JPH1145677A - 電子ビーム着地誤差補正方法及び電子ビームテスタ - Google Patents

電子ビーム着地誤差補正方法及び電子ビームテスタ

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JPH1145677A
JPH1145677A JP9200412A JP20041297A JPH1145677A JP H1145677 A JPH1145677 A JP H1145677A JP 9200412 A JP9200412 A JP 9200412A JP 20041297 A JP20041297 A JP 20041297A JP H1145677 A JPH1145677 A JP H1145677A
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Hironori Teguri
弘典 手操
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Abstract

(57)【要約】 【課題】比較的よい精度で補正を行い且つ電圧波形測定
の準備期間を短縮する。 【解決手段】試料16に供給する周期的テスト信号の論
理値変化時点、テスト信号の論理値変化時点の中間の1
時点、測定位相の始点及び終点を補正データ取得位相と
して求め、求めた各補正データ取得位相について論理状
態マッピングメモリ34内に論理状態マップを作成し、
補正値算出回路35により、このマップに基づいて各補
正データ取得位相での電子ビーム着地誤差を求め、該誤
差に基づいて各測定位相での電子ビーム偏向補正値を補
間法により求め、補正波形生成回路36の出力で電子ビ
ーム偏向量を補正して電子ビーム着地誤差を補正する。
この中間の1時点の替わりに、並列テストパターンの論
理値変化時点で区切られる区間のうち、論理値の組み合
わせが互いに異なる区間の各々における1時点を用いて
もよい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子ビーム着地誤
差補正方法及び電子ビームテスタに関する。
【0002】
【従来の技術】図9(A)中のPは、試料としての半導
体チップ上の内部配線Aの電位測定点を示している。電
子ビームテスタでは、測定点Pに電子ビームを照射し、
照射点から放出された2次電子量を検出し、その検出量
とエネルギー分析電圧との関係から電圧を測定する。し
かし、測定点Pの近傍配線の電位や電流による電磁界に
より、電圧測定誤差が生ずる。この誤差は、電子ビーム
の着地点誤差に対応している。
【0003】試料に供給するテスト信号を全て0Vにし
て着地誤差が生じないようにし、測定点Pを通り内部配
線Aに直角な方向の電子ビーム走査ラインSCに沿って
電子ビームを走査させると、電子ビーム照射位置に対す
る2次電子検出量は、図9(B)に示すようになる。試
料にテスト信号を供給した場合、各測定位相における測
定点近傍の電磁界に応じて、この2次電子検出量の波形
がシフトする。そのシフト量から、電子ビーム着地点誤
差が求められる。
【0004】図10(A)は、測定点Pの電圧波形を示
しており、横軸は測定位相ψである。各測定位相ψ0、
ψ1、ψ2、・・・について、図9(B)に示す2次電
子検出量を求め、これをメモリに格納することにより、
図10(B)に示すような言わゆる論理マップが作成さ
れる。ハッチングを施した部分は2次電子検出量が所定
値以上の部分であり、図9(A)の内部配線A及びBに
対応している。
【0005】図9(B)の波形を得る場合、各測定位相
について、図9(A)の電子ビーム走査ラインSC上の
多数点の各々につき、周期的に変化するテスト信号がこ
の測定位相になったときに電子ビームパルスを照射して
2次電子量を検出する必要がある。また、試料の種類毎
及び異なる周期的テスト信号毎に、電圧波形測定前に論
理状態マッピングを行って電子ビーム偏向補正値を決定
する必要がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】従来では、全ての測定
位相ψ=ψ0、ψ1、ψ2、・・・に関して論理状態マ
ッピングを行い、これに基づいて各測定位相での電子ビ
ーム着地誤差を求め、この誤差から電子ビーム偏向補正
値を求めていたので、電圧波形測定の準備期間である補
正値決定所要時間が長くなるという問題点があった。
