JP5529214B2 - 試験装置用の電源装置およびそれを用いた試験装置 - Google Patents
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Description
コントローラ1024は、フィードバックされた観測値(制御対象)と所定の参照値(基準値)の差分値がゼロとなるように、制御値を出力する。観測値としては、DUT1に供給される電源電圧VDDや電源電流IDDなどに応じたフィードバック信号VMが例示される。
ここで、検出抵抗Rsの抵抗値が切りかえられると、検出抵抗Rsの両端間の電圧が急激に変化することとなり、DUT1に供給される電圧VDDにスパイク状のノイズ(グリッジという)が重畳されることになる。
1. メイン検出抵抗の抵抗値の切りかえに先立ち、メイン検出抵抗に流れる電流量を取得する。
2. 補助電流源が、取得された電流量の補助電流を生成する。
3. メイン検出抵抗の抵抗値を切りかえる。
4. 補助電流源が、補助電流をゼロに戻す。
1. サブ目標値設定部が、デジタルメイン電流観測値をホールドする。
2. サブ目標値設定部が、サブ目標値をゼロからホールドしたデジタルメイン電流観測値に変化させる。
3. メイン検出抵抗の抵抗値を切りかえる。
4. サブ目標値設定部が、サブ目標値をホールドしたデジタルメイン電流観測値からゼロに変化させる。
1. 電源電流と補助電流の合計量を、電源電流の通常状態における目標量に保ちながら、補助電流源が補助電流の電流量をゼロから電源電流の通常状態における目標量まで増加させるとともに、メイン目標値設定部が電流目標値を通常状態の値からゼロまで低下させる。
2. メイン検出抵抗の抵抗値を切りかえる。
3. 電源電流と補助電流の合計量を電源電流の通常状態における目標量に保ちながら、補助電流源が補助電流の電流量を電源電流の通常状態における目標量からゼロまで低下させるとともに、メイン目標値設定部が電流目標値をゼロから通常状態の値まで増大させる。
1. 電流目標値とサブ目標値の合計を、電流目標値の通常状態の値に保ちながら、サブ目標値設定部が、サブ目標値をゼロから電流目標値の通常状態の値まで増大させるとともに、メイン目標値設定部が、電流目標値をその通常状態の値からゼロまで低下させる。
2. メイン検出抵抗の抵抗値を切りかえる。
3. 電流目標値とサブ目標値の合計を、電流目標値の通常状態の値に保ちながら、サブ目標値設定部が、サブ目標値を電流目標値の通常状態の値からゼロまで低下させるとともに、メイン目標値設定部が、電流目標値をゼロからその通常状態の値まで増大させる。
この態様によると、電源電圧のグリッジを抑制しつつ、被試験デバイスの良否や不良箇所を判定できる。また、抵抗の切りかえのたびに、電源装置のオン、オフシーケンスを行う必要がないため、試験時間を短縮できる。
同様に、「部材Cが、部材Aと部材Bの間に設けられた状態」とは、部材Aと部材C、あるいは部材Bと部材Cが直接的に接続される場合のほか、それらの電気的な接続状態に実質的な影響を及ぼさない、あるいはそれらの結合により奏される機能や効果を損なわせない、その他の部材を介して間接的に接続される場合も含む。
本実施の形態に係る電源装置100は、DUT1に供給される電源信号SPSの電圧値(電源電圧ともいう)VDDを一定に保つ電圧供給(VS)モードと、電源信号の電流量(電源電流ともいう)IDDを一定に保つ電流供給(IS)モードと、が切りかえ可能に構成される。
電圧供給モードにおいて電圧用A/Dコンバータ24は、DUT1に供給される電源電圧VDDを示すアナログ電圧観測値VM_Vをアナログ/デジタル変換し、デジタル電圧観測値DM_Vを生成する。アナログ電圧観測値VM_Vは、DUT1に供給される電源電圧VDDそのものであってもよいし、電源電圧VDDを分圧により降圧した電圧であってもよい。
