JP2001041997A - 電源電流測定装置 - Google Patents
電源電流測定装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】高速な試験に適した電源電流測定装置を提供す
る。 【解決手段】電気部品５０に所定の電圧を供給し、電気
部品５０に流れる電流を測定するための電源電流測定装
置であって、電気部品５０が動作するのに十分な電流を
電気部品５０に供給する第一の電源回路６０と、十分な
電流よりも少ない電流を電気部品５０に供給する第二の
電源回路７０と、第一の電源回路６０と電気部品５０と
の間に設けられたスイッチ２８と、一端が電気部品５０
及びスイッチ２８に接続され、他端が接地された第一の
コンデンサ３２とを備える。
る。 【解決手段】電気部品５０に所定の電圧を供給し、電気
部品５０に流れる電流を測定するための電源電流測定装
置であって、電気部品５０が動作するのに十分な電流を
電気部品５０に供給する第一の電源回路６０と、十分な
電流よりも少ない電流を電気部品５０に供給する第二の
電源回路７０と、第一の電源回路６０と電気部品５０と
の間に設けられたスイッチ２８と、一端が電気部品５０
及びスイッチ２８に接続され、他端が接地された第一の
コンデンサ３２とを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電気部品に所定の
電圧を供給し、電気部品に流れる電流を測定するための
電源電流測定装置に関する。特に、本発明は、高速な試
験に適した電源電流測定装置に関する。
電圧を供給し、電気部品に流れる電流を測定するための
電源電流測定装置に関する。特に、本発明は、高速な試
験に適した電源電流測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】大規模集積回路（ＬＳＩ）などの電気部
品には、主にＣＭＯＳ構造のトランジスタが用いられて
いる。ＣＭＯＳ構造のトランジスタを用いたデバイスで
は、入力論理データを変化させる時、すなわち動作状態
では大きな電源電流が流れ、入力論理データが変化しな
い状態、すなわち静止状態ではごく微小な電源電流が流
れる。故障したＣＭＯＳトランジスタにおいては、静止
状態の微小電源電流の値が異常を示す。この現象を利用
して、様々な入力論理データを順次入力した後の静止状
態における電源電流の値を測定することによって、ＣＭ
ＯＳデバイスの故障を発見することができる。
品には、主にＣＭＯＳ構造のトランジスタが用いられて
いる。ＣＭＯＳ構造のトランジスタを用いたデバイスで
は、入力論理データを変化させる時、すなわち動作状態
では大きな電源電流が流れ、入力論理データが変化しな
い状態、すなわち静止状態ではごく微小な電源電流が流
れる。故障したＣＭＯＳトランジスタにおいては、静止
状態の微小電源電流の値が異常を示す。この現象を利用
して、様々な入力論理データを順次入力した後の静止状
態における電源電流の値を測定することによって、ＣＭ
ＯＳデバイスの故障を発見することができる。
【０００３】図１は、従来の試験装置に用いられている
電源電流測定装置の構成を示す。従来の電源電流測定装
置は、演算増幅器１０、参照電圧電源１２、負帰還回路
１４、微少電流測定用抵抗器２０、大電流測定用抵抗器
２２、位相補償コンデンサ２４、電流測定レンジ切り換
え用スイッチ２６、バイパスコンデンサ３２、小容量バ
イパスコンデンサ３４、及びバイパスコンデンサ用スイ
ッチ３０を備える。参照電圧電源１２は、被試験部品５
０に供給すべき直流電圧と等しい電圧を演算増幅器１０
の非反転入力端子に供給する。演算増幅器１０の出力電
圧は、並列に接続された微少電流測定用抵抗器２０、大
電流測定用抵抗器２２、及び位相補償コンデンサ２４を
介して被試験部品５０に供給される。被試験部品５０に
供給される電圧は、負帰還回路１４を介して演算増幅器
１０の反転入力端子に負帰還される。バイパスコンデン
サ３２及び小容量バイパスコンデンサ３４は、被試験部
品５０の近傍に並列接続される。大電流測定用抵抗器２
２及びバイパスコンデンサ３２は、それぞれ、電流測定
レンジ切り換え用スイッチ２６及びバイパスコンデンサ
用スイッチ３０によって回路から切り離されることがで
きる。
電源電流測定装置の構成を示す。従来の電源電流測定装
置は、演算増幅器１０、参照電圧電源１２、負帰還回路
１４、微少電流測定用抵抗器２０、大電流測定用抵抗器
２２、位相補償コンデンサ２４、電流測定レンジ切り換
え用スイッチ２６、バイパスコンデンサ３２、小容量バ
イパスコンデンサ３４、及びバイパスコンデンサ用スイ
ッチ３０を備える。参照電圧電源１２は、被試験部品５
０に供給すべき直流電圧と等しい電圧を演算増幅器１０
の非反転入力端子に供給する。演算増幅器１０の出力電
