JP5637220B2 - 多結晶シリコンインゴット鋳造用鋳型及びその製造方法並びに多結晶シリコンインゴット鋳造用鋳型の離型材用窒化珪素粉末及びそれを含有したスラリー - Google Patents
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Description
最初に、本発明に係る離型層を有する多結晶シリコンインゴット鋳造用鋳型の製造に必要な結晶質窒化珪素を作製した。
この窒化珪素粉末(A)と(B)を重量割合5:5〜9:1として採取した窒化珪素配合粉末10gと蒸留水40gおよび10φmm窒化珪素ボール100gを、100ccのポリエチレン製の瓶に入れ密栓し、振幅5mm、振動数1780spmの振動ミル上に固定して、5分間混合することで20wt%水スラリーを調製した。
シリコンジイミドの熱分解法によって得られたSEM画像による寸法測定によって算出した平均短軸粒子径が0.22μmの窒化珪素粉末(宇部興産SN−E10)を、大気雰囲気下、バッチ式電気炉で1000℃×3hr加熱処理を行うことによって酸素濃度7.5wt%の窒化珪素粉末(A2)を得た。酸素濃度はLECO社製TC−136型酸素窒素同時分析装置を用いて測定した。この窒化珪素粉末(A2)10gと蒸留水40gおよび10φmm窒化珪素ボール100gを、100ccのポリエチレン製の瓶に入れ密栓し、振幅5mm、振動数1780spmの振動ミル上に固定して、5分間混合することで20wt%水スラリーを調製した。
実施例1〜15と同様に多結晶シリコンインゴット鋳造用鋳型の製造方法に必要な結晶質窒化珪素を作製した。
2 粗大な窒化珪素粒子
3 微細な窒化珪素粒子
Claims (5)
- 平均短軸粒子径が0.6〜13μmである窒化珪素粉末(A)と、平均短軸粒子径が0.1〜0.3μmである窒化珪素粉末(B)とを重量割合で5:5〜9:1に配合した窒化珪素粉末を水に混合してスラリーを形成するスラリー形成工程と、
該スラリーを鋳型表面に塗布するスラリー塗布工程と、
該スラリー塗布工程後、酸素を含む雰囲気下800〜1200℃で、鋳型を加熱する加熱工程と、
を備えることを特徴とする離型層を有する多結晶シリコンインゴット鋳造用鋳型の製造方法。 - 前記鋳型表面に塗布されたスラリーの水分を鋳型内に浸透させる水分浸透工程をさらに備え、
前記加熱工程は、該水分浸透工程後に行なうことを特徴とする請求項1記載の離型層を有する多結晶シリコンインゴット鋳造用鋳型の製造方法。 - 平均短軸粒子径が0.6〜13μmである窒化珪素粉末(A)と、平均短軸粒子径が0.1〜0.3μmである窒化珪素粉末(B)とが重量割合5:5〜9:1で含まれていることを特徴とする多結晶シリコンインゴット鋳造用鋳型の離型材用窒化珪素粉末。
- 請求項3記載の窒化珪素粉末を水に混合させることを特徴とする多結晶シリコンインゴット鋳造用鋳型の離型材用窒化珪素粉末含有スラリー。
- 請求項3記載の窒化珪素粉末を用いて離型層が鋳型内面に形成されたことを特徴とする多結晶シリコンインゴット鋳造用鋳型。
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