythritol Drugs 0.000 description 1
- 125000001301 ethoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- RSIHJDGMBDPTIM-UHFFFAOYSA-N ethoxy(trimethyl)silane Chemical compound CCO[Si](C)(C)C RSIHJDGMBDPTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=C SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LJUJMKJGPIXNAK-UHFFFAOYSA-N ethyl 4-[2-(2-chlorophenyl)-1-[2-(2-chlorophenyl)-4,5-bis(4-ethoxycarbonylphenyl)imidazol-2-yl]-5-(4-ethoxycarbonylphenyl)imidazol-4-yl]benzoate Chemical compound C1=CC(C(=O)OCC)=CC=C1C1=NC(N2C(=C(N=C2C=2C(=CC=CC=2)Cl)C=2C=CC(=CC=2)C(=O)OCC)C=2C=CC(=CC=2)C(=O)OCC)(C=2C(=CC=CC=2)Cl)N=C1C1=CC=C(C(=O)OCC)C=C1 LJUJMKJGPIXNAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FKIRSCKRJJUCNI-UHFFFAOYSA-N ethyl 7-bromo-1h-indole-2-carboxylate Chemical compound C1=CC(Br)=C2NC(C(=O)OCC)=CC2=C1 FKIRSCKRJJUCNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N ethyl carbamate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.CCOC(N)=O UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYEJNNDSIXAGNK-UHFFFAOYSA-N ethyl-tri(propan-2-yloxy)silane Chemical compound CC(C)O[Si](CC)(OC(C)C)OC(C)C MYEJNNDSIXAGNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol dimethacrylate Substances CC(=C)C(=O)OCCOC(=O)C(C)=C STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- 150000008282 halocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N hexane Substances CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diol Chemical compound OCCCCCCO XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 1
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 description 1
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 description 1
- 229940119545 isobornyl methacrylate Drugs 0.000 description 1
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003253 isopropoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(O*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- CDOSHBSSFJOMGT-UHFFFAOYSA-N linalool Chemical compound CC(C)=CCCC(C)(O)C=C CDOSHBSSFJOMGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L magnesium carbonate Chemical compound [Mg+2].[O-]C([O-])=O ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000001095 magnesium carbonate Substances 0.000 description 1
- 229910000021 magnesium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N methacrylamide Chemical compound CC(=C)C(N)=O FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003145 methacrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- 125000005397 methacrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000956 methoxy group Chemical group [H]C([H])([H])O* 0.000 description 1
- POPACFLNWGUDSR-UHFFFAOYSA-N methoxy(trimethyl)silane Chemical compound CO[Si](C)(C)C POPACFLNWGUDSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZQMHJBXHRFJKOT-UHFFFAOYSA-N methyl 2-[(1-methoxy-2-methyl-1-oxopropan-2-yl)diazenyl]-2-methylpropanoate Chemical compound COC(=O)C(C)(C)N=NC(C)(C)C(=O)OC ZQMHJBXHRFJKOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BDJSOPWXYLFTNW-UHFFFAOYSA-N methyl 3-methoxypropanoate Chemical compound COCCC(=O)OC BDJSOPWXYLFTNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CRVGTESFCCXCTH-UHFFFAOYSA-N methyl diethanolamine Chemical compound OCCN(C)CCO CRVGTESFCCXCTH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HLXDKGBELJJMHR-UHFFFAOYSA-N methyl-tri(propan-2-yloxy)silane Chemical compound CC(C)O[Si](C)(OC(C)C)OC(C)C HLXDKGBELJJMHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- 150000002763 monocarboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 125000002950 monocyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052901 montmorillonite Inorganic materials 0.000 description 1
- VAVZHSBOROHMQD-UHFFFAOYSA-N n-(3-hydroxyphenyl)-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CC(=C)C(=O)NC1=CC=CC(O)=C1 VAVZHSBOROHMQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PMHOLXNNEPPFNZ-UHFFFAOYSA-N n-(3-hydroxyphenyl)prop-2-enamide Chemical compound OC1=CC=CC(NC(=O)C=C)=C1 PMHOLXNNEPPFNZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POVITWJTUUJBNK-UHFFFAOYSA-N n-(4-hydroxyphenyl)prop-2-enamide Chemical compound OC1=CC=C(NC(=O)C=C)C=C1 POVITWJTUUJBNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000003136 n-heptyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000001280 n-hexyl group Chemical group C(CCCCC)* 0.000 description 1
- 125000000740 n-pentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000003506 n-propoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 125000004123 n-propyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 description 1