圧は、並列に接続された微少電流測定用抵抗器２０、大
電流測定用抵抗器２２、及び位相補償コンデンサ２４を
介して被試験部品５０に供給される。被試験部品５０に
供給される電圧は、負帰還回路１４を介して演算増幅器
１０の反転入力端子に負帰還される。バイパスコンデン
サ３２及び小容量バイパスコンデンサ３４は、被試験部
品５０の近傍に並列接続される。大電流測定用抵抗器２
２及びバイパスコンデンサ３２は、それぞれ、電流測定
レンジ切り換え用スイッチ２６及びバイパスコンデンサ
用スイッチ３０によって回路から切り離されることがで
きる。
【０００４】従来の電源電流測定装置においては、位相
補償コンデンサ２４の容量が比較的大きいため、動作時
から静止時へ移行する際に時間がかかった。また、それ
を解決しようとして、静止時に大容量のバイパスコンデ
ンサ３２を回路から切り離し、小容量バイパスコンデン
サ３４のみを用いるようにすると、バイパスコンデンサ
用スイッチ３０のオン抵抗によってバイパスコンデンサ
３２の特性が悪化するという問題があった。なお、バイ
パスコンデンサ用スイッチ３０を設けた構成は、特開平
７−２４８３５３において開示されている。
補償コンデンサ２４の容量が比較的大きいため、動作時
から静止時へ移行する際に時間がかかった。また、それ
を解決しようとして、静止時に大容量のバイパスコンデ
ンサ３２を回路から切り離し、小容量バイパスコンデン
サ３４のみを用いるようにすると、バイパスコンデンサ
用スイッチ３０のオン抵抗によってバイパスコンデンサ
３２の特性が悪化するという問題があった。なお、バイ
パスコンデンサ用スイッチ３０を設けた構成は、特開平
７−２４８３５３において開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、上記
の課題を解決することのできる電源電流測定装置を提供
することを目的とする。この目的は特許請求の範囲にお
ける独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成され
る。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定す
る。
の課題を解決することのできる電源電流測定装置を提供
することを目的とする。この目的は特許請求の範囲にお
ける独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成され
る。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定す
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】即ち、本発明の第１の形
態における電源電流測定装置は、電気部品に所定の電圧
を供給し、電気部品に流れる電流を測定するための電源
電流測定装置であって、電気部品が動作するのに十分な
電流を電気部品に供給する第一の電源回路と、十分な電
流よりも少ない電流を電気部品に供給する第二の電源回
路と、第一の電源回路と電気部品との間に設けられたス
イッチと、一端が電気部品及びスイッチに接続され、他
端が接地された第一のコンデンサとを備える。
態における電源電流測定装置は、電気部品に所定の電圧
を供給し、電気部品に流れる電流を測定するための電源
電流測定装置であって、電気部品が動作するのに十分な
電流を電気部品に供給する第一の電源回路と、十分な電
流よりも少ない電流を電気部品に供給する第二の電源回
路と、第一の電源回路と電気部品との間に設けられたス
イッチと、一端が電気部品及びスイッチに接続され、他
端が接地された第一のコンデンサとを備える。
【０００７】スイッチが閉じている時は、第一の電源回
路及び第二の電源回路が電気部品に電流を供給し、スイ
ッチが開いている時は、第二の電源回路のみが電気部品
に電流を供給しても良い。第二の電源回路と、第一のコ
ンデンサとの間に直列に接続された抵抗器を更に有して
も良い。第一の電源回路は、電気部品に供給する電圧を
安定化する負帰還回路を有しても良い。第一の電源回路
は、非反転入力端子に参照電圧が入力された、十分な電
流を供給する第一の演算増幅器と、一端が第一の演算増
幅器の出力端に接続され、他端が第一の演算増幅器の反
転入力端子に接続された第一の抵抗器と、第一の抵抗器
に並列に接続された第二のコンデンサとを有しても良
い。第二の電源回路は、電気部品に供給する電圧を安定
化する負帰還回路を有しても良い。第二の電源回路は、
非反転入力端子に参照電圧が入力された、十分な電流よ
りも少ない電流を供給する第二の演算増幅器と、一端が
第二の演算増幅器の出力端に接続され、他端が第二の演
算増幅器の反転入力端子に接続された第二の抵抗器と、
