JP5037575B2 - オートレンジ電流検知回路 - Google Patents

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Description

本発明は、電気計測装置に関し、特に、電流を測定するのに使用されるオートレンジ変更回路に関するものである。
電流を定める従来方法、所謂フィードバック方法が図4に示されている。被試験物の如き負荷装置(DUT)100は、増幅器101の出力部から電流Ioutを取り出す。電流Ioutは、抵抗器102の両端間に電圧VIを発生する。電流Ioutは、電圧VIに比例し、抵抗器102間の電圧VIの測定に基づいて定められる。
増幅器101の飽和電圧は、図4の回路を用いて正確に測定することができる電流Ioutのレベルを制限する。電圧VIがDUT100によって取り出された増加電流Ioutによって上昇するにつれて、増幅器101の飽和電圧に接近する。増幅器101のフィードバック回路内やフィードバック回路外に選択的に切り替えることができる追加抵抗器を追加すると、増幅器101の飽和電圧より低い所望の電圧レンジ内に電圧VIを維持しつつ、電流レンジを測定することができる。このような回路が図5に示されている。複数のスイッチ104a、104b、104cは、それぞれ、増幅器の101のフィードバック回路の内外に抵抗器Ro106、Rl108及びRn110を切り替える。各抵抗器106、108、110は、それぞれ、それが電流Ioutの特定のレンジであろうがなかろうが、所望のレンジ内の電圧測定を行うような大きさとなっている。スイッチ104a、104b、104cは、選択的に起動されて、電流Ioutのレベルに基づいて、抵抗器106、108、110をフィードバック回路の内外に切り替える。典型的には、1つの抵抗器106、108、110のみが一度にフィードバック回路内に切り替えられる。電流Ioutが増加する場合、小さい方の抵抗器がフィードバック回路に切り替えられ、大きい方の抵抗器がフィードバック回路から切り外されて、電圧VIを所望のレンジ内に維持する。しかし、増幅器101は、小さい方抵抗器がフィードバック回路に切り替えられる前に飽和することがあり、これは、望ましくない。電流Ioutが減少する場合、大きい方の抵抗器がフィードバック回路に切り替えられて小さい方の抵抗器がフィードバック回路から切り外される。大きい方の抵抗器をフィードバック回路に切り替えると、増幅器101の出力部で電圧VIの突然変化が必要となり、その結果、回路の出力ノード112(Vout)で望ましくないグリッチが生ずることになる。
特開昭63−82377号公報 特公平10−10162号公報
本発明が解決しようとする課題は、出力ノードで電圧グリッチが生ずることがないオートレンジ変更回路を提供することにある。
所望のレンジを有する測定装置用のレンジ変更回路は、段階的に値が異なる(graduated)多数のインピーダンス群を含んでいる。第1の増幅器は、このインピーダンス群の少なくとも1つのインピーダンスに電圧を供給する。電圧検知兼制限スイッチが第1の増幅器のフィードバック経路に設けられている。このスイッチは、それによって検知される検知電圧に応答してこの少なくとも1つのインピーダンスに供給される電圧を制限する。所望のレンジの電圧は、スイッチの動作に基づいてインピーダンス群の他の異なる1つのインピーダンスの両端に現われる。所望のレンジの電圧が前記の他の異なった1つのインピーダンスに現れると、第2の増幅器は、スイッチの動作に基づいて、この他の異なった1つのインピーダンスに電流を供給する。
被試験物上で測定を行なうための測定系統は、第1の動作モードで被試験物に電圧信号を供給したり第2の動作モードで被試験物に電流信号を供給したりして選択する電源測定ユニット(ソース測定ユニット)(source−measure unit)を含んでいる。この測定系統は、所望の電圧レンジを有する自動レンジ変換用の電流・電圧コンバータ回路を含んでいる。このコンバータ回路は、値が順次変化する多数のインピーダンス群と、このインピーダンス群のうち少なくとも1つのインピーダンスに電圧を供給する第1の増幅器と、第2の増幅器と、第1の増幅器のフィードバック経路に設けられた電圧検知兼制限スイッチとを有している。このスイッチは、それによって検知された検知電圧に応答して前記の少なくとも1つのインピーダンスに供給される電圧を制限する。所望の電圧レンジの電圧は、スイッチの動作に基づいて、インピーダンス群の他の異なる1つのインピーダンスの両端に現われる。所望の電圧レンジの電圧が前記の他の異なる1つのインピーダンスの両端に現れると、スイッチの動作に基づいて、第2の増幅器は、前記の他の1つのインピーダンスに電流を供給する。
