JP5600100B2 - 安定な高濃度ケイ素スラリー - Google Patents
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Description
電子装置中に用いられるシリコンウエハは、典型的には単結晶ケイ素インゴットから調製され、このインゴットは先ずダイアモンド鋸を用いて薄いウエハに切り出され、そして次いで鋸切断工程から生じた表面欠陥を取り除くために研摩される。次いで、このシリコンウエハは、それらが電子装置における使用に許容される前に、極めて小さい表面粗さを有する表面を与えるように、典型的には最終研磨工程を必要とする。
シリコンウエハの最終研磨を行なう現行方法は、しばしばシリカを研磨剤として水性担体中に含み、そして更に、アミンもしくは第四級アンモニウム塩のような添加剤を研磨速度向上剤として含む、研磨組成物を用いている。しかしながら、シリコンウエハ用の慣用の研磨組成物は、一般に１０〜２０ミクロンのシリカを取り除くために１０分間超の研磨を必要とする。
シリコンをより迅速に研磨するのに用いることができ、生産高を向上させ、そして生産容量をより効率的に使用せしめる研磨組成物が望まれている。
更に、研磨組成物を濃縮物として（例えば、出荷容量および質量を低減させるために）出荷することが望ましく、この濃縮物は、次いで使用者によって、研磨の前に希釈される。しかしながら、慣用のシリコン研磨組成物は、高濃度ではコロイド不安定性を示し、希釈時に研磨粒子の再分散において困難を引き起こす。従って、当技術分野においては、シリコンウエハ用の改善された研磨組成物への重大な必要性が依然として存在している。
本発明は、（ａ）湿式法シリカ、（ｂ）Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｎ＋Ｘ−、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｐ＋Ｘ−、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｓ＋Ｘ−、イミダゾリウム塩、およびピリジニウム塩からなる群から選ばれた、０．０１質量％〜０．５質量％の安定剤化合物（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ４のそれぞれは独立してＣ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ７〜Ｃ１２アリールアルキル、またはＣ６〜Ｃ１０アリールである）、（ｃ）０．００２質量％〜０．２質量％のカリウム塩、（ｄ）０．００２質量％〜０．２質量％の第２級アミン化合物、および（ｅ）水、を含む化学機械研磨組成物を提供し、ここでこの研磨組成物は９〜１２のｐＨを有している。
また、本発明は、（ａ）５質量％〜２０質量％の湿式法シリカ、（ｂ）Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｎ＋Ｘ−、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｐ＋Ｘ−、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｓ＋Ｘ−、イミダゾリウム塩、およびピリジニウム塩からなる群から選ばれた、１質量％〜８質量％の安定剤化合物（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ４のそれぞれは独立してＣ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ７〜Ｃ１２アリールアルキル、またはＣ６〜Ｃ１０アリールである）、（ｃ）０．４質量％〜４質量％のカリウム塩、（ｄ）０．４質量％〜４質量％の第２級アミン化合物、および（ｅ）水、を含む化学機械研磨組成物であって、ここでこの研磨組成物は９〜１２のｐＨを有しており、そして４５℃で１０日間の貯蔵の後の研磨組成物中のシリカの平均粒度、Ｄ１および、研磨組成物中のシリカの初期の平均粒度、Ｄ０が、以下の式：Ｄ１／Ｄ０≦１．５を満足する、化学機械研摩組成物を提供する。
本発明は更に、基板を化学機械研磨する方法を提供し、この方法は、（ｉ）基板を、研磨パッドおよび、（ａ）湿式法シリカ、（ｂ）Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｎ＋Ｘ−、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｐ＋Ｘ−、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｓ＋Ｘ−、イミダゾリウム塩、およびピリジニウム塩からなる群から選ばれた、０．０１質量％〜０．５質量％の安定剤化合物（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ４のそれぞれは独立してＣ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ７〜Ｃ１２アリールアルキル、またはＣ６〜Ｃ１０アリールである）、（ｃ）０．００２質量％〜０．２質量％のカリウム塩、（ｄ）０．００２質量％〜０．２質量％の第２級アミン化合物、および（ｅ）水、を含む化学機械研磨組成物（ここでこの研磨組成物は９〜１２のｐＨを有している）に接触させること、（ｉｉ）この研磨要素を該基板に対して動かすこと、ならびに（ｉｉｉ）該基板の少なくとも一部を研摩して該基板を研磨すること、を含んでいる。
本発明は、化学機械研摩組成物および、基板の化学機械研摩方法を提供する。
第１の態様では、この研摩組成物は、（ａ）湿式法シリカ、（ｂ）Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｎ＋Ｘ−、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｐ＋Ｘ−、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｓ＋Ｘ−、イミダゾリウム塩、およびピリジニウム塩からなる群から選ばれた、０．０１質量％〜０．５質量％の安定剤化合物（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ４のそれぞれは独立してＣ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ７〜Ｃ１２アリールアルキル、またはＣ６〜Ｃ１０アリールである）、（ｃ）０．００２質量％〜０．２質量％のカリウム塩、（ｄ）０．００２質量％〜０．２質量％の第２級アミン化合物、および（ｅ）水、を含む化学機械研磨組成物（ここでこの研磨組成物は９〜１２のｐＨを有している）、を含んでいる、から本質的になっている、または、からなっている。