- ZWWQICJTBOCQLA-UHFFFAOYSA-N o-propan-2-yl (propan-2-yloxycarbothioyldisulfanyl)methanethioate Chemical compound CC(C)OC(=S)SSC(=S)OC(C)C ZWWQICJTBOCQLA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NWAHZAIDMVNENC-UHFFFAOYSA-N octahydro-1h-4,7-methanoinden-5-yl methacrylate Chemical compound C12CCCC2C2CC(OC(=O)C(=C)C)C1C2 NWAHZAIDMVNENC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OEIJHBUUFURJLI-UHFFFAOYSA-N octane-1,8-diol Chemical compound OCCCCCCCCO OEIJHBUUFURJLI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KZCOBXFFBQJQHH-UHFFFAOYSA-N octane-1-thiol Chemical compound CCCCCCCCS KZCOBXFFBQJQHH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N olefin Natural products CCCCCCCC=C JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- FOKLVOHHYNATHU-UHFFFAOYSA-N oxan-2-ylmethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CCCCO1 FOKLVOHHYNATHU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PBHPFFDRTUWVIT-UHFFFAOYSA-N oxetan-2-ylmethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC1CCO1 PBHPFFDRTUWVIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002923 oximes Chemical class 0.000 description 1
- RPQRDASANLAFCM-UHFFFAOYSA-N oxiran-2-ylmethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC1CO1 RPQRDASANLAFCM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000466 oxiranyl group Chemical group 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FZUGPQWGEGAKET-UHFFFAOYSA-N parbenate Chemical compound CCOC(=O)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 FZUGPQWGEGAKET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005010 perfluoroalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005004 perfluoroethyl group Chemical group FC(F)(F)C(F)(F)* 0.000 description 1
- 125000005009 perfluoropropyl group Chemical group FC(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)* 0.000 description 1
- 125000005561 phenanthryl group Chemical group 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920000137 polyphosphoric acid Polymers 0.000 description 1
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- FZYCEURIEDTWNS-UHFFFAOYSA-N prop-1-en-2-ylbenzene Chemical compound CC(=C)C1=CC=CC=C1.CC(=C)C1=CC=CC=C1 FZYCEURIEDTWNS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003151 propanoic acid esters Chemical class 0.000 description 1
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003586 protic polar solvent Substances 0.000 description 1
- 239000008213 purified water Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000001223 reverse osmosis Methods 0.000 description 1
- 238000007142 ring opening reaction Methods 0.000 description 1
- 125000002914 sec-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000007086 side reaction Methods 0.000 description 1
- RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N silicic acid Chemical compound O[Si](O)(O)O RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019795 sodium metasilicate Nutrition 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- SJMYWORNLPSJQO-UHFFFAOYSA-N tert-butyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC(C)(C)C SJMYWORNLPSJQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- ISXSCDLOGDJUNJ-UHFFFAOYSA-N tert-butyl prop-2-enoate Chemical compound CC(C)(C)OC(=O)C=C ISXSCDLOGDJUNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BINKQJJWJHNOSQ-UHFFFAOYSA-N tetrabenzyl silicate Chemical compound C=1C=CC=CC=1CO[Si](OCC=1C=CC=CC=1)(OCC=1C=CC=CC=1)OCC1=CC=CC=C1 BINKQJJWJHNOSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UQMOLLPKNHFRAC-UHFFFAOYSA-N tetrabutyl silicate Chemical compound CCCCO[Si](OCCCC)(OCCCC)OCCCC UQMOLLPKNHFRAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940073455 tetraethylammonium hydroxide Drugs 0.000 description 1
- LRGJRHZIDJQFCL-UHFFFAOYSA-M tetraethylazanium;hydroxide Chemical compound [OH-].CC[N+](CC)(CC)CC LRGJRHZIDJQFCL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RAOIDOHSFRTOEL-UHFFFAOYSA-N tetrahydrothiophene Chemical class C1CCSC1 RAOIDOHSFRTOEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N tetramethyl orthosilicate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)OC LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ADLSSRLDGACTEX-UHFFFAOYSA-N tetraphenyl silicate Chemical compound C=1C=CC=CC=1O[Si](OC=1C=CC=CC=1)(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 ADLSSRLDGACTEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZUEKXCXHTXJYAR-UHFFFAOYSA-N tetrapropan-2-yl silicate Chemical compound CC(C)O[Si](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C ZUEKXCXHTXJYAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZQZCOBSUOFHDEE-UHFFFAOYSA-N tetrapropyl silicate Chemical compound CCCO[Si](OCCC)(OCCC)OCCC ZQZCOBSUOFHDEE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N trans-crotonic acid Natural products CC=CC(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- GIHPVQDFBJMUAO-UHFFFAOYSA-N tributoxy(ethyl)silane Chemical compound CCCCO[Si](CC)(OCCCC)OCCCC GIHPVQDFBJMUAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYZQBXUDWTVJDF-UHFFFAOYSA-N tributoxy(methyl)silane Chemical compound CCCCO[Si](C)(OCCCC)OCCCC GYZQBXUDWTVJDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JCVQKRGIASEUKR-UHFFFAOYSA-N triethoxy(phenyl)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C1=CC=CC=C1 JCVQKRGIASEUKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ITMCEJHCFYSIIV-UHFFFAOYSA-N triflic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C(F)(F)F ITMCEJHCFYSIIV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002023 trifluoromethyl group Chemical group FC(F)(F)* 0.000 description 1
