JP2000131241A - 光学素子の検査装置及び検査方法 - Google Patents
光学素子の検査装置及び検査方法Info
- Publication number
- JP2000131241A JP2000131241A JP10308952A JP30895298A JP2000131241A JP 2000131241 A JP2000131241 A JP 2000131241A JP 10308952 A JP10308952 A JP 10308952A JP 30895298 A JP30895298 A JP 30895298A JP 2000131241 A JP2000131241 A JP 2000131241A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical element
- lens
- image
- light source
- inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】被検査レンズの曲面部位により欠陥検出能力に
差が出ず、検出精度を向上する。 【解決手段】ラインセンサ５を移動ステージ６上に載置
し、ラインセンサ５を被検査レンズ２の長手方向に走査
することで光学機能面からの散乱光だけを検出して、ラ
インセンサ５からの画像信号から欠陥情報を得るように
構成した。
差が出ず、検出精度を向上する。 【解決手段】ラインセンサ５を移動ステージ６上に載置
し、ラインセンサ５を被検査レンズ２の長手方向に走査
することで光学機能面からの散乱光だけを検出して、ラ
インセンサ５からの画像信号から欠陥情報を得るように
構成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、長手方向
の寸法が１００ミリ程度の長手方向及び幅方向に曲面を
有するｆθレンズ等の検査装置及び検査方法に関するも
のである。
の寸法が１００ミリ程度の長手方向及び幅方向に曲面を
有するｆθレンズ等の検査装置及び検査方法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来、レンズの欠陥検査は人間の目視検
査が主流であり、現在も多く行われている。しかし、目
視検査の場合、検査員の状態に依存するため判断にバラ
ツキが出て安定的な検査を持続するのが難しい。そのた
め、機械化の必要性が急務であったが、欠陥項目の内容
から全て検出することは困難であるため、生産現場への
導入例はわずかである。一方、透過照明や反射照明とＣ
ＣＤカメラを用いて画像処理にて検査する例は報告され
ている。
査が主流であり、現在も多く行われている。しかし、目
視検査の場合、検査員の状態に依存するため判断にバラ
ツキが出て安定的な検査を持続するのが難しい。そのた
め、機械化の必要性が急務であったが、欠陥項目の内容
から全て検出することは困難であるため、生産現場への
導入例はわずかである。一方、透過照明や反射照明とＣ
ＣＤカメラを用いて画像処理にて検査する例は報告され
ている。
【０００３】特開平５−３２２６９４号公報には、被検
査レンズの欠陥で発生した散乱光のみをＴＶカメラに結
像させ、欠陥以外のレンズ表面からの反射光は全て遮光
マスクにより遮蔽することでレンズ面の検査を一度に行
なえ、高速化するものが提案されている。
査レンズの欠陥で発生した散乱光のみをＴＶカメラに結
像させ、欠陥以外のレンズ表面からの反射光は全て遮光
マスクにより遮蔽することでレンズ面の検査を一度に行
なえ、高速化するものが提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、透過照
明や反射照明とＣＣＤカメラを用いた画像検査では曲率
により欠陥の検出できる方向が異なり、曲率に応じて光
源やカメラの位置を変更する必要がある。また、欠陥項
目の判定領域も数ミクロンから数１００ミクロンと非常
に広いため、検査中にカメラの倍率変更が必要であり、
特に光学素子が大きい場合には、結像系が固定されてい
るとその中心部と両端部とで検出できる欠陥が異なると
いう問題がある。
明や反射照明とＣＣＤカメラを用いた画像検査では曲率
により欠陥の検出できる方向が異なり、曲率に応じて光
源やカメラの位置を変更する必要がある。また、欠陥項
目の判定領域も数ミクロンから数１００ミクロンと非常
に広いため、検査中にカメラの倍率変更が必要であり、
特に光学素子が大きい場合には、結像系が固定されてい