この研磨組成物は湿式法シリカを含んでいる。湿式法シリカは、可溶性シリカ前駆体を、その水溶液から重合することによって調製されることを特徴としている。湿式法シリカは、典型的には非凝集の、個々に分離した粒子である粒子を含んでおり、この粒子は形状が通常は球状もしくはほぼ球状であり、しかしながら他の形状（例えば、全体的に楕円形の、四角の、または長方形の断面を備えた形状）を有することもできる。このような粒子は、典型的には、ヒュームド（すなわち、熱分解法）シリカとは構造的に異なっており、ヒュームドシリカ粒子は、揮発性前駆体の火炎加水分解を経由して調製され、そしてより高度なフラクタル次元を備えた凝集した一次粒子の鎖状構造である。
湿式法シリカの好適な例としては、縮合重合したシリカおよび塩基安定化コロイド状シリカが挙げられる。縮合重合シリカ粒子は、典型的にはＳｉ(ＯＨ)４を縮合することによって調製され、実質的に球状の粒子を形成する。前駆体Ｓｉ(ＯＨ)４は、例えば、高純度アルコキシシランの加水分解によって、またはケイ酸塩水溶液の酸性化によって得ることができる。このような縮合重合シリカ粒子は、米国特許第5,230,833号明細書に従って調製することができ、または種々の商業的に入手可能な製品、例えば、Fuso PL-1、PL-1H、PL-1SL、PL-2、PL-2L、PL-3、PL-3H、PL-3L、PL-5、PL-6L、PL-7、PL-7H、PL-1OH、およびPL-20製品、ならびにDuPont、Bayer、Applied Research、Silbond、Clariantなどから入手可能な他の同様の製品のいずれかとして得ることができる。
塩基安定化コロイド状シリカ粒子は、例えば９〜１１のｐＨを有するアルカリケイ酸塩溶液から誘導されるケイ酸から調製することでき、ここでケイ酸塩アニオンは、重合に供され、水性分散液の形態にある、所望の平均粒度を有する分離したシリカ粒子を生成する。このコロイド状シリカは、塩基、例えば水酸化ナトリウムの存在によって安定化される。本発明での使用に好適な商業的に入手可能なコロイド状シリカの、非限定的な例としては、Nissan ChemicalのSNOWTEX（登録商標）製品、Nyacol Nanotechnologies, Inc.から入手可能なNEXSIL（登録商標）およびNEXSIL A（登録商標）シリーズの製品、Nalco Chemicalから入手可能なTX13112、TX11005、DVSTS006、1034A、1050、2327および2329製品、EKA ChemicalsのBINDZIL 50/80、30/310、および40/130製品、およびH. C. Starckから入手可能なLEVASIL（登録商標）が挙げられる。
湿式法シリカ研摩粒子は、典型的には４ｎｍ〜２００ｎｍの平均粒度（例えば、平均粒子直径）を有している。好ましくは、この湿式法シリカ研摩粒子は、２０ｎｍ〜１００ｎｍ（例えば、４０ｎｍ〜７５ｎｍ）の平均粒度を有している。この点について、粒度は、これらの粒子を囲い込む最小の球体の直径を表している。
この研磨組成物は、典型的には０．０５質量％以上（例えば，０．１質量％以上、または０．５質量％以上）の湿式法シリカを含んでいる。好ましくは、この研磨組成物は、典型的には２質量％以下（例えば，１．５質量％以下、または１質量％以下）の湿式法シリカを含んでいる。より好ましくは、この研磨組成物は、０．１質量％〜２質量％（例えば，０．５質量％〜１．５質量％）の湿式法シリカ（これ以降、「シリカ」と記す）を含んでいる。
このシリカは、望ましくは研磨組成物中に、より具体的には研磨組成物の水中に懸濁している。このシリカが研磨組成物中に懸濁している場合には、このシリカは、好ましくはコロイド状安定である。用語コロイドは、水中のシリカ粒子の懸濁液を表す。コロイド状安定性は、長時間に亘るこの懸濁の維持を表している。本発明との関連では、このシリカの水中の懸濁液が１００ｍＬの目盛付シリンダー中に入れられ、そして攪拌なしに２時間の間静置された場合に、この目盛付シリンダーの底側５０ｍＬ中の粒子濃度（ｇ/ｍＬで［Ｂ］）と、この目盛付シリンダーの上側５０ｍＬ中の粒子濃度（ｇ／ｍＬで［Ｔ］）の間の差を、このシリカ組成物の初期の粒子濃度（ｇ／ｍＬで［Ｃ］）割ったものが、０．５以下（すなわち、｛［Ｂ］−［Ｔ］｝／［Ｃ］≦０．５）であれば、シリカはコロイド状安定であると考えられる。この｛［Ｂ］−［Ｔ］｝／［Ｃ］の値は、望ましくは０．３以下、そして好ましくは０．１以下である。
この研磨組成物は、安定剤化合物、すなわち、１種もしくは２種以上の安定剤化合物を含んでいる。この安定剤化合物は、研磨組成物中での、シリカ粒子のコロイド状安定性を向上させると信じられる。この安定剤化合物は、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｎ＋Ｘ−、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｐ＋Ｘ−、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｓ＋Ｘ−、イミダゾリウム塩、およびピリジニウム塩からなる群から選ばれ、ここでＲ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ４のそれぞれは独立してＣ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ７〜Ｃ１２アリールアルキル、またはＣ６〜Ｃ１０アリールである。Ｃ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ７〜Ｃ１２アリールアルキル、またはＣ６〜Ｃ１０アリールは、更に１つもしくは２つ以上のヒドロキシル基で置換されていてもよい。当業者には理解されるであろうように、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｎ＋Ｘ−は通常はアンモニウム塩と称され、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｐ＋Ｘ−は通常はホスホニウム塩と称され、そしてＲ１Ｒ２Ｒ３Ｓ＋Ｘ−は通常はスルホニウム塩と称される。