JP5593347B2 - 円形線材の光学欠陥検出装置及び光学欠陥検出方法 - Google Patents
円形線材の光学欠陥検出装置及び光学欠陥検出方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5593347B2 JP5593347B2 JP2012103166A JP2012103166A JP5593347B2 JP 5593347 B2 JP5593347 B2 JP 5593347B2 JP 2012103166 A JP2012103166 A JP 2012103166A JP 2012103166 A JP2012103166 A JP 2012103166A JP 5593347 B2 JP5593347 B2 JP 5593347B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circular wire
- optical
- optical sensor
- circular
- defect detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/952—Inspecting the exterior surface of cylindrical bodies or wires
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8914—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the material examined
- G01N2021/8918—Metal
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
- G06T2207/30108—Industrial image inspection
- G06T2207/30136—Metal
Landscapes
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
図1に示すように、高温の円形線材2の表面から放射される光エネルギーを光学センサ1を用いて受信し、正常部位のセンサ信号と非正常部位のセンサ信号を区分することにより、欠陥の有無を判定する。
図2に示すように、外部照明装置3から照射される光を利用する方法においては、円形線材2から放射される光の波長帯域の特性とは異なる波長特性を有する照明装置3を使用するか、又は同じ波長特性を有する照明装置3を使用する。ここで、照明装置3から照射される光の強さを円形線材2自体から放射される光の強さよりも大きく設定する。
図5に示すように、円形線材2の生産過程で、検査者9が一定部分をサンプリングし、外部照明装置3を用いて欠陥検査を行うことができる。この場合、円形線材2の全長を検査することが困難であり、特に検査者9が肉眼で欠陥検査を行うため、円形線材2表面の限られた部分でのみ欠陥検査が可能である。また、円形線材2の生産速度は板材金属の生産速度より速い特徴があるため、詳細な欠陥検査が不可能である。
2 円形線材
3、12、17、20 照明装置
5 光学フィルタ
6 板材
9 検査者
10 ガイド手段
11 信号処理手段
13 光学センサ
14 光学レンズ
15 ビームスプリッタ
16 光学フィルタ
18 速度検出計
19 ガイド手段
22 照度制御器
23 サーバ
Claims (7)
- 円形面状の光を照射し、移送される円形線材の円周方向に沿って配置された少なくとも2つ以上の照明装置と、
前記円形線材で反射された前記照明装置の反射光を受光して光信号を生成し、前記生成された光信号を映像信号に変換する光学センサと、
前記光学センサから映像信号を受信して前記円形線材の表面情報を取得する信号処理手段とを含み、
前記照明装置が照射する光の方向と、前記円形線材が移送される方向の垂直方向とが、45゜〜65゜の角度のいずれか1つの角度をなし、
前記照明装置が照射する光の方向と、前記円形線材の円周方向の垂直方向とが、45゜〜60゜の角度のいずれか1つの角度をなし、
前記照明装置によって照射される光は前記光学センサの光軸に沿って集束される前記円形線材の表面の集束点の付近に斜めに照射され、
前記光学センサは前記円形線材の円周方向の垂直方向に配置され、
前記光学センサの下部に備えられ、前記円形線材で反射された反射光を受光し、青色波長帯域は通過させて前記光学センサに伝達し、赤外線波長帯域は通過させない光学フィルタを含むことを特徴とする円形線材の光学欠陥検出装置。 - 前記光学フィルタの中心波長が450nm〜490nmのいずれか1つの波長であることを特徴とする請求項1に記載の円形線材の光学欠陥検出装置。
- 前記照明装置に供給される電流を感知し、前記電流により照射された光をモニタする照度制御器と
を含むことを特徴とする請求項1に記載の円形線材の光学欠陥検出装置。 - TCP/IP方式で前記照度制御器を点滅するか、又は前記照度制御器の動作を制御するサーバをさらに含むことを特徴とする請求項3に記載の円形線材の光学欠陥検出装置。
- 前記照明装置が複数の場合、前記サーバが前記照明装置を選択的に点滅することを特徴とする請求項4に記載の円形線材の光学欠陥検出装置。
- 前記サーバは、前記照明装置が予め設定された照度を有しないことを感知すると、警告音を発生することを特徴とする請求項4に記載の円形線材の光学欠陥検出装置。
- 前記円形線材の経路を限定するガイド手段をさらに含み、
前記ガイド手段が円柱状に形成されて前記円形線材を囲み、その一側端部が円錐形であることを特徴とする請求項1に記載の円形線材の光学欠陥検出装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070086464A KR100891842B1 (ko) | 2007-08-28 | 2007-08-28 | 원형 선재 광학결함 검출장치 및 방법 |
KR10-2007-0086464 | 2007-08-28 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010522808A Division JP2010538259A (ja) | 2007-08-28 | 2008-08-28 | 円形線材の光学欠陥検出装置及び光学欠陥検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012154948A JP2012154948A (ja) | 2012-08-16 |
JP5593347B2 true JP5593347B2 (ja) | 2014-09-24 |
Family
ID=40387502
