JPH07248353A - 電源電流測定装置 - Google Patents
電源電流測定装置Info
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- JPH07248353A JPH07248353A JP6067599A JP6759994A JPH07248353A JP H07248353 A JPH07248353 A JP H07248353A JP 6067599 A JP6067599 A JP 6067599A JP 6759994 A JP6759994 A JP 6759994A JP H07248353 A JPH07248353 A JP H07248353A
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Abstract
にスイッチ30及びコンデンサ28の直列回路とコンデ
ンサ28よりも静電容量が小さいコンデンサ32を並列
に接続する。デバイスの入力データ変化時に電源電流の
増加する際に2つのコンデンサが放電した後、これらの
コンデンサ充電時の途中でスイッチ28をオフにし、小
容量のコンデンサ32のみを充電する。 【効果】 CMOSデバイスに入力データ変化時に電源
電流が増加してから静止電源電流に戻るまでの期間を短
縮し、CMOSデバイスの高速試験を可能にする。
Description
否を試験するために、その静止状態の電源電流を測定す
る電源電流測定装置に関する。
が変化しない状態即ち静止状態のときに電源電流は略0
Aであり、入力論理データが変化したときのみに電源電
流が流れる。しかし、故障したCMOSデバイスでは、
特定の論理データが供給された後の静止状態においても
電源電流が流れる。そこで、CMOSデバイスの良否を
試験するために、順次異なる論理データを供給した後の
静止状態の電源電流を測定する電源電流測定装置が用い
られている。
流測定装置を示す回路図であり、この装置は被測定デバ
イス(以下DUTという)10であるCMOSデバイス
の入力論理データが変化しない状態での静止電源電流を
測定するものである。この装置において、DUT10に
電源電圧として供給すべき電圧に等しい基準電圧Vref
は、入力端子12を介して演算増幅器14の非反転入力
端に供給される。演算増幅器14の出力端は電流検出用
抵抗器16の一端に接続される。抵抗器16の他端は、
演算増幅器14の反転入力端に接続される。抵抗器16
には、各々並列に位相補償用コンデンサ18及び電子ス
イッチ20が接続される。スイッチ20をオン及びオフ
するタイミングは、制御及び測定回路22により制御さ
れる。
には、差動増幅器24の2つの入力端子が夫々接続され
る。演算増幅器14及び抵抗器16を含む負帰還回路が
安定動作する間は、演算増幅器14の2つの入力端子間
電圧は0であるので、差動増幅器22は抵抗器16の両
端電圧を検出する。差動増幅器24の出力電圧は制御及
び測定回路24に供給され、特定のタイミングで測定さ
れる。制御及び測定回路24は、差動増幅器24の出力
信号が供給されるサンプル・ホールド回路、アナログ・
デジタル変換器、メモリ、カウンタ、プログラム遅延タ
イマ等を含みその詳細な構成は、1992年8月発行の
「Semiconductor World」159頁に記載されている。
6を介してDUT10の電源端子に接続される。DUT
10の電源端子及び接地電位間には、バイパス・コンデ
ンサ28が接続される。位相補償用抵抗器26は、バイ
パス・コンデンサ28による利得帯域及び位相裕度の悪
化を少なくするものである。
のタイミング図である。DUT10の入力端に供給され
る入力論理データは、DUT10の試験用に生成された
ものであり、所定の周期で順次その内容が変化する。D
UT10は、入力論理データが変化した時点t1で、異
なる入力論理データを取り込む。時点t1の直前の時点
t0にスイッチ20はオン状態にされている。時点t1
で、DUT10に取り込まれる入力論理データが変化す
ると、DUT10の電源電流IDの値は静止電源電流値
からIpに急激に増加する。この電源電流IDの増加分を
供給するために、すでに充電されているコンデンサ28
から電流Ic2がDUT10に流れる。十分な電流を供給
するために、コンデンサ28は例えば、0.1μFの比
較的大きな静電容量を有する必要がある。
出すと、コンデンサ28の両端電圧の減少によりDUT
10の供給電源電圧VDは値Vpだけ減少する。それに応
じて抵抗器26の一端側の電圧も減少し、スイッチ20
はオン状態であるので、差動増幅器22の入力端間電圧
の増加により出力電圧は増加する。上述の様に、時点t
0からスイッチ20はオン状態であるので、電源電流ID
が時点t2で静止電源電流に戻ると、コンデンサ28
は、抵抗器26及びコンデンサ28の値で決まる時定数
で、抵抗器26を流れる電流Iから静止電源電流を減算
した電流により充電され、電源電圧VDは基準電圧Vref
に向かって増加する。電源電圧VDが増加するととも
に、抵抗器26の一端の電圧も増加し、差動増幅器22
出力の電圧は減少する。スイッチ20を時点t0でオン
