JPH0212066A - 測定用電源装置 - Google Patents

測定用電源装置

Info

Publication number
JPH0212066A
JPH0212066A JP63161099A JP16109988A JPH0212066A JP H0212066 A JPH0212066 A JP H0212066A JP 63161099 A JP63161099 A JP 63161099A JP 16109988 A JP16109988 A JP 16109988A JP H0212066 A JPH0212066 A JP H0212066A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
current consumption
current
power supply
mode
load
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP63161099A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshitaka Mori
芳孝 森
Motoi Yano
矢野 基
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Electronics Engineering Co Ltd filed Critical Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Priority to JP63161099A priority Critical patent/JPH0212066A/ja
Publication of JPH0212066A publication Critical patent/JPH0212066A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分1fコ この発明は、IC(集積回路、以下同じ)試験装置等の
試験・計測機器Uコ搭載される消′!R電流測定用の電
源装置に関し、特に、測定すべき消費電流の電流レンジ
の変動に応じて′直流検出用抵抗を切り換えることによ
って、 81ff定範囲に応じて消費電流を精度よく検
出できるようにしたことに関する。
[従来の技術] 一般的に、ディジタルICの消費電流は、無人力信号状
態と種々のパターン信号等が印加された状態とでは大き
く異なる。例えば、被測定ICの無人力信号状態(以下
、便宜的に無信号モードという)における消費電流が数
μAであるとき、パターン信号等が印加された状態(以
下、便宜的に動作モードという)における消費電流が数
mAから数10mAである。ICの消費電流を測定する
ための測定用電源装置では、電源供給ラインに適宜の電
流検出用抵抗を挿入し、該抵抗の電圧降下を測定するこ
とにより消費電流の検出を行う。従来のIC試験装置に
適用されていたそのようなa+11定用電源装置では、
被測定丁Cの無信号モードに対応する電流レンジで検出
しようとすると電流検出用の抵抗値が大きくなるので、
動作モードにおける消費電流の変動に該電源装置からの
電流供給が追従できず、被測定ICに供給する電源電圧
に変動を来すことになる。そのため、動作モードに対応
した電流レンジで検出するように電流検出用の抵抗値を
小さくしていた。
[発明が解決しようとする課題] 従って、従来のIC試験装置に適用されていた測定用電
源装置では、@作モードに対応する固定的な電流レンジ
で被測定ICの消費電流を検出していたため、該被測定
ICの無信号モードにおける微小電流を高精度で測定す
ることができなかった、という問題があった。
例えば、IC試験装置において、被測定ICの動作モー
ドに対応した電流レンジ(例えば、′IIi流検出相検
出用値が100Ω)。の測定用電源装置によって被測定
ICにIOVの直流電圧を印加して、該被測定ICの消
費電流を81す定するものとする。
被測定ICの動作モードにおける消費電流が5mAであ
ったとすると、該電源装置の電流検出用の抵抗値=10
0Ωによって 100ΩX5mA=0.5V の電圧降下が発生する。この0.5vの電圧降下により
消費電流5mAを測定することができる。
他方、無信号モードにおける消費電流を測定する場合、
該被測定ICの消費電流が5μAであったとすると J、00ΩX571!A:0.5mV の電圧降下しか発生しないので、この僅かな電圧降下0
.5mVを検出して無信号モードにおける正確な消費電
流を測定することは困難であった。