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010522808A Pending JP2010538259A (ja) | 2007-08-28 | 2008-08-28 | 円形線材の光学欠陥検出装置及び光学欠陥検出方法 |
JP2012103166A Expired - Fee Related JP5593347B2 (ja) | 2007-08-28 | 2012-04-27 | 円形線材の光学欠陥検出装置及び光学欠陥検出方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010522808A Pending JP2010538259A (ja) | 2007-08-28 | 2008-08-28 | 円形線材の光学欠陥検出装置及び光学欠陥検出方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8306308B2 (ja) |
EP (2) | EP3037808B1 (ja) |
JP (2) | JP2010538259A (ja) |
KR (1) | KR100891842B1 (ja) |
CN (1) | CN101952712A (ja) |
WO (1) | WO2009028883A1 (ja) |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ES2378602B1 (es) | 2009-12-29 | 2013-02-22 | Fundacion Robotiker | Sistema de captura y procesamiento de imagen de perfiles de revolución en caliente. |
DE102010037788B4 (de) * | 2010-09-27 | 2012-07-19 | Viprotron Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Anzeige von automatisiert ermittelten Fehlerstellen |
CN102012219B (zh) * | 2010-11-01 | 2012-02-01 | 哈尔滨工程大学 | 机载式全景旋翼共锥度测量装置 |
JP5655936B2 (ja) * | 2011-03-23 | 2015-01-21 | トヨタ自動車株式会社 | ワークの欠陥検出装置 |
CN102507599B (zh) * | 2011-11-04 | 2013-09-18 | 长沙岱勒新材料科技有限公司 | 线型产品显微拍摄系统及其检测方法 |
KR101294967B1 (ko) * | 2011-11-15 | 2013-08-09 | 주식회사 포스코 | 원형 선재의 표면 결함 검출 방법 및 장치 |
DE102012003255B8 (de) * | 2012-02-21 | 2014-01-16 | Testo Ag | Vorrichtung zur berührungslosen Temperaturmessung und Temperaturmessverfahren |
CN103323465A (zh) * | 2012-06-18 | 2013-09-25 | 戚景赞 | 一种碳纤维增强型复合导线芯表征的激光检测系统 |
JP5828817B2 (ja) * | 2012-09-03 | 2015-12-09 | 株式会社神戸製鋼所 | 条鋼材の形状検査方法 |
CN103659602B (zh) * | 2012-09-25 | 2016-02-03 | 宁波工程学院 | 数据融合技术检测外圆磨削表面粗糙度的方法及其装置 |
US9291877B2 (en) | 2012-11-15 | 2016-03-22 | Og Technologies, Inc. | Method and apparatus for uniformly focused ring light |
JP6219075B2 (ja) * | 2013-06-28 | 2017-10-25 | 株式会社神戸製鋼所 | 疵検出方法 |
CN104849288B (zh) * | 2015-05-11 | 2017-12-08 | 华中科技大学 | 一种基于光纤图像传输的圆柱面表面微痕缺陷的检测系统 |
DE102015219978B4 (de) * | 2015-10-14 | 2017-06-14 | Lisa Dräxlmaier GmbH | Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung der Oberfläche einer elektrischen Leitung nach Schirmbearbeitung |
CN105458017B (zh) * | 2015-11-30 | 2017-11-28 | 张家港江苏科技大学产业技术研究院 | 用于圆棒材的缺陷检测设备、方法及缺陷消除系统 |
CN105681643B (zh) * | 2016-04-07 | 2018-05-11 | 中国长江三峡集团公司 | 钢丝绳扭转光学辨识装置与方法 |
JP2018096950A (ja) * | 2016-12-16 | 2018-06-21 | 日本特殊陶業株式会社 | 製造方法、および、検査装置 |
CN108885180B (zh) * | 2017-04-12 | 2021-03-23 | 意力(广州)电子科技有限公司 | 一种显示屏的检测方法及装置 |
CN107121094A (zh) * | 2017-06-26 | 2017-09-01 | 东莞市南瓜电子有限公司 | 一种电子线材自动检测设备及其工作方法 |
CN107730486A (zh) * | 2017-09-15 | 2018-02-23 | 首钢京唐钢铁联合有限责任公司 | 一种酸连轧生产线轧机保护方法及装置 |
CN108534706B (zh) * | 2018-02-28 | 2020-04-10 | 重庆广福科技有限公司 | 汽车管型配件检测装置 |
CN109194910A (zh) * | 2018-08-02 | 2019-01-11 | 中国电力科学研究院有限公司 | 一种碳纤维复合芯导线生产线智能视频监控方法和系统 |
US11906445B2 (en) * | 2018-10-10 | 2024-02-20 | Goodrich Corporation | Automated defect detection for wire rope using image processing techniques |