- JLGNHOJUQFHYEZ-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(3,3,3-trifluoropropyl)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCC(F)(F)F JLGNHOJUQFHYEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WLOQLWBIJZDHET-UHFFFAOYSA-N triphenylsulfonium Chemical class C1=CC=CC=C1[S+](C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 WLOQLWBIJZDHET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LENZDBCJOHFCAS-UHFFFAOYSA-N tris Chemical compound OCC(N)(CO)CO LENZDBCJOHFCAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 238000004260 weight control Methods 0.000 description 1
- 210000002268 wool Anatomy 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Epoxy Resins (AREA)
Description
また、現像の際には、アルカリ現像液として、通常TMAH(テトラメチルアンモニウムヒドロキシド)が使用されているが、コスト低減及び生産性向上の観点から、無機アルカリ現像液でも現像可能な感放射線性組成物の開発が望まれている。
[A1]下記式(1)で表される加水分解性シラン化合物又はその部分加水分解物と、下記式(2)で表される加水分解性シラン化合物又はその部分加水分解物とを加水分解縮合させて得られるポリシロキサン
[B](B1)カルボキシル基を有する構造単位及び(B2)エポキシ基を有する構造単位を含む共重合体
[C]エチレン性不飽和基を2個以上有する化合物(但し、成分[A1]を除く)
[D]光ラジカル重合開始剤
を含有する感放射線性組成物を提供するものである。
〕
[A2]下記式(1a)で表わされる構造単位及び下記式(2a)で表わされる構造単位を含むポリシロキサン
[B](B1)カルボキシル基を有する構造単位及び(B2)エポキシ基を有する構造単位を含む共重合体
[C]エチレン性不飽和基を2個以上有する化合物(但し、成分[A2]を除く)
[D]光ラジカル重合開始剤
を含有する感放射線性組成物を提供するものである。
(1)上記感放射線性組成物を基板上に塗布して塗膜を形成する工程、
(2)工程(1)で形成した塗膜の少なくとも一部に放射線を照射する工程、
(3)工程(2)で放射線を照射された塗膜をアルカリ現像液で現像する工程、及び
(4)工程(3)で現像された塗膜を加熱する工程
を含む硬化膜の形成方法を提供するものである。
したがって、本発明の感放射線性組成物を用いて形成された硬化膜は、表示素子のタッチパネルの保護膜、表示素子の層間絶縁膜として極めて有用である。
本発明の感放射線性組成物は、成分[A1]又は[A2]と、成分[B]と、成分[C]と、成分[D]を含有するものである。以下、各成分について詳細に説明するが、以下の説明において成分[A1]及び[A2]を包括的に成分[A]として説明する。
成分[A1]は、下記式(1)で表される加水分解性シラン化合物又はその部分加水分解物(以下、「化合物(1)」とも称する)と、下記式(2)で表される加水分解性シラン化合物又はその部分加水分解物(以下、「化合物(2)」とも称する)とを加水分解縮合させて得られるポリシロキサンである。かかる成分[A]を含有せしめることにより、現像工程で使用するアルカリ現像液、とりわけ無機アルカリ現像液に対する溶解性が高められ、現像性を向上させることができ、さらに得られる硬化膜の耐熱透明性、耐擦傷性を向上させることが可能となる。ここで、本明細書において「部分加水分解物」とは、アルコキシ基の加水分解縮合反応によって生成する、分子中に少なくとも1個、好ましくは2個以上のアルコキシ基が残存するシロキサン化合物(ケイ素原子数が2〜100個、好ましくは2〜30個程度のシロキサンオリゴマー)を意味する。
式(2)中、R3は炭素数1〜6のアルキル基を示し、xは1〜3の整数を示し、yは1〜6の整数を示し、zは0〜3の整数を示す。〕
R1及びR3におけるアルキル基は、直鎖状、分岐状及び環状のいずれでもよい。R1及びR3におけるアルキル基の炭素数は1〜6であるが、加水分解縮合の反応性の観点から、炭素数は1〜4が好ましく、1又は2がより好ましい。具体的には、メチル基、エチル基、n−プロピル基、iso−プロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、シクロヘキシル基等が挙げられ、これらの中でも、メチル基又はエチル基が特に好ましい。なお、同一分子内にR1が複数存在する場合、それらは同一でも異なっていてもよい。R3においても同様である。
R2におけるアリール基とは、炭素数6〜14の単環〜3環式芳香族炭化水素基を意味し、具体的には、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、フェナントリル基等が挙げられる。これらの中でも、フェニル基、ナフチル基が好ましく、フェニル基がより好ましい。
R2におけるアルキル基及びアリール基は置換基を有していてもよく、置換基としては、例えば、ハロゲン原子、水酸基、ニトロ基、シアノ基、炭素数1〜6のアルコキシ基等を挙げることができる。なお、置換基の位置及び数は任意であり、置換基を2以上有する場合、当該置換基は同一でも異なっていてもよい。ハロゲン原子としては、フッ素原子、臭素原子、塩素原子及びヨウ素原子が挙げられ、中でも、フッ素原子が好ましい。ハロゲン原子は、アルキル基及びアリール基の水素原子の一部又は全部を置換することができるが、全て置換されているものが好ましい。ハロゲン置換アルキル基の具体例としては、トリフルオロメチル基、パーフルオロエチル基、パーフルオロプロピル基、パーフルオロイソプロピル基、パーフルオロシクロプロピル基等のパーフルオロアルキル基が挙げられる。また、炭素数1〜6のアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、iso−プロポキシ基等が挙げられる。
R2における(メタ)アクリロイルオキシ基とは、アクリロイルオキシ基及びメタクリロイルオキシ基を包含する概念である。
これらの中でも、R2としては、炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基又は(メタ)アクリロイルオキシ基が好ましい。なお、同一分子内にR2が複数存在する場合、それらは同一でも異なっていてもよい。
nは、0〜6の整数であるが、0〜3の整数が好ましく、0又は3がより好ましい。
yは、1〜6の整数であるが、1〜3の整数が好ましく、3がより好ましい。
zは、0〜3の整数であるが、0又は1が好ましく、0がより好ましい。
成分[A1]は、化合物(1)を必須成分として含有する。化合物(1)は、適度な架橋密度を付与しつつ、耐クラック性及び耐擦傷性の向上に寄与する成分である。
化合物(1)としては、mが0であるシラン化合物、mが1であるシラン化合物、mが2であるシラン化合物、mが3であるシラン化合物が挙げられる。具体的には、次の化合物を挙げることができる。なお、化合物(1)は、1種単独で又は2種以上を組み合わせて使用してもよい。
TEOSは、4個の加水分解性基を有する多官能性シラン化合物である。ポリシロキサン中にTEOS由来の構造単位が含まれると、ITOなどの金属基板表面の水酸基との相互作用により基板との密着性が向上し、また架橋密度の増加により得られる硬化膜の硬度は高くなるが、脆くなるため、クラックが発生したり、耐擦傷性が低下すると予測される。このような予測に反し、本発明においては、TEOSに、シラン化合物(1b1)と後述する化合物(2)とを組み合わせてポリシロキサンを構成し、これに成分[B]及び[C]を含有せしめることにより、意外にも、耐擦傷性及び耐クラック性を損なうことなく、硬度及び密着性に優れる硬化膜が得られることを見出したものである。このことは、従来の知見からは全く予測し得ないことであった。
化合物(1)として、シラン化合物(1b1)を使用する場合、その合計仕込み割合は、耐擦傷性及び耐熱クラック性のより一層の向上の観点から、原料化合物の合計に対して、好ましくは10〜85モル%、より好ましくは20〜80モル%、更に好ましくは30〜75モル%である。
また、TEOSを使用する場合、その仕込み割合は、硬度、密着性、耐擦傷性及び耐熱クラック性の向上の観点から、原料化合物の合計に対して、好ましくは3〜50モル%、より好ましくは5〜45モル%、更に好ましくは10〜40モル%である。
更に、(メタ)アクリロイルオキシ基を有するアルコキシシラン化合物を使用する場合、その合計仕込み割合は、感度及び解像度の向上の観点から、原料化合物の合計に対して、好ましくは3〜25モル%、より好ましくは5〜20モル%、更に好ましくは10〜20モル%である。
