JP2006329773A - ロッドレンズアレイの検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のロッドレンズが配列されたロッドレンズアレイの検査方法において、各ロッドレンズに検査光を入射し、当該各ロッドレンズから出射した散乱光を測定することにより、ロッドレンズアレイの良否判定を行う。
【選択図】図1
Description
2 ロッドレンズ
3 基板
4 基板
11 光源部
12 光検出部
121 対物レンズ
122 検出器
Claims (4)
- 複数のロッドレンズが配列されたロッドレンズアレイの各ロッドレンズに検査光を入射し、当該各ロッドレンズから出射した散乱光を測定することにより、ロッドレンズアレイの良否判定を行うことを特徴とするロッドレンズアレイの検査方法。
- 複数のロッドレンズが配列されたロッドレンズアレイの各ロッドレンズに検査光を入射し、当該各ロッドレンズから出射した光が一点に集束する位置から離れた位置で散乱光を測定することにより、ロッドレンズアレイの良否判定を行うことを特徴とするロッドレンズアレイの検査方法。
- ロッドレンズアレイを構成する各ロッドレンズに検査光を入射するための光源と当該各ロッドレンズから出射された散乱光を測定するための検出器との間の測定領域内でロッドレンズアレイを相対的に移動させて、当該ロッドレンズアレイを構成する各ロッドレンズから出射した散乱光を測定する請求項1又は2に記載の検査方法。
- 隣り合うロッドレンズに順次検査光が入射されるようにロッドレンズの配列方向にロッドレンズアレイを相対的に移動させながら、各ロッドレンズの光軸に垂直な平面において、各ロッドレンズの光軸を結ぶラインから平行にシフトしたライン上の出射光量を連続して測定する請求項3に記載の検査方法。
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