CN117501401A - 带电粒子束装置 - Google Patents
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Abstract
本公开提供一种能够在不影响带电粒子束的控制的情况下进行基于等离子体的带电去除或控制的带电粒子束装置。本公开的带电粒子束装置具备：带电粒子束光学系统，其对试样照射带电粒子束；试样室，其具备载置试样的工作台；等离子体生成装置，其生成向工作台照射的等离子体；以及连结部件，其包含使试样室与等离子体生成装置绝缘的绝缘间隔件，将等离子体生成装置与试样室连结。
Description
技术领域
本发明涉及带电粒子束装置。
背景技术
伴随着半导体图案的微细化以及高集成化，图案的微小的形状差会对设备的动作特性造成影响，因此，设备的图案等的形状管理的需求提高。起因于此，作为用于半导体的检查、测量的带电粒子束装置的扫描电子显微镜(SEM：Scanning Electron Microscope)比以往更要求高灵敏度、高精度。扫描电子显微镜构成为能够在检测器中检测从试样释放的电子，生成其信号波形，例如测定峰值(图案边缘)间的尺寸。
在制造工艺中的晶圆检查中，异物、缺陷等的早期发现导致成品率提高，因此以缺陷检测为目的的晶圆的整面检查的需求提高，但整面检查存在导致吞吐量降低的问题。为了提高吞吐量，考虑通过大电流下的低倍率拍摄来一次拍摄宽范围的视野的检查，但在容易带电的试样的情况下，低倍率化引起的试样的带电的影响显著化，有可能产生图像的变形、亮度不均等。试样的带电也成为SEM的测量精度降低的原因，因此要求有效地去除带电。
作为降低带电的影响的方法，已知有用导体涂覆试样来抑制带电的方法、通过所照射的一次电子的电压调整来控制二次电子的产量等。但是，这些方法无法应用于在线检查，另外，在包含多种材料的试样、各种形状的图案混合存在的试样中，调整困难而不现实。因此，需要不取决于试样的带电去除、带电控制。
专利文献1公开了控制试样的带电的方法，即控制入射电子的能量的方法。另外，专利文献2公开了使用对气体照射紫外线或X射线时生成的离子来去除带电的方法。
如专利文献1所公开的那样，能够通过变更向试样照射的一次电子的能量来控制二次电子的释放率，抑制试样的带电。但是，需要根据试样的材料特性、图案来变更拍摄条件，每次都需要光学条件、装置的设定等的再调整，因此存在吞吐量降低的问题。
在专利文献2中，通过利用线圈对使用紫外线、X射线生成的离子供给高频电力来生成等离子体，使用该等离子体来去除带电、试样的污染。但是，该带电等的去除停留在试样的拍摄前后的处理，没有考虑用于电子束控制的聚光透镜的电场空间对等离子体的影响、为了控制所照射的电子束而在施加了电压的试样上照射等离子体的方法。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2002-310963号公报
专利文献2：日本特开2007-149449号公报
发明内容
发明所要解决的课题
本发明是鉴于上述那样的问题而完成的，提供一种能够不对带电粒子束的控制造成影响地进行基于等离子体的带电去除或者控制的带电粒子束装置。
用于解决课题的手段
本发明的带电粒子束装置是对试样照射带电粒子束的带电粒子束装置，其特征在于，所述带电粒子束装置具备：带电粒子束光学系统，其对所述试样照射所述带电粒子束；试样室，其具备载置所述试样的工作台；等离子体生成装置，其生成向所述工作台照射的等离子体；以及连结部件，其包含使所述试样室与所述等离子体生成装置绝缘的绝缘间隔件，并将所述等离子体生成装置与所述试样室连结。
发明效果
根据本发明，能够提供一种能够不对带电粒子束的控制造成影响地进行基于等离子体的带电去除或控制的带电粒子束装置。
附图说明
图1是说明第一实施方式的带电粒子束装置的结构的概略图。
图2是说明第一实施方式的带电粒子束装置的动作的概略图。
图3是说明第二实施方式的带电粒子束装置的结构的概略图。
图4A是说明第二实施方式的带电粒子束装置的动作的概略图。
图4B是说明第二实施方式的带电粒子束装置的动作的概略图。
图4C是说明第二实施方式的带电粒子束装置的结构的图表。
图4D是说明第二实施方式的带电粒子束装置的动作的概略图。
