JP5657393B2 - 炭素基板または金属基板上でのカーボンナノチューブの成長 - Google Patents
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Description
本発明は、カーボンナノチューブベースの複合材料の製造に関する。さらに詳しくは、化学気相成長法(CVD)による炭素基板または金属基板上におけるカーボンナノチューブの成長に関する。
カーボンナノチューブは、ナノスケールにおいて優れた機械特性、電気特性および熱特性を示す。カーボンナノチューブの構造、寸法および形状因子(長さと径の比が高い)が独特であることから、ナノチューブは実用性が極めて高いということがわかっている。伝達傾向が低く、最大電流が大きいなどの特性により、集積回路における導電性パスの代わりとしてカーボンナノチューブを使用することができる。これまでの研究の結果、これらのナノ構造が極めて高い抗張力を示すこと、およびナノ構造の電気的挙動が、その構造によって半導性から金属性まで様々に変化し得ることが分かっている。この導電率に加え、極めて高い熱伝導率も示すため、ナノ構造を複合材料に組み込むという考えはすぐに現れてきた。
−材料の基質(例えばポリマー)内にカーボンナノチューブを整列すること
−材料の既存の補強剤(例えば繊維ガラス、アルミナ繊維、炭素繊維など)にカーボンナノチューブを組み込むこと、
が実際に可能である。
カーボンナノチューブを実際に成長させる前に粒子を生成する予備含浸法であって、好適な金属塩の溶液に浸すことによって含浸した後、カーボンナノチューブを成長させるために、炭素を含有する気体を注入する方法と、
炭素源である有機溶媒中に有機金属化合物を溶解した溶液を加熱炉に注入して蒸発させる方法とである。
−炭素基板上にカーボンナノチューブを成長させるのは困難である。
−得られるカーボンナノチューブの密度は概ね低く、さらに言えば極めて低く、簡単な方法(例えば合成パラメータ)を用いても顕著な改善は見られない。
−得られるカーボンナノチューブの長さは短いことが多く、制御が困難で成長速度が遅い。
−ナノチューブの形態は、(特に湾曲に関して)数々の欠点を提示している。
−カーボンナノチューブの配列はランダムであるか、または特定の配向に向かう傾向があり、実質的に配列したカーボンナノチューブの成長を得ることができない。
本発明は、反応器内で基板上にてカーボンナノチューブを作製する方法を提案する。特に、本方法を、単一の装置および同じ装置において好適に実施することができる。
−例えばカーボンナノチューブのための炭素の前駆体を含んでいる、噴霧される第二の液体と、好適には、カーボンナノチューブを成長させる触媒となる金属の前駆体とを上記反応器に注入し、続いて熱分解させることによって、上記副層上にカーボンナノチューブを成長させる第二の段階。
−第一技術(例えば上記文献に記載したような電着)に基づき、触媒層を堆積する堆積ステップ、および
−カーボンナノチューブ自体を成長させるために他の技術(例えばCVD)を使用する第二堆積ステップである。
以下の詳細な説明および添付の図面から、本発明の他の特徴および利点が明らかとなる。
図15に示すように、処理は、少なくとも1つのタンクT1、少なくとも1つの注入器IN1、蒸発器EV、反応チャンバRC(または反応器)、および排出システムSOという5つの異なる構成要素を有する装置において実施される。この装置は、化学気相成長法CVDおよび特にカーボンナノチューブの成長に適応されている。一般に、処理の第一の段階において、タンクT1の循環路内にて液体Aの溶媒として炭化水素を使用する。炭化水素は蒸発を助けることに役立つ。液体A中のセラミックの前駆体のみが、有機金属化合物として副層の成長に関わる。示された例において、第二タンクT2および第二注入器IN2は、処理の第二の段階において、タンクT2の循環路内にて使用される液体Bのために用いられる。液体Bは炭化水素を含んでおり、この液中に、ナノチューブの成長を促進する触媒としての金属の前駆体(例えば有機金属化合物など)が溶解している。したがって、液体Bは炭素源を構成し、触媒を提供する。
上記説明と同様に、以下の実験結果の目的は、本発明を例示することにあり、発明の範囲を限定する意図はない。
使用する液化炭化水素は(無水)トルエンであり、シリカ副層の前駆体はテトラエチルオルトシランTEOSである。副層の堆積後にナノチューブを成長させるために触媒として機能する金属(Fe)前駆体はフェロセンである。炭素源はトルエンである。TEOSは無水トルエンに溶解し、(固体)フェロセンはトルエンに溶解する。トルエン中のフェロセンの濃度は、2.5重量%である(以下の全ての例にも当てはまる)。得られた溶液をそれぞれ液体容器に注ぎ、液体を注入器に向けて移動させるために、圧力1barのアルゴンを加える。
周波数3Hzにて、
−ニードルバルブの開放期間が2×10−3秒であり、
−総注入時間が230秒であり、
−注入する溶液の質量が1.72g/分である
という条件下にて、690滴のTEOS/トルエン溶液の液滴を注入する。
第一の段階では、上述した条件と全く同じ条件下にて、合計60秒間、180滴を注入する。図7に示すように、副層のみを堆積された基板(炭素繊維)は、表面上に堆積された、厚み250ナノメートル(電子線マイクロプローブによって測定)のSiO2層を示している。
上述した条件と全く同じ条件下にて、合計23秒間、69滴を注入する。図9に示すように、極めて薄い層が、堆積された炭素繊維を覆っている。堆積物の電子線測定(種々の加速電圧およびパターニングでの組成測定)によると、厚みは約140nmである。
アルミナ層の堆積に、1モル/Lのトリブトキシドアルミニウムのトルエン溶液を使用する。ナノチューブ(NTC)の成長段階で使用する溶液は、炭素源として機能する液化炭化水素(トルエン)、および触媒として機能する金属(Fe)の前駆体(フェロセン)からなる。液体を注入器の方向に押し出すために、圧力1barのアルゴンを加える。