この発明は上述の点に鑑みてなされたもので。
測定すべき被測定装置の消費電流の電流レンジの変動に
応じて電流検出用抵抗を切り換えることにより、消費電
流を測定範囲に応じて精度よく検出するようにした消費
電流測定用の電源装置を提供しようとするものである。
前記電流検出用抵抗回路における電圧降下を測定するこ
とにより、前記被測定装置における消費電流に応じたデ
ータを検出する測定手段と、前記電源供給ラインに電g
電流を供給するものであり。
前記電流検出用抵抗回路を経由して前記被測定装置に印
加される電源電圧をフィードバックし、該フィードバッ
ク電圧が所定の基準電圧に一致するように該電源供給ラ
インに供給する電源電流を制御する電源供給手段ととを
具えたものであるゆ[課Mを解決する)−めの手段] この発明に係る直流電源装置は、被測定装置に電源を供
給すると共にその消費電流を検出するための測定用電源
装置であって、前記被測定装置に対する11i源供給フ
インに直列に挿入され、少なくとも小電流消費モードと
大電流消費モー1ごの2つの電流消費モー・−ドに対応
して、各電流消費モードに対応する所定の抵抗値に夫々
切り換えられるものであり、この抵抗値は消費電流が少
ないモードのものほど大きな値である電流検出用抵抗回
路と。
[作用] ′Iiz流検出相検出用抵抗回路測定装置aに対する電
源供給ラインに直列に挿入され、少なくとも小電流消費
モードと大電流消費モードの2つの電流消費モードに対
応して、各電流消費モードに対応する所定の抵抗値に夫
々切り換えられ、この抵抗値は消費電流が少ないモード
のものほど大きな値になる。測定手段では、電流検出用
抵抗回路における電圧降下を測定することにより、被測
定装置における消費電流に応じたデータを検出する。こ
のとき、電源供給手段では電源供給ラインに電源電流を
供給すると共に、電流検出用抵抗回路を経由して被測定
装置に印加される電源電圧をフィードバックし、該フィ
ードバック電圧が所定の基準電圧に一致するよ・)に該
電源供給ラインに供給する電源電流を制御する。
この発明に係る測定用電源装置につき、図示の実施例と
の対応を示せば1例えば、電流検出用抵抗回路は抵抗6
,7であり、測定手段はオペアンプ5及びアナログ/デ
ィジタル変換器22.電源供給手段はディジタル/アナ
ログ変換器21とオペアンプ1,2.4及びバッファア
ンプ3に相当する。スイッチlla、12a、12b、
13a。
13bは、被測定装置における消費電流レンジに応じて
オン若しくはオフするようになっている。
例えば、負荷】、5の消費電流レンジが小電流消費モー
ドのときスイッチ12b、13bがオンになり、オペア
ンプ1から抵抗6,7を介して負荷15に供給される電
源電流に応じて電流検出用抵抗回路である抵抗6,7の
両端に発生する電圧降下をオペアンプ5によって検出す
るのである。また、負荷]−5の消費電流レンジが大電
流消費モードのときスイッチlla、12a、3.3a
がオンになり、オペアンプ2及びアンプ3から抵抗6を
介して負荷15に供給される電源電流に応じて電流検出
用抵抗回路である抵抗6の両端に発生する電圧降下をオ
ペアンプ5によって検出するのである。
上述のように、測定すべき被測定装置の消!を電流の電
流レンジの変動に応じて電流検出用抵抗を切り換えるこ
とにより消費電流を検出するようにしたため、高精度の
測定が期待できる。
[実施例] 以下、添付図面を参照して本発明に係る電源袋置の実施
例を詳細に説明する。
図は本発明に係る測定用の電源装置の一実施例を示すブ
ロック図であり、本発明に直接関係する部分のみを示す
。この電源装置は大別して、制御部20とディジタル/
アナログ(以下、D/Aという)変換器21及びアナロ
グ/ディジタル(以下、A/Dという)変換器22と電
流測定部10などから成っている。なお、負荷15とし
ては消費電流を測定しようとするIC等の素子若しくは
種々の回路などが接続される。制御部20は、負荷15
に印加すべき基準電圧を指示するディジタルデータをD
/A変換器21に与えて、A/D変換器22から与えら
える検出電流値を示すディジタルデータの処理を行う。
D/A変換器21は、制御部20から与えらえるディジ
タルデータに基づきアナログの基準電圧Viを発生し電
流測定部10のオペアンプ(演算増幅器、以下同じ)1
゜2の入力に対して出力する。
電流測定部10は基準電圧Viを入力し、該基準電圧V
iに応じた電源電圧を負荷15に対して供給すると共に
該負荷15の消費電流を示す検出信号DiをA/D変換
器22に対して出力する。
該電流測定部10は、負荷15の消費電流モードに応じ
てスイッチlla、12a、12b、13a、13bを
