JP5559165B2 - 変形可能な光学素子を有する光学装置 - Google Patents
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Description
本発明は、米国仮特許出願第61/080,423号(出願日2008年7月14日)の優先権を主張するものであり、その全開示内容は参照により本明細書に組み込まれるものとする。
図1〜図5を参照して、以下に本発明によるマイクロリソグラフィ用の光学結像装置で使用される本発明による光学装置の好ましい実施形態を説明する。
(i)アクチュエータユニット114.1または位置決め素子113.1の場所で、
(ii)アクチュエータユニット114.1または位置決め素子113.1の場所で作用する作用負荷、
(iii)(作用負荷によって生じる)関連構成素子の変形から生じる。
次に図1〜図5および図6を参照して、光学装置108の代わりに対物レンズ104で使用することのできる本発明による光学装置208の別の有利な実施例を説明する。光学装置208は、構成および機能において基本的に光学装置108に対応しており、したがって、ここでは相違点のみを説明する。特に同一または同様の構成素子には値100を加えた符号を付す。以下に特に述べない限り、これらの構成素子の特性および機能に関しては第1実施例についての上記説明を参照されたい。
以下に図1、図4、図5および図7を参照して、光学装置108の代わりにマイクロリソグラフィ装置101で使用することができ、図5に示した方法を実施することができる本発明による光学装置308の別の好ましい実施例を説明する。光学装置308は、構成および機能において基本的に図2に示した光学装置108に対応しており(光学装置308のためにも図4に示した機械的に同等の回路図を使用することができる)、したがって、ここでは相違点のみを説明する。特に同一または同様の構成素子には値200を加えた符号を付す。以下に特に述べない限り、これらの構成素子の特性および機能に関しては第1実施例についての上記説明を参照されたい。
以下に図1、図4、図5および図8を参照して、光学装置108の代わりにマイクロリソグラフィ装置101で使用することができ、図5に示した方法を実施することができる本発明による光学装置408の別の好ましい実施例を説明する。光学装置408は、構成および機能において基本的に図7に示した光学装置308に対応しており(光学装置408のためにも図4に示した機械的に同等の回路図を使用することができる)、したがって、ここでは相違点のみを説明する。特に同一または同様の構成素子には値400を加えた符号を付す。以下に特に述べない限り、これらの構成素子の特性および機能に関しては第3または第1実施例についての上記説明を参照されたい。
以下に、図1、図4、図5および図9を参照して、光学装置108の代わりにマイクロリソグラフィ装置101で使用することができ、図5に示した方法を実施することができる本発明による光学装置508の別の好ましい実施例を説明する。光学装置508は、構成および機能において基本的に図2に示した光学装置108に対応しており(光学装置508のためにも図4に示した機械的に同等の回路図を使用することができる)、したがって、ここでは相違点のみを説明する。特に同一または同様の構成素子には値400を加えた符号を付す。以下に特に述べない限り、これらの構成素子の特性および機能に関しては第1実施例についての上記説明を参照されたい。
Claims (36)
- 光学モジュールと、
支持構造部と
を備える、マイクロリソグラフィ用の光学装置であって、
前記支持構造部が前記光学モジュールを支持し、
前記光学モジュールが光学素子および保持装置を備え、
該保持装置が前記光学素子を支持する保持構造部を備え、
前記保持装置が、複数の能動的な変形ユニットを有する変形装置を備え、前記変形ユニットが前記光学素子に接触し、変形力方向の変形力により前記光学素子に所定の変形を付与するように構成されており、
少なくとも1つの前記変形ユニットが、変形力を生成するためのアクチュエータユニットを備え、
前記保持構造部が直接又は間接に前記変形装置を支持するように構成されている光学装置において、
前記光学モジュールが、前記支持構造部に交換可能に固定されており、
前記保持構造部が少なくとも1つの第1支持箇所の領域で、解除可能に前記支持構造部に結合されており、
前記保持構造部が、少なくとも1つの第2支持箇所の領域で、前記光学素子を支持し、
前記少なくとも1つの第2支持箇所が、前記第1支持箇所の領域に配置されており、
前記保持装置が、少なくとも1つの、能動的な位置決めユニットを有する位置決め装置を備え、前記位置決めユニットが、前記光学素子に接触し、前記光学素子の位置および/または配向を調整するように構成され、
前記アクチュエータユニットが、作動方向に力またはモーメントを生成し、
前記アクチュエータユニットが、作動方向に高い剛性を有し、
前記アクチュエータユニットと前記光学素子との間の力作用部に伝達素子が配置されており、
前記伝達素子が、作動方向に、前記アクチュエータユニットの場所に関係した剛性を有し、前記アクチュエータユニットの場所に関係した前記伝達素子の剛性が、作動方向における前記アクチュエータユニットの剛性の大きくとも0.1%に相当することを特徴とする光学装置。 - 請求項1に記載の光学装置において、
前記保持装置が、前記光学素子を支持する保持構造部を備え、
前記アクチュエータユニットが、作動方向に前記保持構造部で支持されており、
前記保持構造部が、作動方向に前記アクチュエータユニットの場所に関係した剛性を有し、前記アクチュエータユニットの場所に関係した保持構造部の剛性が、作動方向における前記アクチュエータユニットの剛性の少なくとも5%〜10%である光学装置。 - 請求項2に記載の光学装置において、
前記保持構造部が、少なくとも作動方向における前記アクチュエータユニットの剛性に対応する、高い剛性を有している光学装置。 - 請求項1に記載の光学装置において、
前記保持構造部が、調整ユニットによって調整可能に前記支持構造部に結合されており、
前記調整ユニットが、能動的に制御可能である光学装置。 - 請求項1又は2に記載の光学装置において、
前記光学素子の支持が、静的に規定されている光学装置。 - 請求項1に記載の光学装置において、
前記光学素子が、少なくとも1つの位置決めユニットによって支持方向に支持されており、
前記少なくとも1つの位置決めユニットが、支持方向に実質的に堅固に構成されている光学装置。 - 請求項6に記載の光学装置において、
前記光学素子が、3つの位置決めユニットによって支持方向に支持されている光学装置。 - 請求項1に記載の光学装置において、
前記保持装置が、前記光学素子を支持する保持構造部を備え、
前記変形装置が別個の支承構造部を備え、
該支承構造部が、前記保持構造部に固定されており、
少なくとも1つの前記変形ユニットが前記支承構造部で支持されている光学装置。 - 請求項8に記載の光学装置において、
前記光学素子の支持が静的に規定されており、前記支承構造部の前記保持構造部への固定が解除可能である光学装置。 - 光学モジュールと、
支持構造部と
を備える、マイクロリソグラフィ用の光学装置であって、
前記支持構造部が前記光学モジュールを支持し、
前記光学モジュールが光学素子および保持装置を備え、
該保持装置が前記光学素子を支持する保持構造部を備え、
前記保持装置が、複数の能動的な変形ユニットを有する変形装置を備え、前記変形ユニットが前記光学素子に接触し、変形力方向の変形力により前記光学素子に所定の変形を付与するように構成されており、
少なくとも1つの前記変形ユニットが、変形力を生成するためのアクチュエータユニットを備え、
前記保持構造部が直接又は間接に前記変形装置を支持するように構成されている光学装置において、
前記保持構造部が、少なくとも1つの第1支持箇所の領域で、調整ユニットによって調整可能に支持構造部に結合されており、
前記調整ユニットが、能動的に制御可能であり、
前記保持構造部が、少なくとも1つの第2支持箇所の領域で、前記光学素子を支持し、
前記少なくとも1つの第2支持箇所が、前記第1支持箇所の領域に配置され、
前記変形装置が、別個の支承構造部を備え、
該支承構造部が、前記保持構造部に固定されており、
少なくとも1つの変形ユニットが前記支承構造部で支持されていることを特徴とする光学装置。 - 請求項10に記載の光学装置において、
前記支承構造部の前記保持構造部への固定が解除可能である光学装置。 - 請求項10に記載の光学装置において、
前記光学素子の支持が、静的に規定されている光学装置。 - 請求項10に記載の光学装置において、
前記保持装置が、少なくとも1つの保持ユニットによって支持方向に前記光学素子を支持し、
前記保持ユニットが、支持方向に実質的に堅固に構成されている光学装置。 - 請求項13に記載の光学装置において、
前記保持装置が、3つの保持ユニットによって支持方向に前記光学素子を支持している光学装置。 - 請求項13に記載の光学装置において、
前記少なくとも1つの保持ユニットが、能動的な位置決めユニットとして構成されており、
前記保持ユニットが、前記光学素子の位置および/または配向を調整するように構成されている光学装置。 - 請求項10に記載に記載の光学装置において、
前記アクチュエータユニットが、作動方向に力またはモーメントを生成し、
前記アクチュエータユニットが、作動方向に高い剛性を有する光学装置。 - 請求項10に記載に記載の光学装置において、
前記アクチュエータユニットと前記光学素子との間の力作用部に伝達素子が配置されており、
前記伝達素子が、作動方向に前記アクチュエータユニットの場所に関係した剛性を有し、前記アクチュエータユニットの場所に関係した伝達素子の剛性が、作動方向における前記アクチュエータユニットの剛性の大きくとも0.1%に相当する光学装置。 - 請求項10に記載の光学装置において、
前記アクチュエータユニットが、作動方向に前記支承構造部で支持されており、
前記支承構造部が、作動方向に前記アクチュエータユニットの場所に関係した剛性を有し、前記アクチュエータユニットの場所に関係した前記支承構造部の剛性が、作動方向における前記アクチュエータユニットの剛性の少なくとも5%〜10%である光学装置。 - 請求項18に記載の光学装置において、
前記支承構造部が、少なくとも作動方向における前記アクチュエータユニットの剛性に対応する、高い剛性を有している光学装置。 - 照明装置と、
投影パターンを備えるマスクを収容するためにマスク装置と、
光学素子グループを備える投影装置と、
基板を収容するための基板装置と
を備える、マイクロリソグラフィ用の光学結像装置において、
前記照明装置が、前記投影パターンを照明するように構成されており、
前記光学素子グループが、前記基板に前記投影パターンを結像するように構成されており、
前記照明装置および/または前記投影装置が、前記請求項1ないし19のいずれか一項の請求項に記載の光学装置を備えることを特徴とする光学結像装置。 - マイクロリソグラフィ用の光学素子を支持するための方法であって、
光学モジュールの保持装置の保持構造部によって前記光学素子を保持し、
支持構造部によって前記光学モジュールを保持し、
前記保持装置の変形装置における複数の能動的な変形ユニットを前記光学素子に接触させ、
前記変形ユニットが、変形力方向の変形力によって前記光学素子にそれぞれ所定の変形を付与し、
前記変形ユニットのアクチュエータユニットによってそれぞれの変形力を生成し、
前記保持構造部によって、直接又は間接に前記変形装置を支持する方法において、
前記光学モジュールを、前記支持構造部に交換可能に固定し、
前記保持構造部を、少なくとも1つの第1支持箇所の領域で、解除可能に前記支持構造部に結合し、
前記保持構造部によって、少なくとも1つの第2支持箇所の領域で、前記光学素子を支持し、
前記少なくとも1つの第2支持箇所を、前記第1支持箇所の領域に配置し、
前記保持装置の少なくとも1つの位置決めユニットを前記光学素子に接触させ、
前記少なくとも1つの位置決めユニットにより、前記光学素子の位置および/または配向を調節し、
前記アクチュエータユニットにより、作動方向に力およびモーメントを生成し、
作動方向に前記アクチュエータユニットに高い剛性を付与し、
前記アクチュエータユニットと前記光学素子との間の力作用部に伝達素子を配置し、
前記伝達素子に、作動方向に、前記アクチュエータユニットの場所に関係した剛性を付与し、前記アクチュエータユニットの場所に関係した前記伝達素子の剛性を、作動方向における前記アクチュエータユニットの剛性の大きくとも0.1%に相当させることを特徴とする方法。 - 請求項21に記載の方法において、
前記保持装置の保持構造部によって、前記光学素子を支持し、
前記アクチュエータユニットを作動方向に前記保持構造部で支持し、
前記保持構造部に、作動方向に前記アクチュエータユニットの場所に関係した剛性を付与し、前記アクチュエータユニットの場所に関係した前記保持構造部の剛性を、作動方向における前記アクチュエータユニットの剛性の少なくとも5%〜10%とする方法。 - 請求項22に記載の方法において、
前記保持構造部に、少なくとも作動方向における前記アクチュエータユニットの剛性に対応させて、高い剛性を付与する方法。 - 請求項21に記載の方法において、
前記支持構造部に前記光学モジュールを交換可能に固定し、
前記保持装置に、前記光学素子を支持する保持構造部を設け、該保持構造部を、少なくとも1つの支持箇所の領域で、解除可能に、能動的に調整可能に前記支持構造部に結合する方法。 - 請求項21又は24に記載の方法において、
前記光学素子の支持が静的に規定されている方法。 - 請求項21に記載の方法において、
少なくとも1つの位置決めユニットによって支持方向に前記光学素子を支持し、
前記少なくとも1つの位置決めユニットを支持方向に実質的に堅固に構成する方法。 - 請求項26に記載の方法において、
3つの位置決めユニットによって支持方向に前記光学素子を支持する方法。 - 請求項21に記載の方法において、
少なくとも1つの変形ユニットが、前記光学素子に変形方向の変位を付与し、
前記少なくとも1つの変形ユニットに、前記変形方向に高い剛性を付与する方法。 - 請求項21に記載の方法において、
前記保持装置の前記保持構造部によって、前記光学素子を支持し、
前記変形装置に別個の支承構造部を設け、
前記支承構造部を、前記保持構造部に固定し、
前記支承構造部で、少なくとも1つの前記変形ユニットを支持する方法。 - 請求項29に記載の方法において、
前記光学素子の支持が静的に規定され、前記支承構造部の前記保持構造部への固定が解除可能である方法。 - マイクロリソグラフィ用の光学素子を支持するための方法であって、
光学モジュールの保持装置の保持構造部によって前記光学素子を保持し、
支持構造部によって前記光学モジュールを保持し、
前記保持装置の変形装置における複数の能動的な変形ユニットを前記光学素子に接触させ、
前記変形ユニットが、変形力方向の変形力によって前記光学素子にそれぞれ所定の変形を付与し、
前記変形ユニットのアクチュエータユニットによってそれぞれの変形力を生成し、
前記保持構造部によって、直接又は間接に前記変形装置を支持する方法において、
前記保持構造部を、少なくとも1つの第1支持箇所の領域で、調整ユニットによって調整可能に支持構造部に結合し、
前記調整ユニットが、能動的に制御可能であり、
前記保持構造部が、少なくとも第2支持箇所の領域で、前記光学素子を支持し、
前記少なくとも1つの第2支持箇所を、前記第1支持箇所の領域に配置し、
前記変形装置の別個の支承構造部を、前記保持構造部に固定し、
少なくとも1つの前記変形ユニットを前記支承構造部で支持することを特徴とする方法。 - 請求項31に記載の方法において、
前記支承構造部の前記保持構造部への固定が解除可能である方法。 - 請求項31に記載の方法において、
少なくとも1つの変形ユニットが、前記光学素子に変形方向の変形力を付与し、
作動方向に力またはモーメントを生成するアクチュエータユニットによって変形力を生成し、
前記アクチュエータユニットに、作動方向に高い剛性を付与する方法。 - 請求項31に記載の方法において、
前記アクチュエータユニットと前記光学素子との間の力作用部に伝達素子を配置し、
前記伝達素子に、作動方向に、前記アクチュエータユニットの場所に関係した剛性を付与し、前記アクチュエータユニットの場所に関係した前記伝達素子の剛性を、作動方向におけるアクチュエータユニットの剛性の大きくとも0.1%に相当させる方法。 - 請求項31に記載の方法において、
前記アクチュエータユニットを作動方向に前記支承構造部で支持し、
前記支承構造部に、作動方向に前記アクチュエータユニットの場所に関係した剛性を付与し、前記アクチュエータユニットの場所に関係した前記支承構造部の剛性を、作動方向における前記アクチュエータユニットの剛性の少なくとも5%〜10%とする方法。 - 請求項35に記載の方法において、
前記支承構造部に、少なくとも作動方向における前記アクチュエータユニットの剛性に対応させて、高い剛性を付与する方法。
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