化合物(2)としては、xが1であるシラン化合物、xが2であるシラン化合物、xが3であるシラン化合物が挙げられる。具体的には、次の化合物を挙げることができる。なお、化合物(2)は、1種単独で使用しても、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
水の使用量は、化合物(1)及び化合物(2)の加水分解性基の合計1モルに対して、好ましくは0.1〜3モル、より好ましくは0.3〜2モル、更に好ましくは0.5〜1.5モルである。このような量の水を用いることによって、加水分解縮合の反応速度を最適化することができる。
酸触媒としては、例えば、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸、ポリリン酸等の無機酸、蟻酸、シュウ酸、酢酸、トリフルオロ酢酸、トリフルオロメタンスルホン酸等の有機酸、酸性イオン交換樹脂等を挙げることができる。
触媒の使用量は、加水分解縮合反応の促進の観点から、化合物(1)及び化合物(2)の合計1モルに対して、好ましくは0.2モル以下であり、より好ましくは0.00001〜0.1モルである。
成分[A2]は、化合物(1)由来の下記式(1a)で表わされる構造単位(以下、「構造単位(1a)」とも称する)と、化合物(2)由来の下記式(2a)で表わされる構造単位(以下、「構造単位(2a)」とも称する)とを含むものである。構造単位(1a)と、構造単位(2a)の各々の構造単位は、1種単独でも2種以上で構成されていてもよい。
式(1a)においてmが1、式(2a)においてxが1である場合の構造単位を下記式(1−1a)、(2―1a)に、それぞれ示す。
R5におけるアルキル基としては上記R1と同様のものが挙げられ、またR5におけるアリール基としては上記R2と同様のものが挙げられる。その具体的構成については、上記において説明したとおりである。
また、pは、1が好ましい。式(1b)においてpが1である場合の構造単位を下記式(1−1b)に示す。
構造単位(1a)として、構造単位(1b)を含有する場合、その割合は、硬度、密着性、耐擦傷性及び耐熱クラック性の向上の観点から、全構造単位に対して、好ましくは10〜85モル%、より好ましくは20〜80モル%、更に好ましくは30〜75モル%である。
また、成分[A2]中にSiO2単位を含有する場合、その割合は、硬度、密着性、耐擦傷性及び耐熱クラック性の向上の観点から、全構造単位に対して、好ましくは3〜50モル%、より好ましくは5〜45モル%、更に好ましくは10〜40モル%である。
更に、成分[A2]中に(メタ)アクリロイルオキシ基を有するアルコキシシラン化合物由来の構造単位を含有する場合、その割合は、感度及び解像度の向上の観点から、全構造単位に対して、好ましくは3〜25モル%、より好ましくは5〜20モル%、更に好ましくは10〜20モル%である。
成分[A2]中の構造単位(2a)の割合は、全構造単位に対して、好ましくは15モル%以下、より好ましくは13モル%以下、更に好ましくは10モル%以下、更に好ましくは7モル%以下である。なお、構造単位(2a)の割合の下限は、全構造単位に対して、好ましくは0.5モル%、より好ましくは1モル%、更に好ましくは2モル%である。構造単位(2a)の含有割合の範囲としては、成分[A2]の全構造単位中に、好ましくは0.5〜15モル%、より好ましくは1〜13モル%、更に好ましくは2〜10モル%、更に好ましくは2〜7モル%である。
成分[A]の分子量は、移動相にテトラヒドロフランを使用したGPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)を用い、ポリスチレン換算の重量平均分子量として測定することができる。成分[A]の重量平均分子量(Mw)は、好ましくは500〜10000、更に好ましくは1000〜7000である。成分[A]の重量平均分子量の値を500以上とすることによって、感放射線性組成物の塗膜の成膜性を改善することができる。一方、重量平均分子量を10000以下とすることによって、感放射線性組成物のアルカリ現像性の低下を防止することができる。
また、重量平均分子量(Mw)と同様の条件により測定される数平均分子量(Mn)との比、すなわち分散度(Mw/Mn)は、好ましくは1.0〜15.0、より好ましくは1.1〜10.0、更に好ましくは1.1〜5.0である。このような範囲内とすることにより、アルカリ現像性、密着性及び耐熱クラック性を両立することができる。
成分[B]は、(B1)カルボキシル基を有する構造単位(以下、「構造単位(B1)」とも称する)及び(B2)エポキシ基を有する構造単位(以下、「構造単位(B2)」とも称する)を含む共重合体である。かかる成分[B]を含有せしめることにより、感度が高められ、また現像工程で使用するアルカリ現像液、とりわけ無機アルカリ現像液に対する溶解性に優れるため、現像性を向上させることができ、さらに得られる硬化膜の耐クラック性を向上させることもできる。
構造単位(B1)としては、(B1−1)不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物(以下、これらを「化合物(B1−1)」とも称する)から選ばれる少なくとも1種の化合物に由来する構造単位であることが好ましい。
化合物(B1−1)としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、2−アクリロイルオキシエチルコハク酸、2−メタクリロイルオキシエチルコハク酸、2−アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、2−メタクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸等のモノカルボン酸;マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸等のジカルボン酸;該ジカルボン酸の酸無水物等を挙げることができる。これら化合物(B1−1)のうち、共重合反応性、得られる共重合体のアルカリ現像液に対する溶解性の点から、アクリル酸、メタクリル酸、2−アクリロイルオキシエチルコハク酸、2−メタクリロイルオキシエチルコハク酸、無水マレイン酸が好ましい。
構造単位(B1)の共重合割合は、全構造単位中に、好ましくは1〜40質量%、より好ましくは2〜30質量%、更に好ましくは3〜25質量%である。このような共重合割合とすることで、感度、現像性及び保存安定性等の諸特性がより高いレベルで最適化された感放射線性組成物が得られる。
化合物(B2−2)としては、例えば、アクリル酸グリシジル、アクリル酸2−メチルグリシジル、アクリル酸3,4−エポキシブチル、アクリル酸6,7−エポキシヘプチル、アクリル酸3,4−エポキシシクロヘキシル、アクリル酸−3,4−エポキシシクロヘキシルメチル等のアクリル酸エポキシアルキルエステル;メタクリル酸グリシジル、メタクリル酸2−メチルグリシジル、メタクリル酸3,4−エポキシブチル、メタクリル酸6,7−エポキシヘプチル、メタクリル酸3,4−エポキシシクロヘキシル、メタクリル酸−3,4−エポキシシクロヘキシルメチル等のメタクリル酸エポキシアルキルエステル;α−エチルアクリル酸グリシジル、α−n−プロピルアクリル酸グリシジル、α−n−ブチルアクリル酸グリシジル、α−エチルアクリル酸、6,7−エポキシヘプチル等のα−アルキルアクリル酸エポキシアルキルエステル;o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等のビニルベンジルグリシジルエーテルを挙げることができる。
構造単位(B2)の共重合割合は、全構造単位中に、好ましくは10〜75質量%、より好ましくは15〜70質量%、更に好ましくは20〜65質量%である。このような共重合割合とすることで、特に共重合体の分子量の制御が容易となり、しかも耐擦傷性、感度及び現像性により一層向上させることができる。
(メタ)アクリル酸アルキルエステルの具体例としては、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、n−ブチルメタクリレート、sec−ブチルメタクリレート、t−ブチルメタクリレート、メチルアクリレート、エチルアクリレート、n−ブチルアクリレート、sec−ブチルアクリレート、t−ブチルアクリレート等を挙げることができる。
(メタ)アクリル酸脂環式アルキルエステルの具体例としては、メタクリル酸シクロペンチル、メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸−2−メチルシクロヘキシル、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル(以下、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルを「ジシクロペンタニル」とも称する)、メタクリル酸−2−ジシクロペンタニルオキシエチル、メタクリル酸イソボロニル、アクリル酸シクロペンチル、アクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸−2−メチルシクロヘキシル、アクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル、アクリル酸−2−ジシクロペンタニルオキシエチル、アクリル酸イソボロニル等が挙げられる。
(メタ)アクリル酸アリールエステルの具体例としては、(メタ)アクリル酸フェニル、(メタ)アクリル酸ベンジル等が挙げられる。
不飽和ジカルボン酸ジエステルの具体例としては、マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等が挙げられる。
マレイミド化合物の具体例としては、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−(4−ヒドロキシフェニル)マレイミド、N−(4−ヒドロキシベンジル)マレイミド、N−スクシンイミジル−3−マレイミドベンゾエート、N−スクシンイミジル−4−マレイミドブチレート、N−スクシンイミジル−6−マレイミドカプロエート、N−スクシンイミジル−3−マレイミドプロピオネート、N−(9−アクリジニル)マレイミド等を挙げることができる。
(メタ)アクリルアミドの具体例としては、アクリルアミド、メタクリルアミド、4−ヒドロキシフェニルアクリルアミド、4−ヒドロキシフェニルメタクリルアミド、3−ヒドロキシフェニルアクリルアミド、3−ヒドロキシフェニルメタクリルアミド等が挙げられる。
芳香族ビニル化合物としては、スチレン、α−メチルスチレン等が挙げられる。
