JPH05322694A - レンズ検査装置 - Google Patents
レンズ検査装置Info
- Publication number
- JPH05322694A JPH05322694A JP15607492A JP15607492A JPH05322694A JP H05322694 A JPH05322694 A JP H05322694A JP 15607492 A JP15607492 A JP 15607492A JP 15607492 A JP15607492 A JP 15607492A JP H05322694 A JPH05322694 A JP H05322694A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- inspected
- light
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- inspection
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Image Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被検査レンズ面からの不要な反射光を完全に
除去することにより、全面の検査を一度に可能ならしめ
検査を高速化するとともに判定精度の向上をも図ること
のできるレンズ検査装置を提供することを目的とする。 【構成】 半導体レーザ１、コリメートレンズ４、ビー
ムスプリッタ５、集光レンズ６により被検査レンズ面８
ａに垂直な光束を照射し、レンズ面８ａからの検査に有
害な光束７を遮光マスク１１により遮蔽する一方、被検
査レンズの欠陥８ｂからの散乱光１２を結像レンズ９に
より集光結像し、この欠陥像をＴＶカメラ１３により解
析する。
除去することにより、全面の検査を一度に可能ならしめ
検査を高速化するとともに判定精度の向上をも図ること
のできるレンズ検査装置を提供することを目的とする。 【構成】 半導体レーザ１、コリメートレンズ４、ビー
ムスプリッタ５、集光レンズ６により被検査レンズ面８
ａに垂直な光束を照射し、レンズ面８ａからの検査に有
害な光束７を遮光マスク１１により遮蔽する一方、被検
査レンズの欠陥８ｂからの散乱光１２を結像レンズ９に
より集光結像し、この欠陥像をＴＶカメラ１３により解
析する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレンズ生産工程で不良品
の選別を行う検査装置に関し、特に、単レンズの表面の
きず、砂目、ごみ等の欠陥を検査するレンズ検査装置に
関する。
の選別を行う検査装置に関し、特に、単レンズの表面の
きず、砂目、ごみ等の欠陥を検査するレンズ検査装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のレンズ検査装置として
は、例えば、特開平２−１７３５４４号公報に開示され
た装置が知られている。かかる装置は被検査レンズを保
持回転する機構と、被検査レンズに集束から発散までの
任意角度の光束を任意方向から照明する照明手段と、被
検査レンズからの透過光を撮像し、該撮像信号を記憶、
演算、判定、表示する手段とからなるものである。そし
て、照明の位置方向を被検査レンズに最適な状態に保持
することにより、被検査レンズ面からの反射光に邪魔さ
れること無く、レンズ表面の欠陥を検査するものであ
る。
は、例えば、特開平２−１７３５４４号公報に開示され
た装置が知られている。かかる装置は被検査レンズを保
持回転する機構と、被検査レンズに集束から発散までの
任意角度の光束を任意方向から照明する照明手段と、被
検査レンズからの透過光を撮像し、該撮像信号を記憶、
演算、判定、表示する手段とからなるものである。そし
て、照明の位置方向を被検査レンズに最適な状態に保持
することにより、被検査レンズ面からの反射光に邪魔さ
れること無く、レンズ表面の欠陥を検査するものであ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の従来
のレンズ検査装置では、被検査レンズの大きさや曲率に
よっては、照明の位置や方向を調整しても表面や裏面か
らの反射光を全面で完全に除去することができない場合
があった。そして、このような場合にはレンズの一部分
ずつ検査する他なく、検査に長時間を要し、処理が複雑
になるという問題点があった。
のレンズ検査装置では、被検査レンズの大きさや曲率に
よっては、照明の位置や方向を調整しても表面や裏面か
らの反射光を全面で完全に除去することができない場合
があった。そして、このような場合にはレンズの一部分
ずつ検査する他なく、検査に長時間を要し、処理が複雑
になるという問題点があった。