るとその中心部と両端部とで検出できる欠陥が異なると
いう問題がある。
【０００５】本発明は、上記課題に鑑みてなされ、その
目的は、光学素子の曲面部位により欠陥検出能力に差が
出ず、検出精度が向上する光学素子の検査装置及び検査
方法を提供することである。
目的は、光学素子の曲面部位により欠陥検出能力に差が
出ず、検出精度が向上する光学素子の検査装置及び検査
方法を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決し、目
的を達成するために、本発明の光学素子の検査装置は、
帯状光を光学素子に照射する光源と、前記光学素子を透
過して該光学素子の光学機能面から出射される散乱光を
撮像素子にて検出する検出部と、前記光学素子で形成さ
れる前記光源の像の近傍に配設され、該像が前記検出部
に入射するのを遮断するフィルタ部材とを備え、前記撮
像素子を前記光学素子の幅方向に平行に配設させ、前記
検出部を前記光学素子の長手方向に移動可能とした。
的を達成するために、本発明の光学素子の検査装置は、
帯状光を光学素子に照射する光源と、前記光学素子を透
過して該光学素子の光学機能面から出射される散乱光を
撮像素子にて検出する検出部と、前記光学素子で形成さ
れる前記光源の像の近傍に配設され、該像が前記検出部
に入射するのを遮断するフィルタ部材とを備え、前記撮
像素子を前記光学素子の幅方向に平行に配設させ、前記
検出部を前記光学素子の長手方向に移動可能とした。
【０００７】また、本発明の光学素子の検査方法は、帯
状光を光学素子に照射する光源と、撮像素子が前記光学
素子の幅方向に平行に配設された検出部と、前記光学素
子で形成される前記光源の像の近傍に配設され、該像が
前記検出部に入射するのを遮断するフィルタ部材とを備
える光学素子の検査装置を用いた検査方法であって、前
記検出部を前記光学素子の長手方向に走査させて、前記
光学素子を透過して該光学素子の光学機能面から出射さ
れる散乱光を該撮像素子にて検出する。
状光を光学素子に照射する光源と、撮像素子が前記光学
素子の幅方向に平行に配設された検出部と、前記光学素
子で形成される前記光源の像の近傍に配設され、該像が
前記検出部に入射するのを遮断するフィルタ部材とを備
える光学素子の検査装置を用いた検査方法であって、前
記検出部を前記光学素子の長手方向に走査させて、前記
光学素子を透過して該光学素子の光学機能面から出射さ
れる散乱光を該撮像素子にて検出する。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態につ
いて添付図面を参照して詳細に説明する。 ［第１の実施形態］図１は第１の実施形態の光学素子の
検査装置を示す概略図である。
いて添付図面を参照して詳細に説明する。 ［第１の実施形態］図１は第１の実施形態の光学素子の
検査装置を示す概略図である。
【０００９】図１に示すように、１は光源としてのファ
イバ光源、２は光学素子としての被検査レンズ、３は空
間フィルタ、４は結像レンズ、５はラインセンサ、６は
移動ステージ、７は画像処理装置、８はモータコントロ
ーラ、９はホストコンピュータである。以下にこれらの
動作について説明する。
イバ光源、２は光学素子としての被検査レンズ、３は空
間フィルタ、４は結像レンズ、５はラインセンサ、６は
移動ステージ、７は画像処理装置、８はモータコントロ
ーラ、９はホストコンピュータである。以下にこれらの
動作について説明する。
【００１０】ファイバ光源１から出射される光束は、被
検査レンズ２の幅方向（Ｙ方向）にある程度広がりを持
った帯状の光束とされる。ファイバ光源１における光束
の出射部の形状は線状であり、被検査レンズの長手方向
（Ｘ方向）に平行に配置される。出射部の長手方向の長
さは被検査レンズの長手方向の長さに比べて長くし、そ
の長さは出射部の開口数とファイバ光源１と被検査レン
ズ２との間隔に応じて決定され、被検査レンズ２の光学
機能面のどの位置においても略同じ照度になるように決
定される。出射部から出射された光束は途中に遮蔽物が
なく被検査レンズ２に入射される。
検査レンズ２の幅方向（Ｙ方向）にある程度広がりを持
った帯状の光束とされる。ファイバ光源１における光束
の出射部の形状は線状であり、被検査レンズの長手方向
（Ｘ方向）に平行に配置される。出射部の長手方向の長
さは被検査レンズの長手方向の長さに比べて長くし、そ
の長さは出射部の開口数とファイバ光源１と被検査レン
ズ２との間隔に応じて決定され、被検査レンズ２の光学