第二の抵抗器に並列に接続された第三のコンデンサとを
有しても良い。第三のコンデンサの容量は、第二のコン
デンサの容量よりも小さくても良い。
路及び第二の電源回路が電気部品に電流を供給し、スイ
ッチが開いている時は、第二の電源回路のみが電気部品
に電流を供給しても良い。第二の電源回路と、第一のコ
ンデンサとの間に直列に接続された抵抗器を更に有して
も良い。第一の電源回路は、電気部品に供給する電圧を
安定化する負帰還回路を有しても良い。第一の電源回路
は、非反転入力端子に参照電圧が入力された、十分な電
流を供給する第一の演算増幅器と、一端が第一の演算増
幅器の出力端に接続され、他端が第一の演算増幅器の反
転入力端子に接続された第一の抵抗器と、第一の抵抗器
に並列に接続された第二のコンデンサとを有しても良
い。第二の電源回路は、電気部品に供給する電圧を安定
化する負帰還回路を有しても良い。第二の電源回路は、
非反転入力端子に参照電圧が入力された、十分な電流よ
りも少ない電流を供給する第二の演算増幅器と、一端が
第二の演算増幅器の出力端に接続され、他端が第二の演
算増幅器の反転入力端子に接続された第二の抵抗器と、
第二の抵抗器に並列に接続された第三のコンデンサとを
有しても良い。第三のコンデンサの容量は、第二のコン
デンサの容量よりも小さくても良い。
【０００８】本発明の第１の形態における試験方法は、
電気部品の特性を試験する方法であって、電気部品に所
定の電圧を供給する第一の電源と電気部品とを接続する
スイッチを閉じる工程と、電気部品に所定の電気信号を
入力する工程と、スイッチを開放する工程と、電気部品
が動作していない状態において、電気部品に所定の電圧
を供給する第二の電源から電気部品に流れる電流を測定
する工程とを含む。
電気部品の特性を試験する方法であって、電気部品に所
定の電圧を供給する第一の電源と電気部品とを接続する
スイッチを閉じる工程と、電気部品に所定の電気信号を
入力する工程と、スイッチを開放する工程と、電気部品
が動作していない状態において、電気部品に所定の電圧
を供給する第二の電源から電気部品に流れる電流を測定
する工程とを含む。
【０００９】スイッチを開放する工程は、電気信号を入
力する工程が終了してから、第一の電源が電気部品に供
給する電圧が上昇し終わるまでに行われても良い。スイ
ッチを開放する工程は、電気信号を入力する工程が終了
する時点とほぼ同時に行われても良い。
力する工程が終了してから、第一の電源が電気部品に供
給する電圧が上昇し終わるまでに行われても良い。スイ
ッチを開放する工程は、電気信号を入力する工程が終了
する時点とほぼ同時に行われても良い。
【００１０】なお上記の発明の概要は、本発明の必要な
特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群の
サブコンビネーションも又発明となりうる。
特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群の
サブコンビネーションも又発明となりうる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、発明の実施の形態を通じて
本発明を説明するが、以下の実施形態はクレームにかか
る発明を限定するものではなく、又実施形態の中で説明
されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に
必須であるとは限らない。
本発明を説明するが、以下の実施形態はクレームにかか
る発明を限定するものではなく、又実施形態の中で説明
されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に
必須であるとは限らない。
【００１２】（実施形態１）図２は、本発明の実施形態
に係る電源電流測定装置の構成を示す。本実施形態に係
る電源電流測定装置は、第一の電源回路６０、第二の電
源回路７０、スイッチ２８、バイパスコンデンサ３２、
及び位相補償抵抗器４０を備える。第一の電源回路６０
は、スイッチ２８に接続される。スイッチ２８は、一端
が第一の電源回路６０に、他端が被試験部品５０、位相
補償抵抗器４０、及びバイパスコンデンサ３２に接続さ
れる。第二の電源回路７０は、位相補償抵抗器４０に接
続される。位相補償抵抗器４０は、一端が第二の電源回
路７０に、他端がスイッチ２８、バイパスコンデンサ３
２、及び被試験部品５０に接続される。バイパスコンデ
ンサ３２は、一端が接地され、他端がスイッチ２８、位
相補償抵抗器４０、及び被試験部品５０に接続される。
に係る電源電流測定装置の構成を示す。本実施形態に係
る電源電流測定装置は、第一の電源回路６０、第二の電
源回路７０、スイッチ２８、バイパスコンデンサ３２、