【0007】データを間引いてこの準備期間を短くしよ
うとすると電子ビーム偏向補正値の精度が急低下し、準
備期間短縮化と補正精度向上の要求は相反している。本
発明の目的は、このような問題点に鑑み、比較的よい精
度で補正を行うことができ且つ電圧波形測定の準備期間
を短縮することが可能な電子ビーム着地誤差補正方法及
び電子ビームテスタを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段及びその作用効果】請求項
1の電子ビーム着地誤差補正方法では、試料に供給する
周期的テスト信号の論理値変化時点と測定位相の始点及
び終点とを補正データ取得位相として求め、求めた各補
正データ取得位相について論理状態マッピングを行い、
該論理状態マッピングに基づいて各補正データ取得位相
での電子ビーム着地誤差を求め、該電子ビーム着地誤差
に基づき各測定位相での電子ビーム偏向補正値を補間し
て求め、該補正値で電子ビーム偏向量を補正して電子ビ
ーム着地誤差を補正する。
【0009】一般に、テスト信号の論理値変化時点で電
流及び電圧が変化して測定点近傍電磁界も変化すると考
えられるので、この電子ビーム着地誤差補正方法によれ
ば、測定位相での偏向量補正値を比較的よい精度で補間
することが可能となり、また、測定位相の数よりも補正
データ取得位相の数を少なくすることが可能となるの
で、電圧波形測定の準備期間を短縮することができると
いう効果を奏する。
【0010】請求項2の電子ビーム着地誤差補正方法で
は、請求項1において、上記補正データ取得位相として
さらに、上記テスト信号の論理値変化時点の間の1時点
を含める。一般に、テスト信号の論理値変化時点の中間
の時点の電磁界は、この中間時点付近の電磁界を代表し
ていると考えられるので、この電子ビーム着地誤差補正
方法によれば、請求項1のものより比較的よい精度で、
測定位相での偏向量補正値を補間することが可能とな
り、また、論理値変化時点の間の1時点であるので、補
正データ取得位相の極端な増加を抑制することができる
という効果を奏する。
【0011】請求項3の電子ビーム着地誤差補正方法で
は、請求項1において、上記補正データ取得位相として
さらに、並列テストパターンの論理値変化時点で区切ら
れる区間のうち、論理値の組み合わせが互いに異なる区
間の各々における1時点を含め、論理値の組み合わせが
互いに同一の区間については上記電子ビーム偏向補正値
を互いに同一にする。
【0012】この電子ビーム着地誤差補正方法によれ
ば、一方では補正データ取得位相の点数が請求項2の場
合よりも大幅に減少して電圧波形測定準備期間がさらに
短縮され、他方では測定位相での偏向量補正値精度の低
下が抑制されるという効果を奏する。請求項4では、周
期的テスト信号を試料に供給し、試料上に電子ビームを
照射し、電子ビーム着地誤差を補正するために測定位相
に応じて該電子ビームの偏向量を補正し、該テスト信号
の各測定位相につき照射点から放出された2次電子の量
を検出して該照射点の電圧を測定することにより、該照
射点での電圧波形を測定する電子ビームテスタにおい
て、該テスト信号の論理値変化時点と測定位相の始点及
び終点とを補正データ取得位相として求める補正データ
取得位相決定部と、該2次電子の検出量が供給される論
理状態マッピングメモリと、求めた各補正データ取得位
相につき該検出量を取得させて該論理状態マッピングメ
モリに格納させることにより該論理状態マッピングメモ
リ内に論理状態マップを作成させる制御回路と、該論理
状態マップに基づいて各補正データ取得位相での該電子
ビーム着地誤差を求めこれに基づいて各測定位相での電
子ビーム偏向補正値を補間法により求める補正値算出部
とを有する。
【0013】請求項5の電子ビームテスタでは、請求項
4において、上記補正データ取得位相決定部は、上記補
正データ取得位相としてさらに、上記テスト信号の論理
値変化時点の間の1時点を含める。請求項6の電子ビー
ムテスタでは、請求項4において、上記補正データ取得
位相決定部は、上記補正データ取得位相としてさらに、
並列テストパターンの論理値変化時点で区切られる区間
のうち、論理値の組み合わせが互いに異なる区間の各々
における1時点を含め、上記補正値算出部は、論理値の
組み合わせが互いに同一の区間については上記電子ビー
ム偏向補正値を互いに同一にする。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施形態を説明する。 [第1実施形態]図1は、本発明の第1実施形態の電子
