JP4764436B2 - 外観検査方法及び検査装置 - Google Patents
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Description
第3の本発明に関わる外観検査装置は、試料上に所定のラインピッチだけ離れて配置される複数本のライン上に電子線ビームを繰り返し走査させ、当該走査により得られる2次電子または反射電子に基づき生成された画像から欠陥部を求める外観検査装置において、前記走査を実行させる走査部と、前記2次電子または反射電子を検出する検出部と、前記検出部からの信号に基づき画像を生成する画像取得部と、前記画像取得部により生成された画像から欠陥を検出する欠陥判定部と、前記走査部を更に制御する制御部とを備え、前記電子線ビームを繰り返し走査するに際し、前記制御部が、前記試料上の1のラインを前記電子線ビームにより走査し、前記1のラインに対して複数ライン以上前または後のラインを前記1のラインの走査の向きとは逆向きに走査し、前記1のラインからみて前記逆向き走査を行ったライン側の、前記1のラインに隣接するラインに前記電子線ビームの照射位置を移動し、当該隣接ラインを新たな1のラインとして前記走査と前記逆向き走査を繰り返すことにより、画像取得、プリチャージまたはディスチャージを行うよう前記電子線ビームを制御する。
これにより、往路走査(走査)と復路(振り戻し)走査(逆向き走査)に時間間隔を空けることができ、より欠陥部分を明瞭にして高精度の欠陥検出を実現することができる。また、復路走査を有効に利用しているため、スループットの低下を来すこともない。
図2は、本発明のSEM式外観検査装置1の動作についての第1の実施形態を示す図である。図2(a)は検査ストライプ200をラインピッチ205毎に上から順に走査していく様子を示している。図2(b)は走査時の走査偏向器15の偏向電圧Vx、Vyを表している(この場合、走査偏向器15が静電偏向方式であることを想定している)。
図3は、本発明のSEM式外観検査装置1の動作についての第2の実施形態を示す図である。図3は、振り戻し(復路走査)に相当する右から左への走査(例えば211など)を用いて、検査走査212を行う前にライン205をプリチャージする例を示している。図中、走査211と212はずらして描かれているが、これは図を見やすくするためであり、この限りではない。即ち、実際はライン205内で全く同じ場所をなぞるように走査してもよい(以下の図も同様)。この場合図2と異なり、211、213、215、217(破線)は電子線ビームを照射するのみで検査画像データは取得しない。
図4は、本発明のSEM式外観検査装置1の動作についての第3の実施形態を示す図である。図4は図3と逆に、検査走査221の後に同じライン205を222で振り戻す(復路走査する)ことにより、検査走査によって印加されたチャージアップを復路走査により逃がす(ディスチャージ)する例である。
図5は、本発明のSEM式外観検査装置1の動作についての第4の実施形態を示す図である。図5は図4のディスチャージ方式の変形例であり、往路走査後の振り戻し(ディスチャージ)を、この往路走査したラインと別のラインを通す形態である。これにより、往路走査したラインを、ある一定のインターバルをおいてからディスチャージすることができる。
図6は、本発明のSEM式外観検査装置1の動作についての第5の実施形態を示す図である。図6は図3のプリチャージ方式の変形例であり、往路走査後の振り戻し走査(プリチャージ)を、この往路走査したラインと別のラインを通す形態である。これにより、往路走査したラインをある一定のインターバルをおいてからプリチャージすることができる。
図7は、本発明のSEM式外観検査装置1の動作についての第6の実施形態を示す図である。図7(a)は、同じライン205を両方向から重ねて走査する加算方式を示している。即ち、251、252、253、254と4回加算(4回画像を取得)して次のラインに進む例を示している。これにより振り戻しによる無駄時間を発生させることなく、高スループットな加算走査を実現できる。
Claims (9)
- 試料上に所定のラインピッチだけ離れて配置される複数本のライン上に電子線ビームを繰り返し走査させ、当該走査により得られる2次電子または反射電子に基づき生成された画像から欠陥部を求める外観検査方法において、
前記試料上の1のラインを前記電子線ビームにより走査し、
前記1のラインに対して複数ライン以上前または後のラインを前記1のラインの走査の向きとは逆向きに走査し、
前記1のラインからみて前記逆向き走査を行ったライン側の、前記1のラインに隣接するラインに前記電子線ビームの照射位置を移動し、当該隣接ラインを新たな1のラインとして前記走査と前記逆向き走査を繰り返すことにより、画像取得、プリチャージまたはディスチャージを行うことを特徴とする外観検査方法。 - 請求項1に記載の外観検査方法において、
前記逆向きの走査を、前記試料の帯電制御に用いることを特徴とする外観検査方法。 - 請求項1に記載の外観検査方法において、
前記新たな1のラインを前記1のラインに対する前記逆向き走査を行ったライン側の複数ライン離れたラインに設定することを特徴とする外観検査方法。 - 試料上に所定のラインピッチだけ離れて配置される複数本のライン上に電子線ビームを繰り返し走査させ、当該走査によって得られる2次電子または反射電子に基づき生成された画像から欠陥部を求める外観検査方法において、
前記電子線ビームの往路走査により画像取得を行い、
前記電子線ビームの往路走査によりLライン目(Lは自然数)を走査した後、復路走査により(L−M)ライン目(MはLより小さい自然数)を走査し、
前記復路走査により前記(L−M)ライン目を走査した後、往路走査により(L+N)ライン目(Nは自然数)を走査するように制御し、
前記電子線ビームの復路走査により画像取得、プリチャージまたはディスチャージを行うことを特徴とする外観検査方法。 - 試料上に所定のラインピッチだけ離れて配置される複数本のライン上に電子線ビームを繰り返し走査させ、当該走査により得られる2次電子または反射電子に基づき生成された画像から欠陥部を求める外観検査装置において、
前記走査を実行させる走査部と、
前記2次電子または反射電子を検出する検出部と、
前記検出部からの信号に基づき画像を生成する画像取得部と、
前記画像取得部により生成された画像から欠陥を検出する欠陥判定部と、
前記走査部を更に制御する制御部とを備え、
前記電子線ビームを繰り返し走査するに際し、
前記制御部が、
前記試料上の1のラインを前記電子線ビームにより走査し、
前記1のラインに対して複数ライン以上前または後のラインを前記1のラインの走査の向きとは逆向きに走査し、
前記1のラインからみて前記逆向き走査を行ったライン側の、前記1のラインに隣接するラインに前記電子線ビームの照射位置を移動し、当該隣接ラインを新たな1のラインとして前記走査と前記逆向き走査を繰り返すことにより、画像取得、プリチャージまたはディスチャージを行うよう前記電子線ビームを制御することを特徴とする外観検査装置。 - 請求項5に記載の外観検査装置において、
前記逆向き走査を、前記試料の帯電制御に用いることを特徴とする外観検査装置。 - 請求項5に記載の外観検査装置において、
前記制御部により制御する前記電子線ビームの走査条件を設定する入力部を備えることを特徴とする外観検査装置。 - 請求項7に記載の外観検査装置において、
前記入力部は前記外観検査装置の操作画面として提供されることを特徴とする外観検査装置。 - 請求項5に記載の外観検査装置において、
前記新たな1のラインを前記1のラインに対する前記逆向き走査を行ったライン側の複数ライン離れたラインに設定することを特徴とする外観検査装置。
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