好ましくは、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ４は独立してＣ１〜Ｃ６アルキル（例えば、Ｃ１〜Ｃ４アルキル、またはＣ１〜Ｃ３アルキル、またはＣ１〜Ｃ２アルキル、またはメチル）である。この安定剤化合物がイミダゾリウム塩である場合には、好ましくは、イミダゾリウム塩は、イミダゾール環の１位および３位が置換されている。この安定剤化合物がピリジニウム塩である場合には、このピリジニウム塩は、ピリジン環の窒素原子に結合したＣ１〜Ｃ６アルキル基を有しているであろう。このピリジン環の炭素原子は非置換でもよく、またはこのピリジン環の炭素原子は、いずれかの位置が、１つもしくは２つ以上のＣ１〜Ｃ６アルキル基で更に置換されていてもよい。アニオンＸ−は、いずれかの好適なアニオンであることができる。好ましくはアニオンＸ−は、この研磨組成物のいずれの成分とも反応しない。好適なアニオンＸ−の非限定的な例としては、ヒドロキシド、クロリド、ブロミド、フルオリド、硝酸塩、硫酸塩、硫酸水素塩、メタンスルホン酸、硫酸メチル（すなわち、ＣＨ３ＯＳＯ３ −）などが挙げられる。安定剤化合物の好適なカチオン性化合物の非限定的な例としては、テトラメチルアンモニウム、テトラエチルアンモニウム、テトラプロピルアンモニウム、テトラブチルアンモニウム、テトラペンチルアンモニウム、エチルトリメチルアンモニウム、ジエチルジメチルアンモニウム、テトラメチルホスホニウム、テトラエチルホスホニウム、テトラプロピルホスホニウム、テトラブチルホスホニウム、テトラフェニルホスホニウム、メチルトリフェニルホスホニウム、エチルトリフェニルホスホニウム、ブチルトリフェニルホスホニウム、ベンジルトリフェニルホスホニウム、ジメチルジフェニルホスホニウム、ヒドロキシメチルトリフェニルホスホニウム、ヒドロキシエチルトリフェニルホスホニウム、トリメチルスルホニウム、トリエチルスルホニウム、１−エチル−３−メチルイミダゾリウム、１−ブチル−３−メチルイミダゾリウム、１−ベンジル−３−メチルイミダゾリウム、１−ヘキシル−３−メチルイミダゾリウム、１−エチル−２，３−ジメチルイミダゾリウム、および１−メチルピリジニウムが挙げられる。
この研磨組成物は、典型的には０．０１質量％以上（例えば、０．１質量％以上、または０．２質量％以上）の安定剤化合物を含んでいる。好ましくは、この研磨組成物は、０．５質量％以下（例えば、０．４質量％以下、または０．３５質量％以下）の安定剤化合物を含んでいる。より好ましくは、この研磨組成物は、０．０１質量％〜０．５質量％（例えば、０．１質量％〜０．４質量％、または０．２質量％〜０．３５質量％）の安定剤化合物を含んでいる。
この研磨組成物は、カリウム塩、すなわち、１種もしくは２種以上のカリウム塩を含んでいる。このカリウム塩は、いずれかの好適なカリウム塩であることができる。好ましくは、カリウム塩は、炭酸水素カリウム、炭酸カリウム、または炭酸水素カリウムおよび炭酸カリウムの混合物である。
この研磨組成物は、典型的には０．００２質量％以上（例えば、０．０２質量％以上、または０．０５質量％以上）のカリウム塩を含んでいる。好ましくは、この研磨組成物は、０．２質量％以下（例えば、０．１５質量％以下、または０．１０質量％以下）のカリウム塩を含んでいる。より好ましくは、この研磨組成物は、０．０１質量％〜０．２質量％（例えば、０．０５質量％〜０．１５質量％）のカリウム塩を含んでいる。
この研磨組成物は、第２級アミン化合物、すなわち１種もしくは２種以上の第２級アミン化合物を含んでいる。好ましくは、この第２級アミン化合物はピペラジンである。ピペラジンは、塩（例えば、酸付加塩）の形態で存在することができ、そしてそのモノ−もしくはジ−酸付加塩として存在することができることが理解されるであろう。ピペラジンは、固体六水和物化合物としても存在する。
この研磨組成物は、典型的には０．００２質量％以上（例えば、０．０２質量％以上、または０．０５質量％以上）の第２級アミン化合物を含んでいる。好ましくは、この研磨組成物は、０．２質量％以下（例えば、０．１５質量％以下、または０．１０質量％以下、または更には０．０８質量％以下）の第２級アミン化合物を含んでいる。より好ましくは、この研磨組成物は、０．００２質量％〜０．２質量％（例えば、０．０５質量％〜０．１５質量％）の第２級アミン化合物を含んでいる。この第２級アミン化合物がピペラジンである場合には、研磨組成物中に存在するピペラジンの量は、研磨組成物を調製するのに用いられた特定のピペラジン化合物（例えば、無水ピペラジン、ピペラジン水和物、ピペラジン塩酸塩など）によって提供されるＣ４Ｈ８Ｎ２としてのピペラジンの量で表される。
この研磨組成物は、９〜１２のｐＨ（例えば、９〜１１、または９〜１０、または１０〜１１、または１１〜１２）を有している。この研磨組成物は、所望により、ｐＨ調節剤、例えば水酸化アンモニウム、水酸化カリウム、硝酸、硫酸、またはリン酸を含んでいる。この研磨組成物は、所望により、ｐＨ緩衝系、例えば炭酸ナトリウムおよび炭酸水素ナトリウムを含む緩衝系を含んでいる。多くのこのようなｐＨ緩衝系が、当技術分野ではよく知られている。この研磨組成物がｐＨ調節剤および／または緩衝系を含む場合には、この研磨組成物は、ｐＨをここで説明する範囲に維持するのに十分な量のｐＨ調節剤および／または緩衝系を含むであろう。
この研磨組成物は、所望により、キレート化剤（例えば、錯化剤）を含でいる。このキレート化剤は、いずれかの好適なキレート化剤またはキレート化剤の組合せであることができる。好適なキレート化剤の非限定的な例としては、エチレンジアミン四酢酸（「ＥＤＴＡ」、イミノ二酢酸、シュウ酸、クエン酸、４，５−ジヒドロキシ−１，２−ベンゼンジスルホン酸、サリチルヒドロキサム酸、テトラエチレンペンタミン、トリス（メチレンホスホン酸）、１−ヒドロキシエチリデン−１,１−ジホスホン酸、ニトリロトリ（メチルホスホン酸）、ジエチレントリアミンペンタキス（メチレンホスホン酸）、および２−ホスホノブタン−１，２，４−トリカルボン酸が挙げられる。
この研磨組成物は、典型的には０．００１質量％以上（例えば、０．０１質量％以上、または０．０２質量％以上）のキレート化剤を含んでいる。好ましくは、この研磨組成物は、０．１質量％以下（例えば、０．０９質量％以下、または０．０８質量％以下）のキレート化剤を含んでいる。より好ましくは、この研磨組成物は、０．００１質量％〜０．１質量％（例えば、０．０１質量％〜０．０９質量％、または０．０２質量％〜０．０８質量％）のキレート化剤を含んでいる。
この研磨組成物は、水を含んでいる。この水は、この研摩粒子、塩、およびいずれかの他の添加剤の、研磨される、もしくは平坦化される好適な基板の表面への適応を促進するのに用いられる。好ましくは、この水は、脱イオン化水である。
