JP5055015B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims description 52
- 230000010365 information processing Effects 0.000 claims description 27
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 21
- 239000011163 secondary particle Substances 0.000 claims description 14
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 40
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 12
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 11
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 11
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 10
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 8
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 5
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000005036 potential barrier Methods 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 230000002040 relaxant effect Effects 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/225—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/026—Means for avoiding or neutralising unwanted electrical charges on tube components
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/248—Components associated with high voltage supply
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/261—Details
- H01J37/265—Controlling the tube; circuit arrangements adapted to a particular application not otherwise provided, e.g. bright-field-dark-field illumination
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/004—Charge control of objects or beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/28—Scanning microscopes
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- Immunology (AREA)
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
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Description
一次電子1=検出される二次電子2
となり定常状態となっている。従って、この状態で一次電子を当て続けても、障害は解消されない。
本実施例においては、ブースティング電圧の切替要否を判断するために用いられる。
Claims (5)
- 試料の所定領域上を荷電粒子ビームで走査し、発生する二次粒子を検出して、前記所定領域の試料像を得る荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子ビームを発生する荷電粒子源と、
前記荷電粒子ビームを前記所定領域上で走査する偏向器と、
前記荷電粒子ビームの走査により前記試料から発生する前記二次粒子を検出する検出器と、
前記検出器の検出信号が入力され、前記検出信号に基づき、前記荷電粒子ビームを複数回走査して複数のフレームを生成し、生成された複数の前記フレームを積算した画像を得る情報処理部と、
複数の前記フレームを生成するための、前記荷電粒子ビームの走査の合間に、帯電除去用電圧を印加するブースティング電圧印加部とからなり、
前記情報処理部は、前記検出信号に基づき前記フレームの平均信号量を算出し、前記平均信号量が所定の閾値以下になった場合に、前記ブースティング電圧印加部が前記帯電除去用電圧を印加するよう制御する
荷電粒子線装置。 - 試料の所定領域上を荷電粒子ビームで走査し、発生する二次粒子を検出して、前記所定領域の画像を得る荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子ビームを発生する荷電粒子源と、
前記荷電粒子ビームを前記所定領域上で走査する偏向走査部と、
前記荷電粒子ビームの走査により前記試料から発生する前記二次粒子を検出する検出器と、
前記検出器の検出信号が入力され、前記検出信号に基づき、前記荷電粒子ビームの走査により生成した複数のフレームを積算し、前記画像を得ると共に、前記所定領域における帯電状態を検出し、帯電緩和の要否を判断する情報処理部と、
前記情報処理部による帯電緩和の要否判断に基づき、前記フレームを生成する合間に帯電緩和を行なうよう制御する帯電緩和制御部とからなり、
前記情報処理部は、前記フレームを生成した前記検出信号の平均信号量を算出することにより、前記所定領域における帯電状態を検出する
荷電粒子線装置。 - 請求項2記載の荷電粒子線装置であって、
前記情報処理部は、前記平均信号量が所定の閾値以下になった場合、前記フレーム生成の合間に帯電緩和を行うよう前記帯電緩和制御部を制御する
荷電粒子線装置。 - 請求項2記載の荷電粒子線装置であって、
前記帯電緩和制御部は、ブースティング電圧を印加するブースティング電極と、前記ブースティング電圧を制御するブースティング電圧制御部とからなり、
前記情報処理部は、前記フレームを生成した前記検出信号の平均信号量を算出することにより、前記所定領域における帯電状態を検出する
荷電粒子線装置。 - 請求項4記載の荷電粒子線装置であって、
前記ブースティング電圧制御部は、前記平均信号量が所定の閾値以下になった場合、前記フレーム生成の合間に帯電緩和を実行するため、前記ブースティング電圧印加部に印加する前記ブースティング電圧を制御する
荷電粒子線装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007124849A JP5055015B2 (ja) | 2007-05-09 | 2007-05-09 | 荷電粒子線装置 |
US12/149,218 US7714288B2 (en) | 2007-05-09 | 2008-04-29 | Charged particle beam apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007124849A JP5055015B2 (ja) | 2007-05-09 | 2007-05-09 | 荷電粒子線装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008282630A JP2008282630A (ja) | 2008-11-20 |
JP5055015B2 true JP5055015B2 (ja) | 2012-10-24 |
Family
ID=39968679
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007124849A Expired - Fee Related JP5055015B2 (ja) | 2007-05-09 | 2007-05-09 | 荷電粒子線装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7714288B2 (ja) |