图4E是说明第二实施方式的带电粒子束装置的结构的图表。
图5是说明第三实施方式的带电粒子束装置的结构的波形图。
图6是说明第三实施方式的带电粒子束装置的结构的波形图。
图7是说明第三实施方式的带电粒子束装置的动作的概略图。
图8是说明第三实施方式的带电粒子束装置的动作的波形图。
图9是说明第三实施方式的带电粒子束装置的动作的流程图。
图10是说明第四实施方式的带电粒子束装置的结构的概略图。
图11是说明第四实施方式的带电粒子束装置的动作的流程图。
图12是说明第五实施方式的带电粒子束装置的结构的概略图。
具体实施方式
以下，参照附图对本实施方式进行说明。在附图中，有时功能上相同的要素用相同的编号表示。此外，附图示出了遵循本公开的原理的实施方式和安装例，但它们是为了理解本公开的实施方式和安装例，决不用于限定性地解释本公开。本说明书的记述只不过是典型的例示，在任何意义上都不限定本公开的请求专利保护的范围或应用例。
在本实施方式中，本领域技术人员为了实施本公开而充分详细地进行了说明，但也可以是其他的安装、方式，需要理解能够在不脱离本公开的技术思想的范围和精神的情况下进行结构、构造的变更、多样的要素的置换。因此，以后的记述不限定于此而进行解释。
[第一实施方式]
参照图1，说明第一实施方式的带电粒子束装置。作为一例，该带电粒子束装置具备包含电子枪1、聚光透镜3、偏转器4以及物镜5的电子束光学系统PS(带电粒子束光学系统)。在电子束光学系统PS的下方设置有试样室12，该试样室12在内部载置有用于载置试样6的工作台7。
由电子枪1产生、加速的电子束2(一次电子束)通过聚光透镜3被会聚，并且通过物镜5会聚在工作台7上的试样6上。偏转器4(扫描偏转器)使电子束2在试样6的电子束扫描区域上进行扫描。通过在试样6上扫描并照射电子束2，在试样6内被激发的电子作为二次电子10从试样6释放。所释放的二次电子10由二次电子检测器8检测，与二次电子检测器8连接的运算部(未图示)将该检测信号图像化。
在二次电子检测器8的前段(入射面侧)具备能够进行基于能量的信号电子的区分的能量过滤器9。能够根据使施加于能量过滤器9的电压变化时的检测信号的变化，来推定对于试样6的带电状态。另外，扫描试样6的电子束2(一次电子束)的能量由电子枪1的加速电压和施加于工作台7的电压来决定。所释放的二次电子10与入射的一次电子的能量有关，根据一次电子的电子流与二次电子10的电子流的大小关系，试样6的表面的带电状态发生变化。试样6的带电量也根据试样6的材料特性、形状等而变化。另外，试样6的带电量在试样6的整个表面也不一样，根据材料特性、形状等，具有根据试样6的表面的位置而变化的分布。
本实施方式的带电粒子束装置具备等离子体生成装置11，该等离子体生成装置11为了去除试样6的带电而生成等离子体，并向载置试样6的工作台7放射该等离子体。等离子体生成装置11通过具有绝缘间隔件的连结部件13与试样室12的壁面连结。
参照图2，对使用该等离子体生成装置11的试样6的除电动作进行说明。等离子体生成装置11生成的等离子体PZ中包含电子和正离子，通常为电中性状态。但是，当对带正电的试样6照射等离子体时，试样6的正电荷被等离子体中的电子中和。其结果，等离子体PZ中的电子减少，等离子体PZ中的电荷平衡被破坏，电流经由等离子体PZ流过接地的试样室12的内壁等，由此试样6被除电。
等离子体生成装置11通过具有绝缘间隔件的连结部件13与试样室12的内壁连接。绝缘间隔件例如由陶瓷等绝缘材料构成，具有使等离子体生成装置11与试样室12电绝缘的作用。通过使等离子体生成装置11与试样室12绝缘，无论等离子体生成装置11的动作状态如何，都能够稳定地维持试样室12的电位。
[第二实施方式]
接着，参照图3说明第二实施方式的带电粒子束装置。图3说明第二实施方式的带电粒子束装置的结构。在图3中，对与第一实施方式的带电粒子束装置相同的构成要素标注与图1相同的参照符号，因此以下省略重复的说明。
该第二实施方式的等离子体生成装置11与第一实施方式的不同点在于，具备生成等离子体的主体部11A和从该主体部11A延伸至试样的附近的引导件11B。引导件11B由金属构成，在其内部设置有用于引导由主体部11A生成的等离子体PZ的中空部。等离子体PZ通过中空部从引导件11B的前端释放。