機能面のどの位置においても略同じ照度になるように決
定される。出射部から出射された光束は途中に遮蔽物が
なく被検査レンズ２に入射される。
【００１１】第１の実施形態では、被検査レンズ２は正
のパワーを有する凸状の曲面レンズであり、ファイバ光
源１からの光束を集光させて像を形成する。空間フィル
タ３は被検査レンズ２で形成された像の近傍に配置さ
れ、ファイバ光源１の像が結像レンズ４に入射しないよ
うに遮蔽している。
のパワーを有する凸状の曲面レンズであり、ファイバ光
源１からの光束を集光させて像を形成する。空間フィル
タ３は被検査レンズ２で形成された像の近傍に配置さ
れ、ファイバ光源１の像が結像レンズ４に入射しないよ
うに遮蔽している。
【００１２】空間フィルタ３は移動ステージ６の上に配
置されておらず、移動不能に固定されている。ファイバ
光源１の出射部は線状であるため空間フィルタ３上に形
成される像も線状となり、空間フィルタ３は被検査レン
ズ２の長手方向に平行な帯状の遮蔽部を有する。
置されておらず、移動不能に固定されている。ファイバ
光源１の出射部は線状であるため空間フィルタ３上に形
成される像も線状となり、空間フィルタ３は被検査レン
ズ２の長手方向に平行な帯状の遮蔽部を有する。
【００１３】被検査レンズ２の光学機能面の凹凸等の欠
陥が大きい場合、被検査レンズ２の光学機能面からの散
乱光の方向は散乱しない光束の成分に近似するため、両
者を分離するにはラインセンサ５の位置をファイバ光源
１から遠くできることが有効である。従って、ファイバ
光源１の光学的な位置は被検査レンズ２の前側焦点に近
いところとし、そのため結像される像の大きさは拡大さ
れたものとなる。しかし、結像レンズ４は被検査レンズ
２の光学機能面に焦点が位置するため、遠くできる距離
は有限であり空間フィルタ３の光学的位置も結像レンズ
４に近い方がよい。
陥が大きい場合、被検査レンズ２の光学機能面からの散
乱光の方向は散乱しない光束の成分に近似するため、両
者を分離するにはラインセンサ５の位置をファイバ光源
１から遠くできることが有効である。従って、ファイバ
光源１の光学的な位置は被検査レンズ２の前側焦点に近
いところとし、そのため結像される像の大きさは拡大さ
れたものとなる。しかし、結像レンズ４は被検査レンズ
２の光学機能面に焦点が位置するため、遠くできる距離
は有限であり空間フィルタ３の光学的位置も結像レンズ
４に近い方がよい。
【００１４】結像レンズ４は空間フィルタ３を通過して
くる、主に被検査レンズ２で拡散された散乱光を検出す
る。また、結像レンズ４のピントは被検査レンズ２の有
する２つの曲面（幅方向と長手方向）の間に合わせら
れ、絞りを絞ることで被検査レンズ２の２つの曲面に対
してピントが合わせられるようになっている。
くる、主に被検査レンズ２で拡散された散乱光を検出す
る。また、結像レンズ４のピントは被検査レンズ２の有
する２つの曲面（幅方向と長手方向）の間に合わせら
れ、絞りを絞ることで被検査レンズ２の２つの曲面に対
してピントが合わせられるようになっている。
【００１５】また、散乱光を検出できて、かつ絞りを絞
ると光量不足となるためファイバ光源１の強度が増大さ
れることになるが、被検査レンズ２の長手方向の端部か
らの散乱光も増大するため、最終的にはラインセンサ５
の画像信号を見ながら光量を決定する必要がある。ライ
ンセンサ５は移動ステージ６上に配置され、移動ステー
ジ６は被検査レンズ２の長手方向に移動可能となってい
る。
ると光量不足となるためファイバ光源１の強度が増大さ
れることになるが、被検査レンズ２の長手方向の端部か
らの散乱光も増大するため、最終的にはラインセンサ５
の画像信号を見ながら光量を決定する必要がある。ライ
ンセンサ５は移動ステージ６上に配置され、移動ステー
ジ６は被検査レンズ２の長手方向に移動可能となってい
る。
【００１６】ラインセンサ５はＸ方向に対して垂直なＹ
方向にＣＣＤセンサ列が配置され、移動ステージ６によ
り被検査レンズ２の長手方向に走査されて結像レンズ４
で被検査レンズ２からの散乱光を捕えることにより、特
に被検査レンズ２の幅方向（長手方向に直交するＹ方
向）の状態を出力する。即ち、ラインセンサ５を移動ス
テージ６によりＸ方向に移動させることで被検査レンズ
２の２次元画像が得られることになる。
方向にＣＣＤセンサ列が配置され、移動ステージ６によ
り被検査レンズ２の長手方向に走査されて結像レンズ４
で被検査レンズ２からの散乱光を捕えることにより、特