メイン検出抵抗Rs1は、電源ライン4の経路上に設けられ、その両端間には、電源電流IDDに比例した電圧降下Vs1が生ずる。メインセンスアンプ44は、メイン検出抵抗Rs1の電圧降下Vs1を増幅し、アナログメイン電流観測値VM_Iを生成する。メイン検出抵抗Rs1は、電源電流IDDの電流レンジに応じて抵抗値が切りかえ可能な可変抵抗である。
セレクタ36は、電圧供給モードにおいて、デジタル電圧観測値DM_Vを選択し、電流供給モードにおいて、デジタル電流観測値DM_Iを選択する。
図3は、電圧供給モードにおける電源装置100の動作を示す波形図である。
通常状態において、電源電圧VDDは、電圧目標値DREF_Vに応じたレベルに安定化されている。このとき電源ライン4には、ある大きさの電源電流IDDが流れており、補助電流源60が生成する補助電流ISUBはゼロである。
電流供給モードにおける電源装置100の動作も、図3を参照して説明する。
通常状態において、電源ライン4に流れる電源電流IDDは、電流目標値DREF_Iに応じた量Ixに安定化されている。このとき補助電流源60が生成する補助電流ISUBはゼロである。
この間、メイン目標値設定部10は、電流目標値DREF_Iを、通常状態の値からゼロまで低下させる。電源電流IDDは、デジタル演算部30によるフィードバック制御により、通常状態の目標量Ixからゼロに向かって低下していく。
図4は、補助電流源60の構成例を示す回路図である。
補助電流源60は、デジタル演算部30、メインD/Aコンバータ40、メインバッファアンプ42、メインセンスアンプ44、メイン電流用A/Dコンバータ22を含むメインのフィードバックループと同様に構成される。具体的には補助電流源60は、サブ検出抵抗Rs2、サブセンスアンプ62、サブ電流用A/Dコンバータ64、サブD/Aコンバータ66、サブバッファアンプ68、電流制御部70を備える。
サブ目標値設定部72は、補助電流ISUBの目標量を示すサブ目標値DREF_SUBを生成する。サブデジタル演算部74は、デジタルサブ電流観測値DM_ISUMがサブ目標値DREF_SUBと一致するよう、サブ制御値DSUBをデジタル演算処理によって生成する。サブデジタル演算部74は、減算器76およびコントローラ78を含み、デジタル演算部30と同様に構成される。コントローラ34およびコントローラ78の各係数、パラメータは、それぞれ同じであってもよいし、個別に最適化されてもよい。セレクタ80は、サブデジタル演算部74の出力と、電圧用A/Dコンバータ24からのデジタル電圧観測値DM_Vを受け、一方を選択する。具体的には、後述するトラッキング制御信号S2がアサートされる期間、デジタル電圧観測値DM_Vを選択する。
メイン検出抵抗Rs1は、M個の抵抗値が選択可能であり、抵抗RM1〜RMM、スイッチFSW1〜FSWM、スイッチSSW1〜SSWMを含む。サブ検出抵抗Rs2は、メイン検出抵抗Rs1と同じ回路トポロジーを有する。
補助電流源60は、メイン検出抵抗Rs1の抵抗値の切りかえの際に、以下の処理を実行する。
1. サブ目標値設定部72が、デジタルメイン電流観測値DM_Iをホールドする。
この際、サブ目標値設定部72は、デジタルメイン電流観測値DM_Iを複数回にわたりサンプリングし、それらを平均した値を、ホールドしてもよい。
4. サブ目標値設定部72が、サブ目標値DREF_SUBをホールドしたデジタルメイン電流観測値DM_Iからゼロに変化させる。これにより、補助電流ISUBが、電流Ixからゼロに向かって減少する。
補助電流源60は、メイン検出抵抗Rs1の抵抗値の切りかえの際に、以下の処理を実行する。通常状態における電流目標値DREF_Iの値を、DREF_NORMとする。
1. サブ目標値設定部72が、サブ目標値DREF_SUBをゼロから電流目標値DREF_Iの通常状態の値DREF_NORMまで増大させる。
このとき、メイン目標値設定部10は、関係式(1)を維持しつつ、電流目標値DREF_Iをその通常状態の値DREF_NORMからゼロまで低下させる。
DREF_I=DREF_NORM−DREF_SUB …(1)
