JP5551496B2 - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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(1) 非磁性基板の上に少なくとも磁性層を形成した後に、減圧した成膜室内に炭素を含む原料の気体を導入し、この気体をプラズマによりイオン化し、このイオンを用いて前記非磁性基板の表面に炭素膜からなる保護層を形成した磁気記録媒体の製造方法であって、
前記保護層を形成した後に、アルカリ洗浄剤を含む洗浄液を用いて磁気記録媒体を洗浄する工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
(2) 前記磁気記録媒体の洗浄を洗浄槽内の洗浄液に浸漬して行うことを特徴とする前項(1)に記載磁気記録媒体の製造方法。
(3) 前記洗浄槽内で洗浄液を前記磁気記録媒体の主面と平行な方向に流しながら、前記磁気記録媒体の洗浄を行うことを特徴とする前項(2)に記載の磁気記録媒体の製造方法。
(4) 前記洗浄槽に洗浄液を供給する複数の供給口と、前記洗浄槽から洗浄液を排出する複数の排出口とのうち、何れかの供給口及び/又は排出口を流れる洗浄液の流量を調整することによって、前記洗浄槽内の洗浄液が層流の状態で流れるようにすることを特徴とする前項(3)に記載の磁気記録媒体の製造方法。
(5) 前記アルカリ洗浄剤が、有効成分として、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、アンモニア、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドのうち少なくとも1種以上を含むことを特徴とする前項(1)〜(4)の何れか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
(6) 前記洗浄液中におけるアルカリ洗浄剤の濃度を0.0001質量%〜0.1質量%の範囲とすることを特徴とする前項(5)に記載の磁気記録媒体の製造方法。
(7) 前記アルカリ洗浄剤を含む洗浄液を用いて磁気記録媒体の洗浄を行った後に、この磁気記録媒体に対して純水を用いたスピン洗浄を行うことを特徴とする前項(2)〜(6)の何れか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
(8) 前記洗浄槽内の洗浄液に超音波振動を印加することを特徴とする前項(2)〜(7)の何れか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
具体的に、本発明の媒体洗浄工程では、洗浄液が層流の状態で流れる洗浄槽内に磁気記録媒体を浸漬しながら、この磁気記録媒体の湿式洗浄を行う。これにより、磁気記録媒体の表面に僅かに残留し、バーニッシュ処理や、ワイピング、スピン洗浄、従来の湿式洗浄等では除去不可能なレベルの量の汚染物質、特に、減圧した成膜室内に炭素を含む原料の気体を導入し、この気体をプラズマによりイオン化し、このイオンを用いて非磁性基板の表面に炭素膜からなる保護層を形成した直後に、成膜室内に残留する原料の気体が炭素膜とならずに、上記有機重合膜となって炭素膜の表面に付着したものを、効率よく除去することが可能である。
この流水式洗浄装置1は、上記転写工程の前に、ハードディスクドライブ(磁気記録再生装置)に搭載される磁気記録媒体Wを洗浄するのに好適に用いられるものであり、磁気記録媒体Wを保持したホルダ50を洗浄液Lに浸漬させて磁気記録媒体Wの洗浄を行う洗浄槽2を備えている。
次に、上記磁気記録媒体Wの保護層となる炭素膜の形成方法及び形成装置について説明する。
図5は、炭素膜の形成装置を模式的に示す概略構成図である。
この炭素膜の形成装置は、図5に示すように、炭素を含む原料の気体(以下、原料気体という。)Gを高周波プラズマにより励起分解し、これによって生じた炭素イオンを用いて、上記磁気記録媒体Wとなる円盤状の基板Dの両表面に炭素膜を形成する成膜装置である。
一方、本発明では、プラズマ空間106と加速空間108とが直線状に連続した空間を形成することによって、加速されていないイオン又は低加速のイオンを高密度で簡便に形成することが可能である。
一方、図6(c)に示す構成では、成膜室101のチャンバ壁101aの周囲に、N極とS極との向きを内周側と外周側とで交互に入れ替えた複数の永久磁石109が配置されている。何れの場合も、永久磁石109によって生ずる磁力線Mは、成膜室101の中央付近においては、イオンビームBの加速方向とほぼ平行となり、これにより励起空間内のイオン密度を効率良く高めることが可能である。
次に、本発明を適用して製造される磁気記録媒体Wの一例を図7に示す。
この磁気記録媒体Wは、図7に示すように、非磁性基板31上に、スペーサ層32bにより反強磁性結合させた2層の軟磁性層32aを含む軟磁性下地層32と、配向制御層33と、垂直磁性層34と、保護層35と、潤滑剤膜36とを順次積層した構造を有している。
次に、本発明を適用して製造された磁気記録媒体Wを備える磁気記録再生装置(ハードディスクドライブ)の一例を図8に示す。
この磁気記録再生装置は、上記図7に示す本発明を適用して製造された磁気記録媒体70と、磁気記録媒体70を回転駆動させる媒体駆動部71と、磁気記録媒体70に情報を記録再生する磁気ヘッド72と、この磁気ヘッド72を磁気記録媒体70に対して相対運動させるヘッド駆動部73と、記録再生信号処理系74とを備えている。また、記録再生信号処理系74は、外部から入力されたデータを処理して記録信号を磁気ヘッド72に送り、磁気ヘッド72からの再生信号を処理してデータを外部に送ることが可能となっている。また、この磁気記録再生装置が備える磁気ヘッド72には、再生素子として巨大磁気抵抗効果(GMR)を利用したGMR素子などを有した、より高記録密度に適した磁気ヘッドを用いることができる。
実施例では、先ず、洗浄済みのガラス基板(コニカミノルタ社製、外形2.5インチ)をDCマグネトロンスパッタ装置(アネルバ社製C−3040)の成膜チャンバ内に収容して、到達真空度1×10−5Paとなるまで成膜チャンバ内を排気した後、このガラス基板の上に、60Cr−40Tiターゲットを用いて層厚10nmの密着層を成膜した。また、この密着層の上に、46Fe−46Co−5Zr−3B{Fe含有量46原子%、Co含有量46原子%、Zr含有量5原子%、B含有量3原子%}のターゲットを用いて100℃以下の基板温度で、層厚34nmの軟磁性層を成膜し、この上にRu層を層厚0.76nmで成膜した後、さらに46Fe−46Co−5Zr−3Bの軟磁性層を層厚34nm成膜して、これを軟磁性下地層とした。
比較例では、上記洗浄工程を行わなかった以外は、実施例と同じ条件で磁気記録媒体を作製した。
以上のように作製された実施例及び比較例の磁気記録媒体の潤滑剤膜の膜厚分布を測定した。この膜厚分布の測定には、光学式表面検査装置、(米国)KLA−Tencor社製、Candela 6100(商品名)を使用した。
31…非磁性基板 32…軟磁性下地層 32a…軟磁性層 32b…スペーサ層 33…配向制御層 34…垂直磁性層 34a,34b,34c…磁性層 35…保護層 36…潤滑剤膜 37a,37b…非磁性層 38…非磁性下地層
70…磁気記録媒体 71…媒体駆動部 72…磁気ヘッド 73…ヘッド駆動部 74…記録再生信号処理系
101…成膜室 102…ホルダ 103…導入管 104…高周波電極 105…高周波電源 106…プラズマ空間 107…加速用電源 108…加速空間 109…永久磁石 110…排気管
Claims (5)
- 非磁性基板の上に少なくとも磁性層を形成した後に、減圧した成膜室内に炭素を含む原料の気体を導入し、この気体をプラズマによりイオン化し、このイオンを用いて前記非磁性基板の表面に炭素膜からなる保護層を形成した磁気記録媒体の製造方法であって、
前記保護層を形成した後に、前記磁気記録媒体を、洗浄槽内のアルカリ洗浄剤を含む洗浄液に浸漬して洗浄する工程を含み、
前記工程において、前記洗浄槽の上流側に配置された洗浄液を供給する複数の供給口と、前記洗浄槽の下流側に配置された洗浄液を排出する複数の排出口とのうち、何れかの供給口及び排出口を流れる洗浄液の流量を個別に調整することによって、前記洗浄槽内の洗浄液が層流の状態で前記上流側から前記下流側へ流れるようにすると共に、前記磁気記録媒体を、その主面がその層流の状態の洗浄液の流れる方向に平行となるように浸漬することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 前記アルカリ洗浄剤が、有効成分として、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、アンモニア、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドのうち少なくとも1種以上を含むことを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記洗浄液中におけるアルカリ洗浄剤の濃度を0.0001質量%〜0.1質量%の範囲とすることを特徴とする請求項2に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記アルカリ洗浄剤を含む洗浄液を用いて磁気記録媒体の洗浄を行った後に、この磁気記録媒体に対して純水を用いたスピン洗浄を行うことを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記洗浄槽内の洗浄液に超音波振動を印加することを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
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