JPH1164159A - 位相格子の表面の検査方法および検査装置 - Google Patents
位相格子の表面の検査方法および検査装置Info
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- JPH1164159A JPH1164159A JP22482497A JP22482497A JPH1164159A JP H1164159 A JPH1164159 A JP H1164159A JP 22482497 A JP22482497 A JP 22482497A JP 22482497 A JP22482497 A JP 22482497A JP H1164159 A JPH1164159 A JP H1164159A
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- illumination
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 位相格子の表面の異常点の位置および大きさ
の検出精度を高くすることができる位相格子の表面の検
査装置を提供する。 【解決手段】 位相格子１をホルダー２に取り付けて、
ＸＹステージ３，Ｚステージ４で位置を調整し、暗視野
照明用の光源５，６で照明する。それを側方よりＣＣＤ
カメラで観測する。暗視野照明用光源５の場合は、位相
格子１の溝方向に対して直角で、かつ、位相格子の表面
に対して斜めの方向からの照明であり、位相格子のパタ
―ンがある部分とない部分の領域を容易に区別し観察す
ることができ、キズやゴミ等の異常点の位置を検出でき
る。暗視野照明用光源６の場合は、位相格子の配列方向
に対して直角で、かつ、位相格子の表面に対して斜めの
方向からの照明であり、異常点の大きさを検出できる。
の検出精度を高くすることができる位相格子の表面の検
査装置を提供する。 【解決手段】 位相格子１をホルダー２に取り付けて、
ＸＹステージ３，Ｚステージ４で位置を調整し、暗視野
照明用の光源５，６で照明する。それを側方よりＣＣＤ
カメラで観測する。暗視野照明用光源５の場合は、位相
格子１の溝方向に対して直角で、かつ、位相格子の表面
に対して斜めの方向からの照明であり、位相格子のパタ
―ンがある部分とない部分の領域を容易に区別し観察す
ることができ、キズやゴミ等の異常点の位置を検出でき
る。暗視野照明用光源６の場合は、位相格子の配列方向
に対して直角で、かつ、位相格子の表面に対して斜めの
方向からの照明であり、異常点の大きさを検出できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ファイバグレーテ
ィングの作製などに用いられる位相格子の表面状態の検
査方法および検査装置に関するものである。
ィングの作製などに用いられる位相格子の表面状態の検
査方法および検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ファイバグレーティングの作製に位相格
子を用いる方法がある。この方法による場合、位相格子
の表面にゴミが付着していたり、傷があったりすると、
作製されるグレ―ティングの特性、例えば、反射特性な
どが劣化する。
子を用いる方法がある。この方法による場合、位相格子
の表面にゴミが付着していたり、傷があったりすると、
作製されるグレ―ティングの特性、例えば、反射特性な
どが劣化する。
【０００３】位相格子の表面状態を調べるために、通常
の顕微鏡観察（落射照明）による方法では、ゴミとバッ
クグラウンドとのコントラストが悪いため、位相格子の
表面のゴミの検出精度が悪く、定量的な把握は困難であ
る。また、ゴミとバックグラウンドとの境界がはっきり
分からないため、ゴミの位置の検出精度も悪いという問
題もある。
の顕微鏡観察（落射照明）による方法では、ゴミとバッ
クグラウンドとのコントラストが悪いため、位相格子の
表面のゴミの検出精度が悪く、定量的な把握は困難であ
る。また、ゴミとバックグラウンドとの境界がはっきり
分からないため、ゴミの位置の検出精度も悪いという問
題もある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した事
情に鑑みてなされたもので、位相格子の表面の異常点の
位置および大きさの検出精度を高くすることができる位
相格子の表面の検査方法および検査装置を提供すること
を目的とするものである。
情に鑑みてなされたもので、位相格子の表面の異常点の
位置および大きさの検出精度を高くすることができる位
相格子の表面の検査方法および検査装置を提供すること
を目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、位相格子の表面の検査方法において、位相格子の溝
方向に対して直角で、かつ、該位相格子の表面に対して
斜めの方向からの暗視野照明を行ない、表面の画像から
位相格子面上の異常点の位置を検出し、前記位相格子の
配列方向に対して直角で、かつ、前記位相格子の表面に
対して斜めの方向からの暗視野照明を行ない、表面の画
像から異常点の大きさを検出することを特徴とするもの
であり、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の位
相格子の表面の検査方法において、撮像光学系にテレセ
ントリック系対物レンズで観測することを特徴とするも
のである。
は、位相格子の表面の検査方法において、位相格子の溝
方向に対して直角で、かつ、該位相格子の表面に対して
斜めの方向からの暗視野照明を行ない、表面の画像から
位相格子面上の異常点の位置を検出し、前記位相格子の
配列方向に対して直角で、かつ、前記位相格子の表面に
対して斜めの方向からの暗視野照明を行ない、表面の画
像から異常点の大きさを検出することを特徴とするもの
であり、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の位
相格子の表面の検査方法において、撮像光学系にテレセ
ントリック系対物レンズで観測することを特徴とするも
のである。
【０００６】請求項３に記載の発明は、位相格子の表面
の検査装置において、位相格子の溝方向に対して直角
で、かつ、該位相格子の表面に対して斜めの方向からの
暗視野照明を行なう照明装置と、前記位相格子の配列方
向に対して直角で、かつ、前記位相格子の表面に対して
斜めの方向からの暗視野照明を行なう照明装置と、表面
の画像を観測する撮像装置と、観測した画像を処理し異
常点を抽出する画像処理を有することを特徴とするもの
であり、請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の位
相格子の表面の検査装置において、撮像装置の対物レン
ズがテレセントリック系であることを特徴とするもので
ある。
の検査装置において、位相格子の溝方向に対して直角
で、かつ、該位相格子の表面に対して斜めの方向からの
暗視野照明を行なう照明装置と、前記位相格子の配列方
向に対して直角で、かつ、前記位相格子の表面に対して
斜めの方向からの暗視野照明を行なう照明装置と、表面
の画像を観測する撮像装置と、観測した画像を処理し異
常点を抽出する画像処理を有することを特徴とするもの
であり、請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の位
相格子の表面の検査装置において、撮像装置の対物レン
ズがテレセントリック系であることを特徴とするもので
ある。
【０００７】
【発明の実施の形態】まず、明視野照明と暗視野照明で
の観測の様子と観測した画像について説明する。
の観測の様子と観測した画像について説明する。
【０００８】図４は、明視野照明（落射照明）での観測
の様子を説明するためのもので、図４（Ａ）は位相格子
の断面を見た図、図４（Ｂ）は観察像の一例である。図
中、２１は位相格子の表面、２２は異常点、２３は対物
レンズ、２４は照明光、２５は反射光、２６は透過光で
ある。明視野落射照明の場合、照明光２４は、位相格子
の表面２１に対して垂直に当てられる（Ｙ軸方向）。図
４（Ａ）に示すように、位相格子のパターンがある部分
では、反射光２５には回折があるため、対物レンズ２３
への入射光は減少し、位相格子のパターンがない部分に
比べて暗くなる。位相格子のパターン上にキズやゴミ等
の異常点２２がある場合、図４（Ｂ）に示す観察像で
は、異常点２２は暗く見えるが、位相格子の背景とのコ
ントラストがよくないため検出がしにくい。
の様子を説明するためのもので、図４（Ａ）は位相格子
の断面を見た図、図４（Ｂ）は観察像の一例である。図
中、２１は位相格子の表面、２２は異常点、２３は対物
レンズ、２４は照明光、２５は反射光、２６は透過光で
ある。明視野落射照明の場合、照明光２４は、位相格子
の表面２１に対して垂直に当てられる（Ｙ軸方向）。図
４（Ａ）に示すように、位相格子のパターンがある部分
では、反射光２５には回折があるため、対物レンズ２３
への入射光は減少し、位相格子のパターンがない部分に
比べて暗くなる。位相格子のパターン上にキズやゴミ等
の異常点２２がある場合、図４（Ｂ）に示す観察像で
は、異常点２２は暗く見えるが、位相格子の背景とのコ
ントラストがよくないため検出がしにくい。
【０００９】図５は、位相格子の溝方向（Ｚ軸方向）に
対して直角で、かつ、位相格子の表面に対して斜めの方
向から照明を当てる暗視野照明（以下、「暗視野照明
１」という。）での観測の様子を説明するためのもの
で、図５（Ａ）は位相格子の断面を見た図、図５（Ｂ）
は観察像の一例である。図中、図４と同様の部分には同
じ符号を付して説明を省略する。２７は透過回折光であ
る。照明光２４を位相格子の溝方向（Ｚ軸方向）に対し
て直角で、かつ、位相格子の表面２１に対して斜め下方
の方向から照明を当てる暗視野照明１の場合、照明光の
大部分は斜めの透過光２６となって対物レンズ２３へは
入射しない。したがって、対物レンズ２３が見る視野は
暗視野となる。しかし、照明光２４の一部は、位相格子
の表面２１で回折して、透検過回折光２７となる。対物
レンズ２３に透過回折光２７が入射するように調整して
おく。図５（Ｂ）は、位相格子の四角パターンの角の部
分を観察する場合の例であり、位相格子の部分２８が明
るく見られ、位相格子のパターンがない部分２９は暗い
部分となって、容易に位相格子の領域を区別して観察す
ることができる。また、位相格子のパターン上にキズや
ゴミ等の異常点２２がある場合は、異常点２２の部分で
は、透過回折光が減少するため暗くなって見え、異常点
をコントラストよく検出できる。また、明るく見える位
相格子の部分２８と暗く見える異常点２２の位置関係か
ら、位相格子面上の異常点の位置を検出することができ
る。
対して直角で、かつ、位相格子の表面に対して斜めの方
向から照明を当てる暗視野照明（以下、「暗視野照明
１」という。）での観測の様子を説明するためのもの
で、図５（Ａ）は位相格子の断面を見た図、図５（Ｂ）
は観察像の一例である。図中、図４と同様の部分には同
じ符号を付して説明を省略する。２７は透過回折光であ
る。照明光２４を位相格子の溝方向（Ｚ軸方向）に対し
て直角で、かつ、位相格子の表面２１に対して斜め下方
の方向から照明を当てる暗視野照明１の場合、照明光の
大部分は斜めの透過光２６となって対物レンズ２３へは
入射しない。したがって、対物レンズ２３が見る視野は
暗視野となる。しかし、照明光２４の一部は、位相格子
の表面２１で回折して、透検過回折光２７となる。対物
レンズ２３に透過回折光２７が入射するように調整して
おく。図５（Ｂ）は、位相格子の四角パターンの角の部
分を観察する場合の例であり、位相格子の部分２８が明
るく見られ、位相格子のパターンがない部分２９は暗い
部分となって、容易に位相格子の領域を区別して観察す
ることができる。また、位相格子のパターン上にキズや
ゴミ等の異常点２２がある場合は、異常点２２の部分で
は、透過回折光が減少するため暗くなって見え、異常点
をコントラストよく検出できる。また、明るく見える位
相格子の部分２８と暗く見える異常点２２の位置関係か
ら、位相格子面上の異常点の位置を検出することができ
る。
【００１０】図６は、位相格子の配列方向（Ｘ軸方向）
に対して直角で、かつ、位相格子の表面に対して斜めの
方向から照明を当てる暗視野照明（以下、「暗視野照明
２」という。）での観測の様子を説明するためのもの
で、図６（Ａ）は位相格子の断面を見た図、図６（Ｂ）
は観察像の一例である。図中、図４と同様の部分には同
じ符号を付して説明を省略する。３０は散乱光である。
照明光２４を位相格子の配列方向（Ｘ軸方向）に対して
直角で、かつ、位相格子の表面２１に対して斜め下方の