所望のレンジを有するフィードバック型電流測定装置用の自動レンジ変更回路は、一連の連続する関係で多数のインピーダンス素子群を含んでいる。これらのインピーダンス素子のインピーダンス値は、上流側の高い値から下流側の低い値までの次第に変化する範囲を有する。この回路は、インピーダンス素子群のうち少なくとも2つのインピーダンス素子の各々の電圧検知ドライバーを含んでいる。このドライバーによって電圧制限が検知されない限り、上流側のドライバーは、そのそれぞれのインピーダンスといずれかの下流側のインピーダンスとを経て電流を駆動する。電圧制限が検知されると、次の下流側のドライバーはオフモードから切り替わってそれぞれのインピーダンス及びいずれかの下流側インピーダンスを経て電流を駆動し、それによって回路は、所望のレンジを付与する。
一例としての自動レンジ回路の回路図である。 他の例としての自動レンジ回路の回路図である。 自動レンジ回路を有する一例としての電源-測定ユニットの回路図である。 先行技術による装置の回路図である。 先行技術による装置の回路図である。
本発明は、電気計測装置に関し、特に種々のレベルの電流を定めるのに用いられる自動レンジ変更回路に関するものである。本発明を図面を参照して以下に述べるが、全体を通じて同様の素子には同様の参照符号が用いられている。本発明を完全に理解することができるようにするため、以下の記述では、本発明の説明の目的のために、多数の特定の詳細な記載がある。しかし、本発明がこれらの特定の記載がなくても実施することができることは、明白である。更に、本発明の他の実施例は可能であり、また、本発明は、ここに記載された方法以外の方法で実施することができる。本発明を記載するのに用いられる用語や語法は、本発明の理解を促進する目的で使用され、これに制限されるべきではない。
DUT2によって取り出される電流Ioutを所望のレンジ内の電圧に変換する2−レンジフィードバック型オートレンジ回路1が図1に示されている。2つの抵抗器Rl(4)、R0(6)がインピーダンス群を形成し、一連の連続する関係にある。実施例では、抵抗器の値は等式:R1(k1-1)R0によって定められ、この式において「 1 」は、各抵抗器4、6で測定されるべき電流レンジの比率である。抵抗器R1(4)は、抵抗器R0(6)よりも大きく、低い電流レンジを付与する。抵抗器R1(4)の両端に現われる電圧又は抵抗器R1(4)とR0(6)との両方を横切って現れる電圧V I1は、低いレンジの電流レベル用DUT2の電流を定めるように測定される。抵抗器R0(6)は、高い電流レンジを付与する。また、抵抗器R0(6)を横切って現れる電圧V I0は、高レンジの電流レベル用のDUT2の電流を定めるように測定される。
DUT2を流れる電流Ioutは、回路1の出力ノード8から流れる。出力ノード8の電圧Voutは、約0ボルトであると認められる。
電流Ioutが低レンジから高レンジに増加するときに生ずるオートレンジ動作を述べると、DUT2によって引き出される電流が増加すると、出力ノード8で電圧Voutが低下する。反転用増幅器10は、電圧Voutの反転バージョンの電圧Voutを増幅器12の非反転入力に供給する。Voutが減少すると、反転用増幅器10の出力が増加する。反転用増幅器10の出力が増加すると、増幅器12の出力の電圧V I1が増加し、その結果、抵抗器Rl(4)及び抵抗器Ro(6)を流れる電流が増加させられる。抵抗R1、R0を流れる電流が増加すると、出力ノード8の電圧Voutは、約0ボルトに戻るように駆動される。電圧V10も増加するが、これは、電圧V I1 の変化の1/kでのみある。
他の増幅器14が寄せ集めノード16で増幅器12の反転用入力に接続される非反転入力を有する。増幅器14の反転用入力は、地に接続される。(本明細書で使用されているように「地」という用語は、回路の基準ポテンシャルを意味し、「アース」の電位であってもよいし、そうでなくてもよい)。回路1が低い電流レンジで作動する場合、寄せ集めノード16は、仮想地であり、増幅器14の出力部から反転用増幅器18、抵抗器R2(20)を経てフィードバック制御される。
上記したように、VoutがDUT2によって引き出される電流の増加によって減少すると、V I1とV I0との両方の電圧レベルが増加する。V I0が増加すると、バッファー22は、抵抗器R2(24)を経て寄せ集めノード16に電流を流れ込ませる。反転用増幅器18は、抵抗器R2(20)を経て寄せ集めノード16から等しい電流を引き込む。寄せ集めノード16にバランスされた電流が入ったり出たりすると、増幅器14の出力は、電圧V I0と等しい電圧レベルを有することになることが認識されるべきである。従って、増幅器14の出力部に接続されているダイオード対30間の電位差がないので、このダイオード対30が保護される。