切り換えることにより消費′a流流出出用抵抗値を切り
換えるようになっている。各スイッチlla、12a〜
L3bは、負荷15の消費電流が比較的大きい場合つま
り大電流消費モードの場合にはlla、12a、13a
が夫々オンになり、該消費電流が比較的小さい場合つま
i、)小電流消費モードの場合には12b、13bが夫
々オンになるよう切換制御される。これにより、端子F
を介して負荷15に電源を供給する電源供給ラインに直
列に挿入される消費電流検出用の抵抗が、後述のように
、大電流消費モードでは抵抗6のみの小さな抵抗値にな
り、小電流消費モードでは抵抗6と抵抗7を直列に接続
した大きな抵抗値となる。
大電流消費モードつまり前述の動作モードにおいて、負
荷15の消費電流を測定する場合、D/A変換器21か
らオペアンプ2の一方の入力(+入力)に与えられた基
準電圧Viは、該オペアンプ2の出力からバッファアン
プ3によって電流バッファリングされた後に、スイッチ
llaと抵抗6を介して端子Fから電源電圧Voとして
負荷15に印加される。この抵抗6の一端にはスイッチ
13aを介してオペアンプ5の一方の入力(十人力)が
接続されており、該抵抗6の他端にはオペアンプ5の他
方の入力(−人力)が接続されている。
負荷15に印加された電源電圧Voは、端子Nからフィ
ードバック電圧vhとしてオペアンプ4とスイッチ11
を介してオペアンプ2の他方の入力(−人力)にフィー
1(バックされる。すなわち、これらオペアンプ2とバ
ッファアンプ3、スイッチlla、抵抗6.オペアンプ
4、スイッチ]2aによる閉ループが構成され、電源電
圧V o =フィードバック電圧vhを基準電圧Viと
同じ電圧になるようにしている。つまり、抵抗6を介し
て負荷15に印加される電流と該抵抗6の抵抗値に応じ
た電圧降下が発生するため、電源電圧Voを所定の基準
電圧Viと同じ電圧になるように補正するのである。
スイッチ13aをオンすることによってオペアンプ5の
+、−人力に抵抗6の両端を接続し、この抵抗6の両端
に発生する電圧降下を該オペアンプ5によって検出する
。該検出電圧D1はA/D変換器22に与えられる。A
/D変換器22は、アナログの該検出電圧D1をディジ
タルデータに変換し制御部20に送出する。この検出電
圧Diを示すディジタルデータは、制御部20において
該負荷15の消費電流を示すデータとして処理される。
一方、小電流消費モードつまり前述の無信号モードにお
いて、負荷15の消費電流を測定する場合、D/A変換
器21.からオペアンプ1の一方の人力に与えられた基
準電圧V1は、該オペアンプlの出力から抵抗7及び抵
抗6の直列回路を介しで端f−Fから電源電圧Voとし
て負荷15に印加される。スイッチJ、3bをオン、1
3aをオフすることによりオペアンプ5の+、−人力に
抵抗7゜6の直列回路による電圧降下を夫々印加し、該
直列抵抗回路7,6による電圧降下をオペアンプ5にお
いて検出する。この検出電圧Diは前述と同様にA/D
変換器22を介して制御部20に与えられる。
負荷1,5に印加された電源゛電圧Voは、端子Nから
フィードバック電圧vhとしてオペアンプ4とスイッチ
12bを介してオペアンプ1の他方の入力にフィードバ
ックされる。すなわち、これらの構成はオペアンプ】、
と抵抗7及び抵抗6、オペアンプ4、スイッチ12bに
よる閉ループが構成され、電源電圧V o =フィード
バック電圧vhを基準電圧Viと同じ電圧になるように
補正する機能を有する。つまり、抵抗7及び抵抗6を介
して負荷15に印加される電流と該抵抗6,7の合計抵
抗値に応じた゛電圧降下が発生するため、電源電圧Vo
を所定の基i!!4圧Viと同じ電圧に補正するのであ
る。
次に1以上の構成における具体例を説明する。
例えば、ディジタルICを負荷として消費電流を測定す
る場合、無信号モードにおける消費電流が数μAであり
動作モードにおける消費電流が数mAの被測定ICであ
るとき、該ICに印加すべき電源電圧Voが10vであ
るとする。制御部20からD/A変換器21に対して基
準電圧V i = 10■を発生するようにディジタル
データが出力され、該D/A変換器21から電流測定部
10に対して基準電圧V i、 = l OVが与えら
れる。
無信号モードにおける被測定ICの消費電流を測定する
場合、電流測定部10の電流レンジは小電流消費モード
に設定され、電源電圧はオペアンプ1、抵抗7,6を介
し℃負荷ICl3に与えられる。抵抗7が100にΩで
、抵抗6が100Ωとし、消費電流が5μAであるとす
ると、抵抗7及び抵抗6によって生じる電圧降下は。
