JP5695917B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
102,202,502,701,702,801,802,1102,1201 一次電子線
103 コンデンサレンズ
104 反射板
105 偏向(走査)コイル
106 対物レンズ
107,204,504,703,803,1104,1202 試料
108,205,505 二次電子
109,1103 二次電子検出器
110,207,507 リターディング電源
111 試料ステージ
112,206,506 加速電源
113,203,503,1101 一次電子加速電極
114 高電圧制御部
115 電源
116 イメージシフト制御部
117 スキャン制御部
118 ステージ制御部
119 位置制御部
120 リターディング電圧制御部
121 増幅器
122 演算部
123 画像メモリ
124 演算装置
125 表示装置
126,1204 電流計
127 電流計制御部
128 制御装置
208,509 一次電子照射範囲
209,510,704,804,805,1105,1203,1301 ローカル帯電
210,512 帯電領域における正電荷と一次電子の中和
211,511 ランディングエネルギーを持たない電子
401 試料(ウェーハ)面内
508 グローバル帯電
1302 除電面積
1303 帯電電位測定位置(ローカル帯電中心)
1901 試料中のホールパターン
Claims (14)
- 荷電粒子源と、
荷電粒子を検出する荷電粒子検出器と、
加速電極に荷電粒子線を加速させる加速電圧を印加する電源と、
試料を搭載する試料ステージと、
前記試料ステージに前記荷電粒子線を減速させるリターディング電圧を印加する電源と、
前記加速電圧または/及び前記リターディング電圧を制御する制御コンピュータと、を備えた荷電粒子線装置において、
当該制御コンピュータは、
前記リターディング電圧の値が前記加速電圧の値よりも小さい条件において試料上に形成されたパターンを測定するための荷電粒子線照射を実行し、
当該測定のための荷電粒子線照射後、
前記リターディング電圧の調整に基づいて、前記リターディング電圧の値と前記加速電圧の値の差を前記測定のための照射時よりも小さく、且つ−20V〜+30Vとなるように、或いは前記加速電極によって加速された荷電粒子線が、前記試料に到達しないようにすることによって除電するように制御することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載された荷電粒子線装置において、
前記制御コンピュータは、
前記リターディング電圧の値を負の方向に増大させることにより、
前記リターディング電圧の値と前記加速電圧の値の差を前記測定時よりも小さくすることによって除電するように制御することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載された荷電粒子線装置において、
前記制御コンピュータは、
前記リターディング電圧の値と前記加速電圧の値の差が0[V]となる方向に制御することによって除電することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載された荷電粒子線装置において、
前記制御コンピュータは、
前記リターディング電圧と前記加速電圧の値の差を0[V]に収束させることによって除電するように制御することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載された荷電粒子線装置において、
前記制御コンピュータは、
当該試料の測定後、
前記試料のグローバル帯電電位を測定し、
前記加速電圧の値から前記グローバル帯電電位の値を引いた値と前記リターディング電圧の値の差を小さくすることによって除電するように制御することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載された荷電粒子線装置において、
前記制御コンピュータは、
前記リターディング電圧の値を負の方向に増大させることにより、
前記加速電圧の値から前記グローバル帯電電位の値を引いた値と前記リターディング電圧の値の差を小さくすることによって除電するように制御することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載された荷電粒子線装置において、
前記制御コンピュータは、
前記加速電圧の値から前記グローバル帯電電位の値を引いた値と前記リターディング電圧の値の差を−20〜0[V]にすることによって除電するように制御することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載された荷電粒子線装置において、
前記制御コンピュータは、
前記加速電圧の値から前記グローバル帯電電位の値を引いた値と前記リターディング電圧の値の差を0〜30[V]にすることによって除電するように制御することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載された荷電粒子線装置において、
前記制御コンピュータは、
前記加速電圧の値から前記グローバル帯電電位の値を引いた値と前記リターディング電圧の値の差が0[V]となる方向に制御することによって除電することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載された荷電粒子線装置において、
前記制御コンピュータは、
当該試料の測定後、
前記試料の帯電電位を予め測定し、
当該帯電電位と前記荷電粒子線の放出量の相関関係を取得し、
当該求めた荷電粒子線の放出量に基づいて当該除電を行うように制御することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載された荷電粒子線装置において、
前記制御コンピュータは、
前記リターディング電圧の値が前記加速電圧の値よりも小さい条件において試料を複数回測定し、
当該複数回測定後、
当該複数回測定した試料の領域のうち、少なくとも2箇所以上の試料の測定領域が、同時に除電できる領域内に含まれるかを判断し、
前記同時に除電できる領域内に含まれていると判断したとき、
前記少なくとも2箇所以上の試料の測定領域を含む領域に対して、
前記リターディング電圧の値と前記加速電圧の値の差を前記測定時よりも小さくすることによって同時に除電するように制御することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載された荷電粒子線装置において、
前記制御コンピュータは、
前記リターディング電圧の値が前記加速電圧の値よりも小さい条件において試料を複数回測定し、
当該複数回の測定のうち、任意の回数の測定が終了した後に、
当該任意の回数測定した試料の領域のうち、少なくとも2箇所以上の試料の測定領域が、同時に除電できる領域内に含まれるかを判断し、
前記同時に除電できる領域内に含まれていると判断したとき、
前記少なくとも2箇所以上の試料の帯電領域を含む領域に対して、
前記リターディング電圧の値と前記加速電圧の値の差を前記測定時よりも小さくすることによって同時に除電するように制御することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項11または12に記載された荷電粒子線装置において、
前記少なくとも2箇所以上の前記試料の測定領域が、同時に除電できる領域内に含まれるかの判断は、
前記荷電粒子源から放出される前記荷電粒子線の照射可能面積に基づいて行うことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載された荷電粒子線装置において、
前記制御コンピュータは、
前記リターディング電圧の値が前記加速電圧の値よりも小さい条件において試料を複数回測定し、
当該複数回の測定のうち、任意の回数の測定が終了した後に、
当該任意の回数測定した試料の領域のうち、少なくとも2箇所以上の試料の測定領域のうち、前記試料の次の測定領域に影響を及ぼす測定領域が含まれるかを判断し、
当該影響を及ぼす測定領域が含まれると判断したとき、
前記影響を及ぼす測定領域に対して、
前記リターディング電圧の値と前記加速電圧の値の差を前記測定時よりも小さくすることによって同時に除電するように制御することを特徴とする荷電粒子線装置。
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