3. サブ目標値設定部72が、サブ目標値DREF_SUBを値DREF_NORMからゼロまで低下させる。このときメイン目標値設定部10は、関係式(1)を維持しつつ、電流目標値DREF_Iをゼロからその通常状態の値DREF_NORMまで増大させる。
電圧供給モードあるいは電流供給モードにおいて、補助電流源60が補助電流ISUBの電流量を変化させるとき、サブ目標値設定部72は、サブ目標値DREF_SUBを緩やかに切りかえてもよい。これにより、補助電流源60が、メインの制御ループに及ぼす影響を軽減できる。
あるいは、サブデジタル演算部74を含むサブの制御ループの応答速度がある程度遅い場合には、サブ目標値設定部72は、サブ目標値DREF_SUBを瞬時に切りかえてもよい。この場合、フィードバックループの応答遅れによって、補助電流ISUBは緩やかに変化していく。
実施の形態では、トラッキング制御を、補助電流ISUBの生成の前後の一定期間のみ行うこととしたが、本発明はそれに限定されない。たとえば、通常期間を含めてトラッキング制御を行い、サブ電流ISUBを生成する期間のみトラッキング制御を無効化してもよい。
実施の形態では、補助電流源60がメイン目標値設定部10、デジタル演算部30、メインD/Aコンバータ40、メインバッファアンプ42、メインセンスアンプ44、メイン電流用A/Dコンバータ22を含むメイン電源と同じ構成である場合を説明したが、本発明はそれには限定されない。図7は、変形例に係る補助電流源60aを示す回路図である。図7の補助電流源60aは、サブ目標値設定部72、サブD/Aコンバータ66に加えて、V/I変換回路82を含む。V/I変換回路82は、サブ目標値DREF_SUBに比例した補助電流ISUBを生成する。当業者であれば、V/I変換回路82にさまざまな変形例が存在することが理解される。
実施の形態では、電圧供給モードと電流供給モードが切りかえ可能な電源装置100について説明したが、電圧供給モードのみ、あるいは電流供給モードのみで動作可能な電源装置にも本発明は適用可能である。
図4に示すメイン電流用A/Dコンバータ22およびサブ電流用A/Dコンバータ64は、単一のA/Dコンバータを時分割で共有してもよい。これにより回路面積を抑制できる。
Claims (18)
- 電源ラインを介してデバイスの電源端子に安定化された電源電圧を供給する電源装置であって、
前記電源電圧の目標レベルを示す電圧目標値を生成するメイン目標値設定部と、
前記デバイスの前記電源端子に供給される電源電圧に応じたアナログ電圧観測値をフィードバックラインを介して受け、前記アナログ電圧観測値をアナログ/デジタル変換してデジタル電圧観測値を生成する電圧用A/Dコンバータと、
前記デジタル電圧観測値が、前記電圧目標値と一致するように調節されるメイン制御値をデジタル演算処理によって生成するデジタル演算部と、
前記メイン制御値をデジタル/アナログ変換し、その結果得られるアナログの電源信号を、前記電源ラインを介して前記デバイスの電源端子に供給するメインD/Aコンバータと、
前記電源ラインの経路上に設けられ、その抵抗値が切りかえ可能なメイン検出抵抗と、
前記メイン検出抵抗の両端間の電圧にもとづき、前記電源ラインに流れる電源電流の電流量を示すアナログメイン電流観測値を生成するメインセンスアンプと、
前記アナログメイン電流観測値をアナログ/デジタル変換してデジタルメイン電流観測値を生成するメイン電流用A/Dコンバータと、
前記メイン検出抵抗の抵抗値を切りかえるときに、前記電源ラインとは別のサブ経路から、前記デバイスの電源端子に補助電流を供給する補助電流源と、
を備えることを特徴とする電源装置。 - 通常状態において前記補助電流はゼロであり、
前記メイン検出抵抗の抵抗値の切りかえの際に、シーケンサの制御にもとづいて、
前記メイン検出抵抗の抵抗値の切りかえに先立ち、前記メイン検出抵抗に流れる電流量を取得するステップと、
前記補助電流源が、取得された電流量の補助電流を生成するステップと、
前記メイン検出抵抗の抵抗値を切りかえるステップと、
