JP5568979B2 - 検出装置、受光素子アレイ、および検出装置の製造方法 - Google Patents
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Description
インジウムバンプによって、フォトダイオードアレイの電極とROICの読み出し電極とを接合するとき、高温域に加熱することは好ましくないので、低温度の加熱で済む熱圧着によっている。このとき、インジウムの表面に酸化被膜が形成されやすく、導通不良、接触抵抗の増大に起因するノイズ発生、さらにはフォトダイオードアレイとROICとの剥離を生じる。
また、InPウエハに対して、電極対応部が開孔されたレジストパターンを用いて電解めっきによって下地金属層上にInバンプを形成する方法が提案されている(非特許文献1)。
また、非特許文献1に提案された電解めっきによるInバンプの形成方法においては、下地金属層の除去の際にInPウエハ表層にダメージを与え、またドライエッチングに用いたAr等の荷電粒子の残留も生じる。このInPバンプの形成方法を読み出し回路側に適用すると、回路素子の劣化や変調を生じ、検出装置の動作不良を起こす。
なお、電極は、開口部において、載置される層から平坦面を露出させる電極でもよいし、載置される面の箇所から突き出る形状の電極でもよい。また、接合バンプは、カップ状金属を充填してさらにカップ状金属から突き出る部分を有することは、本発明の本質から当然のことである。
また、接合バンプの根本がカップ状金属を電極として電解めっきで形成されるので、深い根本が堅固に固定され(アンカー効果に類似の効果)、圧着などにおいて、圧着の相手との接触などの際に容易に傾くことが無く、圧着を安定に遂行するのに役立つことができる。さらに電解めっきによれば、成膜速度が大きいので容易に短時間で接合バンプを形成することができる。
受光素子アレイに特有の構造としては、電極がオーミック接触する窓層などに選択拡散用のマスクパターン(当然、電極を含む対応する部分に開口部)を形成し、選択拡散工程の後もその選択拡散用のマスクパターンを残しておき、そのマスクパターン上に、上記樹脂層を形成する。このため、受光素子アレイにおいて、電極が載置される層の表面は、接合の相手のほうから見て、開口部以外の箇所の樹脂層の底面よりもさらに遠い位置になる。カップ状金属の深さが、少なくとも樹脂層の厚みと受光素子アレイに特有のマスクパターンの厚みとを加算した厚みになるので、大きくなり、上記の検出装置における深さの深いカップ状金属の作用効果を具体的に実現することができる。選択拡散用のマスクパターンは、通常、SiNで形成される。
上記の構成によって、ファインピッチの受光素子アレイにおいても、その形状および位置を高精度にして接合バンプを形成することができ、かつ、カップ状金属の形成において、ダメージを防止することができる。この結果、暗電流を低減しながら短絡のない高品位の画像を得ることができる。
なお、電極は、開口部において、載置される層から平坦面を露出させる電極でもよいし、載置される面の箇所から突き出る形状の電極でもよい。
接合バンプは、上記のように深さが大きいカップ状金属を充填するので根本の位置および形状が厳密であり、かつその金属層のカップに取り囲まれ、接合バンプを形成するときカップ状金属およびレジストパターンにガイドされて成長する。このため、接合バンプ全体の形状の逸脱度を小さくでき、ファインピッチの電極配列において、隣り合う電極同士の短絡などを防止することができる。
また、接合バンプの根本がカップ状金属を電極として電解めっきで形成されるので、深い根本が堅固に固定されてアンカー効果に類似の効果により、熱圧着などにおいて、熱圧着の相手との接触などの際に容易に傾くことが無く、熱圧着を安定に遂行するのに役立つことができる。さらに電解めっきによれば、成膜速度が大きいので容易に短時間で接合バンプを形成することができる。