及び位相補償抵抗器４０を備える。第一の電源回路６０
は、スイッチ２８に接続される。スイッチ２８は、一端
が第一の電源回路６０に、他端が被試験部品５０、位相
補償抵抗器４０、及びバイパスコンデンサ３２に接続さ
れる。第二の電源回路７０は、位相補償抵抗器４０に接
続される。位相補償抵抗器４０は、一端が第二の電源回
路７０に、他端がスイッチ２８、バイパスコンデンサ３
２、及び被試験部品５０に接続される。バイパスコンデ
ンサ３２は、一端が接地され、他端がスイッチ２８、位
相補償抵抗器４０、及び被試験部品５０に接続される。
【００１３】第一の電源回路６０は、第一の演算増幅器
１０ａ、第一の参照電圧電源１２ａ、第一の負帰還回路
１４ａ、大電流測定用抵抗器２２、及び第一の位相補償
コンデンサ２４ａを備える。第一の参照電圧電源１２ａ
は、第一の演算増幅器１０ａの非反転入力端子に被試験
部品５０に供給すべき電圧に等しい電圧を供給する。第
一の演算増幅器１０ａの出力電圧は、並列に接続された
大電流測定用抵抗器２２及び第一の位相補償コンデンサ
２４ａを介して被試験部品５０に供給される。被試験部
品５０に供給する電圧は、第一の負帰還回路１４ａを介
して第一の演算増幅器１０ａの反転入力端子に負帰還さ
れる。第二の電源回路７０は、第二の演算増幅器１０
ｂ、第二の参照電圧電源１２ｂ、第二の負帰還回路１４
ｂ、微少電流測定用抵抗器２０、及び第二の位相補償コ
ンデンサ２４ｂを備える。第二の電源回路７０の構成
は、第一の電源回路６０の構成と同様である。
１０ａ、第一の参照電圧電源１２ａ、第一の負帰還回路
１４ａ、大電流測定用抵抗器２２、及び第一の位相補償
コンデンサ２４ａを備える。第一の参照電圧電源１２ａ
は、第一の演算増幅器１０ａの非反転入力端子に被試験
部品５０に供給すべき電圧に等しい電圧を供給する。第
一の演算増幅器１０ａの出力電圧は、並列に接続された
大電流測定用抵抗器２２及び第一の位相補償コンデンサ
２４ａを介して被試験部品５０に供給される。被試験部
品５０に供給する電圧は、第一の負帰還回路１４ａを介
して第一の演算増幅器１０ａの反転入力端子に負帰還さ
れる。第二の電源回路７０は、第二の演算増幅器１０
ｂ、第二の参照電圧電源１２ｂ、第二の負帰還回路１４
ｂ、微少電流測定用抵抗器２０、及び第二の位相補償コ
ンデンサ２４ｂを備える。第二の電源回路７０の構成
は、第一の電源回路６０の構成と同様である。
【００１４】第一の演算増幅器１０ａ及び第二の演算増
幅器１０ｂは、非反転入力端子に入力された参照電圧
と、反転入力端子に入力された被試験部品５０に供給さ
れる電圧とが異なる場合、各端子の電圧が等しくなるよ
うに出力を調整する。これによって、被試験部品５０に
供給する電圧を安定化させることができる。微小電流測
定用抵抗器２０は、静止時の微小電源電流を測定するた
めの抵抗器であって、比較的大きな抵抗値を有する。大
電流測定用抵抗器２２は、動作時の電源電流を測定する
ための抵抗器であって、微小電流測定用抵抗器２０より
も小さい抵抗値を有する。第一の位相補償コンデンサ２
４ａ及び第二の位相補償コンデンサ２４ｂは、第一の演
算増幅器１０ａ及び第二の演算増幅器１０ｂの動作が不
安定になるのを防ぐ。
幅器１０ｂは、非反転入力端子に入力された参照電圧
と、反転入力端子に入力された被試験部品５０に供給さ
れる電圧とが異なる場合、各端子の電圧が等しくなるよ
うに出力を調整する。これによって、被試験部品５０に
供給する電圧を安定化させることができる。微小電流測
定用抵抗器２０は、静止時の微小電源電流を測定するた
めの抵抗器であって、比較的大きな抵抗値を有する。大
電流測定用抵抗器２２は、動作時の電源電流を測定する
ための抵抗器であって、微小電流測定用抵抗器２０より
も小さい抵抗値を有する。第一の位相補償コンデンサ２
４ａ及び第二の位相補償コンデンサ２４ｂは、第一の演
算増幅器１０ａ及び第二の演算増幅器１０ｂの動作が不
安定になるのを防ぐ。
【００１５】大電流測定用抵抗器２２の抵抗値をＲ１、
小電流測定用抵抗器２０の抵抗値をＲ２、第一の位相補
償コンデンサ２４ａの容量をＣ１、第二の位相補償コン
デンサ２４ｂの容量をＣ２、バイパスコンデンサ３２の
容量をＣＬとする。第一の演算増幅器１０ａの開ループ
利得は、周波数ｆ１＝１／２πＲ１ＣＬを越えると−１
２ｄＢ／ｏｃｔの２次遅れの特性に変わり、動作が不安
定になるが、周波数ｆ２＝１／２πＲ１Ｃ１を越えると
再び−６ｄＢ／ｏｃｔの１次遅れの特性に戻り、動作が
安定になる。Ｃ１を比較的大きな値に設定することによ
って、第一の演算増幅器１０ａの周波数特性を改善し、
動作を安定化させることができる。第二の演算増幅器１
０ｂの開ループ利得は、周波数ｆ１＝１／２πＲ１ＣＬ
を越えると−１２ｄＢ／ｏｃｔの２次遅れの特性に変わ
り、動作が不安定になるが、周波数ｆ２＝１／２πＲ３
