TWI386657B - 測試裝置 - Google Patents

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Description

測試裝置
本發明涉及一種半導體電路等的電子裝置測試用的測試裝置。就藉由文獻之參照而確認可編入的指定國而言，藉由參照下記的日本申請案中所記載的內容而編入本申請案中，以作為本申請案之記載的一部份。
特願2004-332466申請日西元2004年11月16日
先前，作為電子裝置測試用的測試裝置時，一種具備”一作為測試裝置本體用的主機(main frame)，一載置電子裝置用之插座板(board)以及一保持此插座板用的測試頭等”的構成已為人所知。主機產生一種供給至電子裝置之測試圖樣(pattern)或電源電力，此測試圖樣或電源電力經由電纜而供給至測試頭。
又，使電源電力傳送至電子裝置中所用的插座板的電源線中，電子裝置近旁設有旁路(bypass)電容器。藉由旁路電容器的設置，可使電源線中的雜訊減低，另外，可高速地追蹤電源電流的變動。
又，在電子裝置測試時，測定此電子裝置的電源電流所用的測試已為人所知。進行此種測試時，由於旁路電容器之漏電流，因此不易很精確地測定電源電流。於是，在插座板中設有繼電器(relay)，以便對”旁路電容器和電源線是否相連接”進行切換。
相關的專利文獻等由於現在尚未得知，此處因此省略 其記載。
然而，由溫度分佈的均一性或與測試頭連接時的機械精度等的觀點而言，較插座板還小型的物件正在開發。又，為了使測試效率提高，則須同時使被測試的電子裝置數目增加，且載置在插座板上的電子裝置的數目亦須增加。因此，要確保各旁路電容器及繼電器實裝時所用的區域變成較困難。
又，若插座板中設有旁路電容器和繼電器，則控制該繼電器所用的配線或繼電器驅動電源用的配置即成為必要。這樣需使插座板的面積增大。這與上述小型化的要求並存是困難的。
又，例如，測試頭中設有旁路電容器和繼電器時，插座板的面積雖然可較小，但由測試頭至電子裝置為止的電源線所產生的雜訊等不能除去，因此不能很精確地對電子裝置進行測試。
於是，本發明的目的是提供一種可解決上述問題的測試裝置。此目的藉由申請專利範圍獨立項中所記載的特徵的組合來達成。又，申請專利範圍各附屬項規定了本發明更為有利的具體例。
為了解決上述問題，本發明的第1形式中提供一種電子裝置測試用的測試裝置，其具備：主機，其產生一種供 給至電子裝置之電源電力；插座板，其設有一種載置著電子裝置所用的插座；測試頭，其以可裝卸之方式保持著該插座板，使主機所產生的電源電力經由插座板而供給至電子裝置；第1旁路電容器，其經由繼電器而連接至測試頭中之電源電力輸送線；以及第2旁路電容器，其固定至插座板中之電源電力輸送線且相連接著。
由主機至測試頭為止的電力輸送距離較由測試頭至電子裝置為止的電力輸送距離還大，第1旁路電容器的容量較第2旁路電容器的容量還大。
此測試裝置可具有第1旁路電容器，其容量對應於主機至測試頭為止的電力輸送距離。又，此測試裝置亦可具有另一種第1旁路電容器，其容量對應於電子裝置之操作頻率。
此測試裝置亦可具有第1旁路電容器，其容量對應於電子裝置的狀態由靜止狀態遷移至操作狀態時電源電流的變動的大小。此測試裝置可具有不同容量之第1旁路電容器。繼電器可選擇”是否將任一個第1旁路電容器連接至測試頭的電源電力輸送線”。
繼電器可選擇電子裝置的操作頻率所對應的容量的第1旁路電容器。繼電器亦可選擇第1旁路電容器，其容量對應於電子裝置的狀態由靜止狀態遷移至操作狀態時的電源電流的變動的大小。
又，上述發明的概要未列舉本發明的必要的特徵的全部，這些特徵群的下位組合(sub-combination)亦屬本發明的 範圍。
依據本發明，可同時使插座板小型化且可精確度良好地進行電子裝置的測試。
為讓本發明之上述和其他目的、特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下。
以下，雖然依據本發明的實施形式來說明本發明，但以下的實施形式不是對請求的範圍所屬的發明的一種限制。又，實施形式中所說明的特徵的組合的全部不限於發明的解決手段中所必需者。
圖1係本發明的實施形式之測試裝置100的構成的一例。測試裝置100是半導體電路等的電子裝置測試用的裝置，其具備主機10，測試頭20，插座板30以及電纜40。主機10產生一種應供給至電子裝置之測試圖樣或電源電力。
測試頭20經由電纜40以接收該測試圖樣和電源電力且將此測試圖樣和電源電力供給至插座板30。又，測試頭20以可裝卸的方式保持著該插座板30。總之，插座板30例如藉由每次更換被測試電子裝置的種類，則可使該測試裝置100對各種各樣的電子裝置進行測試。
插座板30設有一種可載置電子裝置的插座，且使由測試頭20所施加的測試圖樣和電源電力供給至電子裝置。 又，插座板30亦可設有多個插座。此時，主機10對各別的插座上所載置的每個電子裝置都產生所需的測試圖樣和電源電流。又，測試頭20對由主機10所接收的測試圖樣和電源電力進行控制以決定應”供給至哪一個電子裝置”。例如，測試頭20藉由配線連接方式的切換，以控制所接收的測試圖樣和電源電力應”供給至哪一個電子裝置”。