方向から照明を当てる暗視野照明２の場合、照明光の大
部分は斜めの透過光２６となって対物レンズ２３へは入
射しない。したがって、暗視野照明２の場合も、対物レ
ンズ２３が見る視野は暗視野となる。図６（Ｂ）に示す
ように、位相格子の表面上にキズやゴミ等の異常点２２
がある場合は、散乱光３０によって異常点２２が明るく
見えるため、コントラストがよく異常点２２を観測で
き、異常点２２の大きさを検出することもできる。
に対して直角で、かつ、位相格子の表面に対して斜めの
方向から照明を当てる暗視野照明（以下、「暗視野照明
２」という。）での観測の様子を説明するためのもの
で、図６（Ａ）は位相格子の断面を見た図、図６（Ｂ）
は観察像の一例である。図中、図４と同様の部分には同
じ符号を付して説明を省略する。３０は散乱光である。
照明光２４を位相格子の配列方向（Ｘ軸方向）に対して
直角で、かつ、位相格子の表面２１に対して斜め下方の
方向から照明を当てる暗視野照明２の場合、照明光の大
部分は斜めの透過光２６となって対物レンズ２３へは入
射しない。したがって、暗視野照明２の場合も、対物レ
ンズ２３が見る視野は暗視野となる。図６（Ｂ）に示す
ように、位相格子の表面上にキズやゴミ等の異常点２２
がある場合は、散乱光３０によって異常点２２が明るく
見えるため、コントラストがよく異常点２２を観測で
き、異常点２２の大きさを検出することもできる。
【００１１】本発明では、暗視野照明１と暗視野照明２
とにより観測を行なう。暗視野照明１の場合に、位相格
子の領域を画像から求めることができ、また、異常点が
ある場合には、その領域上での異常点の位置を検出する
ことができる。暗視野照明２の場合には、輝度の高い部
分を検出することにより、位相格子のパターン上にある
キズ、ゴミ等の異常点の大きさを検出することができ
る。
とにより観測を行なう。暗視野照明１の場合に、位相格
子の領域を画像から求めることができ、また、異常点が
ある場合には、その領域上での異常点の位置を検出する
ことができる。暗視野照明２の場合には、輝度の高い部
分を検出することにより、位相格子のパターン上にある
キズ、ゴミ等の異常点の大きさを検出することができ
る。
【００１２】図１は、本発明の位相格子の表面状態を検
査する検査装置の実施の形態の一例の概略を示す構成図
である。図中、１は位相格子、２はホルダー、３はＸＹ
ステージ、４はＺステージ、５は暗視野照明１用光源、
６は暗視野照明２用光源、７はカメラ、８は対物レン
ズ、９は顕微鏡鏡筒、１０はＸＹＺステージ、１１は落
射明視野照明用光源である。
査する検査装置の実施の形態の一例の概略を示す構成図
である。図中、１は位相格子、２はホルダー、３はＸＹ
ステージ、４はＺステージ、５は暗視野照明１用光源、
６は暗視野照明２用光源、７はカメラ、８は対物レン
ズ、９は顕微鏡鏡筒、１０はＸＹＺステージ、１１は落
射明視野照明用光源である。
【００１３】ファイバグレーティングの作製に使用する
位相格子の場合、中央部に凹凸を持つ位相格子が用いら
れる。位相格子の一例を図２に示す。図２（Ａ）は平面
図であり、位相格子１の溝の配列方向をＸ軸、溝の深さ
方向をＹ軸、溝の方向をＺ軸とする。位相格子１の断面
をより拡大して図示したものが図２（Ｂ）である。
位相格子の場合、中央部に凹凸を持つ位相格子が用いら
れる。位相格子の一例を図２に示す。図２（Ａ）は平面
図であり、位相格子１の溝の配列方向をＸ軸、溝の深さ
方向をＹ軸、溝の方向をＺ軸とする。位相格子１の断面
をより拡大して図示したものが図２（Ｂ）である。
【００１４】この位相格子１を図１の検査装置のホルダ
ー２に取り付けて、明視野、暗視野の２つの方法のいず
れかで照明し、それを側方よりカメラ７で観測する。暗
視野の場合は、暗視野照明１と暗視野照明２とが可能な
ように、暗視野照明１用光源５と暗視野２用光源６とが
配置されている。これら光源は、一例では、図示しない
ハロゲン光源からの出射光を光ファイバ束により導くよ
うにしている。１つの照明用光源のみを用いて、それぞ
れの所要の位置に着脱可能にして、選択的に取り付ける
ようにしてもよい。
ー２に取り付けて、明視野、暗視野の２つの方法のいず
れかで照明し、それを側方よりカメラ７で観測する。暗