【０００４】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、被検査レンズ面からの不要な反射光を完全に除去す
ることにより、全面の検査を一度に可能ならしめ、検査
を高速化するとともに判定精度の向上をも図ることので
きるレンズ検査装置を提供することを目的とする。
で、被検査レンズ面からの不要な反射光を完全に除去す
ることにより、全面の検査を一度に可能ならしめ、検査
を高速化するとともに判定精度の向上をも図ることので
きるレンズ検査装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のレンズ検査装置では、被検査レンズ面に垂直
な光束を照射する照明光学系と、該被検査レンズ表面ま
たは内部に存する欠陥からの散乱光を集光し結像する結
像光学系と、検査に有害な光束を遮蔽する遮蔽手段と、
前記欠陥の像を解析する解析手段とからなることを特徴
としている。
に本発明のレンズ検査装置では、被検査レンズ面に垂直
な光束を照射する照明光学系と、該被検査レンズ表面ま
たは内部に存する欠陥からの散乱光を集光し結像する結
像光学系と、検査に有害な光束を遮蔽する遮蔽手段と、
前記欠陥の像を解析する解析手段とからなることを特徴
としている。
【０００６】
【作用】上記構成からなる本発明のレンズ検査装置で
は、光源を含む照明光学系からの光束が被検査レンズの
表面に垂直に照射される。この光束のうち、欠陥以外の
部分で反射された光束は結像光学系にて集光され遮蔽手
段で遮蔽される。一方、欠陥で発生した散乱光は結像光
学系にて集光されるが一部が遮蔽されるのみで大部分は
遮蔽手段の外側を通過して撮像装置に結像する。この像
に画像処理を施して２値化、面積計算等の解析を行い、
被検査レンズの良否の判定を行う。
は、光源を含む照明光学系からの光束が被検査レンズの
表面に垂直に照射される。この光束のうち、欠陥以外の
部分で反射された光束は結像光学系にて集光され遮蔽手
段で遮蔽される。一方、欠陥で発生した散乱光は結像光
学系にて集光されるが一部が遮蔽されるのみで大部分は
遮蔽手段の外側を通過して撮像装置に結像する。この像
に画像処理を施して２値化、面積計算等の解析を行い、
被検査レンズの良否の判定を行う。
【０００７】以下、添付図面を参照して本発明に係るレ
ンズ検査装置のいくつかの実施例を説明する。なお、図
面の説明において同一の要素には同一符号を付し、重複
する説明を省略する。
ンズ検査装置のいくつかの実施例を説明する。なお、図
面の説明において同一の要素には同一符号を付し、重複
する説明を省略する。
【０００８】
【実施例１】まず、本発明の実施例１を説明する。図１
は実施例１のレンズ検査装置の構成を示す図である。図
において、１は半導体レーザ、２はその駆動回路であ
り、半導体レーザ１から照射した光束３はコリメートレ
ンズ４により平行光束となってビームスプリッタ５に入
射する。そして、ビームスプリッタ５内部の反射面で反
射して、図中の上方向に導かれて集光レンズ６に入射す
る。集光レンズ６から射出した光束７は被検査レンズ８
の表面８ａに垂直に照射される。ここで、被検査レンズ
８のレンズ表面８ａに垂直とは、レンズ表面８ａのどの
部分でも光束７の入射角度が垂直ということを示し、以
上により照明光学系が構成されている。
は実施例１のレンズ検査装置の構成を示す図である。図
において、１は半導体レーザ、２はその駆動回路であ
り、半導体レーザ１から照射した光束３はコリメートレ
ンズ４により平行光束となってビームスプリッタ５に入
射する。そして、ビームスプリッタ５内部の反射面で反
射して、図中の上方向に導かれて集光レンズ６に入射す
る。集光レンズ６から射出した光束７は被検査レンズ８
の表面８ａに垂直に照射される。ここで、被検査レンズ
８のレンズ表面８ａに垂直とは、レンズ表面８ａのどの
部分でも光束７の入射角度が垂直ということを示し、以
上により照明光学系が構成されている。
【０００９】次に、レンズ表面８ａに照射された光束７
は、レンズ表面８ａにて反射して入射時の経路を逆行
し、再度集光レンズ６を通過して平行光束となった後、
ビームスプリッタ５内を直進し、結像レンズ９にて収束
し、平面ガラス１０上に設けた遮光マスク１１に集光す
る。一方、被検査レンズ８の欠陥８ｂにて散乱した光束
１２は、集光レンズ６、ビームスプリッタ５、結像レン
ズ９、平面ガラス１０を順に通過してＴＶカメラ１３に
結像する。なお、ＴＶカメラ１３は結像レンズ９の光軸
方向に移動自在となっており、被検査レンズ８と光学的
共役の位置に配置する。
は、レンズ表面８ａにて反射して入射時の経路を逆行
し、再度集光レンズ６を通過して平行光束となった後、
ビームスプリッタ５内を直進し、結像レンズ９にて収束
し、平面ガラス１０上に設けた遮光マスク１１に集光す
る。一方、被検査レンズ８の欠陥８ｂにて散乱した光束