ＣＬを越えると再び−６ｄＢ／ｏｃｔの１次遅れの特性
に戻り、動作が安定になる。Ｒ３を比較的大きな値に設
定することによって、第二の演算増幅器１０ｂの周波数
特性を改善し、動作を安定化させることができる。
小電流測定用抵抗器２０の抵抗値をＲ２、第一の位相補
償コンデンサ２４ａの容量をＣ１、第二の位相補償コン
デンサ２４ｂの容量をＣ２、バイパスコンデンサ３２の
容量をＣＬとする。第一の演算増幅器１０ａの開ループ
利得は、周波数ｆ１＝１／２πＲ１ＣＬを越えると−１
２ｄＢ／ｏｃｔの２次遅れの特性に変わり、動作が不安
定になるが、周波数ｆ２＝１／２πＲ１Ｃ１を越えると
再び−６ｄＢ／ｏｃｔの１次遅れの特性に戻り、動作が
安定になる。Ｃ１を比較的大きな値に設定することによ
って、第一の演算増幅器１０ａの周波数特性を改善し、
動作を安定化させることができる。第二の演算増幅器１
０ｂの開ループ利得は、周波数ｆ１＝１／２πＲ１ＣＬ
を越えると−１２ｄＢ／ｏｃｔの２次遅れの特性に変わ
り、動作が不安定になるが、周波数ｆ２＝１／２πＲ３
ＣＬを越えると再び−６ｄＢ／ｏｃｔの１次遅れの特性
に戻り、動作が安定になる。Ｒ３を比較的大きな値に設
定することによって、第二の演算増幅器１０ｂの周波数
特性を改善し、動作を安定化させることができる。
【００１６】図３は、本実施形態に係る試験方法を示
す。図３の手順に従って、図２の各部の動作を述べる。
まず、スイッチ２８が閉じられ、第一の電源回路６０と
被試験部品５０とが接続される（Ｓ１０）。次に、被試
験部品５０に試験装置（図示せず）から所定の電気信号
が入力される（Ｓ１２）。このとき、被試験部品５０に
は比較的大きな値の電流が流れる。第一の電源回路６０
と第二の電源回路７０の両方が被試験部品５０に電流を
供給することができるが、第二の電源回路７０と被試験
部品５０との間には、抵抗器４０が直列に接続されてい
るため、主に第一の電源回路６０が被試験部品５０に電
流を供給する。すなわち、第一の電源回路５０は、被試
験部品５０が動作するのに十分な電流を供給する。被試
験部品５０に試験装置から所定の電気信号が入力された
時に、急激に大きな電流が流れるが、第一の電源回路６
０がこの変化に応答して被試験部品５０が動作するのに
十分な電流を供給するまでには所定の時間を要する。そ
の間は、バイパスコンデンサ３２が被試験部品５０に電
流を供給する。この際、バイパスコンデンサ３２の放電
に伴う電源電圧の低下を最小限に抑えるためには、バイ
パスコンデンサ３２の容量を大きくする必要がある。第
一の電源回路６０が被試験部品５０の動作に十分な電流
を供給するようになった時、第一の電源回路６０と第二
の電源回路７０との間に電圧差があると、第一の電源回
路６０から第二の電源回路７０へ電流が流れ込む。この
電流を抑えるために、第一の電源回路６０と第二の電源
回路７０との間に抵抗器４０が設けられている。
す。図３の手順に従って、図２の各部の動作を述べる。
まず、スイッチ２８が閉じられ、第一の電源回路６０と
被試験部品５０とが接続される（Ｓ１０）。次に、被試
験部品５０に試験装置（図示せず）から所定の電気信号
が入力される（Ｓ１２）。このとき、被試験部品５０に
は比較的大きな値の電流が流れる。第一の電源回路６０
と第二の電源回路７０の両方が被試験部品５０に電流を
供給することができるが、第二の電源回路７０と被試験
部品５０との間には、抵抗器４０が直列に接続されてい
るため、主に第一の電源回路６０が被試験部品５０に電
流を供給する。すなわち、第一の電源回路５０は、被試
験部品５０が動作するのに十分な電流を供給する。被試
験部品５０に試験装置から所定の電気信号が入力された
時に、急激に大きな電流が流れるが、第一の電源回路６
０がこの変化に応答して被試験部品５０が動作するのに
十分な電流を供給するまでには所定の時間を要する。そ
の間は、バイパスコンデンサ３２が被試験部品５０に電
流を供給する。この際、バイパスコンデンサ３２の放電
に伴う電源電圧の低下を最小限に抑えるためには、バイ
パスコンデンサ３２の容量を大きくする必要がある。第
一の電源回路６０が被試験部品５０の動作に十分な電流
を供給するようになった時、第一の電源回路６０と第二
の電源回路７０との間に電圧差があると、第一の電源回
路６０から第二の電源回路７０へ電流が流れ込む。この
電流を抑えるために、第一の電源回路６０と第二の電源
回路７０との間に抵抗器４０が設けられている。
【００１７】試験装置から被試験部品５０への電気信号
の入力が終了する時に、スイッチ２８が開放される（Ｓ
１４）。スイッチ２８は、電気信号の入力が終了する前
に開放されても良いし、電気信号の入力が終了してから
開放されても良いが、電気信号の入力が終了するのとほ
ぼ同時に開放されるのが好ましい。電気信号の入力が終