状態にしたのは、電源電圧VDの回復時間の短縮のため
に十分な電流を流すためである。
と、依然として流れる電流Iにより生じる電流検出用抵
抗器16の両端電圧が差動増幅器22に供給され、差動
増幅器22の出力電圧は急激に増加する。この電流I
は、t2〜t3を長くすると小さくなるが、ある一定の時
間以上になると、オペアンプ14の入力端に入る外来ノ
イズ、オペアンプの微小発振及び電子スイッチ20を開
くときの自己ノイズ等により、それ以上減少しなくな
る。コンデンサ28の両端電圧即ちDUT10の電源電
圧VDが基準電圧Vrefに近づくにつれて、電流Iは減少
し、差動増幅器22の出力電圧も減少する。電流Iが減
少して、DUT10の静止電源電流と等しくなると、電
流Iはこれ以上減少せずに一定の静止電源電流として流
れる。この電流Iを電流検出用抵抗器16で検出して、
差動増幅器22を介して制御及び測定回路24で測定
し、略0VであればDUT10は正常であり、そうでな
ければDUT10は故障していると判断される。
に、コンデンサ28は電源電流IDがIPに増加する時に
十分な電流供給をするために比較的に大きな静電容量を
有するので、抵抗器26と共に比較的に大きな時定数を
形成し、電流Iが静止電源電流に等しくなるまでに長時
間を要する。したがって、この様な装置では、各入力論
理データ毎の測定時間が長くなり、試験速度が制限され
る。
バイスの良否を高速に試験するための電源電流測定装置
に関する。
置は、非反転入力端に基準電圧が供給されたオペアンプ
と、オペアンプの出力端に一端が接続され、他端が上記
オペアンプの反転入力端に接続された第1抵抗器と、第
1抵抗器の他端に一端が接続された第2抵抗器と、第2
抵抗器の他端に電源端子が接続され、入力端に周期的に
変化するデータ信号が供給されるCMOSデバイスと、
第1抵抗器の両端間に接続された第1電子スイッチと、
CMOSデバイスの電源端子及び接地電位源間に接続さ
れた第1コンデンサ及び第2電子スイッチから成る直列
回路と、CMOSデバイスの電源端子及び接地電位源間
に接続された、第1コンデンサよりも静電容量の小さい
第2コンデンサと、データ信号の変化前に、第1及び第
2スイッチを順次オン状態にし、データ信号の変化後
に、第1及び第2スイッチを順次オン状態にし、第1抵
抗器の両端電圧を測定する制御及び測定回路とを具え
る。
源電流の瞬間的増加が起こる前に、第1及び第2スイッ
チをオン状態にして電源電流の増加分を供給できるよう
にし、斯る増加が終了した後に、第2スイッチをオフ状
態にして、静電容量の小さい第2コンデンサのみがCM
OSデバイスの電源端子に接続されるようにして、電源
電圧を迅速に増加させ、静止電流が流れるまでの期間を
短縮した。
路図である。この装置は、その大部分の構成要素が図3
に示す従来の装置と同じであり、同一の構成要素には同
一の参照符号を付す。本発明の装置が従来の装置と異な
る点は、コンデンサ28の一端及びDUT10の電源端
子間に、制御及び測定回路24により制御される電子ス
イッチ30を接続したことと、DUT10の電源端子及
び接地電位源間にコンデンサ32を接続したことであ
る。コンデンサ32の静電容量は、コンデンサ28の静
電容量より1桁以上小さい値である。他の構成要素の構
成については、図3に関して行った説明を参照された
い。
にタイミング図である。従来と同様に、DUT10の入
力端に供給される入力論理データは、所定の周期で順次
その内容が変化する。DUT10は、入力論理データが
変化した直後に供給されるクロック信号の発生時点t2
で、異なる入力論理データを取り込む。時点t2の直前
の時点t1にスイッチ28はオン状態にされ、更にその
直前の時点t0にスイッチ20はオン状態にされてい
る。コンデンサ28は後述から分かるように、コンデン
サ32よりも低い電圧に充電されているので、スイッチ
30をオン状態にすることで、一時的に電源電圧VDは
低下する。
込まれる入力論理データが変化すると、DUT10の電
源電流IDの値は静止電源電流値からIpに急激に増加す
る。この電源電流IDの増加分を供給するために、すで
に充電されているコンデンサ28及び32から夫々電流
Ic2及びIc3がDUT10に流れる。上述の様に、コン
デンサ28はコンデンサ32に比較して静電容量が十分
に大きいので、この際のDUT10への電流供給のほと
んどは、コンデンサ28により行われる。
流が流れ出すと、DUT10の供給電源電圧VDDは値V
pだけ減少し、それに応じて抵抗器26の一端側の電圧
も減少するので、差動増幅器22の出力電圧は増加す
る。上述の様に、時点t0及びt1からスイッチ20及び
28はオン状態であるので、電源電流IDが時点t3で静
止電源電流に戻ると、コンデンサ28及び32は、抵抗
器26及びコンデンサ28、32の値で決まる時定数τ
1で、抵抗器26を流れる電流から静止電源電流を減算
した電流により充電され、電源電圧VDは基準電圧Vref
に向かって増加する。電源電圧VDが増加するととも
に、抵抗器26の一端の電圧も増加し、差動増幅器22
出力電圧は減少する。
イッチ30は時点t4でオフ状態にされる。抵抗器26
及びコンデンサ32のみにより決まる時定数τ2で、コ
