JP2010025642A - 線条表面検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の受光素子3a、3bを被検査線条80の幅方向に対称に配置し、対称に配置された受光素子3a、3bの出力信号を信号処理部4の加算処理部5に入力させて互いに加算することにより被検査線条80の幅方向の振動成分を相殺する。これにより、振動による誤検知を防止する。
【選択図】図1
Description
(検査光の整形処理)
(検査光の照射角度)
(受光部の配置及び構成)
11:投光部
12:光学系(光学処理部)
13:シリンドリカル凸レンズ
14:シリンドリカル凹レンズ
15:第2のシリンドリカル凸レンズ(集光レンズ)
20〜25:受光部
20a〜20f、21a〜21f、22a〜22d、23a〜23d、24a〜24d、25a〜25f:光学センサ(光学素子)
25:感知部
30、31、32、33、34、35:検査光
40、41:不感帯領域
51〜54、60〜63:検査ユニット
80:被検査線条
Claims (6)
- 被検査線条の表面に照射する検査光を出力する光源と、
前記光源から出力された検査光を、前記被検査線条の表面に照射する光学処理部と、
前記検査光の前記被検査線条からの反射光を受光する少なくとも2つの受光素子を、前記被検査線条の周囲であって、前記被検査線条の中心軸および前記検査光の中心軸を含む平面に対して略対称な位置に配置した受光部と、
対称に配置された前記受光素子の出力信号を演算処理し、該演算処理された前記出力信号に基づいて前記被検査線上の表面の欠陥を検出する欠陥検出部と、
を備える線条表面検査装置。 - 前記光源、前記光学処理部、及び前記受光部を1組として備える検査ユニットが、前記被検査線条の周囲をn等分(ただし、nは2以上の整数)する均等な角度にn組配置されていることを特徴とする請求項1に記載の線上表面検査装置。
- 前記光学処理部は、前記光源から出力された前記検査光を、前記被検査線条の長手方向が短軸となるように焦点を絞り込むことにより、前記検査光を細長いスリット形状に整形して前記被検査線条に照射することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の線条表面検査装置。
- 前記光学処理部は、前記検査光の焦点を前記短軸方向に絞り込むシリンドリカル凸レンズと、該絞り込んだ検査光を平行光に変換するシリンドリカル凹レンズと、前記平行光に変換された検査光を、さらに前記短軸方向に焦点を絞り、スリット状のスポット光として前記被検査線条に照射する集光用レンズを備えることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の線条表面検査装置。
- 前記光学処理部は、前記被検査線条の短手方向に長辺を有する略楕円形状に整形処理することを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の線条表面検査装置。
- 前記信号処理部は、少なくとも前記2つの受光素子の前記出力信号を加算することを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の線条表面検査装置。
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