この研磨組成物は、所望により、１種または２種以上の他の添加剤を更に含んでいる。そのような添加剤としては、いずれかの好適な分散剤、例えば、１種もしくは２種以上のアルリルモノマーを含むホモポリマーまたは、ランダム、ブロック、もしくは傾斜アクリレート共重合体（例えば、ポリアクリレート、ポリメタクリレート、ビニルアクリレート、およびスチレンアクリレート）、それらの組合せ、およびそれらの塩が挙げられる。他の好適な添加剤としては、殺生物剤が挙げられる。この殺生物剤は、いずれかの好適な殺生物剤、例えばイソチアゾリノン殺生物剤であることできる。
第２の態様では、本発明は、（ａ）５質量％〜２０質量％の湿式法シリカ、（ｂ）Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｎ＋Ｘ−、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｐ＋Ｘ−、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｓ＋Ｘ−（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ４のそれぞれは独立してＣ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ７〜Ｃ１２アリールアルキル、またはＣ６〜Ｃ１０アリールである）からなる群から選ばれた、１質量％〜８質量％（例えば、１質量％〜５質量％）の安定剤化合物、（ｃ）０．４質量％〜４質量％（例えば、０．６質量％〜３質量％、または０．７５質量％〜２質量％）のカリウム塩、（ｄ）０．４質量％〜４質量％（例えば、０．６質量％〜３質量％、または０．７５質量％〜２質量％）の第２級アミン化合物、および（ｅ）水、を含む、から本質的になる、もしくはからなる、化学機械研磨組成物であって、ここでこの研磨組成物は９〜１２のｐＨを有しており、そして４５℃で１０日間の貯蔵の後の研磨組成物中のシリカの平均粒度、Ｄ１および、研磨組成物中のシリカの初期の平均粒度、Ｄ０が、以下の式：Ｄ１／Ｄ０≦１．５を満足する、化学機械研摩組成物を提供する。この湿式法シリカ、安定剤化合物、カリウム塩、第２級アミン化合物、および所望によるキレート化剤は、本発明の化学機械研磨組成物の第１の態様について上記に記載した通りである。
有利には、この第２の態様の研磨組成物は、長時間に亘りコロイド状安定のままである。好ましくは、この研磨組成物中のシリカの４５℃で１０日間の貯蔵の後の平均粒度、Ｄ１および、この研磨組成物中のシリカの初期の平均粒度、Ｄ０は、以下の式：Ｄ１／Ｄ０≦１．５（例えば、Ｄ１／Ｄ０≦１．４、またはＤ１／Ｄ０≦１．３、またはＤ１／Ｄ０≦１．２、またはＤ１／Ｄ０≦１．１、また更にはＤ１／Ｄ０≦１．０）を満足する。シリカの粒度は、いずれかの好適な技術、例えばレザー回折法を用いて測定することができる。好適な粒度測定機器は、Malvern Instruments（モールバーン、英国）から入手できる。
この研磨組成物は、いずれかの好適な技術によって調製することができ、それらの多くは当業者に知られている。この研磨組成物は、バッチまたは連続プロセルで調製することができる。一般には、この研磨組成物は、その成分をいずれかの順序で組み合わせることによって調製することができる。ここで用いられる用語「成分」は、個々の材料（例えば、シリカ、安定剤化合物、第２級アミン化合物、カリウム塩、所望によるキレート化剤など）、ならびにこれらの材料（例えば、シリカ、安定剤化合物、第２級アミン化合物、カリウム塩、所望によるキレート化剤など）のいずれかの組合せを含んでいる。
この研磨組成物の塩であるいずれかの成分（例えば、安定剤化合物、カリウム塩および／またはキレート化剤）は、研磨組成物の水中に溶解された場合には、カチオンおよびアニオンのような解離した形態で存在することができることが理解されるであろう。ここで説明される研磨組成物中に存在する塩の量は、研磨組成物の調製において用いられる解離していない塩の質量を表すことが理解されるであろう。例えば、カリウム塩（例えば、炭酸水素カリウム）の質量は、その実験式（例えば、ＫＨＣＯ３）によって与えられるカリウム塩の量を表している。
例えば、安定剤化合物、第２級アミン化合物、カリウム塩、および所望によるキレート化剤は、安定剤化合物、第２級アミン化合物、カリウム塩、および所望によるキレート化剤を、いずれかの順序で、または更には同時に、水に添加することによって、水中に溶解することができる。次いで、シリカを加えて、そして研磨組成物中にシリカを分散させることができるいずれかの方法によって分散させることができる。この研磨組成物は、１種もしくは２種以上の成分、例えば第２級アミン化合物を、使用の少し前に（例えば、使用の１分間以内に、または使用の１時間以内に、または使用の７日間以内に）加えることで、使用の前に調製することができる。ｐＨは、いずれかの好適な時点で調整することができ、そして好ましくはシリカを研磨組成物に加える前に調整される。また、この研磨組成物は、研磨操作の間に、基板の表面でこれらの成分を混合することによって調製することもできる。
第２の態様の研磨組成物は、使用の前に適切な量の水で希釈することを意図された濃縮液としての使用に好適である。例えば、シリカ、安定剤化合物、第２アミン化合物、カリウム塩、および所望によるキレート化剤は、それぞれ濃縮液中に、それぞれの成分について上記で説明した濃度の２倍（例えば、５倍、１０倍、または１５倍、または２０倍、または１００倍、または更には２００倍）多い量で存在させることができ、従って、この濃縮液が等しい容量の水（例えば、それぞれ２等容量の水、５等容量の水、１０等容量の水、１５等容量の水、２０等容量の水、１００等容量の水、２００等容量の水）で希釈した場合には、それぞれの成分は、研磨組成物中に、それぞれの成分について上記で説明した範囲内の量で存在するであろう。更には、当業者によって理解されるであろうように、この濃縮液は、安定剤化合物、第２アミン化合物、カリウム塩、所望によるキレート化剤、および他の好適な添加剤がこの濃縮液中に少なくとも部分的にもしくは完全に溶解していること、好ましくはこの濃縮液中に完全に溶解していることを確実にするために、最終的な研磨組成物中に存在する水の適切な一部分を含んでいることができる。