に被検査レンズ２の幅方向（長手方向に直交するＹ方
向）の状態を出力する。即ち、ラインセンサ５を移動ス
テージ６によりＸ方向に移動させることで被検査レンズ
２の２次元画像が得られることになる。
【００１７】画像処理装置７はラインセンサ５から出力
される画像信号が逐次入力されて画像処理を実行する
が、２次元化した後に画像処理を施すことも可能となっ
ている。しかしながら、検査時間を短縮するためには画
像信号を逐次画像処理していく方が有効であるため、逐
次処理していく方式が主に用いられる。
される画像信号が逐次入力されて画像処理を実行する
が、２次元化した後に画像処理を施すことも可能となっ
ている。しかしながら、検査時間を短縮するためには画
像信号を逐次画像処理していく方が有効であるため、逐
次処理していく方式が主に用いられる。
【００１８】モータコントローラ８は移動ステージ６の
動作を制御するものであり、ホストコンピュータ９から
の指令に応じて動作する。また、モータコントローラ８
の中にステージ位置に対応したカウンタがあり、このカ
ウンタ値を参照することでステージ位置に応じた検査も
可能となっている。
動作を制御するものであり、ホストコンピュータ９から
の指令に応じて動作する。また、モータコントローラ８
の中にステージ位置に対応したカウンタがあり、このカ
ウンタ値を参照することでステージ位置に応じた検査も
可能となっている。
【００１９】ホストコンピュータ９はモータコントロー
ラ８と画像処理装置７を制御する中心的な役割を持ち、
特にステージ位置をモータコントローラ８から読み出
し、ステージ６を検査開始位置に移動させた段階で画像
処理装置７に指令を送り信号処理を開始し、ステージ６
を検査終了位置に移動させた段階で画像処理装置７へ信
号処理の終了指令を出すシーケンス制御や、画像処理装
置７で検出された欠陥情報を取りまとめて、それら欠陥
情報から被検査レンズ２が良品或いは不良品であること
を判定する。 ［第２の実施形態］図２は第２の実施形態の光学素子の
検査装置を示す概略図である。
ラ８と画像処理装置７を制御する中心的な役割を持ち、
特にステージ位置をモータコントローラ８から読み出
し、ステージ６を検査開始位置に移動させた段階で画像
処理装置７に指令を送り信号処理を開始し、ステージ６
を検査終了位置に移動させた段階で画像処理装置７へ信
号処理の終了指令を出すシーケンス制御や、画像処理装
置７で検出された欠陥情報を取りまとめて、それら欠陥
情報から被検査レンズ２が良品或いは不良品であること
を判定する。 ［第２の実施形態］図２は第２の実施形態の光学素子の
検査装置を示す概略図である。
【００２０】図２に示すように、第２の実施形態では、
空間フィルタ１０が結像レンズ４の入射面に配置され、
移動ステージ６上に取り付けられている。このため、移
動ステージ６が被検査レンズ２の長手方向に移動した場
合に追従され、ファイバ光源１の像は空間フィルタ１０
上には形成されず、空間フィルタ１０上にはファイバ光
源１のデフォーカスした像が形成される。被検査レンズ
２が正のパワーを有する凸状曲面レンズで、結像レンズ
４と被検査レンズ２の間でファイバ光源１の像を形成し
ているならば、空間フィルタ１０上に投影されるデフォ
ーカス像はかなり広がったものとなる。そのため、その
広がりと結像レンズ４の有効部分の大きさを見ながらフ
ァイバ光源１と被検査レンズ２の光学的な配置が決定さ
れる。空間フィルタ１０はこのデフォーカス像を遮断す
るための帯状の遮蔽部が形成される。
空間フィルタ１０が結像レンズ４の入射面に配置され、
移動ステージ６上に取り付けられている。このため、移
動ステージ６が被検査レンズ２の長手方向に移動した場
合に追従され、ファイバ光源１の像は空間フィルタ１０
上には形成されず、空間フィルタ１０上にはファイバ光
源１のデフォーカスした像が形成される。被検査レンズ
２が正のパワーを有する凸状曲面レンズで、結像レンズ
４と被検査レンズ２の間でファイバ光源１の像を形成し
ているならば、空間フィルタ１０上に投影されるデフォ
ーカス像はかなり広がったものとなる。そのため、その
広がりと結像レンズ４の有効部分の大きさを見ながらフ
ァイバ光源１と被検査レンズ２の光学的な配置が決定さ
れる。空間フィルタ１０はこのデフォーカス像を遮断す
るための帯状の遮蔽部が形成される。
【００２１】その他の構成は第１の実施形態と同様なの
で、同一の番号を付して説明を省略する。 ［第３の実施形態］図３は第３の実施形態の光学素子の
検査装置を示す概略図であり、特に負のパワーを有する
凹状の曲面レンズの場合の構成を示している。
で、同一の番号を付して説明を省略する。 ［第３の実施形態］図３は第３の実施形態の光学素子の
検査装置を示す概略図であり、特に負のパワーを有する
凹状の曲面レンズの場合の構成を示している。
【００２２】図３に示すように、第３の実施形態では、
ファイバ光源１と被検査レンズ１２との間にアダプタレ
ンズ１１を介在させ、ファイバ光源１から出射された光
束がアダプタレンズ１１を介して被検査レンズ１２に照
射される。アダプタレンズ１１は被検査レンズ１２と組
み合わされて正のパワーを有する合成光学系を構成し、
かつ被検査レンズ１２の検査範囲にファイバ光源１から
の光束が照射される。この構成により、アダプタレンズ
１１と被検査レンズ１２とによりファイバ光源１の像が
形成される。空間フィルタ３はファイバ光源１のアダプ
タレンズ１１と被検査レンズ１２で形成された像の近傍
に配置され、ファイバ光源１の像が結像レンズ４に入射
されないような帯状の遮蔽部が形成されている。
ファイバ光源１と被検査レンズ１２との間にアダプタレ
ンズ１１を介在させ、ファイバ光源１から出射された光
束がアダプタレンズ１１を介して被検査レンズ１２に照
射される。アダプタレンズ１１は被検査レンズ１２と組
み合わされて正のパワーを有する合成光学系を構成し、
かつ被検査レンズ１２の検査範囲にファイバ光源１から
の光束が照射される。この構成により、アダプタレンズ
１１と被検査レンズ１２とによりファイバ光源１の像が
形成される。空間フィルタ３はファイバ光源１のアダプ
タレンズ１１と被検査レンズ１２で形成された像の近傍
に配置され、ファイバ光源１の像が結像レンズ４に入射
されないような帯状の遮蔽部が形成されている。
【００２３】その他の構成は第１の実施形態と同様なの
で、同一の番号を付して説明を省略する。
で、同一の番号を付して説明を省略する。
【００２４】尚、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲
で実施形態を修正又は変形したものに適用可能である。
で実施形態を修正又は変形したものに適用可能である。
【００２５】例えば、第２と第３の実施形態を組み合わ
せて構成してもよい。
せて構成してもよい。
【００２６】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、光源か
ら出射される光束を入射する検出部を光学素子の長手方
向に移動可能にすることで、光学素子の曲面部位により
欠陥検出能力に差が出ず、検出精度が向上すると共に、
フィルタ部材により光学機能面の散乱光のみを検出でき
るので欠陥に対する検出感度を増大することができる。
ら出射される光束を入射する検出部を光学素子の長手方
向に移動可能にすることで、光学素子の曲面部位により
欠陥検出能力に差が出ず、検出精度が向上すると共に、
フィルタ部材により光学機能面の散乱光のみを検出でき
るので欠陥に対する検出感度を増大することができる。
【００２７】
【図１】第１の実施形態の光学素子の検査装置を示す概
略図である。
略図である。
【図２】第２の実施形態の光学素子の検査装置を示す概
略図である。
略図である。
【図３】第３の実施形態の光学素子の検査装置を示す概
略図である。
略図である。
１ ファイバ光源 ２、１２ 被検査レンズ ３、１０ 空間フィルタ ４ 結像レンズ ５ ラインセンサ ６ 移動ステージ ７ 画像処理装置 ８ モータコントローラ ９ ホストコンピュータ １１ アダプタレンズ
Claims (14)
- 【請求項１】 帯状光を光学素子に照射する光源と、前
記光学素子を透過して該光学素子の光学機能面から出射
される散乱光を撮像素子にて検出する検出部と、前記光
学素子で形成される前記光源の像の近傍に配設され、該
像が前記検出部に入射するのを遮断するフィルタ部材と
を備え、 前記撮像素子を前記光学素子の幅方向に平行に配設さ
せ、前記検出部を前記光学素子の長手方向に移動可能と
したことを特徴とする光学素子の検査装置。 - 【請求項２】 前記検出部を前記光学素子の長手方向に
移動させながら前記撮像素子により前記散乱光を検出
し、該検出された散乱光を前記撮像素子により光電変換
して得られる画像信号から該光学素子に関する欠陥情報
を得ることを特徴とする請求項１に記載の光学素子の検
査装置。 - 【請求項３】 前記光学素子が負のパワーを有する場
合、前記光源と前記光学素子との間に正のパワーを有す
