JP2007003404A - 回路パターン検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査領域に対する検査ストライプの位置を指定できるようにする。また、検査前に検査ストライプの位置を表示することにより、実際の検査位置及び電子線を照射する位置の確認を可能とする。
【選択図】図6
Description
通常、ダイの中の検査する位置は検査対象ダイ全てで共通となる。よってここで述べる検査ストライプとは、ダイ内の検査するストライプを指す。
Claims (8)
- 基板に形成された回路パターンを検査する回路パターン検査装置において、
被検査基板に固有のパラメータ及び検査条件を記述したレシピファイルを記憶するメモリと、
前記レシピファイルに記述された情報に基づいて被検査基板の検査領域を表示するマップ表示部と、
複数の検査ストライプ設定モードの中から所望の検査ストライプ設定モードを選択する手段と、
選択された検査ストライプ設定モードに従って前記検査領域に対する検査ストライプの位置を計算する演算手段と、
前記マップ表示部に前記被検査基板の検査領域に重ねて、計算された位置に検査ストライプを表示する手段と、
を備えることを特徴とする回路パターン検査装置。 - 請求項1記載のパターン検査装置において、前記検査ストライプ設定モードとして、ダイの検査領域の両端部及び中央部を検査するモードを有することを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項1記載のパターン検査装置において、前記検査ストライプ設定モードとして、各セル領域列の両端部を検査するモードを有することを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項1記載のパターン検査装置において、前記検査ストライプ設定モードとして、各セル領域列の両端部及び中央部を検査するモードを有することを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項1〜4のいずれか1項記載のパターン検査装置において、前記マップ表示部に表示された検査ストライプの位置を微調整する手段を有することを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項1記載のパターン検査装置において、前記検査ストライプ設定モードとして、ダイ内の任意の位置に検査ストライプを設定するモードを有することを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項1〜6のいずれか1項記載のパターン検査装置において、検査ストライプの位置を決定する検査ストライプ決定手段と、前記検査ストライプ決定手段によって決定された検査ストライプの位置情報を前記レシピファイルに反映する手段とを有することを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項1〜7のいずれか1項記載のパターン検査装置において、前記検査ストライプは幅をもって表示されることを特徴とする回路パターン検査装置。
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