(100kΩ+1.、 OOΩ)X5μA40.5Vで
ある。
また、動作モードにおける被測定ICの消費電流を測定
する場合、電流測定部10の電流レンジは大電流消費モ
ードに設定され、電源電圧はオペアンプ2.抵抗6を介
して負荷ICl3に与えられる。このとき、消費電流が
5mAであるとすると、抵抗6によって生じる゛電圧降
下は。
100ΩX5mA=0.5V である。
このように、この消費電流all定川の用、′を源装置
によれば、負荷15によりて消費される電流の変動に応
じて適宜の電流レンジに切り換えることができるため、
大/小電流消費モードのいづれにおける測定でも同様な
精度で消費電流を検出することができる。
なお、スイッチlla〜13bの切換制御は、制御部2
0の制御によって行うことが可能であり、該制御部20
が現在どのモードでスイッチlla〜13bをオン設定
しているかに応じて、そのときの消費電流検出用抵抗値
に応じた係数をA/D変換器22から与えら九る消費電
流検出データレ二対して掛けることにより、消費電流の
絶対値が判明する。
また、A/D変換器22の出力データに応じて制御部2
0によりスイッチlia〜13bの切換制御つまりモー
ド切換制御を自動的に行うことも可能である。例えば、
通常は大電流消費モードに設定しておき、A/D変換器
22の出力データが極端に小さくなったとき小電流消費
モードに切り換わったと判断してスイッチ11. a〜
1:3bの状態を小電流消費モードに自動的に切り換え
るようにすればよい。また、小電流消費モードに設定さ
れでいるときにA/D変換器22の出力データが極端に
大きくなったならば大電流消費モードに切り換わったと
判断してスイッチ1]7a〜13bの状態を大電流消費
モードに自動的に切り換えるようにすればよい。
なお、この実施例では大電流モードと小電流モードの2
つの電流消費モードに応じて消費電流検出用の抵抗値を
切り換えるようにしているが、必要に応じて33以上の
電流消費モー ドに対応して消’Ik ′it流検流用
出用抗値を切り換えるようにしてもよい。
また、この実施例では電流検出用の抵抗6.7に可変型
の抵抗を用いているが、測定電流に対応して適宜の電圧
降■を生じる抵抗値を示すものであるなら、可変抵抗に
限らず他の素子であってもよい。
また、この実施例では、大電流モードを構成する回路に
電流バッファとしてバッファアンプ3を設け、また、小
電流モードを構成する回路には専用の電流バッファアン
プを設けていないが、各モードに応じた電源電流を負荷
15に供給できる機能を有する回路構成であれば本実施
例に限定されるものではない。
ァアンプ、6.7・・消費電流検出用抵抗、1.0・・
・電流測定部、I L a ” 13 a 、 l 2
 b 、 13 b −モード切換スイッチ、15・・
・負荷、20・・・制御部、21・・ディジタル/アナ
ログ変換器、22・・・アナログ/ディジタル変換器。
[発明の効果] 以上の通り、この発明に係る測定用電源装置によれば、
測定すべき消費電流の電流レンジの変動に応じて電流検
出用の抵抗を切り換えることにより消費電流を測定範囲
に応じて精度よく検出することができるようになる。と
いう優れた効果を奏する。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 被測定装置に電源を供給すると共にその消費電流を検出
    するための測定用電源装置であって、前記被測定装置に
    対する電源供給ラインに直列に挿入され、少なくとも小
    電流消費モードと大電流消費モードの2つの電流消費モ
    ードに対応して、各電流消費モードに対応する所定の抵
    抗値に夫々切り換えられるものであり、この抵抗値は消
    費電流が少ないモードのものほど大きな値である電流検
    出用抵抗回路と、 前記電流検出用抵抗回路における電圧降下を測定するこ
    とにより、前記被測定装置における消費電流に応じたデ
    ータを検出する測定手段と、前記電源供給ラインに電源
    電流を供給するものであり、前記電流検出用抵抗回路を
    経由して前記被測定装置に印加される電源電圧をフィー
    ドバックし、該フィードバック電圧が所定の基準電圧に
    一致するように該電源供給ラインに供給する電源電流を
    制御する電源供給手段と を具えた測定用電源装置。