ンデンサ32は充電される。時定数τ2は、時定数τ2よ
りも大幅に小さいので、電源電圧VDは以前より急速に
基準電圧Vrefに向かって増加する。
と、抵抗器32を依然として流れている電流Iにより生
じる電流検出用抵抗器16の両端電圧が差動増幅器22
に供給され、差動増幅器22の出力電圧は急激に増加す
る。その後、抵抗器26及びコンデンサ32による時定
数τ2は小さいので、DUT10の電源電圧VDは急速に
基準電圧Vrefに近づき、電流Iは減少し、差動増幅器
22の出力電圧も減少する。電流Iが減少して、DUT
10の静止電源電流と等しくなると、電流Iはこれ以上
減少せずに一定の静止電源電流として流れる。従来と同
様に、この電流Iを電流検出用抵抗器16で検出して、
差動増幅器22を介して制御及び測定回路24で測定
し、略0VであればDUT10は正常であり、そうでな
ければDUT10は故障していると判断される。
力されるデータが変化して、電源電流が増加し、その後
静止電流に戻るまでの時間を短縮できるので、CMOS
データの試験時間を短縮できる。
Claims (1)
- 【請求項1】 非反転入力端に基準電圧が供給されたオ
ペアンプと、 該オペアンプの出力端に一端が接続され、他端が上記オ
ペアンプの反転入力端に接続された第1抵抗器と、 該第1抵抗器の上記他端に一端が接続された第2抵抗器
と、 該第2抵抗器の他端に電源端子が接続され、入力端に周
期的に変化するデジタル・データ信号が供給されるCM
OSデバイスと、 上記第1抵抗器の両端間に接続された第1電子スイッチ
と、 上記CMOSデバイスの上記電源端子及び接地電位源間
に接続された第1コンデンサ及び第2電子スイッチから
成る直列回路と、 上記CMOSデバイスの上記電源端子及び接地電位源間
に接続された、上記第1コンデンサよりも静電容量の小
さい第2コンデンサと、 上記データ信号の変化前に、上記第1及び第2スイッチ
を順次オン状態にし、上記データ信号の変化後に、上記
第1及び第2スイッチを順次オン状態にし、上記第1抵
抗器の両端電圧を測定する制御及び測定回路とを具える
ことを特徴とする電源電流測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6067599A JPH07248353A (ja) | 1994-03-11 | 1994-03-11 | 電源電流測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6067599A JPH07248353A (ja) | 1994-03-11 | 1994-03-11 | 電源電流測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07248353A true JPH07248353A (ja) | 1995-09-26 |
Family
ID=13349555
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6067599A Pending JPH07248353A (ja) | 1994-03-11 | 1994-03-11 | 電源電流測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07248353A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006054435A1 (ja) * | 2004-11-16 | 2006-05-26 | Advantest Corporation | 試験装置 |
WO2007049331A1 (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-03 | Renesas Technology Corp. | 接続装置、iddqテスト方法及び半導体集積回路 |
EP1811313A2 (en) * | 2006-01-24 | 2007-07-25 | Agilent Technologies, Inc. | Electrical regenerator easurement probe |
JP2009074900A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Yokogawa Electric Corp | 電圧印加電流測定回路 |
WO2011010349A1 (ja) * | 2009-07-23 | 2011-01-27 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置 |
JP2011058803A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-24 | Advantest Corp | 試験装置および電源装置 |
US7952361B2 (en) | 2009-07-14 | 2011-05-31 | Advantest Corporation | Test apparatus |