CN109064553B (zh) * | 2018-10-26 | 2023-07-07 | 东北林业大学 | 基于近红外光谱分析的实木板材节子形态反演方法 |
WO2020093220A1 (zh) * | 2018-11-06 | 2020-05-14 | 深圳创怡兴实业有限公司 | 毛刺检测装置和方法 |
IT201800010374A1 (it) * | 2018-11-15 | 2020-05-15 | Xepics Sa | Metodo e sistema automatico di misura per la misurazione di parametri fisici e dimensionali di articoli combinati. |
JP7270509B2 (ja) * | 2019-09-06 | 2023-05-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置を検査するシステム及び方法 |
TWI722748B (zh) * | 2019-12-31 | 2021-03-21 | 中國鋼鐵股份有限公司 | 鋼胚外形之量測方法 |
RU2757671C1 (ru) * | 2020-11-17 | 2021-10-20 | Акционерное общество "Машиностроительный завод" | Установка контроля диаметра, формы и образующих поверхностей цилиндрических изделий |
ES2925291B2 (es) * | 2021-03-31 | 2023-03-07 | Enusa Ind Avanzadas S A S M E | Sistema y procedimiento para la inspección de la superficie de una barra de combustible nuclear para la detección, localización y caracterización de defectos de forma automática |
CN114199766B (zh) * | 2021-11-30 | 2024-03-22 | 联想(北京)有限公司 | 一种表面缺陷检测装置及检测方法 |
WO2024028867A1 (en) * | 2022-08-01 | 2024-02-08 | Odysight.Ai Ltd. | System and method for monitoring moving elements |
Family Cites Families (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4913688U (ja) * | 1972-05-08 | 1974-02-05 | ||
US4095905A (en) * | 1975-08-20 | 1978-06-20 | Hitachi, Ltd. | Surface-defect detecting device |
US4226539A (en) * | 1976-12-24 | 1980-10-07 | Hitachi, Ltd. | Cylindrical body appearance inspection apparatus |
SE429163C (sv) * | 1977-03-17 | 1985-11-18 | Bethlehem Steel Corp | Anordning och forfarande for kontinuerlig kompensering av felsignaler vid elektrooptisk metning av en i rorelse befintlig stangs tverdimensioner |
US4223346A (en) * | 1979-04-05 | 1980-09-16 | Armco Inc. | Automatic defect detecting inspection apparatus |
CA1229392A (en) * | 1984-02-28 | 1987-11-17 | Hirosato Yamane | Method and apparatus for detection of surface defects of hot metal body |
US4734766A (en) * | 1985-08-19 | 1988-03-29 | Kawasaki Steel Corporation | Method and system for locating and inspecting seam weld in metal seam-welded pipe |
US4705957A (en) * | 1986-08-11 | 1987-11-10 | United Technologies Corporation | Wire surface monitor |
JPH02284012A (ja) * | 1989-04-24 | 1990-11-21 | Sekisui Chem Co Ltd | 物体外面検査システム |
JPH04122839A (ja) | 1990-09-14 | 1992-04-23 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 表面検査方法 |
NO914574L (no) * | 1991-11-22 | 1993-05-24 | Elkem Technology | Fremgangsmaate for detektering av pin-hull i strengestoeptemetallemne |
JPH06102194A (ja) * | 1992-09-21 | 1994-04-15 | Kawasaki Steel Corp | 表面欠陥検査装置 |
JPH06249794A (ja) | 1993-02-23 | 1994-09-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 線状体内異常点測定方法及び装置、ならびに、線状体製造方法及び装置 |
JP3075385B2 (ja) | 1993-11-25 | 2000-08-14 | 住友電気工業株式会社 | 熱間圧延材の表面傷除去方法 |
AUPM533094A0 (en) * | 1994-04-27 | 1994-05-19 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation | Methods and apparatus for determining a first parameter(s) of an object |