１２は、集光レンズ６、ビームスプリッタ５、結像レン
ズ９、平面ガラス１０を順に通過してＴＶカメラ１３に
結像する。なお、ＴＶカメラ１３は結像レンズ９の光軸
方向に移動自在となっており、被検査レンズ８と光学的
共役の位置に配置する。
【００１０】以上のように、欠陥８ｂで発生した散乱光
のみがＴＶカメラ１３に結像し、欠陥部分以外のレンズ
表面８ａからの反射光は全て遮光マスク１１により遮蔽
される。従って、ＴＶカメラ１３の像を画像処理装置１
４の内蔵するマイクロコンピュータにより解析し、２値
化、膨長、面積計算、方向計算、計数等の処理を行って
所定の検査規格と比較することにより被検査レンズ８の
良否の判定を行う。
のみがＴＶカメラ１３に結像し、欠陥部分以外のレンズ
表面８ａからの反射光は全て遮光マスク１１により遮蔽
される。従って、ＴＶカメラ１３の像を画像処理装置１
４の内蔵するマイクロコンピュータにより解析し、２値
化、膨長、面積計算、方向計算、計数等の処理を行って
所定の検査規格と比較することにより被検査レンズ８の
良否の判定を行う。
【００１１】なお、上記実施例においては、ビームスプ
リッタ５をキューブ型として図示したが、プレートビー
ムスプリッタを用いてもよい。また、コリメートレンズ
４からビームスプリッタ５へ入射する光線は必ずしも平
行光束でなくてもよい。
リッタ５をキューブ型として図示したが、プレートビー
ムスプリッタを用いてもよい。また、コリメートレンズ
４からビームスプリッタ５へ入射する光線は必ずしも平
行光束でなくてもよい。
【００１２】実施例１によれば、光源として赤外線を発
光する半導体レーザ１を使用したので、装置全体が小型
に構成できるとともに、可視光コーティング済みの被検
査レンズに対しても十分な光量を確保して検査を行うこ
とができる。
光する半導体レーザ１を使用したので、装置全体が小型
に構成できるとともに、可視光コーティング済みの被検
査レンズに対しても十分な光量を確保して検査を行うこ
とができる。
【００１３】
【実施例２】次に、本発明の実施例２を説明する。図２
は実施例２のレンズ検査装置の構成を示す図である。図
示の通りこの装置では、光源にＨｅ−Ｎｅレーザ１５を
用いており、レーザー光１６はビームエキスパンダ１７
により拡大した平行光束となってビームスプリッタ５に
入射する。そして、実施例１の集光レンズ６の代わり
に、光軸上を移動自在な移動レンズ１８と光軸上に固定
された固定レンズ１９とが配置されて、照明光学系が構
成されている。従って、移動レンズ１８を移動すればレ
ンズ表面８ａに照射される光束７の収束角度が変化する
ので、任意の曲率半径のレンズ表面８ａに対応すること
が可能である。そして、被検査レンズ８とレンズ検査装
置との距離を一定に保持したままで各種レンズの検査を
行うことができる。
は実施例２のレンズ検査装置の構成を示す図である。図
示の通りこの装置では、光源にＨｅ−Ｎｅレーザ１５を
用いており、レーザー光１６はビームエキスパンダ１７
により拡大した平行光束となってビームスプリッタ５に
入射する。そして、実施例１の集光レンズ６の代わり
に、光軸上を移動自在な移動レンズ１８と光軸上に固定
された固定レンズ１９とが配置されて、照明光学系が構
成されている。従って、移動レンズ１８を移動すればレ
ンズ表面８ａに照射される光束７の収束角度が変化する
ので、任意の曲率半径のレンズ表面８ａに対応すること
が可能である。そして、被検査レンズ８とレンズ検査装
置との距離を一定に保持したままで各種レンズの検査を
行うことができる。
【００１４】
【実施例３】次に、本発明の実施例３を説明する。図３
は実施例３のレンズ検査装置の構成を示す図である。図
示の通りこの装置では、被検査レンズ８の裏面側に半導
体レーザ１と集光レンズ２０とからなる照明光学系を配
置する。そして、被検査レンズ８のレンズ表面８ａ側に
結像レンズ２１を配置する。この実施例では、被検査レ
ンズ８の裏面から入射した光束がレンズ表面８ａと垂直
に被検査レンズ８から射出する。従って、この光束は結
像レンズ２１により遮光マスク１１上に集光する一方、
欠陥８ｂにて散乱した光束はＴＶカメラ１３に結像す
る。この実施例によれば、被検査レンズ８の内部欠陥が
検査できる効果がある。
は実施例３のレンズ検査装置の構成を示す図である。図
示の通りこの装置では、被検査レンズ８の裏面側に半導
体レーザ１と集光レンズ２０とからなる照明光学系を配
置する。そして、被検査レンズ８のレンズ表面８ａ側に
結像レンズ２１を配置する。この実施例では、被検査レ
ンズ８の裏面から入射した光束がレンズ表面８ａと垂直
に被検査レンズ８から射出する。従って、この光束は結
像レンズ２１により遮光マスク１１上に集光する一方、
欠陥８ｂにて散乱した光束はＴＶカメラ１３に結像す
る。この実施例によれば、被検査レンズ８の内部欠陥が