对引导件11B的功能进行说明。由等离子体生成装置11生成的等离子体PZ没有指向性，因此在没有引导件11B的情况下，等离子体PZ通过等离子体PZ自身的电场和自然扩散而从主体部11A扩散到试样室12内。如果电场等不起作用，则等离子体PZ在试样室12内扩散。等离子体PZ被吸引到使试样6带电的电场，由此能够去除(除电)试样6的电荷。但是，在与试样室12连接的电子束光学系统PS内配置有用于控制电子束2的聚光透镜3等，在试样室12的内部存在电场的分布。这样的电场的分布对等离子体PZ的动作产生影响。在聚光透镜3等产生的电场的影响较大的情况下，有时对等离子体生成装置11的除电动作产生影响。另外，如果存在具有比试样6的带电电荷所提供的电场分布大的电位的构造物，则等离子体PZ中的带电粒子被该构造物吸引，因此等离子体PZ无法充分地消除试样6的带电。
与此相对，在该第二实施方式中，对于试样6的带电电荷，通过引导件11B将等离子体PZ引导至试样6的附近。由此，等离子体PZ中的电子或正离子中和试样6的带电电荷，由此去除试样6的带电电荷。通过引导件11B将等离子体PZ引导至试样6的附近，因此能够不受周围的电场的影响地进行试样6的除电。
另外，通过使引导件11B为金属制，引导件11B内在其长度方向上成为相同电位，能够不受外部的电场的影响地向试样6照射等离子体PZ。从引导件11B的前端照射的等离子体PZ中的电子被试样6的表面的正电位吸引，中和试样6的带电电荷。试样6的带电电荷经由等离子体PZ作为除电电流Ir流向引导件11B，由此被除电。
除电电流Ir的大小取决于所照射的等离子体PZ的密度。如果等离子体PZ的密度高，则用于中和电荷的带电粒子的量、以除电电流Ir为媒介的带电粒子也增加。除电电流Ir的大小还影响作为除电对象物的试样6与周围的构造物的距离，如果是相同的等离子体密度，则距离短的情况下等离子体电阻也变低，能够流过更多的除电电流Ir。在本实施方式中，通过使经由等离子体PZ流动的除电电流Ir主要流过引导件11B来进行除电。通过使电流不流过试样室12的内壁等配置在远方的构造物，而是流过配置在接近作为除电对象物的试样6的位置的引导件11B，能够执行更高效的除电。
构成为可对工作台7施加减速电压(retarding voltage)。减速电压是用于使电子束2的电子减速的电压。从电子枪1照射的电子束2被聚光透镜3、物镜5等会聚，照射到试样6。从电子枪1照射的电子束2的加速电压以提高分辨率为目的而推进高电压化，但在向试样6照射的电子束2的能量大的情况下，从试样6的表面产生的二次电子10的产生效率变差，进行向试样6的带电。另外，根据试样6，有时若照射高能量的电子则会受到损伤。因此，在照射至试样6之前使电子减速的电压(减速电压)被施加至工作台7。由此，能够实现图像的高分辨率，并且防止对试样6的损伤、带电。减速电压由连接于工作台7的电压源18施加。
使用图4A～图4E，对向工作台7施加电压时的等离子体PZ的动作进行说明。如图4A所示，由等离子体生成装置11的主体部11A生成的等离子体PZ通过引导件11B内而移动到工作台7上的试样6的附近。从等离子体生成装置11的主体部11A到引导件11B前端电连接，成为相同电位，因此等离子体PZ不受工作台7的电场的影响。但是，在未由电压源18施加电压的情况下，图4B所示那样的等电位线EPL形成于引导件11B的前端与工作台7之间的间隙，产生由等电位线EPL表示的电位差(电势)(参照图4C)。无法超过该电位差的电子无法到达工作台7，无法有助于去除试样6的带电。
另一方面，当通过电压源18对工作台7施加电压时，能够使等离子体生成装置11与工作台7成为大致相同电位，在引导件11B的前端附近得到图4D所示那样的电位分布(等电位线EPL’)，如图4E所示，等离子体生成装置11与工作台7之间的电位差消失，能够从引导件11B的前端向试样6照射等离子体PZ，有效地执行除电。
[第三实施方式]
接着，参照图5说明第三实施方式的带电粒子束装置。第三实施方式的带电粒子束装置的整体结构与上述的实施方式大致相同，因此省略重复的说明。第三实施方式与上述的实施方式不同在于，与等离子体生成装置11的控制相关的部分。具体而言，该第三实施方式的等离子体生成装置11构成为在多个帧之间的定时生成等离子体并执行试样6的除电动作。