本発明は、更にこの研磨組成物で基板を化学機械研磨する方法を提供する。この方法は、（ｉ）基板を、研磨パッドおよび、（ａ）湿式法シリカ、（ｂ）Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｎ＋Ｘ−、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｐ＋Ｘ−、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｓ＋Ｘ−（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ４のそれぞれは独立してＣ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ７〜Ｃ１２アリールアルキル、またはＣ６〜Ｃ１０アリールである）からなる群から選ばれた、０．０１質量％〜０．５質量％の安定剤化合物、（ｃ）０．００２質量％〜０．２質量％のカリウム塩、（ｄ）０．００２質量％〜０．２質量％の第２級アミン化合物、および（ｅ）水、を含む、から本質的になる、またはからなる、化学機械研磨組成物（ここでこの研磨組成物は９〜１２のｐＨを有している）に接触させること、（ｉｉ）この研磨要素を該基板に対して動かすこと、ならびに（ｉｉｉ）該基板の少なくとも一部を研摩して該基板を研磨すること、を含んでいる。
本発明の研磨組成物は、いずれかの基板を研磨するのに用いることができるが、この研磨組成物は、ケイ素を含む基板、例えば電子工業で用いられるシリコンウエハの研磨において特に有用である。この点について、このシリコンは、ドープされていないシリコンであることができ、またはそれはホウ素もしくはアルミニウムでドープされたｐ型シリコンであることができる。更に、このシリコンは多結晶シリコンであることができる。本発明の研磨組成物およびそれを用いた方法は、ダイアモンド鋸切断および粗研摩によってシリコン単結晶から生成されたシリコンウエハの最終研摩用に、ならびにシリコンウエハのエッジ研磨用に、そして研摩によるシリコンウエハの再生における使用のために好適である。
有利には、本発明の研磨方法を用いて研磨したシリコン基板は、小さい表面粗さを示す。ここで平面度からの偏差の相加平均として規定される表面粗さ（Ｒａ）は、いずれかの好適な技術を用いて測定することができる。好適な技術としては、例えば、Veeco Instruments（プレーンビュー、ニューヨーク州）から入手できる機器を用いた触針式形状測定および光学式形状測定ならびに、原子間力顕微鏡法が挙げられる。典型的には、本発明の研磨方法は、光学式形状測定器を用いて測定した場合に、２０オングストローム以下（例えば、１４オングストローム以下、または１２オングストローム以下、または１０オングストローム以下、または更には８オングストローム以下）のシリコンウエハの表面粗さを生じさせる。
本発明の研磨方法は、化学機械研磨装置と共に用いることが特に好適である。典型的には、この装置は、テーブル（これは、使用する場合に、運動し、軌道を描く、直線状の、または円を描く運動からもたらされる速度を有している）、このテーブルに接触しており、そして作動する場合にこのテーブルとともに動く研磨パッド、ならびに研磨パッドの表面に対して基板を接触させ、そして動かすことによって、研磨される基板を保持するキャリアを含んでいる。この基板の研磨は、基板を研磨パッドおよび本発明の研磨組成物と接触させるように配置し、そして次いでこの研磨パッドを基板に対して動かして、基板の少なくとも一部を研摩して、基板を研磨することによって起こる。
基板は、いずれかの好適な研摩パッドを備えたこの化学機械研摩組成物で研磨することができる（例えば、研磨表面）。好適な研磨パッドとしては、例えば、織物の、および不織の研磨パッドが挙げられる。更には、好適な研磨パッドは、種々の密度、硬度、厚さ、圧縮性、圧力下での反発能力および圧縮弾性率の、いずれかの好適なポリマーを含んでいることができる。好適なポリマーとしては、例えば、ポリ塩化ビニル、ポリフッ化ビニル、ナイロン、フルオロカーボン、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリアクリレート、ポリエーテル、ポリエチレン、ポリアミド、ポリウレタン、ポリスチレン、ポリプロピレン、それらの共形成された製品、およびそれらの混合物が挙げられる。硬質ポリウレタン研磨パッドは、本発明の研磨方法と共に特に有用である。
望ましくは、化学機械研磨装置は、更にその場での研磨終点検出システムを含んでおり、多くのシステムが当技術分野において知られている。研磨されている基板の表面から反射される光や他の輻射線を解析することによる研磨プロセスの検査および監視のための技術が、当技術分野において知られている。このような方法は、例えば、米国特許第5,196,353、米国特許第5,433,651号明細書、米国特許第5,609,511号明細書、米国特許第5,643,046号明細書、米国特許第5,658,183号明細書、米国特許第5,730,642号明細書、米国特許第5,838,447号明細書、米国特許第5,872,633号明細書、米国特許第5,893,796号明細書、米国特許第5,949,927号明細書、および米国特許第5,964,643中に記載されている。望ましくは、研磨されている基板についての研磨プロセスの進行の検査および監視は、研磨終点の決定、すなわち特定の基板に対して研磨プロセスを何時停止するかの決定、を可能にする。
以下の例は、本発明を更に説明するが、しかしながら、勿論のこと、その範囲を限定するとは決して解釈してはならない。
例１〜４の研磨条件は、下記の通りである：１００ｒｐｍのキャリア速度、９３ｒｐｍの基板速度（plated speed）、２４．３ｋＰａ（３．５ｐｓｉ）の研磨パッドの基板への下方への力、１５０ｍＬ／分の研磨組成物の流速、および硬質ポリウレタン研磨パッドの使用。
例１
この例は、本発明の研磨組成物によって達成される、シリコンについて観察される除去速度への、安定剤化合物、第２アミン化合物、およびカリウム塩の濃度の影響を示している。
この例は、本発明の研磨組成物によって達成される、シリコンについて観察される除去速度への、安定剤化合物、第２アミン化合物、およびカリウム塩の濃度の影響を示している。
１０．２ｃｍ（４インチ）のシリコンウエハを構成する基板である、１６の同様の基板を、１６の異なる研磨組成物（研磨組成物１Ａ〜１Ｐ）で研磨した。全ての研磨組成物は、水中に、０．９３７質量％の塩基安定化コロイド状シリカおよび０．０１６７質量％のエチレンジアミン四酢酸を含み、そして１１のｐＨを有していた。研磨組成物１Ａ〜１Ｐは、更に水酸化テトラメチルアンモニウム（すなわち、安定剤化合物）、ピペラジン（すなわち、第２級アミン化合物）および炭酸水素カリウム（すなわち、カリウム塩）を、表１中に示した量で含んでいた。