前記補助電流源が、前記補助電流をゼロに戻すステップと、
を実行することを特徴とする請求項1に記載の電源装置。 - 前記補助電流源は、前記メイン検出抵抗に流れる電流量を取得するとき、前記デジタルメイン電流観測値を参照することを特徴とする請求項2に記載の電源装置。
- 前記補助電流源は、
前記サブ経路上に設けられたサブ検出抵抗と、
前記サブ検出抵抗の両端間の電圧にもとづき、前記補助電流の電流量を示すアナログサブ電流観測値を生成するサブセンスアンプと、
前記アナログサブ電流観測値をアナログ/デジタル変換してデジタルサブ電流観測値を生成するサブ電流用A/Dコンバータと、
前記サブ検出抵抗の一端に印加すべき電圧のレベルを示すサブ制御値を生成する電流制御部と、
前記サブ制御値をデジタル/アナログ変換し、その結果得られる信号を、前記サブ検出抵抗の一端に印加するサブD/Aコンバータと、
を含むことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の電源装置。 - 前記電流制御部は、
前記補助電流の目標量を示すサブ目標値を生成するサブ目標値設定部と、
前記デジタルサブ電流観測値が前記サブ目標値と一致するよう、前記サブ制御値をデジタル演算処理によって生成するサブデジタル演算部と、
を含むことを特徴とする請求項4に記載の電源装置。 - 前記メイン検出抵抗の抵抗値の切りかえの際に、シーケンサの制御にもとづいて、
前記サブ目標値設定部が、前記デジタルメイン電流観測値をホールドするステップと、
前記サブ目標値設定部が、前記サブ目標値を、ゼロからホールドした前記デジタルメイン電流観測値に変化させるステップと、
前記メイン検出抵抗の抵抗値を切りかえるステップと、
前記サブ目標値設定部が、前記サブ目標値を、ホールドした前記デジタルメイン電流観測値からゼロに変化させるステップと、
を実行することを特徴とする請求項5に記載の電源装置。 - 前記サブ経路は通常状態において遮断されており、
前記サブ経路は、前記補助電流源による前記補助電流の生成開始に先立ち、前記電流制御部が、前記デジタル電圧観測値と等しいサブ制御値を出力した状態で導通状態に切りかえられることを特徴とする請求項6に記載の電源装置。 - 前記サブ検出抵抗は、その抵抗値が切りかえ可能な可変抵抗であり、
前記メイン検出抵抗の抵抗値の切りかえの際に、前記サブ検出抵抗の抵抗値は、切りかえ前後の前記メイン検出抵抗の抵抗値のうち大きい方に設定されることを特徴とする請求項4に記載の電源装置。 - 前記メイン検出抵抗と前記サブ検出抵抗は、同じ回路トポロジーを有し、前記メイン検出抵抗がM値で切りかえ可能に構成され、前記サブ検出抵抗がM−1値で切りかえ可能に構成されることを特徴とする請求項8に記載の電源装置。
- 電源ラインを介してデバイスの電源端子に安定化された電源電流を供給する電源装置であって、
前記電源電流の目標量を示す電流目標値を生成するメイン目標値設定部と、
前記電源ラインの経路上に設けられ、その抵抗値が切りかえ可能なメイン検出抵抗と、
前記メイン検出抵抗の両端間の電圧にもとづき、前記電源ラインに流れる電源電流の電流量を示すアナログメイン電流観測値を生成するメインセンスアンプと、
前記アナログメイン電流観測値をアナログ/デジタル変換してデジタルメイン電流観測値を生成するメイン電流用A/Dコンバータと、
前記デジタルメイン電流観測値が前記電流目標値と一致するように調節されるメイン制御値をデジタル演算処理によって生成するデジタル演算部と、
前記メイン制御値をデジタル/アナログ変換し、その結果得られるアナログの電源信号を、前記電源ラインを介して前記デバイスの電源端子に供給するメインD/Aコンバータと、
前記デバイスの前記電源端子に供給される電源電圧に応じたアナログ電圧観測値をフィードバックラインを介して受け、前記アナログ電圧観測値をアナログ/デジタル変換してデジタル電圧観測値を生成する電圧用A/Dコンバータと、