構造単位(B3)の共重合割合は、成分[B]の全構造単位中に、好ましくは10〜70質量%、更に好ましくは15〜65質量%である。構造単位(B3)として、(メタ)アクリロイルオキシプロピルトリアルコキシシラン由来の構造単位を含有する場合、その共重合割合は、好ましくは10〜50質量%、更に好ましくは20〜40質量%である。このような共重合割合とすることで、特に共重合体の分子量の制御が容易となり、また現像性、感度、密着性等をより一層向上させることができる。
重合反応に用いられる溶媒としては、例えば、アルコール類、グリコールエーテル、エチレングリコールアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネート、芳香族炭化水素類、ケトン類、上記以外のエーテル類、上記以外のエステル類等を挙げることができる。
また、重合温度は、通常、0〜150℃、好ましくは50〜120℃であり、重合時間は、通常、10分〜20時間、好ましくは30分〜6時間である。
成分[B]の含有量は、成分[A]100質量部に対して、好ましくは1〜45質量部、より好ましくは2〜40質量部、更に好ましくは3〜35質量部、更に好ましくは3〜30質量部、更に好ましくは3〜25質量部である。成分[B]の含有量を上記範囲内とすることで、感度及び現像性をより一層高めることができる。
成分[C]は、エチレン性不飽和基を2個以上有する化合物であるが、後述する成分[D]の光ラジカル重合開始剤の存在下において放射線を照射することにより重合する多官能性単量体である。但し、成分[C]には、成分[A]が除かれる。
成分[C]の含有量は、成分[A]100質量部に対して、好ましくは5〜300質量部、より好ましくは10〜200質量部、更に好ましくは15〜100質量部、更に好ましくは20〜50質量部である。成分[C]の含有量を上記範囲内とすることで、硬度、耐熱性及び感度がより一層良好になる。
成分[D]は、光ラジカル重合開始剤である。光ラジカル重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線などの放射線の露光により、上記成分[C]の硬化反応を開始し得る活性種を発生することができる化合物である。
本発明で使用する光ラジカル重合開始剤としては、例えば、O−アシルオキシム化合物、アセトフェノン化合物、アシルフォスフィンオキサイド化合物、ビイミダゾール化合物等を挙げることができる。
アミノ系増感剤としては、例えば、N−メチルジエタノールアミン、4,4'−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4'−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、p−ジメチルアミノ安息香酸エチル、p−ジメチルアミノ安息香酸i−アミル等を挙げることができる。これらのアミノ系増感剤のうち、特に4,4'−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。
水素供与化合物としては、例えば、チオール系化合物を挙げることができる。チオール系化合物としては、例えば、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾールが好ましい。
また、成分[D]としてビイミダゾール化合物を選択し、かつアミノ系増感剤及び水素供与化合物から選ばれる少なくとも1種と併用する場合、アミノ系増感剤及び水素供与化合物の各使用量は、ビイミダゾール化合物100質量部に対して、好ましくは0.1〜50質量部であり、より好ましくは1〜20質量部である。このような使用量とすることによって、得られる硬化膜の表面硬度を高めることができる。
成分[E]は、有機粒子及び無機粒子から選択される少なくとも1種である。成分[E]を含有せしめることにより、耐擦傷性、クラック耐性等を高めることができる。
有機粒子としては、アクリル系微粒子等の固体状のものが好適に用いられる。アクリル系微粒子としては、例えば、メタクリル酸メチル重合体、メタクリル酸とアルキル化合物の共重合体等が挙げられる。有機粒子の市販品としては、例えば、ゼフィアックF−320、F−301、F−340、F−325、F−351(以上、ガンツ化成社製)、アクリル系微粒子MP−300(綜研化学社製)等が挙げられる。
無機微粒子の形状は、球状、棒状、板状、繊維状、不定形状のいずれであってもよく、また、これらは、中実状、中空状、多孔質状であってもよい。
成分[E]は、粉体状のものを直接、他の成分に添加・混合してもよいし、溶媒分散液としたものを他の成分に添加・混合して溶剤を留去してもよい。
成分[E]の含有量は、成分[A]100質量部に対して、好ましくは1〜600質量部、より好ましくは10〜200質量部、更に好ましくは50〜100質量部である。成分[E]の含有量を上記範囲内とすることにより、得られる保護膜及び層間絶縁膜の耐擦傷性及び耐熱クラック性をより一層高めることができる。
成分[F]は、溶剤である。感放射線性組成物は、通常、溶剤を配合して液状組成物として調製される。溶剤としては、感放射線性組成物を構成する各成分を分散又は溶解し、かつこれらの成分と反応せず、適度の揮発性を有するものである限り、適宜選択して使用することができる。
このような溶剤として、プロトン性溶剤であるアルコール系溶剤を含有することが好ましい。アルコール系溶剤を用いることで、感放射線性組成物の大型基板への塗工性向上を可能にし、更に塗布ムラ(筋状ムラ、ピン跡ムラ、モヤムラ等)の発生を抑制し、膜厚均一性をより一層向上できる。
1−ヘキサノール、1−オクタノール、1−ノナノール、1−ドデカノール、1,6−ヘキサンジオール、1,8−オクタンジオール等の長鎖アルキルアルコール;
ベンジルアルコール等の芳香族アルコール;
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル等のエチレングリコールモノアルキルエーテル;
プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル等のプロピレングリコールモノアルキルエーテル;
ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル等のジエチレングリコールモノアルキルエーテル;
ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル等のジプロピレングリコールモノアルキルエーテル
等を挙げることができる。これらのアルコール系溶剤は、単独で又は2種以上併用して使用することができる。
成分[F]の含有量は、成分[A]100質量部に対して、好ましくは1〜1,200質量部、更に好ましくは10〜900質量部である。成分[F]の含有量を上記範囲内とすることによって、ガラス基板等に対する塗工性向上を可能にし、更に塗布ムラ(筋状ムラ、ピン跡ムラ、モヤムラ等)の発生を抑制し、膜厚均一性を更に向上できる。
本発明の感放射線性組成物は、必要に応じて種々の添加剤を含有することができる。
添加剤としては、例えば、トリフェニルスルホニウム塩、テトラヒドロチオフェニウム塩等の感放射線性酸発生剤;2−ニトロベンジルシクロヘキシルカルバメート、O−カルバモイルヒドロキシアミド等の感放射線性塩基発生剤;ノニオン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤及びシリコーン系界面活性剤等の界面活性剤;2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤を挙げることができる。
これら添加剤の含有量は、本発明の目的を損なわない範囲内で適宜選択することができる。
次に、本発明の感放射線性組成物を用いて、基板上に硬化膜を形成する方法について説明する。当該方法は、以下の工程(1)〜(4)を含むものである。
(1)本発明の感放射線性組成物を基板上に塗布して塗膜を形成する工程、
(2)工程(1)で形成した塗膜の少なくとも一部に放射線を照射する工程、
(3)工程(2)で放射線を照射された塗膜をアルカリ現像液で現像する工程、及び
(4)工程(3)で現像された塗膜を加熱する工程。
工程(1)においては、基板上に本発明の感放射線性組成物の溶液又は分散液を塗布した後、好ましくは塗布面を加熱(プレベーク)することにより溶剤を除去して、塗膜を形成する。使用できる基板の材質としては、例えば、ガラス、石英、シリコン、樹脂などを挙げることができる。樹脂の具体例としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルスルホン、ポリカーボネート、ポリイミド、環状オレフィンの開環重合体及びその水素添加物などを挙げることができる。
工程(2)においては、工程(1)で形成された塗膜の少なくとも一部に露光する。通常、塗膜の一部に露光する際には、所定のパターンを有するフォトマスクを介して露光する。露光に使用される放射線としては、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用できる。これらの放射線の中でも、波長が190〜450nmの範囲にある放射線が好ましく、特に365nmの紫外線を含む放射線が好ましい。
工程(3)においては、露光後の塗膜をアルカリ現像液で現像することにより、未露光部分を除去して、所定のパターンを形成する。このように、本発明の感放射線性組成物は、放射線の非照射部分が除去されるから、ネガ型の感放射線性組成物である。
アルカリ現像液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア等の無機アルカリ現像液、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド等の有機アルカリ現像液を挙げることができる。中でも、コスト、生産性の観点から、無機アルカリ現像液が好ましく、特に水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ金属水酸化物の現像液が好ましい。本発明の感放射線性組成物は、無機アルカリ現像液を用いた場合にも、パターン像を高い解像度で高精細に形成することが可能である。
工程(4)においては、現像してパターニングされた塗膜を、ホットプレート、オーブン等の加熱装置を用いて加熱することにより、所望のパターンを有する硬化膜を得ることができる。加熱温度は、例えば、120〜250℃である。加熱時間は、加熱機器の種類により異なるが、例えば、ホットプレート上で加熱工程を行う場合には5〜30分間、オーブン中で加熱工程を行う場合には30〜90分間とすることができる。2回以上の加熱工程を行うステップベーク法等を用いることも可能である。
このように形成された硬化膜の膜厚は、好ましくは0.1〜10μm、より好ましくは0.1〜6μm、更に好ましくは0.1〜4μmである。
装置:GPC−101(昭和電工社製)
カラム:GPC−KF−801、GPC−KF−802、GPC−KF−803及びGPC−KF−804(昭和電工社製)を連結したもの
