JP4988688B2 - 検査システム、および検査システムにおける検出画像の処理方法 - Google Patents
検査システム、および検査システムにおける検出画像の処理方法 Download PDFInfo
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Description
5 画像処理部
6 インターフェース
9 被検査基板
19 電子ビーム
45 記憶手段
46 画像処理回路
47 欠陥データバッファ
48 演算部
49 全体制御部
55 マップ表示部
56 画像表示部
61 補正制御回路
100 検出部
101 制御情報付加部
102 書き込み制御部
103 分配用メモリ
104 読み出し制御部
105 分配制御部
106,108,110 検査処理用メモリ
107,109,111 検査処理部
301,302,303,304 画像データ
401,403,405,407 ヘッダ
402,404,406,408 フッタ
Claims (9)
- 検査対象を電子ビームまたは光で走査して画像データを生成する検出部と、該画像データを格納する検査処理用メモリと、該検査処理用メモリに格納された前記画像データを読み出して検査処理を行う検査処理部と、前記画像データに前記走査の順序を表す制御情報を付加する制御情報付加部とを備え、
前記制御情報は前記画像データのヘッダ及びフッタとして付加され、前記ヘッダ及びフッタは同一内容であって、
前記検査処理部は、付加された前記制御情報に基づいて前記画像データを読み出すことを特徴とする検査システム。 - 請求項1の記載において、前記画像データを前記走査の順序で書き込む分配用メモリを備え、前記制御情報付加部で前記画像データに付加された制御情報に基づいて、前記分配用メモリに画像データが書き込まれたときの順序に対して読み出される順序が同じか逆かを決定し、決定された順序で読み出されて前記検査処理用メモリに書き込まれることを特徴とする検査システム。
- 請求項1の記載において、前記制御情報は、前記画像データの次に格納される画像データのヘッダの位置を示す情報を含むことを特徴とする検査システム。
- 請求項1の記載において、前記検査処理用メモリは複数であり、前記検査処理部は複数であり、前記画像データに付加される前記制御情報は少なくとも分配情報を含み、該分配情報に基づいて前記複数の検査処理用メモリへ前記画像データを分配する分配処理部を備えたことを特徴とする検査システム。
- 請求項4の記載において、前記分配処理部の前段にバッファメモリである分配用メモリ、該分配用メモリへの前記画像データの書き込み制御を行う分配用メモリ書き込み制御部、前記分配用メモリからの前記画像データの読み出し制御を行う分配用メモリ読み出し制御部を備えることを特徴とする検査システム。
- 検査対象を電子ビームまたは光で走査して生成された画像データのヘッダ及びフッタに前記走査の順序を表す同一内容の制御情報を付加して検査処理用メモリへ格納し、付加された前記制御情報に基づいて前記検査処理用メモリに格納された前記画像データを読み出し、画像データを比較して欠陥を検出することを特徴とする検査システムにおける検出画像の処理方法。
- 請求項6の記載において、前記画像データは分配用メモリに前記走査の順序で書き込まれ、前記画像データに付加された制御情報に基づいて、前記分配用メモリに画像データが書き込まれたときの順序に対して読み出される順序が同じか逆かを決定し、決定された順序で読み出されて前記検査処理用メモリに書き込まれることを特徴とする検査システムにおける検出画像の処理方法。
- 請求項6の記載において、前記制御情報は、前記画像データの次に格納される画像データのヘッダの位置を示す情報を含むことを特徴とする検査システムにおける検出画像の処理方法。
- 請求項6の記載において、前記検査処理用メモリは複数であり、前記画像データに付加される前記制御情報は少なくとも分配情報を含み、該分配情報に基づいて前記複数の検査処理用メモリへ前記画像データを分配することを特徴とする検査システムにおける検出画像の処理方法。
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