ビームテスタ概略構成を示す。電子ビームテスタ本体1
0では、そのコラム内で電子銃11から射出された電子
ビームが、不図示のブランキング偏向器及びアパーチャ
でパルス化され、電子ビームパルス12が、偏向器13
及び対物レンズ14を通り、試料室内の移動ステージ1
5に搭載された試料16上に照射される。照射点から放
出された2次電子17は、2次電子引き上げ電極18を
通り、その一部が2次電子エネルギー分析電極19を通
って2次電子検出器20で検出される。
【0015】電子ビームパルス12は、偏向制御回路2
1の出力が加算回路22を介し偏向器13に印加される
ことにより、偏向される。電子ビームテスタ本体10内
には不図示の上記ブランキング偏向器や他の光学素子を
備えており、これらと電子銃11、対物レンズ14及び
移動ステージ15とがテスタ本体制御回路23で制御さ
れる。すなわち、テスタ本体制御回路23は、電子ビー
ムテスタ本体10に対する制御回路のうち偏向器13に
対する偏向制御回路21及び加算回路22を除いた部分
である。
【0016】試料16の外部端子には、テスト信号発生
回路30から周期的なテスト信号が供給される。このテ
スト信号は、補正データ取得位相決定部31にも供給さ
れ、補正データ取得位相φ=φ0、φ1、φ2、・・・
が図5(A)に示すように決定される。図5(A)は、
試料16の1つの外部端子T1の電圧波形と、試料16
の図4(A)に示す内部配線A及びBの電圧波形を示し
ている。1つの外部端子T1のみの電圧波形を示してい
るのは、説明の簡単化のためである。
【0017】外部端子T1の電圧波形において、一般
に、その立ち上がり及び立ち下がりの時点で電流及び電
圧が変化して測定点Pの近傍電磁界も変化すると考えら
れる。この立ち上がりと立ち下がりの中間時点での電磁
界は、この時点付近の電磁界を代表していると考えられ
る。そこで、外部端子T1に供給されるテスト信号の論
理値変化時点と、論理値変化時点の中間の1時点、図5
(A)では論理値変化時点の間の中央の時点を、補正デ
ータ取得位相φと決定する。
【0018】図5(B)は、測定位相を示している。補
正データ取得位相φでの電子ビーム着地誤差補正用偏向
補正値を求めて測定位相での電子ビーム着地誤差補正用
偏向補正値を補間法により求めるため、測定位相の始点
及び終点も補正データ取得位相φに含める。このように
補正データ取得位相φを決定すれば、一般に、測定位相
での偏向補正値を比較的よい精度で補間することが可能
となり、また、測定位相の数よりも補正データ取得位相
の数を少なくすることが可能となるので、電圧波形測定
の準備期間を短縮することができる。
【0019】図1において、補正データ取得位相決定部
31で決定された補正データ取得位相φ=φ0、φ1、
φ2、・・・は、システム制御回路32に供給される。
試料16のCADデータに基づいて操作者により測定点
Pが指定され、システム制御回路32に供給される。シ
ステム制御回路32はこれに応答して、測定点Pの位置
をテスタ本体制御回路23に供給し、テスタ本体制御回
路23は測定点Pが光軸上に位置するように移動ステー
ジ15を移動させる。
【0020】次にシステム制御回路32はテスタ本体制
御回路23へSEM像取得指令を供給し、テスタ本体制
御回路23はこれに応答して偏向制御回路21を介し電
子ビームを走査させる。2次電子検出器20で検出され
た2次電子17は、2次電子量検出回路33に供給され
て増幅され、サンプリングされデジタル値に変換され、
これが不図示のフレームメモリに供給され、その内容が
SEM像として不図示の表示装置に表示される。
【0021】図4(A)は、表示されたSEM像を示
す。表示画面上で測定点Pを通り、内部配線Aに垂直な
電子ビーム走査ラインSCを設定する。電子ビーム走査
ラインSCは、ほぼ同じ電子ビーム着地誤差が得られる
許容範囲R内で設定すればよい。電子ビーム走査ライン
SCの設定データ、例えばその始点と終点の座標は、シ
ステム制御回路32に供給され、システム制御回路32
はこれに基づいて補正データ取得位相φ=φ0、φ1、
φ2、・・・に関し論理状態マップを得るために、テス
タ本体制御回路23を介して電子ビームパルス12を制
御し、2次電子量検出回路33にサンプリングのタイミ
ング信号を供給して2次電子量を検出する。補正データ
取得位相φ=φ0、φ1、φ2、・・・の各々につい
て、電子ビーム走査ラインSC上の所定刻みの各点につ
き、周期的テスト信号がこの位相になったときに電子ビ
ームパルスを照射して2次電子量を検出する。テスト信
号の周期毎に、トリガパルスがシステム制御回路32へ
供給され、このトリガパルスに基づいて補正データ取得
位相φ=φ0、φ1、φ2、・・・がシステム制御回路
32で認識される。2次電子量検出回路33の出力は論
理状態マッピングメモリ34に書き込まれ、図10
(B)に対応した論理状態マップが得られる。このマッ
プは、補正データ取得位相φ=φ0、φ1、φ2、・・
・に関するものであり、全ての測定位相ψ=ψ0、ψ
1、ψ2、・・・に関する図10(B)の場合よりもデ
ータ量が削減されている。
【0022】補正値算出回路35は、論理状態マッピン
グメモリ34φ=φ0、φ1、φ2、・・・に書き込ま
れたこのマップに基づき、次のようにして電子ビーム着
地誤差を求め、これに比例した電子ビーム偏向補正値を
求める。図4(B)は、補正データ取得位相φ=φ0及
びφ=φ1での電子ビーム照射位置に対する2次電子検
出量を示す。φ=φ0では、試料16に供給される全て
のテスト信号が0Vで定常状態になっているとする。こ
の場合、電子ビーム着地誤差は0になる。φ=φ1で
は、測定点近傍電磁界により、電子ビーム着地誤差が生
じ、2次電子検出量の波形が補正データ取得位相φ=φ
0でのそれからシフトしている。補正データ取得位相φ
=φ0での2次電子検出量の波形のエッジ位置に対する
補正データ取得位相φ=φ1でのそれのずれが電子ビー
ム着地誤差を示している。このずれは、例えば、これら
の波形をスライスレベルSLで2値化し、両者の排他的
論理和(EXOR)をとり、その1つの高レベル‘H’
の幅又は複数の高レベル‘H’の幅の平均値として得ら
れる。或いは、これらの波形の相対位置を変数とした相
互相関度を変数とした相互相関度を算出し、相互相関度
が最大値になる該相対位置を求めることにより得られ
る。このような処理を補正データ取得位相φ0と他の補
正データ取得位相φ2、φ3、φ4、・・・の各々とに
ついても行う。
【0023】補正値算出回路35は、補正データ取得位
相φ0、φ1、φ2、・・・での偏向補正値Cに基づい
て、補間により全ての測定位相について偏向補正値Cを
算出し、これを補正波形生成回路36に供給する。補間
は、例えば、図6に示すように、補正データ取得位相φ
0〜φ4での偏向補正値Cを用いて、論理値変化時点の
前後の短い期間内、例えば{(論理値変化時点)−1.
3(測定位相周期)}〜{(論理値変化時点)+1.3
(測定位相周期)}における測定位相での偏向補正値
を、論理値変化時点に一致した補正データ取得位相(図
6のφ1及びφ3)での偏向補正値Cと同一値にし、そ
の他の測定位相での偏向補正値を、その付近の補正デー
タ取得位相(図6のφ0、φ2及びφ4)での偏向補正
値Cと同一値にする。或いは、図7に示すように、補正
データ取得位相φ0〜φ4での偏向補正値Cを用いて、
直線近似補間により、測定位相ψ1〜ψ10での偏向補
正値を求めする。
【0024】偏向補正値Cは補正波形メモリ361に書
き込まれる。測定位相インクリメントパルスINCがカ
ウンタ362でカウントされ、その計数値iにより補正
波形メモリ361がアドレス指定されて、偏向補正値C
iが補正波形メモリ361から読み出される。この偏向
補正値Ciは、D/A変換器363でアナログ値に変換
され、増幅回路364で増幅され、偏向補正値CAiと
して取り出される。
【0025】電圧波形測定時には、測定開始指令がシス
テム制御回路32からテスタ本体制御回路23へ供給さ
れて、測定点Pへ電子ビームパルス12を照射するため
の偏向電圧が偏向制御回路21から加算回路22へ供給
され、また、システム制御回路32から補正波形生成回
路36のカウンタ362へリセットパルスRSTが供給
されてi=0にされ、補正波形生成回路36から偏向補
正値CA0が加算回路22へ供給される。
【0026】次に、以下のような処理がi=0,1,
2,・・・について順次行われる。すなわち、測定位相
ψiでの測定指令がシステム制御回路32からテスタ本
体制御回路23に供給されて、測定位相ψiで測定点P
に電子ビームパルス12が照射され、これに応じたサン
プリングのタイミング信号が2次電子量検出回路33へ
供給される。2次電子量検出回路33の出力は、電圧検
出部37に供給され、これとエネルギー分析電極19の