JPH08285780A (ja) * | 1995-04-19 | 1996-11-01 | Nkk Corp | 鋼管の外面疵検査方法 |
DE19645833C2 (de) * | 1996-11-07 | 1998-12-03 | Hewing Gmbh | Vorrichtung zur optischen Untersuchung der Oberfläche von Rohren |
JPH11258169A (ja) * | 1998-03-11 | 1999-09-24 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 円筒外形を有する被検査体の外壁欠陥検査装置 |
AUPP298698A0 (en) * | 1998-04-17 | 1998-05-07 | Crc For Intelligent Manufacturing Systems & Technologies Ltd | Fault detection apparatus |
JP2000230909A (ja) * | 1999-02-10 | 2000-08-22 | Japan Tobacco Inc | 断熱材の欠陥検査装置 |
US6859285B1 (en) * | 1999-08-31 | 2005-02-22 | Og Technologies, Inc. | Optical observation device and method for observing articles at elevated temperatures |
ES2213972T3 (es) * | 1999-12-23 | 2004-09-01 | Opdix Optoelectronic Gmbh, Beratung-Entwicklung-Vertrieb | Deteccion de irregularidades del espesor de una banda de material flexible. |
US6542180B1 (en) * | 2000-01-07 | 2003-04-01 | Mitutoyo Corporation | Systems and methods for adjusting lighting of a part based on a plurality of selected regions of an image of the part |
JP2002139446A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-05-17 | Nkk Corp | 表面欠陥検出方法及び装置 |
KR100448440B1 (ko) * | 2000-12-22 | 2004-09-13 | 주식회사 포스코 | 고온물체 속도측정장치 및 방법 |
JP4023295B2 (ja) | 2002-11-11 | 2007-12-19 | 住友金属工業株式会社 | 表面検査方法及び表面検査装置 |
US6950546B2 (en) | 2002-12-03 | 2005-09-27 | Og Technologies, Inc. | Apparatus and method for detecting surface defects on a workpiece such as a rolled/drawn metal bar |
US7324681B2 (en) * | 2002-12-03 | 2008-01-29 | Og Technologies, Inc. | Apparatus and method for detecting surface defects on a workpiece such as a rolled/drawn metal bar |
US20040223053A1 (en) * | 2003-05-07 | 2004-11-11 | Mitutoyo Corporation | Machine vision inspection system and method having improved operations for increased precision inspection throughput |
US6869285B1 (en) | 2003-06-11 | 2005-03-22 | Jones, Ii Charles R | Training firearm |
JP2005010036A (ja) | 2003-06-19 | 2005-01-13 | Koyo Seiko Co Ltd | 外観検査装置 |
JP4261286B2 (ja) | 2003-08-21 | 2009-04-30 | 村田機械株式会社 | 糸の異物検出装置 |
WO2005067422A2 (en) * | 2003-12-25 | 2005-07-28 | Quest Trutec, Lp | Method and apparatus for inspecting reformer tube |
FR2873207A1 (fr) | 2004-07-16 | 2006-01-20 | Jean Francois Fardeau | Instrument de mesure optique, sans contact et en production, de l'etat de surface, de la rugosite, des defauts de forme, en surface d'un fil ou profile long |
FR2887028B1 (fr) * | 2005-06-14 | 2007-12-21 | Vai Sias Soc Par Actions Simpl | Procede et dispositif optiques de detection de defauts de surface et de structure d'un produit long en defilememnt |
DE112006003234B4 (de) * | 2005-11-29 | 2011-06-30 | POSCO, Kyungsangbuk | Drahtführung der luftgeführten Art |
KR100843875B1 (ko) * | 2005-11-29 | 2008-07-04 | 주식회사 포스코 | 에어가이드형 선재 표면결함 탐상장치 |
US8143885B2 (en) * | 2008-10-30 | 2012-03-27 | Og Technologies, Inc. | Surface flaw detection and verification on metal bars by Eddy current testing and imaging system |