移動相:テトラヒドロフラン
[合成例1]
撹拌機付の容器内に、プロピレングリコールモノメチルエーテル24質量部を仕込み、続いて、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(以下、「MPTMS」という)90質量部、3−トリメトキシシリルプロピルコハク酸(以下、「TMSPS」という、商品名:X−12−967C、信越化学社製)15質量部を仕込み、溶液温度が60℃になるまで加熱した。溶液温度が60℃に到達後、リン酸0.1質量部、イオン交換水19質量部を仕込み、75℃になるまで加熱し、2時間保持した。45℃に冷却後、脱水剤としてオルト蟻酸メチル28質量部を加え、1時間攪拌した。さらに溶液温度を40℃にし、温度を保ちながらエバポレーションすることで、イオン交換水及び加水分解縮合で発生したメタノールを除去した。以上により、ポリシロキサン(A−1)を得た。ポリシロキサン(A−1)は、固形分濃度が30質量%であり、重量平均分子量(Mw)が4000であり、分散度(Mw/Mn)が2.0であった。なお、本明細書において「固形分」とは、試料を175℃のホットプレートで1時間乾燥して揮発物質を除いた残分をいう。
MPTMS及びTMSPSに加えて、更にメチルトリメトキシシラン(以下、「MTMS」という)を、MTMS/MPTMS/TMSPS(モル比)=80/15/5の割合で用いたこと以外は、合成例1と同様の操作により、ポリシロキサン(A−2)を得た。ポリシロキサン(A−2)は、固形分濃度が29質量%であり、重量平均分子量(Mw)が5,000であり、分散度(Mw/Mn)が2.3であった。
MTMS、MPTMS及びTMSPSに加えて、更にテトラエトキシシラン(TEOS)を、MTMS/TEOS/MPTMS/TMSPSの割合(モル比)が50/30/15/5となるように用いたこと以外は、合成例2と同様の操作により、ポリシロキサン(A−3)を得た。ポリシロキサン(A−3)は、固形分濃度が30質量%であり、重量平均分子量(Mw)が5,000であり、分散度(Mw/Mn)が2.0であった。
MPTMSの代わりに3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン(以下、「APTMS」という)を使用し、MTMS/TEOS/APTMS/TMSPS(モル比)=50/30/15/5の割合としたこと以外は、合成例3と同様の操作により、ポリシロキサン(A−4)を得た。ポリシロキサン(A−4)は、固形分濃度が30質量%であり、重量平均分子量(Mw)が5,000であり、分散度(Mw/Mn)が2.3であった。
MTMS、TEOS、MPTMS及びTMSPSに加えて、更にAPTMSを、MTMS/TEOS/MPTMS/APTMS/TMSPSの割合(モル比)を50/30/5/10/5の割合で用いたこと以外は、合成例3と同様の操作により、ポリシロキサン(A−5)を得た。ポリシロキサン(A−5)は、固形分濃度が30質量%であり、重量平均分子量(Mw)が3,400であり、分散度(Mw/Mn)が2.3であった。
MPTMSを使用せずに、MTMS/TEOS/TMSPSの割合(モル比)を60/30/10の割合で用いたこと以外は、合成例3と同様の操作により、ポリシロキサン(A−6)を得た。ポリシロキサン(A−6)は、固形分濃度が28質量%であり、重量平均分子量(Mw)が5,000であり、分散度(Mw/Mn)が2.0であった。
TMSPSを使用せず、かつTEOSの代わりにフェニルトリメトキシシラン(以下、「PTMS」という)を使用し、MTMS/PTMS(モル比)=70/30の割合としたこと以外は、合成例6と同様の操作により、ポリシロキサン(a−1)を得た。ポリシロキサン(a−1)は、固形分濃度が29質量%であり、重量平均分子量(Mw)が6,000であり、分散度(Mw/Mn)が2.0であった。
500mLの三つ口フラスコにMTMS27.2g及び3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン(MEPTMS)39.2gをとり、これにプロピレングリコールメチルエーテル100gを加えて溶解させ、得られた混合溶液をマグネチックスターラにより撹拌しながら60℃に加温した。MTMS/MEPTMS(モル比)=50/50であった。これに、1質量%のシュウ酸を含むイオン交換水8.6gを1時間かけて連続的に添加した。そして、60℃で4時間反応させた後、得られた反応液を室温まで冷却した。その後、反応副生成物であるアルコール分を反応液から減圧留去した。以上により、ポリシロキサン(a−2)を得た。ポリシロキサン(a−2)は、固形分濃度が45質量%であり、重量平均分子量(Mw)が1,900であり、分散度(Mw/Mn)が2.3であった。
[合成例7]
冷却管及び撹拌機を備えたフラスコに、2,2'−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)5質量部及びジエチレングリコールメチルエチルエーテル220質量部を仕込んだ。引き続きスチレン(以下、「ST」という)18質量部、メタクリル酸(以下、「MA」という)20質量部、N−シクロヘキシルマレイミド(以下、「CHMI」という)22質量部及びメタクリル酸グリシジル(以下、「GMA」という)40質量部を仕込み、窒素置換し、緩やかに攪拌しつつ、溶液の温度を70℃に上昇し、この温度を5時間保持して重合することにより、共重合体(B−1)を含有する溶液を得た。得られた共重合体溶液の固形分濃度は31%であり、共重合体(B−1)の重量平均分子量(Mw')は12,500であり、分散度(Mw'/Mn')が2.5であった。
CHMIの代わりにジシクロペンタニルメタクリレート(以下、「DCM」という)及びp−ヒドロキシメタクリルアニリド(以下、「HMAd」という)を使用し、ST/GMA/MA/DCM/HMAd(質量比)=20/14/5/21/40の割合としたこと以外は、合成例7と同様の操作により、共重合体(B−2)を得た。共重合体(B−2)は、固形分濃度が32質量%であり、重量平均分子量(Mw')が13,000であり、分散度(Mw'/Mn')が2.0であった。
ST及びCHMIの代わりに3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(MPTMS)を使用し、MA/GMA/MPTMS(質量比)=5/65/30の割合としたこと以外は、合成例7と同様の操作により、共重合体(B−3)を得た。共重合体(B−3)は、固形分濃度が31.5質量%であり、重量平均分子量(Mw')が12,000であり、分散度(Mw'/Mn')が2.3であった。
CHMIの代わりにMPTMSを使用し、ST/GMA/MA/MPTMS(質量比)=10/55/5/30の割合としたこと以外は、合成例7と同様の操作により、共重合体(B−4)を得た。共重合体(B−4)は、固形分濃度が31.3質量%であり、重量平均分子量(Mw')が11,500であり、分散度(Mw'/Mn')が2.3であった。
ST、CHMI、GMA及びMAに加えて、更にMPTMSを使用し、ST/GMA/MA/CHMI/MPTMS(質量比)=10/45/5/10/30の割合としたこと以外は、合成例7と同様の操作により、共重合体(B−5)を得た。共重合体(B−5)は、固形分濃度が31.7質量%であり、重量平均分子量(Mw')が12,000であり、分散度(Mw'/Mn')が2.0であった。
冷却管と撹拌機を備えたフラスコに、2,2'−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)4.0質量部及びジエチレングリコールメチルエチルエーテル245質量部を仕込み、引き続いてMA18質量部、GMA38質量部、ST5質量部及びDMC34質量部を仕込み、窒素置換したのち、緩やかに攪拌しつつ、1,3−ブタジエン(以下、「BD」という)を5質量部添加し、得られた溶液の温度を70℃に上昇させ、この温度を4時間保持して重合させて、共重合体(B−6)を得た。共重合体(B−6)は、固形分濃度が29.3質量%であり、重量平均分子量(Mw')が20,000であり、分散度(Mw'/Mn')が2.0であった。
CHMI及びGMAの代わりにベンジルメタクリレート(BzMA)を使用し、ST/MA/BzMA(質量比)=20/20/60の割合としたこと以外は、合成例7と同様の操作により、共重合体(b−1)を得た。共重合体(b−1)は、固形分濃度が32質量%であり、重量平均分子量(Mw')が13,500であり、分散度(Mw'/Mn')が2.5であった。
[実施例1]
成分[A]として、合成例1で得られたポリシロキサン(A−1)を含む溶液(固形分換算で100質量部)と、成分[B]として、合成例7で得られた共重合体(B−1)を含む溶液(固形分換算で50質量部)と、成分[C]として、(C−1)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物(モル比50/50)20質量部と、成分[D]として、(D−1)エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)3質量部とを混合し、固形分濃度が25質量%となるようにプロピレングリコールモノメチルエーテル及びエチレングリコールモノブチルエーテルの混合溶剤(混合質量比80/20)を添加して感放射線性組成物を調製した。
また、加熱後の膜厚が3.0μmになるように塗膜形成時のスピンナーの回転数を調節し、20μm、30μm、40μm、50μmのサイズのコンタクトホールパターンを有するフォトマスクを介して、露光ギャップ(基板とフォトマスクの間隔)を150μmで露光した以外は、上記の保護膜形成と同様にして、層間絶縁膜を形成した。
得られた保護膜、層間絶縁膜について、下記の物性評価を行った。その結果を表1に併せて示す。
1)保護膜の耐熱透明性
上記のように形成した保護膜を有する基板について、クリーンオーブン中にて250℃で1時間加熱し、加熱前後の波長400nmにおける光線透過率(%)を、分光光度計(日立製作所社製の150−20型ダブルビーム)を用いて測定した後、下記式にしたがって耐熱透明性(%)を算出した。この値が4%以下のとき、保護膜の耐熱透明性は良好であると判断した。
上記のように形成した保護膜を有する基板について、「JIS K−5400−1990の8.4.1鉛筆引っかき試験」により保護膜の鉛筆硬度(表面硬度)を測定した。この値が4H又はそれより大きいとき、保護膜の表面硬度は良好であると判断した。
上記のように形成した保護膜を有する基板について、学振型磨耗試験機を用い、スチールウール#0000の上に200gの荷重をかけて10往復させた。擦傷の状況を肉眼で以下の判定基準で評価した。評点が◎又は○であるとき、良好な耐擦傷性を有すると判断した。評点が◎又は○であるとき、耐擦傷性は良好であると判断した。
