JP5569000B2 - フォトマスク用ガラス基板生成方法 - Google Patents
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このように作製されたフォトマスクは、使用済の場合、あるいは、作製されたが不良品である場合、前記遮光層等のパタン形成用の積層膜を剥離して、素ガラスの状態にして、これを、フォトマスク用のガラス基板として再生してリサイクル使用することがある。
フォトマスク作製までに不良となった作製工程途中の基板についても、同様に、素ガラスの状態にして、リサイクル使用することがある。
通常、表示装置のパネル作製用の大型のフォトマスクにおいては、素ガラスのガラス基板材質として、合成石英が用いられ、ガラス基板自体が高価であるため、リサイクル使用することが多々ある。
素ガラスのガラス基板の表面にキズがある場合には、従来、表面のキズを取るための2〜3工程以上のポリッシング処理(研磨処理とも言う)を経て、鏡面仕上げとするための最終のポリッシング工程を行ったり、あるいは、キズを取るための2〜3工程以上のポリッシング処理を経て、ラッピング処理を行い、次いで、鏡面仕上げとするための最終のポリッシング工程を行っていた。
このように、従来、リサイクルのためのガラス基板表面のキズ取りに、2〜3工程以上のポリッシング処理を行う方法を採っていた理由は、従来のガラス面を削る研削処理においては、研削を行うことにより、表面粗さRaが著しく悪化してポリッシングで表面粗さRaを回復することが難しいためであった。
尚、ここでの表面粗さRaはJIS B 0601−1982規格の中心線平均粗さを意味する。
上記キズ取りの2〜3工程以上のポリッシング処理は、通常4時間以上もかかり、生産性の良くないものであり、フォトマスクやフォトマスク作製途中の基板のリサイクルにおいては、リサイクルの生産性の向上が技術的な課題となっていた。
本発明は、これに対応するもので、表面にキズがある素ガラス状態のガラス基板を、フォトマスクの基材として適用できる品質の素ガラス状態のガラス基板として生成する、フォトマスク用ガラス基板生成方法を提供しようとするもので、特に、フォトマスクやフォトマスク作製途中の基板におけるガラス基板の表面にキズがある場合において、フォトマスク作製用の素ガラス状態のガラス基板として再生する際に、再生された素ガラスの品質を維持しつつ、生産性を向上することができる、フォトマスク用ガラス基板再生方法を提供しようとするものです。
そして、上記のフォトマスク用のガラス基板生成方法であって、前記縦軸ロータリー研削加工方法は、ダイヤモンドの粒子を固めた砥石で研削するものであり、被研削物であるガラス基板を支持台上に載置、固定し、砥石を被研削物の上側にして、前記砥石を回転させながら、且つ、ガラス基板の支持台を回転させながら、研削するものであることを特徴とするものであり、前記砥石は、600番〜3000番のダイヤモンドの粒子を用いて固めた砥石であることを特徴とするものである。
また、上記いずれかのフォトマスク用のガラス基板生成方法であって、前記素ガラス状態のガラス基板は、フォトマスクやフォトマスク作製途中の基板の表面に配設されている積層膜が除去されたものであることを特徴とするものである。
尚、ここでの表面粗さRaはJIS B 0601−1982規格の中心線平均粗さを意味する。
本発明のフォトマスク用ガラス基板再生方法は、このような構成にすることにより、表面にキズがある素ガラス状態のガラス基板を、フォトマスクの基材として適用できる品質の素ガラス状態のガラス基板として生成する、フォトマスク用ガラス基板生成方法の提供を可能にしている。
特に、フォトマスクやフォトマスク作製途中の基板におけるガラス基板の表面にキズがある場合において、素ガラス状態のガラス基板としてフォトマスク作製用のガラス基板に再生する際に、フォトマスクの基材として適用できる品質を維持しつつ、再生の生産性を向上することができる、フォトマスク用ガラス基板再生方法の提供を可能としている。