酸化ジルコニウム(ZrO2)副層の堆積のために、1モル/Lのジルコニウムテトラブトシシドのトルエン溶液を使用する。ナノチューブの成長段階に使用する溶液は、トルエンおよびフェロセンからなる。液体を注入器の方向に押し出すために、圧力1barのアルゴンを加える。
非酸化物セラミック層の堆積のために、1モル/Lのヘキサメチルジシラザン(HMDS)またはテトラキス(ジメチルアミノ)シラン(4−DMAS)のトルエン溶液を使用する。ナノチューブの成長段階に使用する溶液は、トルエンおよびフェロセンからなる。液体を注入器の方向に押し出すために、圧力1barのアルゴンを加える。
図16は、Sonoyama et al. in Carbon vol. 44, p. 1754 (2006)に記載された従来技術によって得られる、炭素繊維上に堆積されたナノチューブを示す図である。この技術は、ナノチューブを成長させる前に、800℃の温度T1にて30秒間、フェロセンのキシレン溶液(FeCp2)を堆積し、金属触媒を得るステップと、0.024重量%のH2SにてFeCp2を含まないキシレンを注入しながら、1000℃の温度T2にて10分間ナノチューブを成長させるステップとからなる。示された繊維は、ナノチューブが繊維のマットを形成している図8などと比較すると、それほど高密度ではなく密集もしていないナノチューブの「毛羽」に覆われている。ここで、図8は、(パイル生地のような)ナノチューブによって形成された毛羽を有する炭素繊維を示している。この毛羽は、これらのナノチューブの各軸が繊維によって形成された基板表面に対して明らかに垂直であるという重要な効果によって識別され得る。このようにして得られたカーボンナノチューブ(NTC)の長さは限定されている(数マイクロメートル)。
Claims (19)
- 基板上においてカーボンナノチューブを成長させる方法であって、
単一の成長反応器において、
基板上にセラミックの副層を堆積させる第一の段階と、
該セラミックの副層上にカーボンナノチューブを堆積させる第二の段階と
が順次行われ、
上記第一の段階および上記第二の段階の間において上記基板を外気に触れさせずに、同じ反応器内にて上記第一の段階および上記第二の段階が連続して行われ、
上記セラミックの副層は、30mbar〜150mbarの範囲の圧力下にて、10秒〜10分間堆積されることによって得られる20nm〜500nmの厚さのセラミックの副層であり、
上記セラミックの副層は、上記基板の表面の凹凸および不均一を全て均一に被覆することを特徴とする方法。 - 前記基板が、堆積された前記副層の少なくとも一部を受容する、炭素を含有する表面を有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記基板が、堆積された前記副層の少なくとも一部を受容する、金属表面を有することを特徴とする請求項1または2に記載の方法。
- 前記副層および前記ナノチューブの成長が、化学気相成長法によって行われることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記セラミックの副層の堆積が、該セラミックの前駆体を含んでいる第一の液体を前記反応器において熱分解することによって行われることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記カーボンナノチューブの堆積が、炭素の前駆体を含んでいる第二の液体を前記反応器において熱分解することによって行われることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ナノチューブを成長させるための触媒を提供する金属の前駆体を、前記第二の液体がさらに含んでいることを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 前記第一の液体を、前記反応器の上流に位置する蒸発器内に液滴状に噴霧することによって注入することを特徴とする請求項5に記載の方法。
- 前記第二の液体を、前記反応器の上流に位置する蒸発器内に液滴状に噴霧することによって注入することを特徴とする請求項6または7に記載の方法。
- 任意の周波数のパルスにて間欠的に前記液滴を前記蒸発器内に注入することを特徴とする請求項8または9に記載の方法。
- 前記第一の段階および前記第二の段階を200〜1200℃の温度にて実施することを特徴とする請求項1〜10のいずれか一項に記載の方法。
- 少なくとも前記副層の厚みの閾値よりも薄い場合に、前記カーボンナノチューブの層の厚みが前記セラミックの副層の厚みの増加関数であることを特徴とする請求項1〜11のいずれか一項に記載の方法。
- 請求項1〜12のいずれか一項に記載の方法を実施することによって得られる多層構造であって、
少なくとも1つのセラミックの副層上に堆積された、配列されたカーペット状のカーボンナノチューブの層を含んでいることを特徴とする多層構造。 - 前記セラミックの副層上に堆積されたカーボンナノチューブの密度が、109〜1010ナノチューブ/cm2であることを特徴とする請求項13に記載の多層構造。
- 請求項13または14に記載の多層構造に覆われた強化繊維。
- 請求項15に記載の強化繊維を少なくとも1つ含んでいる有機基質複合材料。
- 請求項13または14に記載の多層構造に覆われた金属基板。
- 請求項17に記載の金属基板を有するエネルギー保存材料。
- セラミックの前駆体と炭素の前駆体とを少なくとも収容する成長反応器を備えている、請求項1〜12のいずれか一項に記載の方法を実施するための成長装置であって、
化学気相成長法によって前記成長が行われ、
該成長装置は、液滴状の該前駆体を該成長反応器の上流に位置する蒸発器に注入するためのシステムをさらに備えていることを特徴とする成長装置。
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