JP2011133305A (ja) * | 2009-12-24 | 2011-07-07 | Fujitsu Ltd | 電子機器及びストレス試験装置 |
US8558560B2 (en) | 2009-07-23 | 2013-10-15 | Advantest Corporation | Test apparatus, additional circuit and test board for judgment based on peak current |
US8558559B2 (en) | 2009-07-23 | 2013-10-15 | Advantest Corporation | Test apparatus, additional circuit and test board for calculating load current of a device under test |
-
1994
- 1994-03-11 JP JP6067599A patent/JPH07248353A/ja active Pending
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2006054435A1 (ja) * | 2004-11-16 | 2008-05-29 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置 |
US7656177B2 (en) | 2004-11-16 | 2010-02-02 | Advantest Corporation | Test apparatus |
WO2006054435A1 (ja) * | 2004-11-16 | 2006-05-26 | Advantest Corporation | 試験装置 |
TWI386657B (zh) * | 2004-11-16 | 2013-02-21 | Advantest Corp | 測試裝置 |
WO2007049331A1 (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-03 | Renesas Technology Corp. | 接続装置、iddqテスト方法及び半導体集積回路 |
EP1811313A2 (en) * | 2006-01-24 | 2007-07-25 | Agilent Technologies, Inc. | Electrical regenerator easurement probe |
JP2007199062A (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-09 | Agilent Technol Inc | リジェネレータプローブ |
EP1811313A3 (en) * | 2006-01-24 | 2007-12-12 | Agilent Technologies, Inc. | Electrical regenerator easurement probe |
JP2009074900A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Yokogawa Electric Corp | 電圧印加電流測定回路 |
US7952361B2 (en) | 2009-07-14 | 2011-05-31 | Advantest Corporation | Test apparatus |
WO2011010349A1 (ja) * | 2009-07-23 | 2011-01-27 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置 |
US8164351B2 (en) | 2009-07-23 | 2012-04-24 | Advantest Corporation | Test apparatus |
US8558560B2 (en) | 2009-07-23 | 2013-10-15 | Advantest Corporation | Test apparatus, additional circuit and test board for judgment based on peak current |
US8558559B2 (en) | 2009-07-23 | 2013-10-15 | Advantest Corporation | Test apparatus, additional circuit and test board for calculating load current of a device under test |
JP2011058803A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-24 | Advantest Corp | 試験装置および電源装置 |
JP2011133305A (ja) * | 2009-12-24 | 2011-07-07 | Fujitsu Ltd | 電子機器及びストレス試験装置 |
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