JP5723730B2 - エミッタ、ガス電界電離イオン源、およびイオンビーム装置 - Google Patents
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Description
最初に、図1を用いて、本実施形態によるエミッタの先端部の構成について説明する。
図1は、本発明の一実施形態によるエミッタの先端部の構成図である。
以上、本発明を適用して好適な実施の形態例について説明してきたが、エミッタ先端の頂点部分を三角錐とする方法は、前述した実施の形態に記載の方法に限られるものでは無い。例えば、超高真空中で、タングステンの単結晶の先端に正電界を印加しながらアニールすることでも形成できる。この場合も、熱的な変化を収束させたエミッタ先端の形状では、先端を上面(当該先端側)から見た形状が略六角形となる。また、エミッタ基部の単結晶金属の結晶方位を適当に選ぶことにより、先端の頂点部分を四角錐とできる可能性もある。この場合に、熱的な変化を収束させたエミッタ先端は、先端を上面から見た形状が略八角形となることが容易に類推される。
2 引出電極
3 ガス放出口部分
4 引出電圧印加部
5 イオンビーム
6 試料
7 二次電子
10 真空容器
20 冷却ヘッド
100 ガス電界電離イオン源
101 試料ステージ
102−1、102−2 静電レンズ
102−3 ビーム制限絞り
102−4 アライナー
103−1、103−2 偏向器
104 二次電子検出器
105 レンズ系制御器
106 偏向系制御器
110 表示器
200 イオンビーム装置
300 イオン光学系
Claims (14)
- イオンビーム装置のイオン源に用いられるエミッタであって、
前記エミッタは単結晶金属の基部と、針状の先端部を有し、
前記先端部の頂点部分の形状は三角錐であり、
前記先端部を横から見たときの稜線を前記頂点部分と逆方向からたどったときに傾きが変わる部分における前記エミッタの断面形状が略六角形であることを特徴とするエミッタ。 - 請求項1に記載のエミッタであって、
前記先端部の構造が破壊された場合には、アニールを含む再生処理によって、前記先端部を再生可能であることを特徴とするエミッタ。 - 単結晶金属の基部と、針状の先端部を有するエミッタと、
前記エミッタの先端方向から離間した位置に開口を有する引出電極と、
前記エミッタの先端近傍にガスを供給するガス供給配管と、
前記エミッタと該引出電極との間に引出電圧を印加して該ガスをイオン化する電界を形成する引出電圧印加部と、
を有し、
前記エミッタの先端部の頂点部分の形状は三角錐であり、前記先端部を横から見たときの稜線を前記頂点部分と逆方向からたどったときに傾きが変わる部分における前記エミッタの断面形状が略六角形であることを特徴とするガス電界電離イオン源。 - 請求項3に記載のガス電界電離イオン源において、
前記先端部の構造が破壊された場合には、アニールを含む再生処理によって、前記先端部を再生可能であることを特徴とするガス電界電離イオン源。 - 請求項3に記載のガス電界電離イオン源において、
前記先端部の構造が破壊された場合には、前記エミッタの先端部の頂点部分の形状をアニールを含む再生処理によって再生可能であって、
前記エミッタからイオン放出させるために必要な引出電圧の前記再生処理による累積変動が1%以下であることを特徴とする、ガス電界電離イオン源。 - イオンを放出するガス電界電離イオン源と、
前記ガス電界電離イオン源から放出されるイオンを加速して試料に照射するイオン光学系と、
前記試料から前記イオンの照射によって放出される2次粒子を検出する2次粒子検出器と、
前記2次粒子検出器からの検出信号を前記試料上における前記イオンの照射位置と対応させて2次粒子画像を生成する画像生成部と、
前記2次粒子画像を表示する表示部とを有するイオンビーム装置であって、
前記ガス電界電離イオン源は、
単結晶金属の基部と針状の先端部を有するエミッタと、
前記エミッタの先端方向から離間した位置に開口を有する引出電極と、
前記エミッタの先端と前記引出電極との間の空間にガスを供給するガス供給配管と、
前記エミッタと前記引出電極との間に電圧を印加する引出電圧印加部とを有し、
前記エミッタの先端部の頂点部分の形状は三角錐であり、前記先端部を横から見たときの稜線を前記頂点部分と逆方向からたどったときに傾きが変わる部分における前記エミッタの断面形状が略六角形であることを特徴とするイオンビーム装置。 - 請求項6に記載のイオンビーム装置であって、
前記エミッタは、前記先端部の構造が破壊された場合には、アニールを含む再生処理によって、前記先端部を再生可能であることを特徴とするイオンビーム装置。 - イオンを放出するエミッタと前記エミッタの先端方向から離間した位置に開口を有する引出電極とを有するガス電界電離イオン源と、
前記ガス電界電離イオン源から放出されるイオンを加速して試料上に照射するイオン光学系と、
前記試料から前記イオンの照射によって放出される2次粒子を検出する2次粒子検出器と、
前記2次粒子検出器からの検出信号を前記イオンの前記試料上における照射位置と対応させて2次粒子画像を生成する画像生成部と、
前記2次粒子画像を表示する表示部とを有するイオンビーム装置であって、
前記ガス電界電離イオン源のエミッタの先端部の構造が破壊された場合には、アニールを含む再生処理によって、当該先端部を再生するエミッタ再生手段と、
前記エミッタと前記引出電極との間に印加される電圧の変動の累積量と前記イオン光学系の加速電圧との比率を予め定められた基準値と比較することで、前記イオン光学系の軸調整が必要か否かを判断する制御部とを有することを特徴とするイオンビーム装置。 - 請求項1に記載のエミッタであって、
前記断面形状は、前記先端部を前記頂点部分側からSEMで見たときの形状であることを特徴とするエミッタ。 - 請求項3に記載のガス電界電離イオン源であって、
前記断面形状は、前記先端部を前記頂点部分側からSEMで見たときの形状であることを特徴とするガス電界電離イオン源。 - 請求項6に記載のイオンビーム装置であって、
前記断面形状は、前記先端部を前記頂点部分側からSEMで見たときの形状であることを特徴とするイオンビーム装置。 - 請求項1に記載のエミッタであって、
前記断面形状は、前記三角錐の頂点部分より前記基部側であって、前記三角錐の頂点部分より約1μmの範囲内の断面形状であることを特徴とするエミッタ。 - 請求項3に記載のガス電界電離イオン源であって、
前記断面形状は、前記三角錐の頂点部分より前記基部側であって、前記三角錐の頂点部分より約1μmの範囲内の断面形状であることを特徴とするガス電界電離イオン源。 - 請求項6に記載のイオンビーム装置であって、
前記断面形状は、前記三角錐の頂点部分より前記基部側であって、前記三角錐の頂点部分より約1μmの範囲内の断面形状であることを特徴とするイオンビーム装置。
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