通常，带电粒子束装置构成为能够执行如下的拍摄模式：在对取入到二次电子检测器8的信号进行图像化时，除了根据通过一次扫描得到的一个图像(帧)来生成试样6的图像以外，还在试样6的同一视野内进行多次扫描，对得到的多个图像进行合成(重合)来生成合成图像，由此得到分辨率(SN比)高的图像。另一方面，当由于在同一视野内重复多次拍摄动作而电子束2的照射次数增加时，电子束2所引起的试样6的带电量增加。试样6的带电量增加有可能不仅影响电子束2，还影响二次电子10。
因此，如图5所示，第三实施方式的带电粒子束装置构成为在多个帧的拍摄的间歇执行等离子体生成装置11的除电动作。如图5所示，通过使SEM的拍摄(各帧)与等离子体生成装置11的除电动作的定时不同，能够不对拍摄造成影响地执行试样6的除电。
另外，通过按每个帧执行等离子体生成装置11的除电动作，能够去除因拍摄而在每个帧产生的带电，能够降低每个帧的带电的累计对图像的影响，稳定地取得图像。此外，在图5中，采用按照每一帧通过等离子体生成装置11执行除电动作的步骤，但如图6所示，也能够设为每多个帧执行一次除电动作的步骤。若在拍摄的间歇插入的除电动作的次数变多，则拍摄的吞吐量相应地降低。通过在实质上不产生由一次电子产生的带电的影响的范围内插入除电动作，能够防止吞吐量的降低并且执行除电动作。此外，在此所说的拍摄表示通过一次电子入射到试样6而释放的二次电子10被二次电子检测器8检测出为止。另外，图5、图6等中的等离子体生成装置11的接通是指直到向等离子体生成装置11输入接通信号、生成等离子体PZ并执行除电，向等离子体生成装置11输入断开信号为止的期间。
此外，在图5、图6中，说明了在两个帧的间歇执行除电动作的例子，但本公开的带电粒子束装置并不限定于此，例如，也能够采用每当多个帧的拍摄完成时执行一次除电动作那样的步骤。或者，如图7和图8所示，也能够构成为在线扫描的间歇将等离子体生成装置11设为接通来执行除电动作。
图9是表示第三实施方式中的每当预定的线数的扫描时执行除电动作时的步骤的流程图。在执行了1条或多条线的扫描之后(步骤S102)，将等离子体生成装置11设为接通来执行除电动作(步骤S103)，之后将等离子体生成装置11设为断开(步骤S104)。之后，重复相同的动作，直到指定的视野内的扫描完成为止(步骤S105)。
通常，在带电粒子束装置中，使用电子束2通过多个线扫描对试样6的指定的视野内进行扫描来进行拍摄。在图7中，从纸面的左向右照射电子束2，之后，向纸面的下方依次照射电子束2。电子束2的扫描由偏转器4控制。扫描的线数越增加，则试样6的带电也越增加，对电子束2、二次电子10的影响也越大。电子束2的照射所产生的带电量也根据SEM的拍摄条件、试样6的图案形状以及材料而变化。如图9所示，通过在扫描了固定数量的线之后实施除电，能够进行与带电量、对图像的影响相应的除电，能够在使吞吐量的降低成为最小限度的同时去除带电。
[第四实施方式]
接着，参照图10说明第四实施方式的带电粒子束装置。在图10中，对与第一实施方式的带电粒子束装置相同的构成要素标注与图1相同的参照符号，因此以下省略重复的说明。
该第四实施方式的带电粒子束装置构成为具备测定除电电流Ir的大小的电流测量装置19，并根据其测定结果执行除电动作，这一点与上述的实施方式不同。作为一例，电流测量装置19能够与连接工作台7和等离子体生成装置11的电流路径连接。另外，在该电流路径上能够连接用于提供预定电位的电压源20。
在使用等离子体PZ的除电中，向试样6照射等离子体PZ，由此通过等离子体PZ中的电子或正离子中和试样6的带电电荷。通过中和，等离子体PZ中的电子/正离子的电荷平衡被破坏，除电电流Ir经由等离子体PZ流动，由此进行除电。除电电流Ir经由等离子体PZ流向等离子体生成装置11，因此通过将电流测量装置19与连接等离子体生成装置11和工作台7的电流路径连接，来测量该除电电流Ir。能够根据除电电流Ir的大小，评价试样6的带电量。
作为评价带电量的其他方法，能够根据使施加于能量过滤器9的电压变化时的检测信号的变化来推定试样6的带电量。但是，在该情况下，需要扫描要施加的电压。另外，能量过滤器9通过排除具有所施加的电压以下的能量的二次电子10，选择能够检测的二次电子10，提高图像的分辨率。因此，在通常的晶圆检查中，能量过滤器9的电压不变化，使用能量过滤器9。因此，通过能量过滤器9的作用而在检查中测定试样6的带电量是困难的。