電位との関係から測定点Pの電圧が検出される。
【0027】このようにして、全ての測定位相での補正
された電圧が求められる。図3は、図1の電子ビームテ
スタの概略処理手順を示す。 (40)テスト信号発生回路30から出力される周期的
なテストパターンの1周期分が補正データ取得位相決定
部31に供給されて保持される。 (41)補正データ取得位相決定部31により、図5
(A)に示すようにして補正データ取得位相φ=φ0〜
φ13が決定される。
【0028】(42)これら補正データ取得位相φ0〜
φ13について、論理状態マッピングメモリ34に論理
状態マップが書き込まれる。 (43)補正値算出回路35により、論理状態マッピン
グメモリ34の内容に基づいて各補正データ取得位相φ
=φ0〜φ13での補正値が算出され、補間法により各
測定位相での補正値が求められる。
【0029】以上のステップ40〜43の処理期間が電
圧波形測定の準備期間となる。 (44)各測定位相について、測定位相での測定点Pの
電圧測定時に、偏向補正値CAiが補正波形生成回路3
6から出力され、これと偏向制御回路21の出力とが加
算回路22で加算されて偏向器13に供給され、測定点
Pの電圧が電圧検出部37で検出される。
【0030】なお、ステップ40〜43では、偏向補正
値CAiが0にされる。 [第2実施形態]試料16のデータ入力端子は例えば8
点あり、その各々にテスト信号が供給されるので、上記
第1実施形態で求められた補正データ取得位相の数は実
際には図5に示すものよりも多くなる。この数を低減す
る方法を、第2実施形態として図8に示す。図8(A)
では、図5(A)に外部端子T0の電圧波形が加えられ
ている。
【0031】テスト信号の論理値変化時点については、
外部端子T0及びT1の各々について優劣がないので補
正データ取得位相とする。論理値変化時点の中間の1時
点については、外部端子T0の論理値と外部端子T1の
論理値との組み合わせである並列テストパターンが同じ
であれば、電子ビーム着地誤差が同一であると仮定す
る。
【0032】図8(A)の区間a〜pの並列パターンの
うち、区間a、b、c及びeの並列パターンが互いに異
なり、これらの区間の中間時点をそれぞれ図示のように
補正データ取得位相φ1、φ3、φ5及びφ8とする。
他の点は、第1実施形態の場合と同一である。また、テ
スト信号数が3以上の場合も上記同様である。
【0033】この第2実施形態によれば、補正データ取
得位相の点数が第1実施形態の場合よりも大幅に減少し
て電圧波形測定準備期間がさらに短縮される。なお、本
発明には外にも種々の変形例が含まれる。例えば、図3
のステップ43の次に、得られた補正値で偏向制御回路
21の出力を補正して一部の補正データ取得位相φに関
しステップ42の処理を行うことにより、着地誤差の補
正の程度を確認し、着地誤差がより小さくなるように着
地誤差と偏向補正値との比例係数を修正してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態の電子ビームテスタ概略
構成を示すブロック図である。
【図2】図1中の補正波形生成回路の構成例を示す図で
ある。
【図3】図1の電子ビームテスタの概略処理手順を示す
フローチャートである。
【図4】(A)は論理状態マッピング用電子ビーム走査
ラインを示す図であり、(B)はこの走査ライン上での
2次電子検出量と電子ビーム着地誤差との関係を示す図
である。
【図5】(A)は補正データ取得位相決定方法説明用タ
イムチャートであり、(B)は測定位相を示す図であ
る。
【図6】図1の補正値算出回路で求められた偏向補正値
を示す線図である。
【図7】図1の補正値算出回路で求められた他の偏向補
正値を示す線図である。
【図8】(A)は本発明の第2実施形態の補正データ取
得位相φ決定方法説明用タイムチャートであり、(B)
は測定位相を示す図である。
【図9】(A)は論理状態マッピング用電子ビーム走査
ラインを示す図、(B)はこの走査ライン上での2次電
子検出量を示す図である。
【図10】(A)は測定値の電圧波形図、論理状態マッ
プである。
【符号の説明】
10 電子ビームテスタ本体 11 電子銃 12 電子ビームパルス 13 偏向器 16 試料 17 2次電子 20 2次電子検出器 21 偏向制御回路 22 加算回路 30 テスト信号発生回路 31 補正データ取得位相決定部 32 システム制御回路 34 論理状態マッピングメモリ 35 補正値算出回路 36 補正波形生成回路 SC 電子ビーム走査ライン