検査できる効果がある。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のレンズ検
査装置によれば、被検査レンズ表面の無欠陥部分で反射
された光束を結像光学系に集光後、遮蔽するので不要な
反射光を完全に除去することが可能となって、レンズ全
面の検査が一度に可能であるとともに、微小な欠陥の検
出が可能になって判定精度の向上をも図ることのできる
効果がある。
査装置によれば、被検査レンズ表面の無欠陥部分で反射
された光束を結像光学系に集光後、遮蔽するので不要な
反射光を完全に除去することが可能となって、レンズ全
面の検査が一度に可能であるとともに、微小な欠陥の検
出が可能になって判定精度の向上をも図ることのできる
効果がある。
【図１】実施例１のレンズ検査装置の構成を示す図であ
る。
る。
【図２】実施例２のレンズ検査装置の構成を示す図であ
る。
る。
【図３】実施例３のレンズ検査装置の構成を示す図であ
る。
る。
１ 半導体レーザ ２ 駆動回路 ３，７，１２ 光束 ４ コリメートレンズ ５ ビームスプリッタ ６，２０ 集光レンズ ８ 被検査レンズ ８ａ レンズ表面 ８ｂ 欠陥 ９，２１ 結像レンズ １０ 平面ガラス １１ 遮光マスク １３ ＴＶカメラ １４ 画像処理装置 １５ Ｈｅ−Ｎｅレーザ １６ レーザー光 １７ ビームエキスパンダ １８ 移動レンズ １９ 固定レンズ
Claims (1)
- 【請求項１】 被検査レンズ面に垂直な光束を照射する
照明光学系と、該被検査レンズ表面または内部に存する
欠陥からの散乱光を集光し結像する結像光学系と、検査
に有害な光束を遮蔽する遮蔽手段と、前記欠陥の像を解
析する解析手段とからなることを特徴とするレンズ検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15607492A JPH05322694A (ja) | 1992-05-22 | 1992-05-22 | レンズ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15607492A JPH05322694A (ja) | 1992-05-22 | 1992-05-22 | レンズ検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05322694A true JPH05322694A (ja) | 1993-12-07 |
Family
ID=15619740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15607492A Withdrawn JPH05322694A (ja) | 1992-05-22 | 1992-05-22 | レンズ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05322694A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006329773A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | ロッドレンズアレイの検査方法 |
| KR101442770B1 (ko) * | 2012-09-07 | 2014-09-23 | 주식회사 힘스 | 기판 검사 장치 |
| KR20200074228A (ko) * | 2017-11-15 | 2020-06-24 | 코닝 인코포레이티드 | 유리 시트들 상의 표면 결함들을 검출하기 위한 방법들 및 장치 |
-
1992
- 1992-05-22 JP JP15607492A patent/JPH05322694A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006329773A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | ロッドレンズアレイの検査方法 |
| KR101442770B1 (ko) * | 2012-09-07 | 2014-09-23 | 주식회사 힘스 | 기판 검사 장치 |
| KR20200074228A (ko) * | 2017-11-15 | 2020-06-24 | 코닝 인코포레이티드 | 유리 시트들 상의 표면 결함들을 검출하기 위한 방법들 및 장치 |
| JP2021503079A (ja) * | 2017-11-15 | 2021-02-04 | コーニング インコーポレイテッド | ガラスシートの表面欠陥の検出方法および装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990803 |