JP5581064B2 - 半導体装置 - Google Patents
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- H01L2924/01029—Copper [Cu]
Description
以下、第1の実施形態に係る半導体装置及びその製造方法について、図面を参照しながら説明する。
以下、第1の実施形態の第1変形例に係る半導体装置の製造方法、具体的には、図1に示す第1の実施形態に係る半導体装置と同様の構造を有する半導体装置の製造方法について、図面を参照しながら説明する。
以下、第1の実施形態の第2変形例に係る半導体装置の製造方法、具体的には、図1に示す第1の実施形態に係る半導体装置と同様の構造を有する半導体装置の製造方法について、図面を参照しながら説明する。
工程を示す断面図であり、図5(i)は、図5(d)に示す工程を示す平面図であり、図5(j)は、図5(e)に示す工程を示す平面図である。尚、図5(a)〜(j)において、図1及び図2(a)、(b)に示す第1の実施形態の半導体装置と対応する構成要素には同じ符号を付している。
以下、第2の実施形態に係る半導体装置及びその製造方法について、図面を参照しながら説明する。
以下、第2の実施形態の変形例に係る半導体装置の製造方法、具体的には、図6に示す第2の実施形態に係る半導体装置と同様の構造を有する半導体装置の製造方法について、図面を参照しながら説明する。
11 ボトムダイ
11A シリコンウェハ
12 トップダイ
13 樹脂
14 貫通電極(TSV)
15 デバイス層
16 デバイス層
20 半導体装置
21 ボトムダイ
21A シリコンウェハ
22 ミドルダイ
23 トップダイ
24 樹脂(感光性樹脂)
25 貫通電極(TSV)
26 デバイス層
27 貫通電極(TSV)
28 デバイス層
29 デバイス層
31 プリント基板
32 はんだバンプ
50 キャリア
51 感光性樹脂
Claims (15)
- 複数のチップを積層した3次元積層チップ構造を有する半導体装置であって、
前記3次元積層チップ構造は、第1チップと、前記第1チップの上側又は下側において前記第1チップと隣接し且つ前記第1チップよりも大きい第2チップとを含み、
前記第1チップおよび前記第2チップのうちの少なくとも一方には貫通電極が形成されており、
前記第1チップと前記第2チップとは、前記貫通電極を介して電気的に接続されており、
前記第1チップの外側に位置する部分の前記第2チップにおける前記第1チップ側の表面上に樹脂が設けられており、
前記樹脂と前記第1チップの側端面との間の少なくとも一部に、隙間が形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記貫通電極は前記第2チップに形成されており、
前記第1チップにおける前記第2チップ側の表面上に、電極パッドを表面に有するデバイス層が形成されており、
前記第2チップの前記貫通電極と前記電極パッドとが電気的に接続されるように前記第2チップと前記第1チップとが貼り合わされていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1又は2に記載の半導体装置において、
前記樹脂は前記第2チップの端部上にも形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1〜3のうちのいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記樹脂の側端面と前記第2チップの側端面とは実質的に面一であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1〜4のうちのいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記3次元積層チップ構造は、前記第1チップと前記第2チップとからなる2層チップ構造であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項5に記載の半導体装置において、
前記樹脂は、前記第1チップにおける前記第2チップの反対側の表面を覆うように設けられていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1〜5のうちのいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記樹脂の厚さは、前記第1チップの厚さと同程度であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記隙間には、前記樹脂とは異なる樹脂が埋め込まれていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記3次元積層チップ構造は、前記第1チップにおける前記第2チップの反対側の表面において前記第1チップと隣接し且つ前記第1チップよりも大きい第3チップをさらに含むことを特徴とする半導体装置。 - 請求項9に記載の半導体装置において、
前記第1チップに第1貫通電極が形成されており、
前記第2チップに第2貫通電極が形成されており、
前記第1チップと前記第2チップとは、前記第1貫通電極と前記第2貫通電極とが電気的に接続されるように貼り合わせられていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項10に記載の半導体装置において、
前記第1チップにおける前記第2チップ側の表面上に、前記第1貫通電極と電気的に接続された電極パッドを表面に有するデバイス層が形成されており、
前記第2チップの前記第2貫通電極と前記電極パッドとが電気的に接続されるように前記第2チップと前記第1チップとが貼り合わされていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項10に記載の半導体装置において、
前記第3チップにおける前記第1チップ側の表面上に、電極パッドを表面に有するデバイス層が形成されており、
前記第1チップの前記第1貫通電極と前記電極パッドとが電気的に接続されるように前記第1チップと前記第3チップとが貼り合わされていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項9に記載の半導体装置において、
前記樹脂は、前記第1チップの外側に位置する部分の前記第3チップにおける前記第1チップ側の表面と接するように設けられていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項9に記載の半導体装置において、
前記隙間には、前記樹脂とは異なる樹脂が埋め込まれていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1〜14のうちのいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記樹脂は、ポリイミド、アクリレートモノマー、エポキシアクリレート、ウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレート、脂環式エポキシ、ビニルエーテル及びハイブリッドモノマーから選ばれた材料からなることを特徴とする半導体装置。
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