視野の場合は、暗視野照明１と暗視野照明２とが可能な
ように、暗視野照明１用光源５と暗視野２用光源６とが
配置されている。これら光源は、一例では、図示しない
ハロゲン光源からの出射光を光ファイバ束により導くよ
うにしている。１つの照明用光源のみを用いて、それぞ
れの所要の位置に着脱可能にして、選択的に取り付ける
ようにしてもよい。
【００１５】位相格子１を載せたホルダー２をＸＹステ
ージ３に載せ、ＸＹステージ３の位置をＺステージ４で
調整可能にして、各ステージを３次元的に移動させるこ
とにより観測する範囲を変えられるようにしている。対
物レンズを含め、観測用の光学系としてテレセントリッ
ク系のものを用いることにより、厚みのある位相格子の
表裏を一度に観測できるようにすれば、表と裏の両表面
の２回にわたる測定を１回で済ませることができ、測定
時間を短縮することができる。観測する画像は、カメラ
７で電気信号に変換することができる。カメラ７として
は、ＣＣＤカメラ等、画像信号を電気信号として得るこ
とができるカメラを用いることができる。
ージ３に載せ、ＸＹステージ３の位置をＺステージ４で
調整可能にして、各ステージを３次元的に移動させるこ
とにより観測する範囲を変えられるようにしている。対
物レンズを含め、観測用の光学系としてテレセントリッ
ク系のものを用いることにより、厚みのある位相格子の
表裏を一度に観測できるようにすれば、表と裏の両表面
の２回にわたる測定を１回で済ませることができ、測定
時間を短縮することができる。観測する画像は、カメラ
７で電気信号に変換することができる。カメラ７として
は、ＣＣＤカメラ等、画像信号を電気信号として得るこ
とができるカメラを用いることができる。
【００１６】画像処理の装置の構成の一例を図３に示
す。図中、１２はパソコン、１３は画像処理ボード、１
４はＣＣＤ電源コントローラ、１５はビデオモニタ、１
６はステージコントロールボード、１７はＤ／Ａボー
ド、１８はハロゲン光源である。パソコン１２からの制
御で、Ｄ／Ａボード１７を介して、ハロゲン光源１８の
切り替えと光量調整を行なう。観測する視野は、位相格
子を保持するホルダーをＸＹステージおよびＺステージ
を移動させることによって設定されるが、これらステー
ジは、パソコン１２からの指令によりステージコントロ
ールボード１６を介して移動制御が行なわれる。画像処
理ボード１３は、ＣＣＤ電源コントローラ１４を介して
ＣＣＤカメラを制御し、取り込んだ画像の２値化、ラベ
リング処理、面積計算等を行なう。異常点の認識と位相
格子面上での位置と大きさを演算することもできる。ま
た、取り込んだ画像をビデオモニタ１５でモニタするよ
うにしてもよい。
す。図中、１２はパソコン、１３は画像処理ボード、１
４はＣＣＤ電源コントローラ、１５はビデオモニタ、１
６はステージコントロールボード、１７はＤ／Ａボー
ド、１８はハロゲン光源である。パソコン１２からの制
御で、Ｄ／Ａボード１７を介して、ハロゲン光源１８の
切り替えと光量調整を行なう。観測する視野は、位相格
子を保持するホルダーをＸＹステージおよびＺステージ
を移動させることによって設定されるが、これらステー
ジは、パソコン１２からの指令によりステージコントロ
ールボード１６を介して移動制御が行なわれる。画像処
理ボード１３は、ＣＣＤ電源コントローラ１４を介して
ＣＣＤカメラを制御し、取り込んだ画像の２値化、ラベ
リング処理、面積計算等を行なう。異常点の認識と位相
格子面上での位置と大きさを演算することもできる。ま
た、取り込んだ画像をビデオモニタ１５でモニタするよ
うにしてもよい。
【００１７】暗視野照明１では、位相格子のパタ−ンに
よる回折の有無により光の吸収率、反射率の差が生じ、
それを映像にとらえることができるため、位相格子のパ
タ―ンがある部分とない部分の領域を容易に区別し観察
することができる。異常点がある場合には、位相格子面
上での位置を検出できる。暗視野照明２では、回折の生
じない方向からの照明より、異常点からの散乱光のみを
観測できるため、位相格子の表面のキズやゴミ等の異常
点の大きさを検出することができる。
よる回折の有無により光の吸収率、反射率の差が生じ、
それを映像にとらえることができるため、位相格子のパ
タ―ンがある部分とない部分の領域を容易に区別し観察