根据第四实施方式，通过测定用等离子体PZ执行除电动作时流动的除电电流Ir的大小和极性，即使在试样6的检查中也能够获知试样6的带电状态。如果是相同的拍摄条件，则试样6的带电量取决于材料特性、试样图案，因此能够监视带电量，根据其变化量检测试样6的异常等。例如，在容易带电的图案中，当形状存在缺陷时，试样6的带电量发生变化。因此，根据本实施方式，能够检测试样6的形状的缺陷等异常的发生。
参照图11的流程图，说明第四实施方式的带电粒子束装置中的试样6的测量动作(除电动作)。在执行了1条或多条线的扫描之后(步骤S112)，将等离子体生成装置11设为接通来执行除电动作(步骤S113)，之后将等离子体生成装置11设为断开(步骤S114)。之后，判定在除电动作时由电流测量装置19检测到的除电电流是否为X安培(阈值)以下(步骤S115)。在判定为肯定的情况下，试样6的测量没有问题，因此转移到步骤S116，重复上述动作直到指定的视野内的扫描完成为止(步骤S105)。另一方面，在步骤S115的判定为否定的情况下，判断为试样6发生了异常，中止试样6的拍摄动作，图11的步骤结束(步骤S117)。
如以上说明的那样，根据该第四实施方式，能够得到与上述的实施方式相同的效果。此外，通过利用电流测量装置19测量除电电流，能够检测与试样6相关的异常。
[第五实施方式]
接着，参照图12说明第五实施方式的带电粒子束装置。在图12中，对与第一实施方式的带电粒子束装置相同的构成要素标注与图1相同的参照符号，因此以下省略重复的说明。该第五实施方式的带电粒子束装置与上述实施方式的不同点在于，工作台7以及等离子体生成装置11分别与不同的电压源21、22连接，被赋予不同的电位。
在上述的实施方式中，说明了使等离子体生成装置11的主体部11A和引导件11B的电位与工作台7的电位相等的情况。由此，能够消除引导件11B的前端与工作台7之间的电位差，由此，能够不受周围的电场的影响地将等离子体PZ照射到试样6。与此相对，在该第四实施方式中，能够将施加于等离子体生成装置11的主体部11A和引导件11B的电位设为与施加于工作台7的电位不同的电位。
为了调整向试样6入射的电子束2(一次电子)的能量，通过电压源21对工作台7施加电压Vs。另一方面，对等离子体生成装置11施加与该电压Vs不同的电压V1。施加于工作台7的电压Vs除了根据拍摄条件以外，还根据试样6的图案形状、材料等而变化，但如果各种条件固定，则带电的极性、电位固定。通过任意地变更电压源19的电压V1，能够在工作台7与引导件11B之间产生电位差，使电子或正离子的平衡变化，选择性地较多地照射某一方。例如在试样6的带电电荷为负的情况下，通过使电压源22的电压V1低于电压源21的电压Vs，能够在引导件11B与工作台7之间生成负的电位差。由此，能够从等离子体PZ更多地引出正离子，能够进行更高效的除电。相反，在试样6的带电电荷为正的情况下，通过使电压源22的电压V1高于电压源21的电压Vs，能够在引导件11B与工作台7之间生成正的电位差。由此，能够从等离子体PZ引出更多的负离子，能够进行更高效的除电。
在使用等离子体的除电中，对于试样6的带正电，用等离子体中的电子来中和正电荷，对于试样6的带负电，用正离子来中和负电荷而除电。因此，在带电极性未知的情况下、存在分布的情况下，电子、正离子的离子平衡相同的方式能够高效地除电。但是，如上述所示，如果条件固定，则能够通过能量过滤器9事先掌握带电状态，可知带电状态、极性。通过根据所掌握的带电状态、极性来调整电压源21、22，能够执行更高效的除电动作。
此外，本发明并不限定于上述的实施方式，包括各种变形例。例如，上述的实施方式是为了容易理解地说明本发明而详细地说明的实施方式，并不限定于必须具备所说明的全部结构。另外，能够将某实施方式的结构的一部分置换为其他实施方式的结构，另外，也能够对某实施方式的结构添加其他实施方式的结构。另外，关于各实施方式的结构的一部分，能够进行其他结构的追加、删除、置换。另外，上述的各结构、功能、处理部、处理单元等也可以通过例如用集成电路进行设计等而用硬件实现它们的一部分或全部。另外，上述的各结构、功能等也可以通过处理器解释并执行实现各个功能的程序而由软件实现。实现各功能的程序、表、文件等信息能够放置于存储器、硬盘、SSD(Solid State Drive：固态硬盘)等记录装置、或者IC卡、SD卡、DVD等记录介质。