図1は、本発明の実施の形態1における検出装置100を示す断面図である。本実施の形態の特徴は、読み出し回路を構成するCMOS70の電極71上に位置する接合バンプ79の基部の構造にあり、全体の構成の概要を説明した後に詳述する。
受光素子アレイ50は、n型InP基板1/n型In0.53Ga0.47Asバッファ層2/受光層(光吸収層)3/拡散濃度分布調整層14/InPキャップ層4、の積層体に形成されている。各受光素子では、p型不純物の亜鉛(Zn)が選択拡散されてp型領域6が形成され、p型領域6の先端部にpn接合15が形成されている。
画素Pを構成する受光素子の主体をなすp型領域6は、隣り合うp型領域とは選択拡散されていない領域によって隔てられている。このためメサ構造などを形成することなく簡単な構造で、暗電流の低い受光素子アレイ50を得ることができる。
受光層3は、波長1μm〜3μmに受光感度を持てば、どのような化合物半導体でもよい。たとえばInGaAs、InGaAsN、InGaAsNP、InGaAsNSbなどのうちのいずれを用いてもよいが、本実施の形態では、タイプ2の多重量子井戸構造(MQW:Multi-Quantum Well)の例について示している。図1において、受光層3がタイプ2のMQWの場合には、p型不純物である亜鉛(Zn)を拡散するとき、MQWにおけるZn濃度を所定レベル以下に抑制するために、拡散濃度分布調整層14をInPキャップ層4の側に設ける。受光層3をタイプ2のMQWとする場合の具体的構造については、あとで説明する。
ハイブリッド検出装置100の読み出し回路は、読み出し電極71を有するCMOS(Complimentary Metal Oxide Semiconductor)70によって構成される。
光が入射される入射面となるInP基板1の裏面にはSiON膜の反射防止膜35が配置されている。また、p型領域6の形成のための選択拡散に用いられたSiNの選択拡散マスクパターン36は、そのまま残される。さらに、選択拡散マスクパターン36の開口部またはInPキャップ層4の表面、および当該選択拡散マスクパターン36を被覆するポリイミド樹脂等の保護膜43が設けられている。
受光素子アレイ50において、各p型領域6は画素Pの主部分に対応しており、p側電極11は画素電極となる。すべての画素電極11に対するn側電極12は、共通の接地電位に保持され、CMOS70において対応する接地電極72もやはり接地電位に保持される。
CMOS70は、電極71に対応する部分に開口部78があけられた保護膜74で被覆され、その保護膜74と開口部78を共通にして、保護膜74に接して樹脂膜75が保護膜74を該保護膜74の端面も含めて被覆している。したがって、樹脂膜75は、開口部78の壁面を覆っている。この開口部78にカップ状金属Kが位置して電極71と導電接続している。カップ状金属Kを充填して該カップ状金属Kから突き出るように、接合バンプ79が設けられている。CMOS70に設けられた接合バンプ79は、受光素子アレイ50のp側電極11上に形成された接合バンプ9と圧着されて導電接続している。受光素子アレイ50のp側電極11上に設けられた接合バンプ9は、フォトリソグラフィ法を用いて気相プロセスで形成されたものである。気相プロセスで接合バンプ9を形成した場合、受光素子アレイ50の受光層3やキャップ層4等の結晶性に影響を及ぼさない。
図2は、図1に示す検出装置100における接合バンプ9,79の拡大図である。CMOS70における接合バンプ79は、カップ状金属Kを充填するように位置するのでカップ状金属Kと大きな接触面積を持ち、かつ電解めっきで形成されているので、接合バンプ79とカップ状金属Kとの接触抵抗を非常に小さく、かつ、接合バンプ79とカップ状金属Kとの接合強度を高くすることができる。電解めっきで形成されたものか、気相プロセスで形成されたものかは、断面のミクロ組織を光学顕微鏡等で観察することで容易に特定することができる。また、外観検査でも容易に特定することができる。
電極が載置される層は、CMOS本体70aの表層であり、保護膜74によって被覆されている。CMOS本体70aの表面は、保護膜74上に位置する樹脂層75の底面よりもさらに後退した位置にある。保護膜74の厚み分だけ後退している。このためカップ状金属Kの壁面(筒状部)は高さまたは深さ、すなわち樹脂層75の表面(上面)75sから電極79までの距離、が大きくなり、上述のように、カップ状金属Kと接合バンプ79とは大きな接触面積を持つ。
カップ状金属Kは、既存の方法により非酸化性雰囲気で成膜されるので、電極との導電性は問題なく良好であり、また接合強度を大きくすることができる。この結果、接合バンプ79と電極71との導電性を良好にして、かつ高い接合強度を得ることができる。
なお、電極71は、開口部78において、載置される層またはCMOS本体70aの表面から平坦面を露出させる電極でもよいし、載置される層から突き出る形状の電極でもよい。接合バンプ79は、各種形状の電極を覆いながらカップ状金属Kを充填してさらにカップ状金属Kから突き出る部分を有する形態をとる。カップ状金属Kから大きく突き出てもよく、たとえば実施の形態2における接合バンプとして好適に用いることができる。
また、接合バンプ79の根本がカップ状金属Kを電極として電解めっきで形成されるので、深い根本が堅固に固定され(アンカー効果に類似の効果)、圧着などにおいて、熱圧着の相手との接触などの際に簡単に傾くことが無く、圧着を安定に遂行するのに役立つことができる。さらに電解めっきによれば、成膜速度が大きいので容易に短時間で接合バンプを形成することができる。
図3および図4は、本実施の形態の検出装置100におけるCMOS70上の接合バンプ79の製造方法を示す図である。まず、CMOS本体70aの表層に露出する電極71を有するCMOS70を準備する。このCMOS70では、電極71に対応する部分に開口部を有する保護膜74が、CMOS本体70aの表面を被覆する。次いで、図3(a)に示すように、保護膜74の全体を厚み1μm〜2μm程度の樹脂層75で被覆する。樹脂層には、ポリイミド樹脂またはBCB樹脂からなる感光性樹脂を用いることができる。次いで図3(b)に示すように、電極71に対応する部分の樹脂層75を、フォトリソプロセスにより現像して除いて開口部78を設ける。ポリイミドおよびBCBは感光性樹脂であり、感光して現像することで、開口部78をあけることができる。開口部78は、外部に断面が大きくなるようなテーパを付けることが望ましい。樹脂層75にポリイミド樹脂を用いたときに、適切なテーパを形成するための開口部形成の条件は、たとえば、感光性ポリイミド樹脂の場合、1000rpm〜2000rpmで塗布、プリベーク30分間、露光1000mJ/cm2、現像時間7分間〜10分間(温度20℃〜21℃)、キュア300℃〜320℃ で30分間、である。
次いで、図3(c)に示すように、開口部78を含めて樹脂層75を被覆するように、シード金属層77を形成する。シード金属層77の金属は、Ti/W、Ti/Pt/Auなどで形成するのがよい。シード金属層の形成方法は、スパッタリング法、電子ビーム蒸着法などの既存の任意の方法を用いることができる。このシード金属層77は、個々のカップ状金属に分ける前のシート状にあるとき、電解めっきの電極として用いることができる。電解めっきの電解液が開口部に露出する凹状またはカップ状のシード金属層77に接しており、その接した部分を電極(アノード)として電気化学反応を生じてIn層を生成する。
次いで、図4(a)に示すように、開口部78を共通にしたレジストパターンMを形成する。レジストパターンMの厚みは、レジストパターンMの上面が、接合バンプ79の先端部の位置より高くなるような厚みとする。たとえば厚み10μmのレジストパターンMを設ける。次いで、シード金属層77を一方の電極(アノード)として、他方の電極(カソード)にインジウム等を用いて、電解めっきにより、レジストパターンMから露出する部分、すなわち開口部78のシード金属層77にインジウム等の接合バンプ79を成長させる。接合バンプ79は、開口部78に露出するシード金属層77から成長を始め、シード金属層77の開口部または凹部から突き出る部分が生じるまで成長させる。図4(b)に示すように、レジストパターンMの開口部に接合バンプ79の先端が収まる時点で、電解めっきを終了させるのがよい。このレジストパターンMの開口部は、接合バンプ79の成長の非常に強力なガイドとなり、接合バンプ79を高精度で形成することができる。このため本実施の形態の接合バンプの構成79,75,Kを、ファインピッチの受光素子アレイなどに用いることで、短絡のない高品位の画像を得ることができる。
次いで、図4(c)に示すように、レジストパターンMを除去して、シード金属層77の開口部78以外の箇所をドライエッチングによって除去する。ドライエッチングは、樹脂層75がない場合、CMOS本体70aにダメージを与えるおそれがある。しかし、本発明では樹脂層75がシード金属層77の下地として配置されるので、CMOS本体70aへのダメージは防止することができる。さらに、このドライエッチングによって、樹脂層75の表面75sは大きな粗度を持つようになる。この大きな粗度は、Ra=0.5μm〜1μmである。このような粗度をもたらすドライエッチングの条件は、パワー200W〜500W、圧力1Pa〜3Paである。
このあと、CMOS70は、気相プロセスでp側電極11上に接合バンプ9を設けた受光素子アレイ50と、接合バンプ同士9,79を対向させて、加熱雰囲気または常温で圧着させて、接合を遂行する。
上述のように、CMOS70の読み出し電極71上の接合バンプ79の基部は、次の構成によってできている。
CMOS本体70aの表面/保護膜74/樹脂層75/開口部78におけるカップ状金属K
図2に示すように、樹脂層75の表面75sは、受光素子アレイ50と対面している。受光素子アレイ50の基板裏面入射の場合、画素を構成する部分に入射される光は、本体部50aの受光層3において一定の変換効率で光電荷に変換され、読み取り電極71で読み取られる。しかし、変換されない光は、上述の選択拡散マスクパターン36やパッシベーション膜43を通り抜けて、樹脂層75に到達する。仮に、樹脂層75が平滑な表面である場合、樹脂層75に到達した光は、樹脂層75の表面で反射して、受光素子アレイ50に戻り、たとえば隣の受光素子または画素において一定の割合で光電荷に変換される。すなわち樹脂層75またはCMOS本体70aの表面を介したクロストークが発生する。クロストークは、画像の鮮明度または品位を劣化させるので出来る限り抑制する必要がある。
本実施の形態では、上記のように、ドライエッチングによって、樹脂層75の表面75sは、Ra=0.5μm〜1μmのような大きな粗度を持つ。このため、図2に示すように、受光素子アレイ50の側から選択拡散マスクパターン36やパッシベーション膜43を通り抜けてきた光が到達しても、大きな粗度のためにまともな反射をすることなく、表面75sにおいて散乱する。このため受光素子アレイ50の側に戻る光を大きく抑制することができ、クロストークを大幅になくすことができる。樹脂層75は簡単な構成ながら電極同士の接合バンプを介在させた接合では、多様で重要な作用を発揮する。樹脂層75について主要な作用効果をまとめると、次のようになる。
(E1)シード金属層77をドライエッチングして、カップ状金属Kを形成するとき、本体部70aへのダメージを防止する。
(E2)樹脂層75の厚みを大きくとることで、カップ状金属Kと接合バンプ79との接触抵抗を小さくし、かつ、カップ状金属Kと接合バンプ79との接合強度を大きくする。要は、樹脂層75の厚みは、カップ状金属Kの深さの大きな部分を占める(全てではないが)。
(E3)検出装置に組み上げたとき、樹脂層75の表面75sの粗度を大きくすることで、受光素子アレイ50におけるクロストークを大幅に抑制することができる。
本実施の形態におけるフォトダイオードアレイ50の受光層3について詳しく説明する。図1において、各画素の受光素子Pは、InP基板1の上に次の構成のIII−V族半導体積層構造(エピタキシャルウエハ)を有する。
(InP基板1/n型バッファ層2/タイプ2のInGaAsとGaAsSbとのMQWの受光層3/拡散濃度分布調整層14/InPキャップ層4)
InPキャップ層4からMQWの受光層3にまで届くように位置するp型領域6は、SiN膜の選択拡散マスクパターン36の開口部から、p型不純物のZnが選択拡散されることで形成される。各画素の周縁部の内側に、平面的に周囲限定されての拡散導入は、上記SiN膜の選択拡散マスクパターン36を用いて拡散することによって実現される。周囲限定されるため、p型領域6は選択拡散されていない領域によって隔てられる。n型バッファ層2を形成する半導体は、InPでもInGaAsでもよい。
画素電極のp側電極11は、オーミック接触をとり、かつ所定レベルの強度を備える上で、Au/Zn/Au/Ti/Auによって形成するのがよい。またInP基板1にはAuGeNi/Ti/Auのn側電極12が、オーミック接触するように設けられている(図1参照)。
タイプ2のMQWの受光層3におけるバックグラウンドは、n型不純物濃度(キャリア濃度)で5×1015/cm3程度またはそれ以下である。そして、pn接合の位置15は、MQWの受光層3のバックグラウンド(n型キャリア濃度)と、p型不純物のZnの濃度プロファイルとの交点で決まる。MQWの受光層3が、p型不純物の選択拡散導入によって、結晶性を損なわれないようにした上で接合バンプ9との電気伝導性を良好にするために、受光層3とキャップ層4との間に、拡散濃度分布調整層14を挿入するのがよい。拡散濃度分布調整層14内のキャップ層4の側の厚み部分では、Zn濃度を高くして、受光層3の側の厚み部分ではZn濃度を、上記のように低めにする。拡散濃度分布調整層14内では、InPキャップ層4の表面から選択拡散されたp型不純物の濃度が、InPキャップ層4側における1×1018/cm3以上の高濃度から受光層側にかけて急峻に低下するようにする。この拡散濃度分布調整層14はバンドギャップエネルギが比較的低いために不純物濃度が低い厚み部分(受光層側の所定厚み部分)があっても電気抵抗が大きくなりにくいIn0.53Ga0.47Asで形成するのがよい。拡散濃度分布調整層14はなくてもよいが、MQWの受光層3の結晶性を良好にするためには、拡散濃度分布調整層14はあったほうがよい。
上記のような拡散濃度分布調整層14の挿入によって、受光層3内では、Zn濃度は5×1016/cm3以下の不純物濃度を容易に安定して実現することができる。本発明が対象とする受光素子アレイ50は、近赤外域からその長波長側に受光感度を有することを追求するので、キャップ層4には、受光層3のバンドギャップエネルギより大きいバンドギャップエネルギの材料を用いるのが好ましい。このため、キャップ層4には、通常、受光層よりもバンドギャップエネルギが大きく、格子整合の良い材料であるInPが用いられる。InPとほぼ同じバンドギャップエネルギを有するInAlAsを用いてもよい。
InP基板1上に、2μm厚みのn型InGaAsバッファ層2(またはn型InPバッファ層2)を成膜する。次いで、(InGaAs/GaAsSb)または(InGaAsN/GaAsSb)の多重量子井戸構造の受光層3を形成する。InPと格子整合するようInGaAsの組成はIn0.53Ga0.47Asとし、GaAsSbの組成はGaAs0.52Sb0.48とする。これにより格子整合度(|Δa/a|:ただし、aはInP基板の格子定数、Δa=ai−a(aiは各層の格子定数)は、InP基板との間の格子定数差)を0.002以下とすることができる。
単位量子井戸構造を形成する、InGaAs層の厚みは5nm、またGaAsSb層の厚みは5nmであり、ペア数(単位量子井戸の繰り返し数)は250である。次いで、受光層3の上に、Zn拡散導入の際の拡散濃度分布調整層14として、厚み1μmのIn0.53Ga0.47As層をエピタキシャル成長し、次いで、最後に厚み1μmのInPキャップ層4をエピタキシャル成長する。上記の受光層3、拡散濃度分布調整層14は、ともにMBE(Molecular Beam Epitaxy)法によってエピタキシャル成長するのがよい。また、InPキャップ層4は、MBE法でエピタキシャル成長してもよいし、拡散濃度分布調整層14を成長させた後、MBE装置から取り出して、MOVPE(Metal Organic Vapor Phase Epitaxy)法によってエピタキシャル成長してもよい。
InGaAs/GaAsSbのタイプ2のMQWの受光層3、InGaAsの拡散濃度分布調整層14、InPキャップ層4は、ノンドープが望ましいが、Siなどn型ドーパントを極微量(たとえば2×1015/cm3程度)ドーピングしてもよい。
図5は、本発明の実施の形態2における検出装置を示す図である。本実施の形態の検出装置100では、接合バンプ79をCMOS70側にのみ設けて、受光素子アレイ50には設けず、CMOS70の電極71上の接合バンプ79を、直接、受光素子アレイ50のp側電極11に、圧着により導電接続させる。このために、CMOS70に形成する接合バンプ79の高さを大きくする。すなわち、図4(b)に示す電解めっきによる接合バンプ79を大きく成長させて先端部が高くなるようにする。このためには、レジストパターンMの厚みを少し大きくとることなどが望ましい。その他の部分の構造は、図1に示す検出装置100と同じである。
図6は、本発明の実施の形態3における検出装置を示す図である。本実施の形態の検出装置100では、受光素子アレイ50およびCMOS70の両方に、下記の接合バンプ9,79を設けて、接合バンプ9,79を圧着した点に特徴を有する。
(受光素子アレイ50の接合バンプ9):キャップ層4の表面/選択拡散マスクパターン36およびパッシベーション膜43/樹脂層13/開口部8におけるカップ状金属K/電解めっきによる接合バンプ9
(CMOS70の接合バンプ79):CMOS本体70aの表面/保護膜74/樹脂層75/開口部78におけるカップ状金属K/電解めっきによる接合バンプ79
上記の構成の接合バンプ9,79は、それぞれが、実施の形態1において説明した利点を有する。異なる点は、次の2点である。
1.樹脂層13,75において大きな粗度を持つ表面13s,75sが対向している。すなわち、大きな粗度を持つ表面13s,75sが並行して位置する。このため、仮に、大きな粗度を持つ表面が一つもない場合にクロストークを生じる光が、受光素子アレイ50を通り抜けようとしても、まず、最初に受光素子アレイ50の樹脂層13の大きな粗度の表面13sで散乱が発生して通過光はCMOS70の側に届きにくい。しかし、少量ではあるが、受光素子アレイ50を通り抜けてCMOS70に届く光があっても、樹脂層75の大きな粗度の表面75sによって、さらに確実にクロストークを防止することができる。すなわち、上記のクロストークの抑制をさらに徹底することができる。
2.両方の接合バンプ9,79ともに電解めっきで形成されるので、容易に背を高くすることができ、しかも、形状および位置が高精度である。このため、接合バンプの先端部の形状を太めにすることで、圧着の押しのストロークを大きくすることなく、先端部同士を擦り合わせることで圧着を完成することができる。すなわち、接合バンプの乱れなく、短絡などを生じることなく、簡単に接合することができる。
検出装置について、説明を行ったが、本発明は検出装置に限定されず、接合バンプを用いて電極同士を導電接続する電子機器であれば、どのようなものでも適用することができる。
Claims (13)
- 近赤外域に受光感度を持つ化合物半導体に受光素子が複数配列された受光素子アレイと、前記受光素子ごとに光電荷を読み出す読み出し回路とを備え、1つまたは2つの接合バンプを挟んで、前記受光素子アレイの電極と読み出し回路の電極とが接合された、検出装置であって、
前記受光素子アレイおよび前記読み出し回路の少なくとも一方において、
前記電極の対応部に開口部をあけられて、該電極が設けられた側の面を覆う樹脂層を備え、
前記樹脂層の開口部の壁面および前記電極を被覆する、カップ形状の金属層からなるカップ状金属と、
前記カップ状金属を充填するように位置する、電解めっきで形成された接合バンプとを備え、
前記樹脂層は、前記電極が位置する側の表面を保護する保護層またはパッシベーション膜の上に位置し、
前記樹脂層の開口部は、前記保護層の開口部と共通しており、前記カップ状金属は前記開口部の底で前記電極に接触して前記保護層の上層の前記樹脂層の上面の縁まで位置していることを特徴とする、検出装置。 - 前記読み出し回路が、前記カップ状金属に前記電解めっきで形成された接合バンプを有し、前記受光素子アレイが、(1)該受光素子アレイの電極上に気相プロセスで形成された接合バンプを有して前記読み出し回路の接合バンプと接合されているか、(2)該受光素子アレイの電極上に接合バンプを持たずに前記読み出し回路の接合バンプが、直接、該受光素子の電極に導電接続しているか、または、(3)前記受光素子アレイが、前記カップ状金属に前記電解めっきで形成された接合バンプを有して前記読み出し回路の接合バンプと接合している、ことを特徴とする、請求項1に記載の検出装置。
- 近赤外域に受光感度を持つ化合物半導体に受光素子が複数配列された受光素子アレイであって、
前記受光素子は、前記化合物半導体のエピタキシャル積層体の表層からp型不純物を選択拡散して形成されたpn接合を有し、選択拡散されていない領域によって隔てられており、
前記p型不純物が選択拡散されたp型領域にオーミック接触する電極を受光素子ごとに備え、
前記p型不純物を選択拡散するためのマスクパターンと、
前記電極の対応部に開口部をあけられて、前記マスクパターンの上に位置する樹脂層と、
前記樹脂層の開口部の壁面および前記電極を被覆する、カップ形状の金属層からなるカップ状金属と、
前記カップ状金属を充填するように位置する、電解めっきで形成された接合バンプとを備え、
前記樹脂層は、前記電極が位置する側の前記マスクパターンを含む表面を保護する保護層またはパッシベーション膜の上に位置し、
前記樹脂層の開口部は、前記保護層の開口部と共通しており、前記カップ状金属は前記開口部の底で前記電極に接触して前記保護層の上層の前記樹脂層の上面の縁まで位置していることを特徴とする、受光素子アレイ。 - 前記電極の対応部において、前記樹脂層の開口部の壁面にテーパが付されていることを特徴とする、請求項1または2に記載の検出装置、または請求項3に記載の受光素子アレイ。
- 前記樹脂層の表面の粗度が、Ra=0.5μm〜1μmであることを特徴とする、請求項1、2、4のいずれか1項に記載の検出装置、または請求項3もしくは4に記載の受光素子アレイ。
- 前記接合バンプがInであることを特徴とする、請求項1、2、4、5のいずれか1項に記載の検出装置、または請求項3〜5のいずれか1項に記載の受光素子アレイ。
- 前記樹脂層は、感光性ポリイミド樹脂およびBCB樹脂、のいずれかであることを特徴とする、請求項1、2、4〜6のいずれか1項に記載の検出装置、または請求項3〜6のいずれか1項に記載の受光素子アレイ。
- 前記受光素子アレイは、InP基板と、該InP基板上に形成された、バンドギャップ波長が1.65μm〜3.0μmの受光層とを有し、該受光層は、(GaAsSb/InGaAs)のタイプ2の多重量子井戸構造、または、(GaAsSb/InGaAsN)、(GaAsSb/InGaAsNP)、および(GaAsSb/InGaAsNSb)のうちのいずれかのタイプ2の多重量子井戸構造、であり、かつ、その受光層は、InP基板との格子整合条件、|Δa/a|≦0.002(ただし、aiを受光層内の各層の格子定数、aをInP基板の格子定数として、Δa=ai−a、である)を満たすことを特徴とする、請求項1、2、4〜7のいずれか1項に記載の検出装置、または請求項3〜7のいずれかに記載の受光素子アレイ。
- 前記受光素子アレイは、InP基板と、該InP基板上に形成された、バンドギャップ波長が1.65μm〜3.0μmの受光層とを有し、該受光層は、InGaAs、InGaAsN、InGaAsNP、およびInGaAsNSbのうちのいずれかであり、その受光層は、InP基板との格子整合条件、|Δa/a|≦0.002(ただし、aiを受光層の格子定数、aをInP基板の格子定数として、Δa=ai−a、である)を満たすことを特徴とする、請求項1、2、4〜7のいずれか1項に記載の検出装置、または請求項3〜7のいずれか1項に記載の受光素子アレイ。
- 近赤外域に受光感度を持つ化合物半導体に受光素子が複数配列された受光素子アレイと、前記受光素子ごとに光電荷を読み出す読み出し回路とを備え、1つまたは2つの接合バンプを挟んで、前記受光素子アレイの電極と読み出し回路の電極とが接合された、検出装置の製造方法であって、
前記読み出し回路の電極に開口部をあけて該電極が設けられた側の面を被覆する保護層を有する読み出し回路を準備する工程と、
前記保護層の開口部と共通するように、前記読み出し回路の前記電極の対応部に開口部をあけて、前記保護層を被覆する樹脂層を形成する工程と、
前記樹脂層の上面、該樹脂層の開口部の壁面および前記電極を被覆するようにシード金属層を形成する工程と、
前記シード金属層上に、前記開口部と開口部を共通にするレジストパターンを形成する工程と、
前記シード金属層を電解めっきの電極に用いて、電解めっきにより前記開口部のシード金属層を充填するように接合バンプを該開口部に成長させる工程と、
前記レジストパターンを除去して、かつ前記シード金属層の開口部以外の箇所をドライエッチングにより除去して該開口部にカップ状金属を形成する工程と、を備え、
前記シード金属層の形成工程では、前記カップ状金属が形成されたとき、該カップ状金属が、前記開口部の底で前記電極に接触して前記保護層の上層の前記樹脂層の上面の縁まで位置しているようにしておくことを特徴とする、検出装置の製造方法。 - 前記受光素子アレイの電極上に気相プロセスにより接合バンプを形成する工程と、前記受光素子アレイの接合バンプと、前記読み出し回路の接合バンプとを圧着する工程とを備えることを特徴とする、請求項10に記載の検出装置の製造方法。
- 前記受光素子アレイの電極に、前記読み出し回路の接合バンプを、直接、圧着する工程を備えることを特徴とする、請求項10に記載の検出装置の製造方法。
- 前記受光素子アレイは、前記電極の対応部に開口部があいた、受光素子を形成するための不純物の選択拡散用のマスクパターンを有し、該受光素子アレイの前記電極の対応部に前記マスクパターンの開口部と共通させて開口部をあけて、前記マスクパターンの上に、保護層またはパッシベーション膜と、樹脂層とを、順次、形成する工程と、前記樹脂層の上面、該樹脂層の開口部の壁面および前記電極を被覆するように、シード金属層を形成する工程と、前記シード金属層上に、前記開口部と開口部を共通にするレジストパターンを形成する工程と、前記シード金属層を電解めっきの電極に用いて、電解めっきにより前記開口部を充填するように接合バンプを該開口部に成長させる工程と、前記レジストパターンを除去して、かつ前記シード金属層の開口部以外の箇所をドライエッチングにより除去して該開口部にカップ状金属を形成する工程と、前記受光素子アレイの接合バンプと前記読み出し回路の接合バンプとを圧着する工程と、を備え、前記シード金属層の形成工程では、前記カップ状金属が形成されたとき、該カップ状金属が、前記開口部の底で前記電極に接触して前記保護層の上層の前記樹脂層の上面の縁まで位置しているようにしておくことを特徴とする、請求項10に記載の検出装置の製造方法。
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