することができる。異常点がある場合には、位相格子面
上での位置を検出できる。暗視野照明２では、回折の生
じない方向からの照明より、異常点からの散乱光のみを
観測できるため、位相格子の表面のキズやゴミ等の異常
点の大きさを検出することができる。
【００１８】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、暗視野照明１と暗視野照明２との２つの照明
を用いる。暗視野照明１では、位相格子のパタ―ンがあ
る部分とない部分の領域を容易に区別し観察することが
でき、異常点がある場合には、位相格子面上での位置を
検出できる。暗視野照明２では、位相格子の表面のキズ
やゴミ等の異常点の大きさを検出することができる。い
ずれも異常点の像はコントラストよく観測することがで
きる。また、撮像光学系にテレセントリック系対物レン
ズを用いることによって、位相格子の表裏の両表面につ
いた異物を同時に観測し、表と裏の２回の測定時間を短
縮することができる。
によれば、暗視野照明１と暗視野照明２との２つの照明
を用いる。暗視野照明１では、位相格子のパタ―ンがあ
る部分とない部分の領域を容易に区別し観察することが
でき、異常点がある場合には、位相格子面上での位置を
検出できる。暗視野照明２では、位相格子の表面のキズ
やゴミ等の異常点の大きさを検出することができる。い
ずれも異常点の像はコントラストよく観測することがで
きる。また、撮像光学系にテレセントリック系対物レン
ズを用いることによって、位相格子の表裏の両表面につ
いた異物を同時に観測し、表と裏の２回の測定時間を短
縮することができる。
【図１】本発明の位相格子の表面状態を検査する検査装
置の実施の形態の一例の概略を示す構成図である。
置の実施の形態の一例の概略を示す構成図である。
【図２】位相格子の一例の説明図である。
【図３】画像処理装置の一例の構成図である。
【図４】明視野照明（落射照明）での観測の様子を説明
するためのもので、図４（Ａ）は位相格子の断面を見た
図、図４（Ｂ）は観察像の一例である。
するためのもので、図４（Ａ）は位相格子の断面を見た
図、図４（Ｂ）は観察像の一例である。
【図５】暗視野照明１での観測の様子を説明するための
もので、図５（Ａ）は位相格子の断面を見た図、図５
（Ｂ）は観察像の一例である。
もので、図５（Ａ）は位相格子の断面を見た図、図５
（Ｂ）は観察像の一例である。
【図６】暗視野照明２での観測の様子を説明するための
もので、図６（Ａ）は位相格子の断面を見た図、図６
（Ｂ）は観察像の一例である。
もので、図６（Ａ）は位相格子の断面を見た図、図６
（Ｂ）は観察像の一例である。
１…位相格子、２…ホルダー、３…ＸＹステージ、４…
Ｚステージ、５…暗視野照明１用光源、６…暗視野照明
２用光源、７…カメラ、８…対物レンズ、９…顕微鏡鏡
筒、１０…ＸＹＺステージ、１１…落射明視野照明用光
源、１２…パソコン、１３…画像処理ボード、１４…Ｃ
ＣＤ電源コントローラ、１５…ビデオモニタ、１６…ス
テージコントロールボード、１７…Ｄ／Ａボード、１８
…ハロゲン光源、２１…位相格子の表面、２２…異常
点、２３…対物レンズ、２４…照明光、２５…反射光、
２６…透過光、２７…透過回折光、２８…位相格子の部
分、２９…位相格子のパターンがない部分、３０…散乱
光。
Ｚステージ、５…暗視野照明１用光源、６…暗視野照明
２用光源、７…カメラ、８…対物レンズ、９…顕微鏡鏡
筒、１０…ＸＹＺステージ、１１…落射明視野照明用光
源、１２…パソコン、１３…画像処理ボード、１４…Ｃ
ＣＤ電源コントローラ、１５…ビデオモニタ、１６…ス
テージコントロールボード、１７…Ｄ／Ａボード、１８
…ハロゲン光源、２１…位相格子の表面、２２…異常
点、２３…対物レンズ、２４…照明光、２５…反射光、
２６…透過光、２７…透過回折光、２８…位相格子の部
分、２９…位相格子のパターンがない部分、３０…散乱
光。
Claims (4)
- 【請求項１】 位相格子の溝方向に対して直角で、か
つ、該位相格子の表面に対して斜めの方向からの暗視野
照明を行ない、表面の画像から位相格子面上の異常点の
位置を検出し、前記位相格子の配列方向に対して直角
で、かつ、前記位相格子の表面に対して斜めの方向から