以下の研磨においては、シリコンの除去速度は、それぞれの研磨組成物について測定され、そしてそれらの結果を表１中にまとめた。
表１中に示した結果から明らかなように、炭酸水素カリウムを全く含まない研磨組成物１Ｌ〜１Ｏは、全てが炭酸水素カリウムを含んでいる研磨組成物１Ａ〜１Ｋおよび１Ｐよりも、少なくとも約６％〜３１％低いシリコン除去速度を示した。０．１８７５質量％のピペラジン、０．３１２５質量％の水酸化テトラメチルアンモニウムおよび０．１２５質量％の炭酸水素カリウムを含んだ研磨組成物１Ｊは、０．０６２５質量％のピペラジン、０．３１２５質量％の水酸化テトラメチルアンモニウムおよび０．１２５質量％の炭酸水素カリウムを含む研磨組成物１Ｄよりも、約８％低いシリコン除去速度を示した。それぞれ０．１８７５質量％および０．４３７５質量％の水酸化テトラメチルアンモニウムを含み、そしてピペラジンまたは炭酸水素カリウムを含まない研磨組成物１Ｌおよび１Ｏは、それぞれ０．１８７５質量％および０．４３７５質量％の水酸化テトラメチルアンモニウムを含み、そしてピペラジンおよび炭酸水素カリウムをそれぞれ０．２５質量％含んだ研磨組成物１Ｅおよび１Ｈによって示されたシリコン除去速度よりも、それぞれ約１３％および３３％低いシリコン除去速度を示した。
例２
この例は、本発明の研磨組成物によって達成される、シリコンについて観察される除去速度への、安定剤化合物およびｐＨの影響を示している。
この例は、本発明の研磨組成物によって達成される、シリコンについて観察される除去速度への、安定剤化合物およびｐＨの影響を示している。
４インチ（１０．２ｃｍ）シリコンウエハを構成する基板である、好適な基板を、５つの異なる研磨組成物（研磨組成物２Ａ〜２Ｅ）で研磨した。全ての研磨組成物は、水中に、０．９３７質量％の塩基安定化コロイド状シリカ、６２５ｐｐｍのピペラジン、４６９ｐｐｍの炭酸水素カリウム、および１５６ｐｐｍのエチレンジアミン四酢酸を含んでいた。研磨組成物２Ａは、更に２５００ｐｐｍの水酸化テトラメチルアンモニウムを含んでおり、そして１０．９５のｐＨを有していた。研磨組成物２Ｂは，更に４２２３ｐｐｍの臭化テトラメチルアンモニウムを含んでおり、そして９．７８のｐＨを有していた。研磨組成物２Ｃは，更に４６９０ｐｐｍの臭化テトラメチルホスホウムを含んでおり、そして９．８のｐＨを有していた。研磨組成物２Ｄは，更に９７９４ｐｐｍの臭化エチルトリフェニルホスホウムを含んでおり、そして９．１１のｐＨを有していた。研磨組成物２Ｅは，更に４７９２ｐｐｍの塩化１−エチル−３−メチルイミダゾリウムを含んでおり、そして９．９２のｐＨを有していた。
以下の研磨において、シリコンの除去速度は、それぞれの研磨組成物について測定され、そしてそれらの結果を表２中にまとめた。
表２中に示した結果から明らかなように、４２２３ｐｐｍの臭化テトラメチルアンモニウムを含む研磨組成物２Ｂは、２５００ｐｐｍの水酸化テトラメチルアンモニウムを含む研磨組成物２Ａによって示されたシリコン除去速度よりも約５．４％大きいシリコン除去速度を示した。４６９０ｐｐｍの臭化テトラメチルホスホニウムを含む研磨組成物２Ｃは、４２２３ｐｐｍの臭化テトラメチルアンモニウムを含む研磨組成物２Ｂよりも、約７．４％大きいシリコン除去速度を示した。９７９４ｐｐｍの臭化エチルトリフェニルホスホニウムを含む研磨組成物２Ｄは、研磨組成物２Ａによって示されたシリコン除去速度よりも約８１％低いシリコン除去速度を示した。４７９２ｐｐｍの塩化１−エチル−３−メチルイミダゾリウムを含む研磨組成物２Ｅは、研磨組成物２Ａによって示されたシリコン除去速度よりも、約１１％高いシリコン除去速度を示した。
例３
この例は、本発明の研磨組成物によって達成される、シリコンについて観察される除去速度への、シリカの種類の影響を示している。
この例は、本発明の研磨組成物によって達成される、シリコンについて観察される除去速度への、シリカの種類の影響を示している。
４インチ（１０．２ｃｍ）シリコンウエハを構成する同様の基板を、２種の異なる研磨組成物（研磨組成物３Ａおよび３Ｂ）で研磨した。全ての研磨組成物は、水中に、６２５ｐｐｍのピペラジン、４６９ｐｐｍの炭酸水素カリウム、および１５６ｐｐｍのエチレンジアミン四酢酸を含んでいた。研磨組成物３Ａは、更に０．９３７質量％の塩基安定化コロイド状シリカを含んでおり、そして１１のｐＨを有していた。研磨組成物３Ｂは、更に０．９３７質量％のヒュームドシリカを含んでおり、そして１２のｐＨを有していた。
以下の研磨において、シリコンの除去速度（ＲＲ）は、それぞれの研磨組成物について測定され、そしてそれらの結果を表３中にまとめた。
表３中に示した結果から明らかなように、ヒュームドシリカを含む研磨組成物３Ｂは、塩基安定化コロイド状シリカを含む研磨組成物３Ａによって示されたシリコン除去速度の約７４％であるシリコン除去速度を示した。
例４
この例は、本発明の研磨組成物によって達成される、シリコンについて観察される除去速度への、湿式法シリカの種類の影響を比較するものである。
この例は、本発明の研磨組成物によって達成される、シリコンについて観察される除去速度への、湿式法シリカの種類の影響を比較するものである。
４インチ（１０．２ｃｍ）シリコンウエハを構成する同様の基板を、２種の異なる研磨組成物（研磨組成物４Ａおよび４Ｂ）で研磨した。全ての研磨組成物は、水中に、６２５ｐｐｍのピペラジン、４６９ｐｐｍの炭酸水素化カリウム、および１５６ｐｐｍのエチレンジアミン四酢酸を含んでおり、ｐＨ１１であった。研磨組成物４Ａは、更に０．９３７質量％の塩基安定化コロイド状シリカ（Nalco TX-13112）を含んでいた。研磨組成物４Ｂは、更に０．９３７質量％の縮合重合シリカ（Fuso PL-2）を含んでおり、そして１２のｐＨを有していた。
以下の研磨において、シリコンの除去速度（ＲＲ）は、それぞれの研磨組成物について測定し、そして表４中にそれらの結果をまとめた。
表４中に示した結果から明らかなように、縮合重合シリカを含む研磨組成物４Ｂは、塩基安定化コロイド状シリカを含む研磨組成物４Ａによって示されたシリコン除去速度の約９４％のシリコン除去速度を示した。
例５
この例は、本発明の研磨組成物によって達成される、シリコンについて観察される、除去速度および表面粗さへの、安定剤化合物の影響を示している。
この例は、本発明の研磨組成物によって達成される、シリコンについて観察される、除去速度および表面粗さへの、安定剤化合物の影響を示している。