◎:全く傷がつかない、
○:1〜3本の傷がつく、
△:4〜10本の傷がつく、
×:10本以上の傷がつく
上記のように形成した保護膜を有する基板について、300℃で30分追加焼成を行い、その後23℃で24時間放置し、その保護膜表面にクラックが発生しているか否かを以下の判定基準により、レーザー顕微鏡(キーエンス社製、VK−8500)を用いて確認した。評点が◎又は○であるとき、耐熱クラックは良好であると判断した。
判定基準
◎:全くクラックがない、
○:1〜3個のクラックがある、
△:4〜10個のクラックがある、
×:10個以上のクラックがある
SiO2ディップガラス基板に換えてITO付基板を用いた以外は、上記と同様の操作により保護膜を形成し、プレッシャークッカー試験(120℃、湿度100%、4時間)を行った。その後、「JIS K−5400−1990の8.5.3付着性碁盤目テープ法」を行い、碁盤目100個中で残った碁盤目の数を求め、保護膜のITO密着性を評価した。碁盤目100個中で残った碁盤目の数が80個以下の場合に、ITO密着性は不良と判断した。
上記と同様の操作により形成した塗膜に対し、露光機(TME-400PRJ、トプコン社製)を用い、10μm/30μmのライン・アンド・スペースのパターンを有するマスクを介して露光量を変化させて露光を行った後、0.04質量%のKOH水溶液にて25℃、60秒間、浸漬法で現像した。次いで、超純水で1分間流水洗浄を行い、乾燥させてガラス基板上にパターンを形成した。このとき、10μm/30μmのライン・アンド・スペースのパターンが剥離せず残るのに必要な最小露光量を測定した。この最小露光量を放射線感度として評価した。最小露光量が100mJ/cm2以下のとき、感度は良好であると判断した。なお、パターンが形成できない場合を×とした。
上記の層間絶縁膜の形成において、解像可能であったコンタクトホールパターンサイズを測定した。20μm以下のコンタクトホールパターンを解像できれば、解像性は良好であると判断した。なお、パターンが形成できない場合を×とした。
上記のように形成した保護膜を有する基板について、3.0μmの塗布膜を形成し、0.04質量%のKOH水溶液にて25℃、60秒間、浸漬法で現像した。その後水洗し、基板上に残る膜残渣の有無を光学顕微鏡で観察し、以下の判定基準で評価した。なお、膜残渣が確認されなかった場合、KOH現像性は良好であると判断し、一方基板全面に膜残渣が確認された場合、KOH現像性はなく、不良と判断できる。
○:膜残渣が確認されない
△:やや膜残渣が確認される
×:基板全面に膜残渣が確認される
各配合成分の種類及び配合量(質量部)を表1に記載の通りとした他は、実施例1と同様にして感放射線性組成物を調製した。次いで、得られた感放射線性組成物を用いて、実施例1と同様にして保護膜及び層間絶縁膜を形成した。得られた保護膜及び層間絶縁膜について、実施例1と同様の物性評価を行った。その結果を表1に併せて示す。
A−1:MPTMS/TMSPS=85/15 (mol%)
A−2:MTMS/MPTMS/TMSPS=80/15/5 (mol%)
A−3:MTMS/TEOS/MPTMS/TMSPS=50/30/15/5 (mol%)
A−4:MTMS/TEOS/APTMS/TMSPS=50/30/15/5 (mol%)
A−5:MTMS/TEOS/MPTMS/APTMS/TMSPS=50/30/5/10/5 (mol%)
A−6:MTMS/TEOS/TMSPS=60/30/10 (mol%)
a−1:MTMS/PTMS=70/30 (mol%)
a−2:MTMS/MEPTMS=50/50 (mol%)
B−1:ST/GMA/MA/CHMI=18/40/20/22 (wt%)
B−2:ST/GMA/MA/DCM/HMAd=20/14/5/21/40 (wt%)
B−3:MA/GMA/MPTMS=5/65/30 (wt%)
B−4:ST/GMA/MA/MPTMS=10/55/5/30 (wt%)
B−5:ST/GMA/MA/CHMI/MPTMS=10/45/5/10/30 (wt%)
B−6:ST/GMA/MA/DCM/BD=5/38/18/34/5 (wt%)
b−1:ST/MA/BzMA=20/20/60 (wt%)
C−1:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物(モル比50/50) (商品名:DPHA、日本化薬社製)
C−2:ペンタエリスリトールトリアクリレート (新中村化学工業社製)
C−3:コハク酸変性ジペンタエリスリトールペンタアクリレート (商品名:アロニックス M-520、東亜合成社製)
C−4:トリス(アクリロキシエチル)イソシアヌレート (商品名:アロニックス M-315、東亜合成社製)
C−5:多官能ウレタンアクリレート系化合物を含有する市販品 (商品名:KAYRA D DPHA-40H、日本化薬社製)
D−1:エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム) (商品名:IRGACURE OX02、BASF社製)
D−2:ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド (商品名:IRGACURE 819、BASF社製)
D−3:1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)] (商品名:IRGACURE OXE01、BASF社製)
D−4:2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン (商品名:IRGACURE 907、BASF社製)
D−5:2,2'−ビス(2−クロロフェニル)−4,4',5,5'−テトラフェニル−1,2'−ビイミダゾール
D−6:4,4'−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
D−7:2−メルカプトベンゾチアゾール
E−1:ポリメタクリル酸メチル系微粒子 (商品名:MP-300、綜研化学社製)
E−2:オルガノシリカゾル (商品名:IPA-ST、日産化学工業社製)
E−3:ZrO2ゾル (商品名:ID191、テイカ社製)
E−4:TiO2ゾル (商品名:TS-103、テイカ社製)
Claims (14)
- 次の成分[A1]、[B]、[C]及び[D];
[A1]下記式(1)で表される加水分解性シラン化合物又はその部分加水分解物と、下記式(2)で表される加水分解性シラン化合物又はその部分加水分解物とを加水分解縮合させて得られるポリシロキサン
[B](B1)カルボキシル基を有する構造単位及び(B2)エポキシ基を有する構造単位を含む共重合体、
[C]エチレン性不飽和基を2個以上有する化合物(但し、成分[A1]を除く)
[D]光ラジカル重合開始剤
を含有する感放射線性組成物。
R1は、炭素数1〜6のアルキル基を示し、
R2は、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜14のアリール基又は(メタ)アクリロイルオキシ基を示し、
mは、0〜3の整数を示し、
nは、0〜6の整数を示す。
式(2)中、
R3は、炭素数1〜6のアルキル基を示し、
xは、1〜3の整数を示し、
yは、1〜6の整数を示し、
zは、0〜3の整数を示す。〕 - 前記式(2)で表される加水分解性シラン化合物又はその部分加水分解物の仕込み割合が原料化合物の合計に対して15モル%以下である、請求項1記載の感放射線性組成物。
- 前記式(1)で表される加水分解性シラン化合物として、テトラアルコキシシランを含有する、請求項1又は2記載の感放射線性組成物。
- 前記成分[B]の含有量が前記成分[A1]100質量部に対して1〜45質量部である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の感放射線性組成物。
- 次の成分[A2]、[B]、[C]及び[D];
[A2]下記式(1a)で表わされる構造単位及び下記式(2a)で表わされる構造単位を含むポリシロキサン
[B](B1)カルボキシル基を有する構造単位及び(B2)エポキシ基を有する構造単位を含む共重合体、
[C]エチレン性不飽和基を2個以上有する化合物(但し、成分[A2]を除く)
[D]光ラジカル重合開始剤
を含有する感放射線性組成物。
R2は、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜14のアリール基又は(メタ)アクリロイルオキシ基を示し、
mは、0〜3の整数を示し、
nは、0〜6の整数を示す。
式(2a)中、
R4は、水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基を示し、
xは、1〜3の整数を示し、
yは、1〜6の整数を示し、
zは、0〜3の整数を示す。〕 - 前記下記式(2a)で表わされる構造単位の含有割合が全構造単位中に15モル%以下である、請求項5記載の感放射線性組成物。
- 前記式(1a)で表わされる単位として、SiO2単位を含有する、請求項5又は6記載の感放射線性組成物。
- 前記成分[B]の含有量が前記成分[A2]100質量部に対して1〜45質量部である、請求項5〜7のいずれか1項に記載の感放射線性組成物。
- 前記成分[B]が(メタ)アクリロイルオキシプロピルトリアルコキシシラン由来の構造単位を更に含有する、請求項1〜8のいずれか1項に記載の感放射線性組成物。
- 更に、成分[E]として、有機粒子及び無機粒子よりなる群から選択される少なくとも1種を含有する、請求項1〜9のいずれか1項に記載の感放射線性組成物。
- タッチパネルの保護膜又は表示素子の層間絶縁膜の形成に用いられる、請求項1〜10のいずれか1項に記載の感放射線性組成物。
- 請求項1〜11のいずれか1項に記載の感放射線性組成物を用いて形成される硬化膜。
- 次の工程(1)〜(4);
(1)請求項1〜11のいずれか一項に記載の感放射線性組成物を基板上に塗布して塗膜を形成する工程、
(2)工程(1)で形成した塗膜の少なくとも一部に放射線を照射する工程、
(3)工程(2)で放射線を照射された塗膜をアルカリ現像液で現像する工程、及び
(4)工程(3)で現像された塗膜を加熱する工程
を含む、硬化膜の形成方法。 - アルカリ現像液として無機アルカリ現像液を用いる、請求項13記載の形成方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012035073A JP5729329B2 (ja) | 2011-03-31 | 2012-02-21 | 感放射線性組成物、並びに硬化膜及びその形成方法 |
TW101109869A TWI483070B (zh) | 2011-03-22 | 2012-03-22 | 感放射線性組成物以及硬化膜及其形成方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011078747 | 2011-03-31 | ||