前記メイン検出抵抗の抵抗値を切りかえるときに、前記電源ラインとは別のサブ経路から、前記デバイスの電源端子に補助電流を供給する補助電流源と、
を備えることを特徴とする電源装置。 - 通常状態において前記補助電流はゼロであり、
前記メイン検出抵抗の抵抗値の切りかえの際に、シーケンサの制御にもとづいて、
前記電源電流と前記補助電流の合計量を、前記電源電流の通常状態における目標量に保ちながら、前記補助電流源が、前記補助電流の電流量をゼロから前記電源電流の通常状態における目標量まで増加させるとともに、前記メイン目標値設定部が前記電流目標値を通常状態の値からゼロまで低下させるステップと、
前記メイン検出抵抗の抵抗値を切りかえるステップと、
前記電源電流と前記補助電流の合計量を前記電源電流の通常状態における目標量に保ちながら、前記補助電流源が前記補助電流の電流量を前記電源電流の通常状態における目標量からゼロまで低下させるとともに、前記メイン目標値設定部が、前記電流目標値をゼロから通常状態の値まで増大させるステップと、
を実行することを特徴とする請求項10に記載の電源装置。 - 前記補助電流源は、
前記サブ経路上に設けられたサブ検出抵抗と、
前記サブ検出抵抗の両端間の電圧にもとづき、前記補助電流の電流量を示すアナログサブ電流観測値を生成するサブセンスアンプと、
前記アナログサブ電流観測値をアナログ/デジタル変換してデジタルサブ電流観測値を生成するサブ電流用A/Dコンバータと、
前記サブ検出抵抗の一端に印加すべき電圧のレベルを示すサブ制御値を生成する電流制御部と、
前記サブ制御値をデジタル/アナログ変換し、その結果得られる信号を、前記サブ検出抵抗の一端に印加するサブD/Aコンバータと、
を含むことを特徴とする請求項10または11に記載の電源装置。 - 前記電流制御部は、
前記補助電流の目標量を示すサブ目標値を生成するサブ目標値設定部と、
前記デジタルサブ電流観測値が前記サブ目標値と一致するよう、前記サブ制御値をデジタル演算処理によって生成するサブデジタル演算部と、
を含むことを特徴とする請求項12に記載の電源装置。 - 前記メイン検出抵抗の抵抗値の切りかえの際に、シーケンサの制御にもとづいて、
前記電流目標値と前記サブ目標値の合計を、前記電流目標値の通常状態の値に保ちながら、前記サブ目標値設定部が、前記サブ目標値をゼロから前記電流目標値の通常状態の値まで増大させるとともに、前記メイン目標値設定部が、前記電流目標値をその通常状態の値からゼロまで低下させるステップと、
前記メイン検出抵抗の抵抗値を切りかえるステップと、
前記電流目標値と前記サブ目標値の合計を、前記電流目標値の通常状態の値に保ちながら、前記サブ目標値設定部が、前記サブ目標値を前記電流目標値の通常状態の値からゼロまで低下させるとともに、前記メイン目標値設定部が、前記電流目標値をゼロからその通常状態の値まで増大させるステップと、
を実行することを特徴とする請求項13に記載の電源装置。 - 前記サブ経路は通常状態において遮断されており、
前記サブ経路は、前記補助電流源による前記補助電流の生成開始に先立ち、前記電流制御部が、前記デジタル電圧観測値と等しいサブ制御値を出力した状態で導通状態に切りかえられることを特徴とする請求項14に記載の電源装置。 - 前記サブ検出抵抗は、その抵抗値が切りかえ可能な可変抵抗であり、
前記メイン検出抵抗の抵抗値の切りかえの際に、前記サブ検出抵抗の抵抗値は、切りかえ前後の前記メイン検出抵抗の抵抗値のうち大きい方に設定されることを特徴とする請求項12に記載の電源装置。 - 前記メイン検出抵抗と前記サブ検出抵抗は、同じ回路トポロジーを有し、前記メイン検出抵抗がM値で切りかえ可能に構成され、前記サブ検出抵抗がM−1値で切りかえ可能に構成されることを特徴とする請求項16に記載の電源装置。
- 被試験デバイスに対して電源を供給する請求項1から17のいずれかに記載の電源装置を備えることを特徴とする試験装置。
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