４インチ（１０．２ｃｍ）シリコンウエハを構成する６対の同様の基板を、６種の異なる研磨組成物（研磨組成物５Ａ〜５Ｆ）で研磨した。全ての研磨組成物は、水中に、１質量％の塩基安定化コロイド状シリカ、６６７ｐｐｍのピペラジン、５００ｐｐｍの炭酸水素カリウム、および１６７ｐｐｍのエチレンジアミン四酢酸を含み、ｐＨ１１であった。研磨組成物５Ａは、更に０．２６７質量％の水酸化テトラメチルアンモニウムを含んでいた。研磨組成物５Ｂは、更に０．４０４質量％の水酸化テトラプロピルアンモニウムを含んでいた。研磨組成物５Ｃは、更に０．５９４質量％の水酸化テトラプロピルアンモニウムを含んでいた。研磨組成物５Ｄは、更に０．３０７質量％の水酸化エチルトリメチルアンモニウムを含んでいた。研磨組成物５Ｄは、更に０．３４８質量％の水酸化エチルトリメチルアンモニウムを含んでいた。研磨組成物５Ｆは、更に０．４５０質量％の臭化テトラメチルアンモニウムを含んでいた。
以下の研磨において、シリコン除去速度を測定し、そして表面粗さ（Ｒａ）を測定した。シリコン除去速度およびＲａについての平均値を表５中にまとめた。
表５中に示した結果から明らかなように、０．２６７質量％の水酸化テトラプロピルアンモニウムを含む研磨組成物５Ｂの使用は、シリコンウエハの研磨において、いずれかの研磨組成物について観察される中で、最も小さいＲａをもたらした。０．５９４質量％の水酸化テトラプロピルアンモニウムを含む研磨組成物５Ｃの使用は、研磨組成物５Ｂの使用によりもたらされたよりも、約３６％大きなＲａをもたらした。研磨組成物５Ｂは，０．４５０質量％の臭化テトラメチルアンモニウムを含む研磨組成物５Ｆによって示されたシリコン除去速度の約４９％であるシリコン除去速度を示した。
例６
この例は、本発明の研磨組成物によって達成される、シリコンについて観察される除去速度へのシリカ粒度の影響を示している。
この例は、本発明の研磨組成物によって達成される、シリコンについて観察される除去速度へのシリカ粒度の影響を示している。
１０．２ｃｍ（４インチ）のシリコンウエハを構成する５対の同様の基板を、６種の異なる研磨組成物（研磨組成物６Ａ〜６Ｆ）で研磨した。全ての研磨組成物は、水中に、０．９３７質量％の塩基安定化コロイド状シリカ、２５００ｐｐｍの水酸化テトラメチルアンモニウム、６２５ｐｐｍのピペラジン、４６９ｐｐｍの炭酸水素カリウム、および１５６ｐｐｍのエチレンジアミン四酢酸を含んでおり、ｐＨ１１であった。研磨組成物６Ａは、平均粒度６５ｎｍのシリカを含んでいた。研磨組成物６Ｂは、平均粒度５７ｎｍのシリカを含んでいた。研磨組成物６Ｃは、平均粒度２４ｎｍのシリカを含んでいた。研磨組成物６Ｄは、平均粒度２２ｎｍのシリカを含んでいた。研磨組成物６Ｅは、平均粒度１６７ｎｍのシリカを含んでいた。
以下の研磨において、シリコン除去速度と表面粗さ（Ｒａ）を測定した。シリコン除去速度とＲａの平均値を、表６中にまとめた。
表６中に示した結果から明らかなように、１６７ｎｍの平均粒度を有するコロイド状シリカを含む研磨組成物６Ｅは、６５ｎｍの平均粒度を有するコロイド状シリカを含む研磨組成物６Ａによって示されたシリコン除去速度の約８７％であるシリコン除去速度を示した。研磨組成物６Ｅの使用は、研磨組成物６Ａの使用の結果として得られるよりも、約４．７％大きいＲａをもたらした。２４ｎｍの平均粒度を有するコロイド状シリカを含む研磨組成物６Ｃは、研磨組成物６Ａによって示されたシリコン除去速度よりも、約１２％大きいシリコン除去速度を示した。研磨組成物６Ｃの使用は、研磨組成物６Ａの使用の結果として得られるよりも約６．９％大きいＲａをもたらした。
例７
この例は、高温での貯蔵に対するシリカ粒度の変化によって測定された、第２の態様の濃縮された研磨組成物の安定性を示している。
この例は、高温での貯蔵に対するシリカ粒度の変化によって測定された、第２の態様の濃縮された研磨組成物の安定性を示している。
８種の異なる研磨組成物（研磨組成物７Ａ〜７Ｈ）を調製した。これらの研磨組成物は、水中に、２５質量％の塩基安定化コロイド状シリカ、水酸化テトラメチルアンモニウム（「ＴＭＡＨ」）（すなわち、安定剤化合物）、ピペラジン（すなわち、第２級アミン化合物）、炭酸水素カリウム（「ＫＨＣＯ３」）（すなわち、カリウム塩）、および０．２５％のエチレンジアミン四酢酸を含んでおり、ｐＨ１１であった。それぞれの研磨組成物中の水酸化テトラメチルアンモニウム、ピペラジンおよび炭酸水素カリウムの量は、表７中に示した。
研磨組成物７Ａ〜７Ｈの調製後のシリカ粒子の初期の粒度（Ｄ０）および、研磨組成物７Ａ〜７Ｈの４５℃で１０日間の貯蔵後のシリカ粒子の粒度（Ｄ１）を、Malvern Instruments（モールバーン、英国）から入手した粒度測定機器を用いて測定し、そしてそれらの結果を表７中にまとめた。
表７中に示したデータから明らかなように、湿式法シリカ、安定剤化合物、カリウム化合物および第２級アミンを含む研磨組成物７Ａ〜７Ｄは、４５℃で１０日間の貯蔵の後に、粒度の増大を示さなかったが、同様に前記の成分を幾分異なるパーセンテージで含む研磨組成物７Ｈは、４５℃で１０日間の貯蔵の後にゲル化を示した。
Claims (8)
- （ａ）０．０５〜２質量％の湿式法シリカ、
（ｂ）Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｎ＋Ｘ−、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｐ＋Ｘ−、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｓ＋Ｘ−、イミダゾリウム塩、およびピリジニウム塩からなる群から選ばれた、０．０１質量％〜０．５質量％の安定剤化合物、ここで、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ４のそれぞれは独立してＣ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ７〜Ｃ１２アリールアルキル、またはＣ６〜Ｃ１０アリールであり、Ｘ−は、ヒドロキシド、クロリド、ブロミド、フルオリド、硝酸塩、硫酸塩、硫酸水素塩、メタンスルホン酸および硫酸メチルからなる群から選ばれたアニオンである、
（ｃ）０．００２質量％〜０．２質量％のカリウム塩、該カリウム塩は、炭酸水素カリウム、炭酸カリウム、または炭酸水素カリウムと炭酸カリウムの混合物である、
（ｄ）０．００２質量％〜０．２質量％の第２級アミン化合物、
（ｅ）水、
を含んでなる化学機械研磨組成物であって、９〜１２のｐＨを有する、
化学機械研磨組成物
（但し、
化学機械研磨組成物であって、下記のキレート化剤、
キレート剤は化学式：
- 以下の(ａ）〜(ｆ）：
(ａ）前記湿式法シリカが、縮合重合シリカまたは塩基安定化コロイド状シリカである；