JP63161099A 1988-06-30 1988-06-30 測定用電源装置 Pending JPH0212066A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63161099A JPH0212066A (ja) 1988-06-30 1988-06-30 測定用電源装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63161099A JPH0212066A (ja) 1988-06-30 1988-06-30 測定用電源装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0212066A true JPH0212066A (ja) 1990-01-17

Family

ID=15728585

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63161099A Pending JPH0212066A (ja) 1988-06-30 1988-06-30 測定用電源装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0212066A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007127568A (ja) * 2005-11-07 2007-05-24 Advantest Corp 測定装置及び測定方法
CN102303772A (zh) * 2011-06-22 2012-01-04 美的集团有限公司 家用电器的自动添加装置
JP2014010010A (ja) * 2012-06-28 2014-01-20 Advantest Corp 試験装置用の電源装置およびそれを用いた試験装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007127568A (ja) * 2005-11-07 2007-05-24 Advantest Corp 測定装置及び測定方法
CN102303772A (zh) * 2011-06-22 2012-01-04 美的集团有限公司 家用电器的自动添加装置
JP2014010010A (ja) * 2012-06-28 2014-01-20 Advantest Corp 試験装置用の電源装置およびそれを用いた試験装置
KR101450459B1 (ko) * 2012-06-28 2014-10-14 가부시키가이샤 어드밴티스트 시험 장치용의 전원 장치 및 이를 이용한 시험 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6229301B1 (en) Electronic circuit and method for a dimension-measuring device
US20070103174A1 (en) Direct current test apparatus
JPWO2004053507A1 (ja) 電圧印加電流測定装置及びそれに使用されるスイッチ付き電流バッファ
JPH06313718A (ja) 位置検出回路
JPH0212066A (ja) 測定用電源装置
JP2001004692A (ja) 半導体試験装置
US9778067B2 (en) Sensing a physical quantity in relation to a sensor
KR102600553B1 (ko) 부하 전류 검출 장치
JP4216286B2 (ja) 電流計測回路及びその集積回路素子
US11803203B2 (en) Current sensor with multiple channel low dropout regulator
JP2000214222A (ja) 電源回路
JPH05149977A (ja) 熱電型交直流変換器の交直差比較装置
US20020171474A1 (en) Offset control of an operational amplifier
JPS59208472A (ja) インピ−ダンス変化測定回路
JPH057583Y2 (ja)
JPH0212074A (ja) Ic試験装置における測定用電源装置
US10620237B2 (en) Power supply
JP3562703B2 (ja) 計測装置
JP3751822B2 (ja) 電源装置
JP2948633B2 (ja) 半導体装置の電圧測定方法
JPS649594B2 (ja)
JP2000180500A (ja) 電源出力電流検出装置
JP2813669B2 (ja) 実効電力・直流電圧変換回路
JP3216182B2 (ja) 電子方位計
JPH0524222Y2 (ja)