JP (1) | JP5055015B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112017008216T5 (de) | 2017-12-21 | 2020-08-06 | Hitachi High-Tech Corporation | Ladungsträgerstrahlvorrichtung |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5055015B2 (ja) * | 2007-05-09 | 2012-10-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
JP2016528698A (ja) * | 2013-08-15 | 2016-09-15 | スウィンバーン・ユニバーシティ・オブ・テクノロジーSwinburne University of Technology | 装置及び方法 |
WO2020225891A1 (ja) * | 2019-05-08 | 2020-11-12 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子ビームシステム、および荷電粒子線装置における観察条件を決定する方法 |
JP7441756B2 (ja) * | 2020-08-27 | 2024-03-01 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子ビーム装置 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60147117A (ja) * | 1984-01-10 | 1985-08-03 | Fujitsu Ltd | 電子ビ−ム装置の調整方法 |
JPS6252841A (ja) * | 1985-08-30 | 1987-03-07 | Jeol Ltd | 電位分布像表示装置 |
JPH06295695A (ja) | 1993-04-08 | 1994-10-21 | Jeol Ltd | 走査電子顕微鏡 |
JPH09243579A (ja) * | 1996-03-11 | 1997-09-19 | Toshiba Corp | 表面分析装置 |
JPH11176737A (ja) * | 1997-12-10 | 1999-07-02 | Nikon Corp | 荷電ビーム露光装置 |
US6992290B2 (en) * | 2001-01-10 | 2006-01-31 | Ebara Corporation | Electron beam inspection system and inspection method and method of manufacturing devices using the system |
US20050099628A1 (en) * | 2002-03-29 | 2005-05-12 | Nikon Corporation | Mark for position detection, mark identification method, position detection method, exposure method, and positional information detection method |
JP4248382B2 (ja) * | 2003-12-04 | 2009-04-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子ビームによる検査方法および検査装置 |
JP2005203241A (ja) * | 2004-01-16 | 2005-07-28 | Jeol Ltd | 荷電粒子ビーム観察方法及び荷電粒子ビーム装置 |
JP4418304B2 (ja) * | 2004-06-03 | 2010-02-17 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 試料観察方法 |
JP4500646B2 (ja) * | 2004-10-18 | 2010-07-14 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 試料観察方法及び電子顕微鏡 |
JP2006173055A (ja) | 2004-12-20 | 2006-06-29 | Nissan Motor Co Ltd | ワーク保持装置 |
JP4359232B2 (ja) | 2004-12-20 | 2009-11-04 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
JP4895569B2 (ja) | 2005-01-26 | 2012-03-14 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 帯電制御装置及び帯電制御装置を備えた計測装置 |
JP4751635B2 (ja) | 2005-04-13 | 2011-08-17 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 磁界重畳型電子銃 |
JP2007285966A (ja) | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
JP5055015B2 (ja) * | 2007-05-09 | 2012-10-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
JP5094282B2 (ja) * | 2007-08-29 | 2012-12-12 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | ローカル帯電分布精密計測方法及び装置 |
-
2007
- 2007-05-09 JP JP2007124849A patent/JP5055015B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-04-29 US US12/149,218 patent/US7714288B2/en active Active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112017008216T5 (de) | 2017-12-21 | 2020-08-06 | Hitachi High-Tech Corporation | Ladungsträgerstrahlvorrichtung |
US11424099B2 (en) | 2017-12-21 | 2022-08-23 | Hitachi High-Tech Corporation | Charged particle beam device |
DE112017008216B4 (de) | 2017-12-21 | 2024-03-28 | Hitachi High-Tech Corporation | Ladungsträgerstrahlvorrichtung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7714288B2 (en) | 2010-05-11 |
JP2008282630A (ja) | 2008-11-20 |
US20080277583A1 (en) | 2008-11-13 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100305 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111212 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120703 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120730 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150803 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
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|
S533 | Written request for registration of change of name |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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|
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