ツェナーダイオード対32は、増幅器12の出力部とその反転用入力部との間でこの増幅器12のフィードバック経路となるように配置されている。電流Ioutが増加し続けると、増幅器12の出力部の電圧V I1は、ツェナーダイオード対32のクランプ電圧に達するまで増加する。ツェナーダイオード対32は、抵抗器R1に供給される電圧V I1を検知しこの電圧V11がツェナークランプ電圧に達した時に、オンに切り替えることによって電圧V I1を制限する。電圧V I1がクランプ電圧に等しく、ツェナーダイオード対32がオンに切り替わると、増幅器12は、寄せ集めノード16を制御し、この寄せ集めノード16を反転用増幅器10の出力と等しい電圧レベルに強制的にする。増幅器14が出力を増加すると、遂に、この増幅器はダイオード対30をターンオンし、抵抗器R0(6)を経てDUT2に電流を供給し始め、それによって出力ノード8で電圧Voutが制御される。増幅器12が寄せ集めノード16を制御し、増幅器14がDUT2に電流を供給すると、回路1は、オートレンジ動作を行って低レンジから高レンジに切り替える。この時、電圧V I0は、所望のレンジにあり、この電圧V10が電圧V I1に代わって測定されてDUT2の電流を定めることができる。回路1によって行なわれるオートレンジ動作によって、出力ノード8で電圧グリッチの発生が生ずることがありそうにない。
ツェナーダイオード対32は、電圧検知兼制限スイッチの1つの例である。電圧検知兼制限スイッチの他の形式は、電圧制御トランジスター又はソリッドステートリレーの如きもので増幅器12のフィードバック経路に設けられる。
オートレンジ回路1は、抵抗器R1(4)及びR0(6)の各々に電圧検知ドライバーを付与することが認識されるべきである。抵抗器R1(4)用のドライバーは、電圧制限がこのドライバーによって検知されない限り、抵抗器R1(4)、その下流の抵抗器R0(6)、DUT2を経て電流を駆動する。抵抗器R1(4)用のドライバーによって電圧制限が検知されると、回路1は、オートレンジ動作を行い、抵抗器R0用ドライバーは、抵抗器R0(6)に電流を供給しない「オフモード」から切り替わり、DUT2を「オンモード」にする。抵抗器R0用ドライバーが「オンモード」に切り替わると、このドライバーは、抵抗器R0(6)及びDUT2を流れる電流を駆動する。ダイオード対30を横切る電位差がない「オフモード」の時に、抵抗器R0(6)用ドライバーは、保護される。
上記したように、図1に示される回路1は、2―レンジの電流測定を行う。図2を参照すると、オートレンジ回路1内のサブ回路34を所望の通りのコピーすることによって、追加のレンジの電流測定を行うことができることが認識されるべきである。図2の回路は、値が順次変化する多数のインピーダンス、例えば値が順次増加する抵抗器35、36、37から成るインピーダンス群を含み、この値は、R s+n =(kn−kn-1 s の如き式で定めることができる。この式において、「k」は、各抵抗器35、36、37で測定されるべき電流レンジの比率である。抵抗器35は、インピーダンス群の最大の抵抗器であり、インピーダンス群及びDUT2を流れる電流に対して抵抗器36、37の上流側に位置する。抵抗器37は、インピーダンス群の中で最も小さな抵抗器であり、抵抗器35、36の下流側に位置する。インピーダンス群内に現われた電圧は、DUT2の電流を決定するために監視することができる。また、インピーダンス群は、オートレンジによって電圧を所望のレンジ内に維持する。高い電流レンジは、抵抗器37によって付与され、低い電流レンジは、抵抗器35によって付与される。中間の電流レンジは、抵抗器36によって付与される。オートレンジ回路1内にサブ回路34をコピーすることによって更に追加の中間の電流レンジを付与することができる。
図3を参照すると、ソース−測定ユニット(又は電源-測定ユニット)(SMU)38の一例が示されている。SMU38は、第1の動作モードでDUT2に電圧信号を供給し、第2の動作モードでDUT2に電流信号を供給する。SMU 38の動作モードは、2つの単極双投(フォームC)スイッチ40a、40bの状態によって決定される。フォームCスイッチ40a、40bが図3に示されるような下方位置にあると、SMU38は第1の動作モードにあって電圧源39によってDUT2に電圧信号を強制する。フォームCスイッチ40a、40bが上向位置にあると、SMU38は、第2の動作モードにあって電流源41によってDUT2に電流信号を強制的に流す。