具体的は、フォトマスクやフォトマスク作製途中の基板を素ガラス状態のガラス基板とした後に、順に、(a)前記表面のキズの深さを測定する工程と、(b)縦軸ロータリー研削加工方法により、キズを取るための全面研削を行う研削工程と、(c)鏡面仕上げとするためのポリッシング工程とを、行うものであり、且つ、前記縦軸ロータリー研削加工方法による、前記研削工程は、切込速度(研削速度)と該速度における研削量とを変えて、2〜3段階に分けて、順に切込速度を下げて行い、キズを除去し、表面粗さRaを10nm以下、且つ、4nmより大とするもので、前記ポリッシング工程は、1段階の仕上げのポリッシングで、表面粗さRaが4nm以下の鏡面を得るものであることにより、これを達成している。
尚、600番未満の場合には、ダイヤモンド粒子径が大きく、表面粗さが粗くなり、鏡面へのポリッシングが困難かつ、ポリッシュ時間がかかり過ぎ、また、3000番までが実用としてあるがそれより大きい番は実用的ではないため、ここでは、砥石として、600番〜3000番のダイヤモンドの粒子を用いたものを用いる。
特に、前記素ガラス状態のガラス基板としては、フォトマスクやフォトマスク作製途中の基板の表面に配設されている積層膜が除去されたものである場合には、有効である。
具体的には、縦軸ロータリー研削加工方法により、切込速度(研削速度)と該速度における研削量とを変えて、2〜3段階に分けて、順に切込速度を下げて行い、キズを除去し、表面粗さRaを10nm以下とした、詳しくは、表面粗さRaを10nm以下、且つ、4nmより大とした、研削後の基板に対して、1 時間当たり1〜2μmの研磨レートのポリッシングを行えば、30〜60分でフォトマスク用としての表面品質にできる。
特に、フォトマスクやフォトマスク作製途中の基板におけるガラス基板の表面にキズがある場合において、素ガラス状態のガラス基板としてフォトマスク作製用のガラス基板に再生する際、フォトマスクの基材として適用できる品質を維持しつつ、再生の生産性を向上することができる、フォトマスク用ガラス基板の再生方法の提供を可能とした。
尚、図1中、S11〜S18は処理ステップを示している。
本例のフォトマスク用ガラス基板生成方法は、フォトマスクやフォトマスク作製途中の基板におけるガラス基板の表面にキズがある場合において、フォトマスクの基材として適用できる品質を維持して素ガラス状態のガラス基板としてフォトマスク作製用のガラス基板に再生するフォトマスク用ガラス基板生成方法で、且つ、再生の生産性を向上することができるフォトマスク用ガラス基板生成方法であり、フォトマスクやフォトマスク作製途中の基板を素ガラス状態のガラス基板とした後に、順に、(a)前記表面のキズの深さを測定する工程と、(b)縦軸ロータリー研削加工方法により、キズを取るための全面研削を行う研削工程と、(c)鏡面仕上げとするためのポリッシング工程とを、行うものである。
例えば、フォトマスクの場合は、遮光層等の積層膜を剥離、洗浄し、必要に応じて、洗浄処理を行い、また、フォトマスク作製途中の基板については、レジスト除去、洗浄などの必要な処理を行い、更に、遮光層等の積層膜を剥離、洗浄し、必要に応じて、洗浄処理を行い、素ガラス状態のガラス基板にする。
通常、フォトマスクの積層膜の剥離は、フォトマスク作製の際のエッチング液で行い、また、レジスト除去は所定の剥離液にて行う。
キズがない場合には、従来通り、ポリッシング処理を1回以上行い、フォトマスクに適用できる品質にする。(S19)
表面にキズがある場合は、キズの深さを変位センサー等を用いて測定しておく。(S14)
変位センサーとしては、例えば、キーエンス社製の変位センサー(LT9010M)等が用いられる。
研削量の測定は、例えば、マイクロメータにて行うことができる。
切込速度が遅くなるに従い、表面粗さRaは小さくなる。
ここでは、図2に研削処理の概略断面を示す、鉛直方向の軸である回転軸32を中心として、砥石31を回転させて、水平に配された固定台20上に載置された固定されたガラス基板10の一面を研削する縦軸ロータリー研削加工方法により研削処理を行う。
図2(a)に示すように、研削ヘッド30の下側に砥石31が付けられており、支持部33は砥石31をつけた研削ヘッド30を支持し回転軸32を中心として回転する。
砥石31は軸32を軸として、支持部33に支持され回転されるため、その軌跡の領域は、図2(b)に示す、研削領域31Aのようになる。
尚、図2(b)では、分かり易くするため便宜的に、固定台20やガラス基板10を静止した状態で示しているが、研削時には、ガラス基板10を載置して固定した固定台20は軸21を中心として回転する。
研削ヘッド30の砥石31は、軸32を中心とする円の外周から所定幅で、複数配設されている。
また、固定台20は鉛直方向の軸である軸21を中心に回転するようになっている。
ここでは、砥石として、600番〜3000番のダイヤモンドの粒子を固めた砥石を用いており、水をかけながら該砥石にて研削する。
尚、600番未満の場合には、ダイヤモンド粒子径が大きく、表面粗さが粗くなり、鏡面へのポリッシングが困難かつ、ポリッシュ時間がかかり過ぎ、また、3000番までが実用としてあるがそれより大きい番は実用的ではないため、ここでは、砥石として、600番〜3000番のダイヤモンドの粒子を用いたものを用いる。
固定台20へのガラス基板10の固定は、ここでは、ガラス基板10の四辺に沿い、ガラス基板10よりも薄いSUS板22を配し、且つ、SUS板22を電磁チャックにて固定して、ガラス基板を固定台20に固定している。
各研削速度これに限定はされない。
粗研削、精研削の2段階、あるいは、中研削、精研削の2段階に分けて行っても良い。 上記の粗研削、中研削、精研削の研削速度は、研削により求める研削量や表面粗さRaにより適宜選ぶことが好ましい。
研削速度が速い場合の方が、遅い場合に比べて、表面粗さRaが大きくなるが、ダイヤモンドの番手に最適な切り込み速度を選べばよく、必ずしも精研削は必要とはしないが、Raを10nm以下とするためには、精研削を入れる方が好ましい。
ガラス基板の表面粗さRaが10nm以下の場合には、フォトマスク用のガラス基板としての表面(鏡面)に仕上げる研磨を行う仕上げのポリッシング研磨のみで、比較的短時間で、鏡面で且つ研削跡が投光機による検査にても研削跡がみえないフォトマスク用のガラス基板として適用できる表面品質にできるが、後続する仕上げのポリッシングの作業性の面からは、最後の段階の研削で、ガラス基板の表面粗さRaを6nm以下としておくことが好ましい。
仕上げのポリッシングは、時間あたり1μm〜2μmの研磨速度で行う。
2μm/時間より速い場合には、ハキメと呼ばれる研磨の目が発生しやすく、また、1μm/時間より遅い場合には、フォトマスク適用可能の品質を得るまでに時間がかかりすぎる。
通常、表面粗さRaが4μm以下で鏡面で研削跡が見えなくなる。
このようにすることにより、研削時間を短縮でき、表面粗さ(Ra)の品質面の良い加工ができる。(S18)
また、処理対象の基板を得るため研削処理条件を表2に示します。
先ず、No1〜No4の基板を処理対象として調べた。
表1からは、表面粗さRaが41nmのNo1基板を研磨スピード5μm/時間で処理した場合には、また更に続けてトータルで40分研磨しても表面粗さRaが13nmしかならないことが分かる。
また、表1からは、表面粗さRaが31nmのNo2基板を研磨スピード5μm/時間で処理した場合には、20分研磨してRaを6nmまで下げることはできるが、研磨スピード5μm/時間で研磨を続けてトータルで40分としてもRaを6nmより良くすることができないことが分かる。
また、表1からは、表面粗さRaが39nmのNo3基板を研磨スピード1μm/時間で処理した場合には、30分研磨してRaが23nmまでしか、また更に続けてトータルで60分研磨してもRaが15nmまでしか下げることができないことが分かる。
また、表1からは、表面粗さRaが6nmのNo4基板を研磨スピード1μm/時間で処理した場合には、30分研磨してRaを4nmに、また更に続けてトータルで60分研磨してRaを3nmに下げることができることが分かる。
このため、本願発明者は、No4基板の処理に着目して、更に、研削後のRaが12nm、10nm、8nmの基板No5〜No7を処理対象として、表面粗さRa状態とポリッシング処理との関係を調べたが、表1に示すように、No6、No7については、研磨時間60分でRaを4nm以下までに下げられることが分かった。
これより、研削時間とポリッシング時間とのトータル時間を実用レベルとするためには、研削後のRaを10nm以下、好ましくは、6nm以下に抑えることが必要とした。
尚、先にも述べたが、通常、表面粗さRaが4μm以下で鏡面で、且つ、研削跡が見えなくなる。
次いで、実施例を挙げて、本発明のフォトマスク用ガラス基板生成方法を更に説明する。
(実施例1)
実施例1は、上記本発明のフォトマスク用ガラス基板生成方法の実施の形態例にてフォトマスク用ガラス基板を再生したものです。
フォトマスクから積層膜を剥離した、ガラス基板のサイズ440mm×520mm×5mmの素ガラス状態のガラス基板を用いて、実施の形態例と同様にして、図2のようにして、順に、第1の研削速度10μm/分で5分、第2の研削速度5μm/分で1分の2段階で研削処理を行い、研削後のガラス基板(表1、表2の基板No4に相当)を得た。
実施例1では、研削処理前のガラス基板のキズの深さは、キーエンス社製の変位センサー(LT9010M)にて、7μmと測定されたが、第1の研削条件の研削速度10μm/分で研削量28μm研削してキズを消し、更に、第2の研削条件の研削速度6μm/分で研削量2μm研削して、研削後に表面粗さRaは6nmとした。
研削後、目視検査においては研削加工で生じる砥石の軌跡である筋が見られた。
次いで、研削後の基板に対して、1μm/時間の研磨速度で60分ポリッシングを行い、砥石の軌跡である筋を消失させ、フォトマスクに適用できる品質の素ガラス状態の基板を得た。
尚、キズや、研削の軌跡の確認を投光機(12万LX以上)を用いて外観検査を目視にて行った。
20 固定台
21 軸
22 SUS板
30 研削ヘッド
31 砥石
31A 研削領域
32 軸
33 支持部
Claims (4)
- 表面にキズがある素ガラス状態のガラス基板を、フォトマスクの基材として適用できる素ガラス状態のガラス基板として生成する、フォトマスク用ガラス基板生成方法であって、フォトマスクやフォトマスク作製途中の基板を素ガラス状態のガラス基板とした後に、順に、(a)前記表面のキズの深さを測定する工程と、(b)縦軸ロータリー研削加工方法により、キズを取るための全面研削を行う研削工程と、(c)鏡面仕上げとするためのポリッシング工程とを、行うものであり、且つ、前記縦軸ロータリー研削加工方法による、前記研削工程は、切込速度(研削速度)と該速度における研削量とを変えて、2〜3段階に分けて、順に切込速度を下げて行い、キズを除去し、表面粗さRaを10nm以下、且つ、4nmより大とするもので、前記ポリッシング工程は、1段階の仕上げのポリッシングで、表面粗さRaが4nm以下の鏡面を得るものであることを特徴とするフォトマスク用ガラス基板生成方法。
- 請求項1に記載のフォトマスク用のガラス基板生成方法であって、前記縦軸ロータリー研削加工方法は、ダイヤモンドの粒子を固めた砥石で研削するものであり、被研削物であるガラス基板を支持台上に載置、固定し、砥石を被研削物の上側にして、前記砥石を回転させながら、且つ、ガラス基板の支持台を回転させながら、研削するものであることを特徴とするフォトマスク用ガラス基板再生方法。
- 請求項2に記載のフォトマスク用のガラス基板生成方法であって、前記砥石は、600番〜3000番のダイヤモンドの粒子を用いて固めた砥石であることを特徴とするフォトマスク用ガラス基板再生方法。
- 請求項1ないし3のいずれか1項に記載のフォトマスク用のガラス基板生成方法であって、前記素ガラス状態のガラス基板は、フォトマスクやフォトマスク作製途中の基板の表面に配設されている積層膜が除去されたものであることを特徴とするフォトマスク用のガラス基板生成方法。
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