るレンズを配置して、該光学素子と該正のパワーを有す
るレンズの合成光学系が正のパワーとなるように構成さ
れることを特徴とする請求項１又は２に記載の光学素子
の検査装置。 - 【請求項４】 前記フィルタ部材は前記検出部と共に移
動可能であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれ
か１項に記載の光学素子の検査装置。 - 【請求項５】 前記光源の像は、前記光学素子単体或い
は該光学素子と前記正のパワーを有するレンズとを組み
合わせた正のパワーを有する合成光学系により形成され
ることを特徴とする請求項３に記載の光学素子の検査装
置。 - 【請求項６】 前記光源の照度は前記光学素子の幅方向
で略同じ照度となるように設定されることを特徴とする
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の光学素子の検査
装置。 - 【請求項７】 前記光学素子は、長手方向の寸法が１０
０ミリ程度で、長手方向及び幅方向に曲面を有する透明
レンズであることを特徴とする請求項１乃至６のいずれ
か１項に記載の光学素子の検査装置。 - 【請求項８】 帯状光を光学素子に照射する光源と、撮
像素子が前記光学素子の幅方向に平行に配設された検出
部と、前記光学素子で形成される前記光源の像の近傍に
配設され、該像が前記検出部に入射するのを遮断するフ
ィルタ部材とを備える光学素子の検査装置を用いた検査
方法であって、 前記検出部を前記光学素子の長手方向に走査させて、前
記光学素子を透過して該光学素子の光学機能面から出射
される散乱光を該撮像素子にて検出することを特徴とす
る光学素子の検査方法。 - 【請求項９】 前記検出部を前記光学素子の長手方向に
移動させながら前記撮像素子により前記散乱光を検出
し、該検出された散乱光を前記撮像素子により光電変換
して得られる画像信号から該光学素子に関する欠陥情報
を得ることを特徴とする請求項８に記載の光学素子の検
査方法。 - 【請求項１０】 前記光学素子が負のパワーを有する場
合、前記光源と前記光学素子との間に正のパワーを有す
るレンズを配置して、該光学素子と該正のパワーを有す
るレンズの合成光学系が正のパワーとなるように構成さ
れることを特徴とする請求項８又は９に記載の光学素子
の検査方法。 - 【請求項１１】 前記フィルタ部材は前記検出部と共に
移動可能であることを特徴とする請求項８乃至１０のい
ずれか１項に記載の光学素子の検査方法。 - 【請求項１２】 前記光源の像は、前記光学素子単体或
いは該光学素子と前記正のパワーを有するレンズとを組
み合わせた正のパワーを有する合成光学系により形成さ
れることを特徴とする請求項１０に記載の光学素子の検
査方法。 - 【請求項１３】 前記光源の照度は前記光学素子の幅方
向で略同じ照度となるように設定されることを特徴とす
る請求項８乃至１２のいずれか１項に記載の光学素子の
検査方法。 - 【請求項１４】 前記光学素子は、長手方向の寸法が１
００ミリ程度で、長手方向及び幅方向に曲面を有する透
明レンズであることを特徴とする請求項１乃至１３のい
ずれか１項に記載の光学素子の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10308952A JP2000131241A (ja) | 1998-10-29 | 1998-10-29 | 光学素子の検査装置及び検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10308952A JP2000131241A (ja) | 1998-10-29 | 1998-10-29 | 光学素子の検査装置及び検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000131241A true JP2000131241A (ja) | 2000-05-12 |
Family
ID=17987234
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10308952A Withdrawn JP2000131241A (ja) | 1998-10-29 | 1998-10-29 | 光学素子の検査装置及び検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000131241A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006329773A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | ロッドレンズアレイの検査方法 |
