JP5710152B2 - 多層フレキシブルプリント配線板の製造方法 - Google Patents
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Description
(9)次に、図2(2)に示すように、コンフォーマルマスク19の側(図2(2)中上側)からレーザ光を照射し、コンフォーマルマスク19及び20を用いてコンフォーマルレーザ加工を行う。これにより、上穴26と下穴27とを有するステップビアホール(導通用孔)25を形成する。上穴26は可撓性絶縁ベース材11を貫通し、底面に電解銅めっき層17が露出している。下穴27は、上穴26と連通しており、接着剤層24と可撓性絶縁ベース材21を貫通している。また、下穴27は上穴26よりも径が小さく、下穴27の底面には銅箔22が露出している。前述のように、本工程のレーザ加工を行う際に、コンフォーマルマスク19は上穴26を形成するためのマスクとして働き、コンフォーマルマスク20は下穴27を形成するためのマスクとして働く。なお、ステップビアホール25を形成するレーザ加工において、UV−YAGレーザ、炭酸レーザ、エキシマレーザ等のレーザ光を用いることが可能である。
12,13,22 銅箔
14 両面銅張積層板
15A,15B めっきレジスト層
16,17,28 電解銅めっき層
17a,55 配線
17b,30,31,52,53,54 ランド部
18 両面回路基材
19,20 コンフォーマルマスク
23 片面銅張積層板
24 接着材層
25,101,102,103,104 ステップビアホール
26,101a,102a,103a,104a 上穴
27,101b,102b,103b,104b 下穴
29,51A,51B,51C,51D ステップビア
29a,51a 上部層間導電路
29b,51b 下部層間導電路
32 多層フレキシブルプリント配線板
41,41A,41B 部品搭載領域
42A,42B 配線領域
43A,43B コネクタ部
44 部品
45 バンプ
56 ボイド
61 (ロール状の)両面銅張積層板
62 巻き出しロール
63 巻き取りロール
64 シート領域
65 製品(多層フレキシブルプリント配線板)
66 露光エリア
Claims (3)
- 第1の可撓性絶縁ベース材と、その表面及び裏面にそれぞれ第1の銅箔及び第2の銅箔とを有し、巻き出しロールに巻かれたロール状の両面銅張積層板を準備し、
前記ロール状の両面銅張積層板の一端を、前記巻き出しロールからロール方向に引き出し、前記第1の銅箔上のシート領域に、第1のパターンを有する第1のめっきレジスト層を形成し、
巻き取りロールに巻き取られた前記ロール状の両面銅張積層板をひっくり返した後、前記ロール状の両面銅張積層板の他端を引き出し、前記第2の銅箔上の前記シート領域に、第2のパターンを有する第2のめっきレジスト層を形成し、
前記第1及び第2のめっきレジスト層が形成された前記両面銅張積層板の両面に対して電解銅めっきを行うことにより、前記第1及び第2のめっきレジスト層の開口部に露出した前記第1及び第2の銅箔上に、電解銅めっき層を形成し、
前記第1及び第2のめっきレジスト層を剥離した後、前記電解銅めっき層で被覆されていない前記第1及び第2の銅箔を除去し、それにより、前記第1の可撓性絶縁ベース材の表面及び裏面にそれぞれ、上穴用開口部を有する第1の導電パターン層と、下穴用開口部を有する第2の導電パターン層とを形成し、前記ロール方向に対する、前記上穴用開口部の径と前記下穴用開口部の径の差である第1の差が、前記ロール方向と垂直な方向に対する、前記上穴用開口部の径と前記下穴用開口部の径の差である第2の差よりも大きく、
第2の可撓性絶縁ベース材と、その片面に第3の銅箔とを有する片面銅張積層板を準備し、
前記片面銅張積層板を、接着材層を介して、前記両面銅張積層板の裏面に積層接着し、前記上穴用開口部の側からレーザ光を照射し、前記上穴用開口部及び前記下穴用開口部をコンフォーマルマスクとしたレーザ加工を行うことにより、前記第1の可撓性絶縁ベース材を厚さ方向に貫通する上穴と、前記上穴と連通し、前記接着剤層及び前記第2の可撓性絶縁ベース材を厚さ方向に貫通し、底面に前記第3の銅箔が露出した下穴と、を有するステップビアホールを形成し、
前記ステップビアホールの内壁に電解銅めっき処理を施すことにより、前記第1の導電パターン層、前記第2の導電パターン層及び前記第3の銅箔を電気的に接続するステップビアを形成する、
ことを特徴とする多層フレキシブルプリント配線板の製造方法。 - 前記第1の導電パターン層の前記上穴用開口部は、前記ロール方向と平行な方向に長軸を有する長円形又は楕円形であり、前記第2の導電パターン層の前記下穴用開口部は、正円形、又は前記ロール方向と平行な方向に長軸と有する長円形若しくは楕円形であることを特徴とする請求項1に記載の多層フレキシブルプリント配線板の製造方法。
- 前記第1の差は前記第2の差の3倍乃至9倍の範囲にあることを特徴とする請求項1又は2に記載の多層フレキシブルプリント配線板の製造方法。
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