-
2007
- 2007-08-28 KR KR1020070086464A patent/KR100891842B1/ko active IP Right Grant
-
2008
- 2008-08-28 JP JP2010522808A patent/JP2010538259A/ja active Pending
- 2008-08-28 CN CN2008801081437A patent/CN101952712A/zh active Pending
- 2008-08-28 WO PCT/KR2008/005052 patent/WO2009028883A1/en active Application Filing
- 2008-08-28 EP EP16150689.4A patent/EP3037808B1/en active Active
- 2008-08-28 US US12/675,405 patent/US8306308B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-08-28 EP EP08793555.7A patent/EP2193357A4/en not_active Withdrawn
-
2012
- 2012-04-27 JP JP2012103166A patent/JP5593347B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2193357A4 (en) | 2015-07-22 |
KR20090021717A (ko) | 2009-03-04 |
WO2009028883A1 (en) | 2009-03-05 |
US8306308B2 (en) | 2012-11-06 |
JP2010538259A (ja) | 2010-12-09 |
CN101952712A (zh) | 2011-01-19 |
EP3037808B1 (en) | 2020-05-06 |
EP2193357A1 (en) | 2010-06-09 |
WO2009028883A4 (en) | 2009-06-04 |
JP2012154948A (ja) | 2012-08-16 |
EP3037808A1 (en) | 2016-06-29 |
US20100246974A1 (en) | 2010-09-30 |
KR100891842B1 (ko) | 2009-04-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5593347B2 (ja) | 円形線材の光学欠陥検出装置及び光学欠陥検出方法 | |
JP4500641B2 (ja) | 欠陥検査方法およびその装置 | |
JP2007024674A (ja) | 表面・表層検査装置、及び表面・表層検査方法 | |
KR102554867B1 (ko) | 기판 검사 장치 | |
JP2009092426A (ja) | 表面検査方法及び表面検査装置 | |
JP2008157788A (ja) | 表面検査方法及び表面検査装置 | |
JP2016020824A (ja) | 基板の検査装置及び基板の検査方法 | |
KR100738809B1 (ko) | 웨이퍼 표면 검사 시스템 및 그 제어방법 | |
JP2010236985A (ja) | ディスク表面欠陥検査方法及び装置 | |
JP2005134362A (ja) | 表面凹凸の検査方法及び検査装置 | |
JP2004163129A (ja) | 欠陥検査方法 | |
JP2006064496A (ja) | 磁気ディスク基板の表面粗さ測定方法および測定装置並びに磁気ディスクの製造方法 | |
JP4903658B2 (ja) | 表面検査方法及び表面検査装置 | |
JP4408902B2 (ja) | 異物検査方法および装置 | |
CN111638226B (zh) | 检测方法、图像处理器以及检测系统 | |
JP2000314707A (ja) | 表面検査装置および方法 | |
JP2001041719A (ja) | 透明材の検査装置及び検査方法並びに記憶媒体 | |
KR101881752B1 (ko) | 라인빔을 사용하는 결함검출모듈 및 상기 결함검출모듈 어레이를 이용한 결함검출장치 | |
JP2012141322A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
JP2013221743A (ja) | 磁粉探傷における傷検出感度調整方法、磁粉探傷方法、及び磁粉探傷装置 | |
JP2008185356A (ja) | 丸棒検査装置及び丸棒検査方法 | |
JP3254599B2 (ja) | 異常検出装置 | |
JP2010025642A (ja) | 線条表面検査装置 | |
KR20020040113A (ko) | 선재의 표면결함 측정장치 및 그 방법 | |
KR20110020321A (ko) | 탐침 표면 검사기의 고속 자동 어프로치 장치 및 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120516 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120516 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130423 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130723 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130725 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130726 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140128 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140409 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140708 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140804 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5593347 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |