CN103182681A - 一种双面研磨机研磨盘修整装置及其修整方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种双面研磨机研磨盘修整装置,它包括电机和水平支架,水平支架上设置方向调节装置,方向调节装置连接研磨砂轮;使用双面研磨机研磨盘修整装置的修整方法,包括(1)调平、(2)修整下研磨盘、(3)修整上研磨盘、(4)循环精磨四个步骤;整体机构设计简单,成本低廉,节省工时,方法操作方便,有效提高生产效率,保证工件质量,延长设备使用寿命。
Description
技术领域
本发明涉及一种研磨盘修整装置,具体是指一张用于双面研磨机的研磨盘修整装置及其修整方法,属于机械制造技术领域。
背景技术
双面研磨机(double-lapping machine)主要用于两面平行的晶体或其它机械零件进行双面研磨,特别是薄脆性材料的加工。适用于各种材质的机械密封环、陶瓷片、硅、锗、石英晶体、石墨、蓝宝石、光学水晶、玻璃、铌酸锂、硬质合金、不锈钢、粉灰冶金等金属材料的平面研磨和抛光,一般随机配有修正轮,用于修正上下研磨盘的平行误差,通过上、下研磨盘、太阳轮、游星轮在加工时形成四个方向、速度相互协调的研磨运动,达到上下表面同时研磨的效果。
目前,常用的双面研磨机研磨盘修整方法是靠修正轮来达到平面度要求,但是要及时对修正轮进行校正和修整。在正常情况下,研磨盘的平面度是0.001~0.006mm,但由于双面研磨机工作时间的增加,研磨盘会出现平面度不良,同时修正轮也会出现平面度不良的现象,如果这时再使用平面度不良的修正轮去修整研磨盘,无疑将失去修正的意义。
对修正轮进行修整的方法只有在磨床上研磨才能达到效果,前提是要找出修正轮的一个基准平面才行,修正轮使用时间一长,找出基准平面就会很困难,修正轮在一起放在磨床平台上,这对磨床设备本身的规格也有很高的要求。因此,设计一种研磨盘修整装置及修整方法,实现方便快捷的修整研磨盘,同时保证修整质量是亟待解决的技术问题。
发明内容
针对现有技术存在的不足,本发明所要解决的技术问题是,提供一种双面研磨机研磨盘修整装置及其修整方法,装置设计结构简单,成本低廉,节省工时,方法操作方便,有效提高生产效率。
为解决上述技术问题,本发明所采取的技术方案是,一种双面研磨机研磨盘修整装置,它包括电机和水平支架,水平支架上设置方向调节装置,方向调节装置连接研磨砂轮。
上述的双面研磨机研磨盘修整装置,其方向调节装置包括安装在水平支架上的横向推进臂,横向推进臂端部安装纵向调节臂,纵向调节臂上安装研磨砂轮。
上述的双面研磨机研磨盘修整装置,其横向推进臂通过外部的固定套安装在水平支架上,横向推进臂沿固定套轴向水平移动。
上述的双面研磨机研磨盘修整装置,其纵向调节臂与横向推进臂相互垂直,研磨砂轮表面与横向推进臂平行。
使用上述的双面研磨机研磨盘修整装置的修整方法,包括如下步骤:
(1)调平:将水平支架调整水平;
(2)修整下研磨盘:启动电机带动研磨砂轮和下研磨盘同时转动,调整并固定横向推进臂与纵向调节臂,对下研磨盘或上研磨盘进行精磨修整,从而使下研磨盘或者上研磨盘达到合格的平面度要求;
(3)修整上研磨盘:将双面研磨机研磨盘修整装置移开,启动电机使上研磨盘与下研磨盘进行对磨修整;
(4)循环精磨:继续重复步骤(2)-(3),至少两遍。
本发明具有如下优点及有益技术效果:
1、本发明的双面研磨机研磨盘修整装置,采用水平支架作为基础,配合方向调节装置确定位置,设计结构简洁合理,制作成本低廉,节约生产成本;
2、本发明使用双面研磨机研磨盘修整装置的修整方法,利用水平支架提供的水平基准,通过研磨砂轮先对上研磨盘或者下研磨盘其中一个进行修整确定基准面,再进行对磨校正,方法简便易行,维护简单,有效节省工时,提高生产效率;
3、克服了原有修整方法中寻找水平基准面的难题,有效保证修整工作的精度,提高工件质量与设备的使用寿命。
附图说明
图1是本发明的结构示意图;
图2是本发明的使用状态示意图。
上述图中:
1-横向推进臂;2-纵向调节臂;3-研磨砂轮;4-下研磨盘;5-上研磨盘;6-水平支架;7-电机;8-方向调节装置;9-固定套。
具体实施方式
实施例1
如图所示,本实施例的双面研磨机研磨盘修整装置,它包括电机7和水平支架6,水平支架6上设置方向调节装置8,方向调节装置8连接研磨砂轮3。
方向调节装置8包括安装在水平支架6上的横向推进臂1,横向推进臂1端部安装纵向调节臂2,纵向调节臂2上安装研磨砂轮3。
横向推进臂1通过外部的固定套9安装在水平支架6上,横向推进臂1沿固定套9轴向水平移动。纵向调节臂2与横向推进臂1相互垂直,研磨砂轮3表面与横向推进臂1平行。
使用上述的双面研磨机研磨盘修整装置的修整方法,包括如下步骤:
(1)调平:将水平支架6调整水平;
(2)修整下研磨盘:启动电机7带动研磨砂轮3和下研磨盘4同时转动,调整并固定横向推进臂1与纵向调节臂2,对下研磨盘4进行精磨修整,从而使下研磨盘4达到合格的平面度要求;
(3)修整上研磨盘:将双面研磨机研磨盘修整装置移开,把上研磨盘5降下来,启动电机7使上研磨盘5与下研磨盘4进行对磨修整;
(4)循环精磨:继续重复步骤(2)-(3),至少两遍。
实施例2
本实施例的双面研磨机研磨盘修整装置,它包括电机7和水平支架6,水平支架6上设置方向调节装置8,方向调节装置8连接研磨砂轮3。
方向调节装置8包括安装在水平支架6上的横向推进臂1,横向推进臂1端部安装纵向调节臂2,纵向调节臂2上安装研磨砂轮3。
横向推进臂1通过外部的固定套9安装在水平支架6上,横向推进臂1沿固定套9轴向水平移动。纵向调节臂2与横向推进臂1相互垂直,研磨砂轮3表面与横向推进臂1平行。
使用上述的双面研磨机研磨盘修整装置的修整方法,包括如下步骤:
(1)调平:将水平支架6调整水平;
(2)修整下研磨盘:启动电机7带动研磨砂轮3和上研磨盘5同时转动,调整并固定横向推进臂1与纵向调节臂2,对上研磨盘5进行精磨修整,从而使上研磨盘5达到合格的平面度要求;
(3)修整上研磨盘:将双面研磨机研磨盘修整装置移开,启动电机7使上研磨盘5与下研磨盘4进行对磨修整;
(4)循环精磨:继续重复步骤(2)-(3),至少两遍。
以上所述,仅是对本发明的较佳实施例而已,并非是对本发明做其他形式的限制,任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例。但是,凡是未脱离本发明方案内容,依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化与改型,仍属于本发明的保护范围。
Claims (5)
1.一种双面研磨机研磨盘修整装置,其特征在于:它包括电机和水平支架,水平支架上设置方向调节装置,方向调节装置连接研磨砂轮。
2.根据权利要求1所述的双面研磨机研磨盘修整装置,其特征在于:所述方向调节装置包括安装在水平支架上的横向推进臂,横向推进臂端部安装纵向调节臂,纵向调节臂上安装研磨砂轮。
3.根据权利要求2所述的双面研磨机研磨盘修整装置,其特征在于:所述横向推进臂通过外部的固定套安装在水平支架上,横向推进臂沿固定套轴向水平移动。
4.根据权利要求2所述的双面研磨机研磨盘修整装置,其特征在于:所述纵向调节臂与横向推进臂相互垂直,研磨砂轮表面与横向推进臂平行。
5.一种使用权利要求1所述的双面研磨机研磨盘修整装置的修整方法,包括如下步骤:
(1)调平:将水平支架调整水平;
(2)修整下研磨盘:启动电机带动研磨砂轮和下研磨盘同时转动,调整并固定横向推进臂与纵向调节臂,对下研磨盘或上研磨盘进行精磨修整,从而使下研磨盘或者上研磨盘达到合格的平面度要求;
(3)修整上研磨盘:将双面研磨机研磨盘修整装置移开,启动电机使上研磨盘与下研磨盘进行对磨修整;
(4)循环精磨:继续重复步骤(2)-(3),至少两遍。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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Family
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Country Status (1)
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