図示のように、SMU38は、第1の動作モードの時に電流を電圧に変換する3−レンジオートレンジ回路を含んでいる。3−レンジのオートレンジ回路は、SMU38によって使用するためのオートレンジ回路の一例である。オートレンジ回路は、追加のレンジサブ回路によってどんな数の測定レンジでも提供することができることが認識されるべきである。
SMU38が第1の動作モードにある時、DUT2によって引き出される電流Ioutは、抵抗器35、36、37のインピーダンス群内に現れる電圧V1、V2、V3を測定することによって決定することができる。測定されるべき電圧V1、V2又はV3は、電流Ioutが属するレンジ(例えば、高、中又は低のレンジ)に基づく。電流Ioutが高いレンジにある時、電圧V1が所望のレンジにあり、電流Ioutが中レンジにある時、電圧V2が所望のレンジにあり、電流Ioutが低レンジにある時、電圧V3が所望のレンジにある。抵抗器35、36、37で電圧測定を直接行う必要はないが、ノード42(バッファー44の出力部)及びノード46(バッファー48の出力部)のように、抵抗器で電圧の仮想バージョンを有するノードで電圧測定を行うことができることが認識されるべきである。
SMU38が第2の動作モードにあり、DUT2を流れる電流信号を供給している場合には、オートレンジは望ましくない。SMU38が第2の動作モードにある時に、ツェナーダイオード対32を短絡させるためにツェナーダイオード対32に電気的に並列であるスイッチ50が設けられている。このスイッチ50は、電流を供給している場合に、SMU38の一定レンジ動作の準備をする。SMU38の電流ソース(電流源)41がダイオード30に電流を流して電流を制御する必要がないように、スイッチ52がダイオード対30を横切って設けられている。ツェナーダイオード対32及びダイオード30を短絡させることができると、電流ソース41が一定の帯域幅を維持することができるようになる。
実施例では、Ognd電源から力が供給されるバッファー54、56を除いて、SMU38のすべてのアクティブ回路素子がFgnd電源から力が供給される。
この開示が例示的であり、種々の変更が、この開示に含まれる教示の適正な範囲を逸脱することなく、細部を付加したり、修正したり、削除したりすることにより、種々の変更を行なうことができることは明白である。従って、本発明は、以下の請求項が必然的に限定することを除いてこの開示の特定の細部に限定されるものではない。
オートレンジ変更回路の異なる電流レンジを付与するインピーダンス素子のフィードバックの切り替え時に出力ノードで電圧グリッチが生ずることがなく、種々のレンジの電流測定に好適である。
1 回路
2 被試験物(DUT)
4、6、20、24、35、36、37 抵抗器
8 出力ノード
10 反転増幅器
12、14 増幅器
16 寄せ集めノード
30 ダイオード対
32 ツェナーダイオード
34 サブ回路
38 電源―測定ユニット(SUM)
40a、40b スイッチ
41 電流源
46 ノード
44、48、54、56 バッファー

Claims (1)

  1. 所望のレンジを有する測定器用レンジ変更回路であって、
    段階的に値が異なる複数のインピーダンスの直列接続から成り、一端が負荷装置に接続されたインピーダンス群と、
    前記インピーダンス群のうち少なくとも1つの前記インピーダンスに電圧を供給する第1の増幅器と、
    前記第1の増幅器の出力部及び反転入力部の間のフィードバック経路に設けられた電圧検知兼制限スイッチと、
    非反転入力部が前記第1の増幅器の反転入力部に接続され、出力部が前記インピーダンス群の内の異なる1つのインピーダンスにダイオードを介して接続された第2の増幅器と、
    入力部が前記インピーダンス群の前記一端に接続され、出力部が上記第1の増幅器の非反転入力部に接続された第3の反転増幅器とを備え
    前記電圧検知兼制限スイッチよって検知される前記少なくとも1つのインピーダンスの電圧がクランプ電圧に達すると前記電圧検知兼制限スイッチがオンに切り替わって前記少なくとも1つのインピーダンス電圧を制限すると共に前記第2の増幅器の出力電圧が増加して前記ダイオードをオンとして前記異なる1つのインピーダンスの両端間に現れる電圧を所望レンジ内とし、前記第2の増幅器前記なる1つのインピーダンスに電流を供給することを特徴とするレンジ変更回路。
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