JP2011078747 | 2011-03-31 | ||
JP2012035073A JP5729329B2 (ja) | 2011-03-31 | 2012-02-21 | 感放射線性組成物、並びに硬化膜及びその形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012215837A JP2012215837A (ja) | 2012-11-08 |
JP5729329B2 true JP5729329B2 (ja) | 2015-06-03 |
Family
ID=47268614
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012035073A Active JP5729329B2 (ja) | 2011-03-22 | 2012-02-21 | 感放射線性組成物、並びに硬化膜及びその形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5729329B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI470352B (zh) * | 2011-08-31 | 2015-01-21 | Asahi Kasei E Materials Corp | A photosensitive alkali-soluble polysiloxane resin composition |
JP2013200577A (ja) * | 2011-12-05 | 2013-10-03 | Hitachi Chemical Co Ltd | 樹脂硬化膜パターンの形成方法、感光性樹脂組成物、感光性エレメント、タッチパネルの製造方法及び樹脂硬化膜 |
WO2013084282A1 (ja) | 2011-12-05 | 2013-06-13 | 日立化成株式会社 | 樹脂硬化膜パターンの形成方法、感光性樹脂組成物及び感光性エレメント |
WO2013084283A1 (ja) | 2011-12-05 | 2013-06-13 | 日立化成株式会社 | タッチパネル用電極の保護膜の形成方法、感光性樹脂組成物及び感光性エレメント |
US9651865B2 (en) | 2013-02-14 | 2017-05-16 | Toray Industries, Inc. | Negative-type photosensitive coloring composition, cured film, light-shielding pattern for touch panel, and touch panel manufacturing method |
JP6048670B2 (ja) * | 2013-03-27 | 2016-12-21 | Jsr株式会社 | 感放射線性樹脂組成物 |
KR102326631B1 (ko) * | 2013-05-30 | 2021-11-15 | 산요가세이고교 가부시키가이샤 | 감광성 수지 조성물, 포토스페이서, 컬러 필터용 보호막, 및, 터치 패널의 보호막 혹은 절연막 |
JP6466087B2 (ja) * | 2013-06-14 | 2019-02-06 | アーゼッド・エレクトロニック・マテリアルズ(ルクセンブルグ)ソシエテ・ア・レスポンサビリテ・リミテ | 低温硬化可能なネガ型感光性組成物 |
JP6158765B2 (ja) * | 2013-09-02 | 2017-07-05 | 富士フイルム株式会社 | 感放射線性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法、ならびに、固体撮像素子 |
JP6250350B2 (ja) * | 2013-09-30 | 2017-12-20 | 大日本印刷株式会社 | 樹脂組成物、それを用いたタッチパネル用透明膜およびタッチパネル |
KR102300782B1 (ko) * | 2014-01-24 | 2021-09-13 | 도레이 카부시키가이샤 | 네거티브형 감광성 수지 조성물, 그것을 경화시켜서 이루어지는 경화막과 그 제조 방법 및 그것을 구비하는 광학 디바이스, 그리고 이면 조사형 cmos 이미지 센서 |
JP6221862B2 (ja) * | 2014-03-14 | 2017-11-01 | Jsr株式会社 | 感放射線性組成物、表示素子用スペーサーまたは層間絶縁膜及びそれらの形成方法 |
JP7247736B2 (ja) * | 2019-05-07 | 2023-03-29 | Jsr株式会社 | 感放射線性組成物、表示装置用絶縁膜、表示装置、表示装置用絶縁膜の形成方法、及びシルセスキオキサン |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008007640A (ja) * | 2006-06-29 | 2008-01-17 | Mitsubishi Chemicals Corp | シロキサン樹脂、熱硬化性組成物、硬化物、tftアクティブマトリックス基板、カラーフィルタ基板及び液晶表示装置 |
JP4911304B2 (ja) * | 2007-03-20 | 2012-04-04 | Jsr株式会社 | 感放射線性樹脂組成物および液晶表示素子用スペーサー |
JP4392464B2 (ja) * | 2008-01-15 | 2010-01-06 | 積水化学工業株式会社 | レジスト材料及び積層体 |
JP2010039051A (ja) * | 2008-08-01 | 2010-02-18 | Sekisui Chem Co Ltd | 感光性組成物及びパターン膜の製造方法 |
JP2010039056A (ja) * | 2008-08-01 | 2010-02-18 | Sekisui Chem Co Ltd | 感光性組成物及びパターン膜の製造方法 |
CN102439069B (zh) * | 2009-07-23 | 2014-11-05 | 道康宁公司 | 用于反向图案化的方法和材料 |
TWI432895B (zh) * | 2010-12-01 | 2014-04-01 | Chi Mei Corp | 感光性聚矽氧烷組成物及其所形成之基材保護膜 |
-
2012
- 2012-02-21 JP JP2012035073A patent/JP5729329B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012215837A (ja) | 2012-11-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5729329B2 (ja) | 感放射線性組成物、並びに硬化膜及びその形成方法 | |
JP5423004B2 (ja) | ネガ型感光性樹脂組成物およびそれを用いたタッチパネル用材料 | |
WO2012127964A1 (ja) | 感放射線性組成物、並びに硬化膜及びその形成方法 | |
JP5636869B2 (ja) | 感放射線性組成物、硬化膜、及びそれらの形成方法 | |
JP5504689B2 (ja) | ネガ型感光性樹脂組成物およびそれを用いたタッチパネル用材料 | |
TWI467247B (zh) | A method for forming a hardening resin composition, a protective film and a protective film | |
JP6538284B2 (ja) | 感光性シロキサン組成物 | |
JP6048670B2 (ja) | 感放射線性樹脂組成物 | |
TWI409284B (zh) | A thermosetting resin composition, a protective film for a color filter, and a method for forming the same | |
JP5561189B2 (ja) | 感放射線性組成物、硬化膜及びその形成方法 | |
TW201624121A (zh) | 感光性聚矽氧烷組成物、保護膜以及具有保護膜的元件 | |
JP2019511737A (ja) | 低温硬化可能なネガ型感光性組成物 | |
JP2012082393A (ja) | ポリシロキサン組成物、並びにその硬化膜及びその形成方法 | |
JP2006045316A (ja) | シルセスキオキサン含有化合物及びその製造方法 | |
JP2015018226A (ja) | 低温硬化可能なネガ型感光性組成物 | |
KR101273993B1 (ko) | 폴리실록산 조성물과 그의 제조 방법 및, 경화막과 그의 형성 방법 | |
KR102374190B1 (ko) | 저온 경화 가능한 네거티브형 감광성 조성물 | |
JP6986830B2 (ja) | 感放射線性樹脂組成物、パターン、パターン形成方法及び表示素子 | |
JP5720604B2 (ja) | 感放射線性組成物、並びに硬化膜及びその形成方法 | |
JP2009003366A (ja) | マイクロレンズ形成に用いられる感放射線性樹脂組成物 | |
JP2019053266A (ja) | 感光性樹脂組成物、硬化膜及びその製造方法 | |
JP2009203344A (ja) | 熱硬化性樹脂組成物、カラーフィルタの保護膜の製造方法およびカラーフィルタの保護膜 | |
JP6911751B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、硬化膜及びその製造方法 | |
JP2022163418A (ja) | 感放射線性組成物、硬化膜及びその製造方法、半導体素子並びに表示素子 | |
JP2020100819A (ja) | 樹脂組成物、硬化膜およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140703 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150225 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150310 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150323 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5729329 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |