JP5566734B2 - 炭素膜の形成方法及び磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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Description
ここで、特許文献5に記載されているように炭素膜の表面を窒化し、潤滑剤に対する濡れ性を高める方法が考えられるが、窒化した炭素膜は硬度が低下するため炭素膜の薄膜化が困難となる。
また、本発明は、そのような方法を用いて形成される炭素膜を磁気記録媒体の保護層に用いることによって、耐摩耗性、耐コロージョン性に優れた記録密度の高い時期記録媒体を得ることを可能とした磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
そして、カーボンと水素を含むイオン化した気体を、基板に加えた負のパルスバイアスで加速して基板の表面に照射することによって、潤滑剤に対する濡れ性が高く、かつ、緻密で硬度の高い炭素膜を形成できることを見出して本発明を完成するに至った。
(1) 減圧した成膜室内に炭素と水素を含む原料の気体を導入し、この気体を、通電により加熱されたフィラメント状のカソード電極と、その周囲に設けられたアノード電極との間で、放電によりイオン化し、このイオン化した気体を基板に加えたバイアス電圧で加速して基板の表面に照射することによって、基板の表面に炭素膜を形成する炭素膜の形成方法であって、前記基板の表面に加えるバイアス電圧としてパルス状の負の電圧を用いることを特徴とする炭素膜の形成方法。
(2) 前記パルス状の負の電圧のピーク電圧が、−30〜−500Vの範囲内であることを特徴とする(1)に記載の炭素膜の形成方法。
(3) 前記パルス状の負の電圧の周期が5〜50Hzの範囲内であることを特徴とする(1)または(2)に記載の炭素膜の形成方法。
(4) 前記パルス状の負の電圧のパルス幅が、15m秒〜150m秒の範囲内であることを特徴とする(1)ないし(3)3のいずれかに記載の炭素膜の形成方法。
(5) (1)ないし(4)のいずれかに記載の炭素膜の形成方法を用いて、少なくとも磁性層が形成された非磁性基板の上に炭素膜を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
なお、以下の説明で用いる図面は、特徴を分かり易くするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
図1は、本発明を適用した炭素膜の形成装置を模式的に示す概略構成図である。この炭素膜の形成装置は、例えば図1に示すように、イオンビーム蒸着法を用いた成膜装置であり、減圧可能な成膜室101と、成膜室101内で基板Dを保持するホルダ102と、成膜室101内に炭素と水素を含む原料の気体Gを導入する導入管103と、成膜室101内に配置されたフィラメント状のカソード電極104と、成膜室101内のカソード電極104の周囲に配置されたアノード電極105と、カソード電極104を通電により加熱する第1の電源106と、カソード電極104とアノード電極105との間で放電を生じさせる第2の電源107と、カソード電極104又はアノード電極105と基板Dとの間に負のパルス状の電位差を与える第3のパルス電源108と、カソード電極104とアノード電極105又は基板Dとの間で磁場を印加する永久磁石109とを備えて概略構成されている。
また、第3のパルス電源については、電流を10〜200mAの範囲内に設定することが好ましい。
本実施形態では、複数の成膜室の間で成膜対象となる基板を順次搬送させながら成膜処理を行うインライン式成膜装置を用いて、ハードディスク装置に搭載される磁気記録媒体を製造する場合を例に挙げて説明する。
非磁性基板80としては、Alを主成分とした例えばAl−Mg合金等のAl合金基板や、通常のソーダガラス、アルミノシリケート系ガラス、結晶化ガラス類、シリコン、チタン、セラミックス、各種樹脂からなる基板など、非磁性基板であれば任意のものを用いることができる。
向した4つの処理装置がある場合は、キャリア25の移動は不要となり、キャリア25に
保持された第1及び第2成膜用基板23、24に対して同時に成膜処理等を行うことがで
きる。
実施例では、先ず、非磁性基板としてNiPめっきが施されたアルミニウム基板を用意した。次に、上記図6に示すインライン式成膜装置を用いて、A5052アルミ合金製のキャリアに装着された非磁性基板の両面に、膜厚60nmのFeCoBからなる軟磁性層と、膜厚10nmのRuからなる中間層と、膜厚15nmの70Co−5Cr−15Pt−10SiO2合金からなる記録磁性層とを順次積層することによって磁性層を形成した。
比較例では、実施例と同様に成膜を行ったが、アノードとカソード間に加えた加速電圧を定常的に加えた。なお、成膜時間は8秒として成膜する炭素膜厚を3.5nmとした。
そして、実施例及び比較例の磁気記録媒体に対して、ラマン分光測定、スクラッチ試験、炭素膜表面の純水に対する接触角の測定及びコロージョン試験を実施した。
ラマン分光測定については、JEOL社製のラマン分光装置を用いて、B/Aの測定を行った。ここで、B/Aとは、ラマンスペクトルのピーク強度をB値、ベースライン補正を行ったときのピーク強度をA値として算出される値である。このB/Aの値が小さいほど、炭素膜中のポリマー成分が少なく、硬質の炭素膜であることを示す。
Claims (2)
- 減圧した成膜室内に炭素と水素を含む原料の気体を導入し、
この気体を、通電により加熱されたフィラメント状のカソード電極と、その周囲に設けられたアノード電極との間で、放電によりイオン化し、
このイオン化した気体を基板に加えたバイアス電圧で加速して基板の表面に照射することによって、基板の表面に炭素膜を形成する炭素膜の形成方法であって、
前記基板の表面に加えるバイアス電圧としてパルス状の負の電圧を用い、
前記パルス状の負の電圧は、ピーク電圧が−30V〜−500Vの範囲内であり、周期が5Hz〜50Hzの範囲内であり、パルス幅が15m秒〜150m秒の範囲内であることを特徴とする炭素膜の形成方法。 - 請求項1に記載の炭素膜の形成方法を用いて、少なくとも磁性層が形成された非磁性基板の上に炭素膜を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
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