| CN103759922A (zh) * | 2014-01-22 | 2014-04-30 | 北京空间机电研究所 | 一种航天遥感器二维指向镜指向精度测量方法 |
| CN106338524A (zh) * | 2016-08-23 | 2017-01-18 | 中国科学院自动化研究所 | 竖直光学元件表面损伤的显微扫描成像采集装置及方法 |
-
1998
- 1998-10-29 JP JP10308952A patent/JP2000131241A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006329773A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | ロッドレンズアレイの検査方法 |
| JP4639114B2 (ja) * | 2005-05-25 | 2011-02-23 | 三菱レイヨン株式会社 | ロッドレンズアレイの検査方法 |
| CN103759922A (zh) * | 2014-01-22 | 2014-04-30 | 北京空间机电研究所 | 一种航天遥感器二维指向镜指向精度测量方法 |
| CN106338524A (zh) * | 2016-08-23 | 2017-01-18 | 中国科学院自动化研究所 | 竖直光学元件表面损伤的显微扫描成像采集装置及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7907270B2 (en) | Inspection apparatus and method, and production method for pattern substrates | |
| JP3258385B2 (ja) | 光学式基板検査装置 | |
| EP1049925B1 (en) | Optical inspection method and apparatus | |
| KR19990064058A (ko) | 투과성 구조에서 3차원내 결함위치결정방법. | |
| JP3101290B2 (ja) | 表面状態検査装置、露光装置、及び表面状態検査方法 | |
| JPS6352696B2 (ja) | ||
| KR970000781B1 (ko) | 이물 검사 장치 | |
| JPH06294749A (ja) | 板ガラスの欠点検査方法 | |
| JP2003017536A (ja) | パターン検査方法及び検査装置 | |
| JPH1062354A (ja) | 透明板の欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
| JP2000131241A (ja) | 光学素子の検査装置及び検査方法 | |
| JPH09145631A (ja) | 表面異物検査装置 | |
| JPH11248643A (ja) | 透明フィルムの異物検査装置 | |
| JP4040777B2 (ja) | 異物検査装置 | |
| JP2633718B2 (ja) | 形状認識装置 | |
| JP2001041719A (ja) | 透明材の検査装置及び検査方法並びに記憶媒体 | |
| JP3409272B2 (ja) | 露光マスクの異物検査方法 | |
| JP2016102776A (ja) | 検査装置、及び検査方法 | |
| JPS61122648A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JP2801916B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPH01259244A (ja) | 異物検出方式 | |
| JP2009222629A (ja) | 被検物端面検査装置 | |
| JPH11304640A (ja) | 光学素子検査装置 | |
| JPH1164159A (ja) | 位相格子の表面の検査方法および検査装置 | |
| JPH11183151A (ja) | 透明シート検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060110 |