了すると、被試験部品５０にはほとんど電流が流れなく
なるが、第一の電源回路６０が変化に応答するまでには
所定の時間を要する。スイッチ２８が接続されたままで
あれば、第一の電源回路６０が供給し続ける電流はバイ
パスコンデンサ３２に流れ込み、バイパスコンデンサ３
２の電圧が被試験部品５０に供給すべき電圧よりも高く
なる。このときにスイッチ２８が開放されると、第二の
電源回路７０が変化に追随して定常状態になるまでに時
間がかかり、試験時間が長くなる。電気信号の入力が終
了して被試験部品５０にほとんど電流が流れなくなるの
とほぼ同時にスイッチ２８が開放されると、バイパスコ
ンデンサ３２及び第二の電源回路７０にほとんど影響を
与えず、定常状態を保ったまま静止時の電流測定を行う
ことができる。これによれば、試験時間を短縮すること
ができる。
の入力が終了する時に、スイッチ２８が開放される（Ｓ
１４）。スイッチ２８は、電気信号の入力が終了する前
に開放されても良いし、電気信号の入力が終了してから
開放されても良いが、電気信号の入力が終了するのとほ
ぼ同時に開放されるのが好ましい。電気信号の入力が終
了すると、被試験部品５０にはほとんど電流が流れなく
なるが、第一の電源回路６０が変化に応答するまでには
所定の時間を要する。スイッチ２８が接続されたままで
あれば、第一の電源回路６０が供給し続ける電流はバイ
パスコンデンサ３２に流れ込み、バイパスコンデンサ３
２の電圧が被試験部品５０に供給すべき電圧よりも高く
なる。このときにスイッチ２８が開放されると、第二の
電源回路７０が変化に追随して定常状態になるまでに時
間がかかり、試験時間が長くなる。電気信号の入力が終
了して被試験部品５０にほとんど電流が流れなくなるの
とほぼ同時にスイッチ２８が開放されると、バイパスコ
ンデンサ３２及び第二の電源回路７０にほとんど影響を
与えず、定常状態を保ったまま静止時の電流測定を行う
ことができる。これによれば、試験時間を短縮すること
ができる。
【００１８】第一の電源回路６０においては、第一の演
算増幅器１０ａの位相を補償するために、第一の位相補
償コンデンサ２４ａの容量Ｃ１は比較的大きな値に設定
されている。しかし、静止時にはスイッチ２８を開放す
ることによって第一の電源回路６０と第二の電源回路７
０とは切り離されているため、第一の位相補償コンデン
サ２４ａに蓄積された電荷の放電過程は試験時間に影響
を及ぼさない。第二の電源回路７０においては、第二の
演算増幅器１０ｂの位相を補償するために、位相補償抵
抗器４０が接続されている。このため、第二の位相補償
コンデンサ２４ｂの容量Ｃ２は比較的小さい値で十分で
ある。これによって、第二の位相補償コンデンサ２４ｂ
に蓄積された電荷が放電され、回路が定常状態に落ち着
くまでの時間を短縮することができ、ひいては試験時間
を短縮することができる。
算増幅器１０ａの位相を補償するために、第一の位相補
償コンデンサ２４ａの容量Ｃ１は比較的大きな値に設定
されている。しかし、静止時にはスイッチ２８を開放す
ることによって第一の電源回路６０と第二の電源回路７
０とは切り離されているため、第一の位相補償コンデン
サ２４ａに蓄積された電荷の放電過程は試験時間に影響
を及ぼさない。第二の電源回路７０においては、第二の
演算増幅器１０ｂの位相を補償するために、位相補償抵
抗器４０が接続されている。このため、第二の位相補償
コンデンサ２４ｂの容量Ｃ２は比較的小さい値で十分で
ある。これによって、第二の位相補償コンデンサ２４ｂ
に蓄積された電荷が放電され、回路が定常状態に落ち着
くまでの時間を短縮することができ、ひいては試験時間
を短縮することができる。
【００１９】スイッチ２８が開放されると、第二の電源
回路７０のみが被試験部品５０に電流を供給する。第二
の電源回路７０は、被試験部品５０が動作するのに十分
な電流よりも少ない電流を被試験部品５０に供給する。
回路が定常状態に落ち着くと、微小電流測定用抵抗器２
０の両端の電圧差を測定することによって、被試験部品
５０の静止時における微小電源電流が測定される（Ｓ１
６）。これによって、被試験部品５０の故障の有無を判
定できる。続いて、全ての試験が終了したかどうかが判
断され（Ｓ１８）、終了であればＹＥＳに進み、試験が
終了する。まだ試験項目が残っていればＮＯに進み、再
び一連の工程が繰り返される。
回路７０のみが被試験部品５０に電流を供給する。第二
の電源回路７０は、被試験部品５０が動作するのに十分
な電流よりも少ない電流を被試験部品５０に供給する。
回路が定常状態に落ち着くと、微小電流測定用抵抗器２
０の両端の電圧差を測定することによって、被試験部品
５０の静止時における微小電源電流が測定される（Ｓ１
６）。これによって、被試験部品５０の故障の有無を判