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01L 21/30 541Z

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 試料に供給する周期的テスト信号の論理
    値変化時点と測定位相の始点及び終点とを補正データ取
    得位相として求め、 求めた各補正データ取得位相について論理状態マッピン
    グを行い、 該論理状態マッピングに基づいて各補正データ取得位相
    での電子ビーム着地誤差を求め、 該電子ビーム着地誤差に基づき各測定位相での電子ビー
    ム偏向補正値を補間して求め、 該補正値で電子ビーム偏向量を補正して電子ビーム着地
    誤差を補正することを特徴とする電子ビーム着地誤差補
    正方法。
  2. 【請求項2】 上記補正データ取得位相としてさらに、
    上記テスト信号の論理値変化時点の間の1時点を含める
    ことを特徴とする請求項1記載の電子ビーム着地誤差補
    正方法。
  3. 【請求項3】 上記補正データ取得位相としてさらに、
    並列テストパターンの論理値変化時点で区切られる区間
    のうち、論理値の組み合わせが互いに異なる区間の各々
    における1時点を含め、 論理値の組み合わせが互いに同一の区間については上記
    電子ビーム偏向補正値を互いに同一にする、 ことを特徴とする請求項1記載の電子ビーム着地誤差補
    正方法。
  4. 【請求項4】 周期的テスト信号を試料に供給し、試料
    上に電子ビームを照射し、電子ビーム着地誤差を補正す
    るために測定位相に応じて該電子ビームの偏向量を補正
    し、該テスト信号の各測定位相につき照射点から放出さ
    れた2次電子の量を検出して該照射点の電圧を測定する
    ことにより、該照射点での電圧波形を測定する電子ビー
    ムテスタにおいて、 該テスト信号の論理値変化時点と測定位相の始点及び終
    点とを補正データ取得位相として求める補正データ取得
    位相決定部と、 該2次電子の検出量が供給される論理状態マッピングメ
    モリと、 求めた各補正データ取得位相につき該検出量を取得させ
    て該論理状態マッピングメモリに格納させることにより
    該論理状態マッピングメモリ内に論理状態マップを作成
    させる制御回路と、 該論理状態マップに基づいて各補正データ取得位相での
    該電子ビーム着地誤差を求めこれに基づいて各測定位相
    での電子ビーム偏向補正値を補間法により求める補正値
    算出部と、 を有することを特徴とする電子ビームテスタ。
  5. 【請求項5】 上記補正データ取得位相決定部は、上記
    補正データ取得位相としてさらに、上記テスト信号の論
    理値変化時点の間の1時点を含めることを特徴とする請
    求項4記載の電子ビームテスタ。
  6. 【請求項6】 上記補正データ取得位相決定部は、上記
    補正データ取得位相としてさらに、並列テストパターン
    の論理値変化時点で区切られる区間のうち、論理値の組
    み合わせが互いに異なる区間の各々における1時点を含
    め、 上記補正値算出部は、論理値の組み合わせが互いに同一
    の区間については上記電子ビーム偏向補正値を互いに同
    一にする、 ことを特徴とする請求項4記載の電子ビームテスタ。
JP9200412A 1997-07-25 1997-07-25 電子ビーム着地誤差補正方法及び電子ビームテスタ Withdrawn JPH1145677A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007003404A (ja) * 2005-06-24 2007-01-11 Hitachi High-Technologies Corp 回路パターン検査装置

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JP2007003404A (ja) * 2005-06-24 2007-01-11 Hitachi High-Technologies Corp 回路パターン検査装置

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