(ｂ）前記研磨組成物が、０．０５〜２質量％のシリカを含む；
(ｃ）前記安定剤化合物が、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｎ＋Ｘ−であり、そしてＲ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ４のそれぞれが、独立してＣ１〜Ｃ６アルキルである；
(ｄ）前記第２級アミン化合物が、ピペラジンである；
(ｅ）前記カリウム塩が、炭酸水素カリウム、炭酸カリウム、または炭酸水素カリウムと炭酸カリウムの混合物である；および、
(ｆ）前記研磨組成物が、更に０．００１質量％〜０．１質量％のキレート化剤を含む、
のいずれか１つもしくは２つ以上を備えた、請求項１記載の研磨組成物。 - 前記研磨組成物が、０．２０質量％〜０．３５質量％の前記安定剤化合物を含むか、前記研磨組成物が、０．０５質量％〜０．１５質量％のピペラジンを含むか、または前記研磨組成物が、０．０５質量％〜０．１５質量％の前記カリウム塩を含む、請求項２記載の研磨組成物。
- （ａ）５質量％〜２０質量％の湿式法シリカ、
（ｂ）Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｎ＋Ｘ−、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｐ＋Ｘ−、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｓ＋Ｘ−、イミダゾリウム塩、およびピリジニウム塩からなる群から選ばれた、１質量％〜８質量％の安定剤化合物、ここで、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ４のそれぞれは独立してＣ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ７〜Ｃ１２アリールアルキル、またはＣ６〜Ｃ１０アリールであり、Ｘ−は、ヒドロキシド、クロリド、ブロミド、フルオリド、硝酸塩、硫酸塩、硫酸水素塩、メタンスルホン酸および硫酸メチルからなる群から選ばれたアニオンである、
（ｃ）０．４質量％〜４質量％のカリウム塩、
（ｄ）０．４質量％〜４質量％の第２級アミン化合物、および
（ｅ）水、
を含んでなる化学機械研磨組成物であって、ここで該研磨組成物は９〜１２のｐＨを有しており、そして４５℃で１０日間の貯蔵の後の該研磨組成物中のシリカの平均粒度、Ｄ１および、該研磨組成物中のシリカの初期の平均粒度、Ｄ０が、以下の式：Ｄ１／Ｄ０≦１．５を満足する、化学機械研磨組成物
（但し、
化学機械研磨組成物であって、下記のキレート化剤、
キレート剤は化学式：
- 以下の(ａ）〜(ｅ）：
(ａ）前記湿式法シリカが、縮合重合シリカまたは塩基安定化コロイド状シリカである；
(ｂ）前記安定剤化合物が、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｎ＋Ｘ−であり、そしてＲ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ４のそれぞれが、独立してＣ１〜Ｃ６アルキルである；
(ｃ）前記第２級アミン化合物が、ピペラジンである；
(ｄ）前記カリウム塩が、炭酸水素カリウム、炭酸カリウム、または炭酸水素カリウムと炭酸カリウムの混合物である；
(ｅ）前記研磨組成物が、更に０．０５質量％〜１質量％のキレート化剤を含む、
のいずれか１つもしくは２つ以上を備えた、請求項４記載の研磨組成物。 - 基板の化学機械研磨方法であって、
（ｉ）基板を、研磨パッドおよび、
（ａ）０．０５〜２質量％の湿式法シリカ、
（ｂ）Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｎ＋Ｘ−、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｐ＋Ｘ−、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｓ＋Ｘ−、イミダゾリウム塩、およびピリジニウム塩からなる群から選ばれた、０．０１質量％〜０．５質量％の安定剤化合物、ここで、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ４のそれぞれは独立してＣ１〜Ｃ６アルキル、Ｃ７〜Ｃ１２アリールアルキル、またはＣ６〜Ｃ１０アリールであり、Ｘ−は、ヒドロキシド、クロリド、ブロミド、フルオリド、硝酸塩、硫酸塩、硫酸水素塩、メタンスルホン酸および硫酸メチルからなる群から選ばれたアニオンである、
（ｃ）０．００２質量％〜０．２質量％のカリウム塩、
（ｄ）０．００２質量％〜０．２質量％の第２級アミン化合物、
（ｅ）水、
を含む化学機械研磨組成物であって、９〜１２のｐＨを有している研磨組成物
（但し、
化学機械研磨組成物であって、下記のキレート化剤、
キレート剤は化学式：
に接触させること、
（ｉｉ）この研磨要素を該基板に対して動かすこと、ならびに
（ｉｉｉ）該基板の少なくとも一部を研摩して該基板を研磨すること、を含んでなる方法。 - 以下の(ａ）〜(ｇ）：
(ａ）前記湿式法シリカが、縮合重合シリカまたは塩基安定化コロイド状シリカである；
(ｂ）前記研磨組成物が、０．０５質量％〜２質量％のシリカを含む；
(ｃ）前記安定剤化合物が、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｒ４Ｎ＋Ｘ−であり、そしてＲ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ４のそれぞれが、独立してＣ１〜Ｃ６アルキルである；
(ｄ）前記第２級アミン化合物がピペラジンである；
(ｅ）前記カリウム塩が、炭酸水素カリウム、炭酸カリウム、または炭酸水素カリウムと炭酸カリウムの混合物である；
(ｆ）前記研磨組成物が、更に０．００１質量％〜０．１質量％のキレート化剤を含む；
(ｇ）前記基板が、シリコンを含み、そして該シリコンの一部を研摩して該基板が研磨される、
のいずれか１つもしくは２つ以上を備えた、請求項６記載の方法。 - 前記研磨組成物が、０．２０質量％〜０．３５質量％の安定剤化合物を含むか、前記研磨組成物が、０．００２質量％〜０．１５質量％のピペラジンを含むか、前記研磨組成物が、０．００２質量％〜０．１５質量％の前記カリウム塩を含むか、または前記シリコンがｐ＋ドープしたシリコンである、請求項７記載の方法。
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