定できる。続いて、全ての試験が終了したかどうかが判
断され（Ｓ１８）、終了であればＹＥＳに進み、試験が
終了する。まだ試験項目が残っていればＮＯに進み、再
び一連の工程が繰り返される。
【００２０】以上、本発明を実施の形態を用いて説明し
たが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範
囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又
は改良を加えることができることが当業者に明らかであ
る。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術
的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から
明らかである。
たが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範
囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又
は改良を加えることができることが当業者に明らかであ
る。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術
的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から
明らかである。
【００２１】
【発明の効果】上記説明から明らかなように、本発明に
よれば高速な試験に適した電源電流測定装置を提供する
ことができる。
よれば高速な試験に適した電源電流測定装置を提供する
ことができる。
【図１】 従来の電源電流測定装置の構成図である。
【図２】 本発明の第１の実施形態に係る電源電流測定
装置の構成図である。
装置の構成図である。
【図３】 本発明の第１の実施形態に係る試験方法を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
１０ 演算増幅器 １２ 参照電圧電源 １４ 負帰還回路 ２０ 微小電流測定用抵抗器 ２２ 大電流測定用抵抗器 ２４ 位相補償コンデンサ ２６ 電流測定レンジ切り換え用スイッチ ２８ スイッチ ３０ バイパスコンデンサ用スイッチ ３２ バイパスコンデンサ ３４ 小容量バイパスコンデンサ ４０ 位相補償抵抗器 ５０ 被試験部品 ６０ 第一の電源回路 ７０ 第二の電源回路
Claims (11)
- 【請求項１】 電気部品に所定の電圧を供給し、前記電
気部品に流れる電流を測定するための電源電流測定装置
であって、 前記電気部品が動作するのに十分な電流を前記電気部品
に供給する第一の電源回路と、 前記十分な電流よりも少ない電流を前記電気部品に供給
する第二の電源回路と、 前記第一の電源回路と前記電気部品との間に設けられた
スイッチと、 一端が前記電気部品及び前記スイッチに接続され、他端
が接地された第一のコンデンサとを備えることを特徴と
する電源電流測定装置。 - 【請求項２】 前記スイッチが閉じている時は、前記第
一の電源回路及び前記第二の電源回路が前記電気部品に
電流を供給し、前記スイッチが開いている時は、前記第
二の電源回路のみが前記電気部品に電流を供給すること
を特徴とする請求項１に記載の電源電流測定装置。 - 【請求項３】 前記第二の電源回路と、前記第一のコン
デンサとの間に直列に接続された抵抗器を更に有するこ
とを特徴とする請求項１または２に記載の電源電流測定
装置。 - 【請求項４】 前記第一の電源回路は、前記電気部品に
供給する電圧を安定化する負帰還回路を有することを特
徴とする請求項１から３のいずれかに記載の電源電流測
定装置。 - 【請求項５】 前記第一の電源回路は、 非反転入力端子に参照電圧が入力された、前記十分な電
流を供給する第一の演算増幅器と、 一端が前記第一の演算増幅器の出力端に接続され、他端
が前記第一の演算増幅器の反転入力端子に接続された第
一の抵抗器と、 前記第一の抵抗器に並列に接続された第二のコンデンサ
とを有することを特徴とする請求項１から４のいずれか
に記載の電源電流測定装置。 - 【請求項６】 前記第二の電源回路は、前記電気部品に
供給する電圧を安定化する負帰還回路を有することを特
徴とする請求項１から５のいずれかに記載の電源電流測
定装置。 - 【請求項７】 前記第二の電源回路は、 非反転入力端子に参照電圧が入力された、前記十分な電
流よりも少ない電流を供給する第二の演算増幅器と、 一端が前記第二の演算増幅器の出力端に接続され、他端
が前記第二の演算増幅器の反転入力端子に接続された第
二の抵抗器と、 前記第二の抵抗器に並列に接続された第三のコンデンサ
とを有することを特徴とする請求項１から６のいずれか
