JPS6227933Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は画像処理装置にかゝり、特にパターン
（画像）を逆転して読み出す回路に関する。

従来、例えばレーザ光で走査して、パターンを
読み取りその良否を判定する画像処理装置におい
ては、通常二値化した０，１信号パターンを一応
記憶回路に収納して、それより適宜に検出回路に
読み出して検査がなされている。かような画像処
理装置によつて、電子回路基板（プリント板）や
集積回路（IC）などに形成されている導電パタ
ーンやそのフオトマスクを検査する場合には、整
形された多数の類似パターンに遭遇し、それは左
右上下反転すると同一形の相対関係にあるパター
ンが多い。この様なパターンを検査する場合で
も、現在検出系は被検査試料に含まれている全形
状パターンに応じて複雑な処理回路を構成せしめ
ており、又マツチング方式による検出回路ならば
多くの標準パターンを必要としている。しかし、
検出系が複雑な処理をすれば、それだけ誤認識が
増えて、検査の信頼性が低下する。

本考案はかような問題点を除去して、画像処理
装置の信頼度向上を目的とするもので、その特徴
は記憶回路を制御するアドレス制御回路からの読
み出しアドレス信号を排他的論理和回路を介して
記憶回路に加え、該排他的論理和回路へ入力され
る外部入力によつて記憶回路の格納情報を読み込
んだ順序とは逆順序で読み出すようにした画像処
理装置であり、以下実施例によつて詳細に説明す
る。

第１図ａおよびｂは上記に説明したところの本
考案の適用にかなうパターンを図示したもので、
第１図ａは配線パターン１，１′で、第１図ｂは
ボンデングパツド２，２′である。この様なパタ
ーンを反転して検出する本考案の画像処理装置の
構成図を第２図に例示しており、３はレーザ光
源、４はレーザ光をスキヤンする回転ミラー、５
はレンズ、６は被検査試料、７は光検知器、８は
増巾器、９は二値化回路、１０は記憶回路、１１
はアドレス制御回路、１２は検出回路、１３は排
他的論理和（EOR）回路、Ａは外部入力端子を
示している。その動作を、例えば配線パターン
１′を読み出す例によつて説明すると、レーザ光
源３からのレーザ光を回転ミラー４によつて左右
〓〓〓〓
にスキヤンして、被検査試料６（この場合はフオ
トマスクとする）上を走査する。被検査試料６か
らえられたパターン情報は光検知器７に読み取ら
れ、増巾器８を通して、二値化回路９で０，１信
号パターンとなり、記憶回路１０に読み込まれ
て、検出回路１２で配線パターン１′の良否が判
定される。アドレス制御回路１１は記憶回路１０
の読み込み、読み出し番地を制御するものである
が、若し検出回路１２での判定が配線パターン１
の形状でのみ行なわれるとすると、外部入力端子
Ａより信号１を入力して、排他的論理和回路１３
によりアドレス情報を反転させて、記憶回路１０
より読み出すと、配線パターン１の形状で検出回
路１２に入力し判定することができる。

例えば記憶回路１０内のアドレス番地が第３図
のモデル図に示す様なアドレスナンバーとすれ
ば、外部入力端子Ａより信号１を入力して、排他
的論理和回路１３によつてアドレスナンバーと加
算すれば左右上下反転したパターンを記憶回路１
０より読み出すことができる。従つて、アドレス
ナンバーの名付け法は特に考慮を払う必要がある
が、かようにすれば検出回路１２内の回路には配
線パターン１′の認識系の回路を略して、回路を
半減させることも可能となる。記憶回路はバツフ
アメモリーで、RAMからなるマトリツクス形状
としたものであり、被検査試料６内の１パターン
域を読み込むだけであるから、膨大なアドレス番
地を必要とするものではない。

勿論、記憶回路１０内に読み込むときは外部入
力端子Ａは信号Ｏを入力した状態としておき、又
反転パターンとせずにそのまゝ読み出すときにも
外部入力端子Ａは信号Ｏとしておく。外部入力端
子Ａへの信号指示は、被検査試料６の１パターン
域に表示マークを入れて、それによつて自動的に
切り換えることもできるが、人手によつてもよ
い。操作作業者によつて回転ミラーの走査方向を
逆転させる装置を使用している従来の例もあり、
それは機械的にデリケートな部分が多くて、誤作
を生じやすく、それより本考案の方が一層簡便で
高精度となる。

次に、こゝに説明している画像処理装置はレー
ザ光走査が１パターン区域から他のパターン区域
に移る際に、検査回路が休止する時間が生じ、全
体として処理時間が長くなる欠点がある。それを
避けて、処理時間の短縮をはかるため記憶回路を
複数個設けた処理装置があるが、それに本考案を
適用した実施例を第４図に示している。図示の様
な切替器Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３を連動せしめることに
よつて、記憶回路２０がレーザ走査によつて読み
込んでいる間に、検出回路に読み出す方の記憶回
路２０′に排他的論理和回路２３′を通して外部入
力端子Ａより信号１（反転パターン）又は信号Ｏ
（正常パターン）を指示し、切換器３が開いてい
る排他的論理和回路２３には外部入力端子側から
信号Ｏが送くられる。この様に第４図に示す処理
装置にも容易に設けることができる。

以上説明した様に、本考案は記憶回路に読み込
んだパターンを逆順序に読み出すことができる画
像処理装置であり、検出回路の回路を簡素化し
て、判定の信頼性が向上する効果あるものと言え
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の適用にかなうパターン例、第
２図は本考案の装置構成図、第３図は記憶回路内
のアドレスナンバーモデル図、第４図は本考案の
他の実施例の構成図である。 図中、１，１′，２，２′はパターン図、３はレ
ーザ光源、４は回転ミラー、５はレンズ、６は被
検査試料、７は光検知器、８は増巾器、９は二値
化回路、１０，２０，２０′は記憶回路、１１，
２１，２１′はアドレス制御回路、１２は検出回
路、１３，２３，２３′は排他的論理和回路、Ａ
は外部入力端子、Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３は切換器を示
している。 〓〓〓〓

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 光学的に画像を読み取り、２値化して記憶回路
   に蓄え、これを読み出して検出する画像処理装置
   において、上記記憶回路を制御するアドレス制御
   回路からの読み出しアドレス信号を排他的論理和
   回路を介して前記記憶回路に加え、該排他的論理
   和回路へ入力される外部入力によつて前記記憶回
   路の格納情報を読み込んだ順序とは逆順序で読み
   出すようにしたことを特徴とする画像処理装置。