の暗視野照明を行ない、表面の画像から異常点の大きさ
を検出することを特徴とする位相格子の表面の検査方
法。 - 【請求項２】 撮像光学系にテレセントリック系対物レ
ンズで観測することを特徴とする請求項１に記載の位相
格子の表面の検査方法。 - 【請求項３】 位相格子の溝方向に対して直角で、か
つ、該位相格子の表面に対して斜めの方向からの暗視野
照明を行なう照明装置と、前記位相格子の配列方向に対
して直角で、かつ、前記位相格子の表面に対して斜めの
方向からの暗視野照明を行なう照明装置と、表面の画像
を観測する撮像装置と、観測した画像を処理し異常点を
抽出する画像処理を有することを特徴とする位相格子の
表面の検査装置。 - 【請求項４】 撮像装置の対物レンズがテレセントリッ
ク系であることを特徴とする請求項３に記載の位相格子
の表面の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22482497A JPH1164159A (ja) | 1997-08-21 | 1997-08-21 | 位相格子の表面の検査方法および検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22482497A JPH1164159A (ja) | 1997-08-21 | 1997-08-21 | 位相格子の表面の検査方法および検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1164159A true JPH1164159A (ja) | 1999-03-05 |
Family
ID=16819780
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22482497A Pending JPH1164159A (ja) | 1997-08-21 | 1997-08-21 | 位相格子の表面の検査方法および検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1164159A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009229156A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Pulstec Industrial Co Ltd | 格子構造の検査装置および格子構造の検査方法 |
| CN108406442A (zh) * | 2018-03-13 | 2018-08-17 | 上海铼钠克数控科技股份有限公司 | 光栅尺性能检测方法和系统 |
| JP2019109236A (ja) * | 2017-12-19 | 2019-07-04 | 大日本印刷株式会社 | 検査装置、検査方法 |
| CN111551119A (zh) * | 2020-05-25 | 2020-08-18 | 广州中恒工程技术有限公司 | 一种用于水运工程实体检测不规则裂缝长度轨迹仪 |
-
1997
- 1997-08-21 JP JP22482497A patent/JPH1164159A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009229156A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Pulstec Industrial Co Ltd | 格子構造の検査装置および格子構造の検査方法 |
| JP2019109236A (ja) * | 2017-12-19 | 2019-07-04 | 大日本印刷株式会社 | 検査装置、検査方法 |
| CN108406442A (zh) * | 2018-03-13 | 2018-08-17 | 上海铼钠克数控科技股份有限公司 | 光栅尺性能检测方法和系统 |
| CN111551119A (zh) * | 2020-05-25 | 2020-08-18 | 广州中恒工程技术有限公司 | 一种用于水运工程实体检测不规则裂缝长度轨迹仪 |
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