に記載の電源電流測定装置。 - 【請求項８】 前記第三のコンデンサの容量は、前記第
二のコンデンサの容量よりも小さいことを特徴とする請
求項７に記載の電源電流測定装置。 - 【請求項９】 電気部品の特性を試験する方法であっ
て、 前記電気部品に所定の電圧を供給する第一の電源と前記
電気部品とを接続するスイッチを閉じる工程と、 前記電気部品に所定の電気信号を入力する工程と、 前記スイッチを開放する工程と、 前記電気部品が動作していない状態において、前記電気
部品に所定の電圧を供給する第二の電源から前記電気部
品に流れる電流を測定する工程とを含むことを特徴とす
る方法。 - 【請求項１０】 前記スイッチを開放する工程は、前記
電気信号を入力する工程が終了してから、前記第一の電
源が前記電気部品に供給する電圧が上昇し終わるまでに
行われることを特徴とする請求項９に記載の方法。 - 【請求項１１】 前記スイッチを開放する工程は、前記
電気信号を入力する工程が終了する時点とほぼ同時に行
われることを特徴とする請求項９に記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11218140A JP2001041997A (ja) | 1999-07-30 | 1999-07-30 | 電源電流測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11218140A JP2001041997A (ja) | 1999-07-30 | 1999-07-30 | 電源電流測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001041997A true JP2001041997A (ja) | 2001-02-16 |
Family
ID=16715278
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11218140A Pending JP2001041997A (ja) | 1999-07-30 | 1999-07-30 | 電源電流測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001041997A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004104605A1 (ja) * | 2003-05-21 | 2004-12-02 | Advantest Corporation | 電流測定装置及び試験装置 |
| US7576555B2 (en) | 2005-02-25 | 2009-08-18 | Advantest Corporation | Current measuring apparatus, test apparatus, current measuring method and test method |
| US8952671B2 (en) | 2012-06-28 | 2015-02-10 | Advantest Corporation | Power supply apparatus for testing apparatus |
-
1999
- 1999-07-30 JP JP11218140A patent/JP2001041997A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004104605A1 (ja) * | 2003-05-21 | 2004-12-02 | Advantest Corporation | 電流測定装置及び試験装置 |
| US7362104B2 (en) | 2003-05-21 | 2008-04-22 | Advantest Corporation | Current measurement device and test device |
| US7576555B2 (en) | 2005-02-25 | 2009-08-18 | Advantest Corporation | Current measuring apparatus, test apparatus, current measuring method and test method |
| US8952671B2 (en) | 2012-06-28 | 2015-02-10 | Advantest Corporation | Power supply apparatus for testing apparatus |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081106 |
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