符号说明
1…电子枪、2…电子束、3…聚光透镜、4…偏转器、5…物镜、6…试样、7…工作台、8…二次电子检测器、9…能量过滤器、10…二次电子、11…等离子体生成装置、11A…主体部、11B…引导件、12…试样室、PZ…等离子体、13…连结部件、16…等电位线、18、21、22…电压源、19…电流测量装置。
Claims (15)
1.一种带电粒子束装置，其对试样照射带电粒子束，其特征在于，
所述带电粒子束装置具备：
带电粒子束光学系统，其对所述试样照射所述带电粒子束；
试样室，其具备载置所述试样的工作台；
等离子体生成装置，其生成向所述工作台照射的等离子体；以及
连结部件，其包含使所述试样室与所述等离子体生成装置绝缘的绝缘间隔件，并将所述等离子体生成装置与所述试样室连结。
2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，
所述等离子体生成装置具备：主体，其产生等离子体；以及引导件，其从所述主体向所述工作台的方向延伸。
3.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，
所述带电粒子束装置具备：电压源，其向所述工作台提供与所述等离子体生成装置的电位大致相同的电位。
4.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，
所述等离子体生成装置构成为在拍摄所述试样的帧之间生成等离子体并执行所述试样的除电动作。
5.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，
所述等离子体生成装置构成为在用于拍摄所述试样的多个线扫描之间生成等离子体并执行所述试样的除电动作。
6.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，
所述带电粒子束装置还具备：电流测量装置，其测量流过所述等离子体生成装置的除电电流。
7.根据权利要求6所述的带电粒子束装置，其特征在于，
在由所述电流测量装置测量出的所述除电电流超过预定的阈值的情况下，中止所述试样的拍摄动作。
8.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，
所述带电粒子束装置还具备：
第一电压源，其对所述工作台提供电位；以及
第二电压源，其对所述等离子体生成装置提供电位。
9.一种带电粒子束装置，其对试样照射带电粒子束，其特征在于，
所述带电粒子束装置具备：
带电粒子束光学系统，其对所述试样照射所述带电粒子束；
试样室，其具备载置所述试样的工作台；以及
等离子体生成装置，其生成向所述工作台照射的等离子体，
所述等离子体生成装置具备：
主体，其产生等离子体；以及
引导件，其从所述主体向所述工作台的方向延伸。
10.根据权利要求9所述的带电粒子束装置，其特征在于，
所述带电粒子束装置具备：电压源，其向所述工作台提供与所述等离子体生成装置的电位大致相同的电位。
11.根据权利要求9所述的带电粒子束装置，其特征在于，
所述等离子体生成装置构成为在拍摄所述试样的帧之间生成等离子体并执行所述试样的除电动作。
12.根据权利要求9所述的带电粒子束装置，其特征在于，
所述等离子体生成装置构成为在用于拍摄所述试样的多个线扫描之间生成等离子体并执行所述试样的除电动作。
13.根据权利要求9所述的带电粒子束装置，其特征在于，
所述带电粒子束装置还具备：电流测量装置，其测量流过所述等离子体生成装置的除电电流。
14.根据权利要求13所述的带电粒子束装置，其特征在于，
在由所述电流测量装置测量出的所述除电电流超过预定的阈值的情况下，中止所述试样的拍摄动作。
15.根据权利要求9所述的带电粒子束装置，其特征在于，
所述带电粒子束装置还具备：
第一电压源，其对所述工作台提供电位；以及
第二电压源，其对所述等离子体生成装置提供电位。
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