圖2係主機10，測試頭20以及插座板30的構成中供給電源電力至電子裝置200所用的構成的一例。主機10具備電源單元12和電壓控制電路14。電源單元12輸出一預定的電源電壓。電壓控制電路14是一種差動放大器，其在正輸入端接收電源單元12所產生的電源電壓，負輸入端則接收電子裝置200的電源銷(pin)端所輸入的電源電壓。總之，電壓控制電路14藉由電子裝置200的電源銷(pin)端所輸入的電源電壓之回授(feedback)，以將此主機10所輸出的電源電壓控制成所定的電壓值。
測試頭20具有：輸入部28-1，輸出部28-2，繼電器22，第1旁路電容器24以及電源電力輸送線26。輸入部28-1經由電纜40以接收電源電力且經由電源電力輸送線26以將電源電力輸送至輸出部28-2。第1旁路電容器24設在電源電力輸送線26和接地電位之間，且經由繼電器22而連接至電源電力輸送線26。輸出部28-2將已接收的電源電力輸出至插座板30。
插座板30具有：輸入部36，電源電力輸送線34以及第2旁路電容器32。又，插座板30將電子裝置200載置 在圖中未顯示的插座上。輸入部36經由電源電力輸送線34將已接收的電源電力供給至電子裝置200。第2旁路電容器32設在電源電力輸送線34和接地電位之間且固定至電源電力輸送線34而連接著。總之，第2旁路電容器32未經由繼電器而連接至電源電力輸送線34。
如上所述，測試頭20內第1旁路電容器24是與插座板30中所設置的第2旁路電容器32分別地設置著，因此可使用小容量的第2旁路電容器32。於是，在測定該電子裝置200的電源電壓時，可使第2旁路電容器32中所受到的繼電器電流的影響下降。又，由於2旁路電容器32中所受到的繼電器電流的影響已較小，則使第2旁路電容器32由電源電力輸送線34切離時用的繼電器已不必設置。因此，可使插座板30小型化。又，由主機10至測試頭20為止的區間中所產生的雜訊藉由第1旁路電容器24而降低，由測試頭20至電子裝置200為止的區間中所產生的雜訊藉由第2旁路電容器32而降低。因此，可很精確地對電子裝置200進行測試。總之，依據本例中的測試裝置100，可同時使插座板30小型化且可很精確地對電子裝置200進行測試。
又，由主機10至測試頭20為止的電力輸送距離通常較由測試頭20至電子裝置200為止的電力輸送距離還大。例如，電纜40的長度通常是數米以上，由測試頭20至電子裝置200為止的電力輸送距離通常是數10公分至大約1米的程度。此種情況下，第1旁路電容器24之容量較佳是 較第2旁路電容器32之容量還大。
輸送線中所產生的雜訊量通常是與輸送hrough said socket board線的長度成比例。因此，第1旁路電容器24較佳是具有一種與由主機10至測試頭20為止的電力輸送距離相對應的容量，第2旁路電容器32較佳是具有一種與由測試頭20至電子裝置200為止的電力輸送距離相對應的容量。例如，第1旁路電容器24可具有一種與由主機10至測試頭20為止的電力輸送距離大約成比例的容量，第2旁路電容器32可具有一種與由測試頭20至電子裝置200為止的電力輸送距離大約成比例的容量。舉一例子，第1旁路電容器24的容量是10微法拉至100微法拉的程度，第2旁路電容器32的容量可以在1微法拉以下。
又，第1旁路電容器24亦可具有一種與電子裝置200的操作頻率相對應的容量。例如，第1旁路電容器24可具有一種與電子裝置200的操作頻率大約成反比的容量。又，第1旁路電容器24較佳是具有一種可對供應至電子裝置200中的電源電流的變動的頻率進行追蹤的容量。第1旁路電容器24的充放電的反應速率雖然會由於容量而變動，但第1旁路電容器24亦可具有一種使其反應速率成為”與電子裝置200的操作頻率同等”時所需的容量。
又，當電子裝置200的狀態由靜止狀態遷移至操作狀態時，第1旁路電容器24亦可具有一種與電源電流的變動的大小相對應的容量。例如，第1旁路電容器24可具有一種與電源電流的變動的大小大約成比例的容量。例如，靜 止狀態時電子裝置200的電源電流處於最小的狀態。藉由第1旁路電容器24具有一種與電源電流的變動的大小相對應的容量，則電壓控制電路14所輸出的電源電流的變動速率即使較慢時，亦可供給一種可對電子裝置200的消耗電流的變動作高速追蹤的電源電流。
又，測試頭20可具有不同容量的第1旁路電容器24，測試頭20亦可對應於電子裝置200的操作頻率或電源電流的變動的大小來選擇電源電力輸送線26所連接的第1旁路電容器24。
圖3係測試頭20的構成的另一例。本例中之測試頭20具有：輸入部28-1、輸出部28-2、繼電器22、多個第1旁路電容器(24-1、24-2、24-3、...，以下總稱為24)以及繼電器控制部38。
輸入部28-1，輸出部28-2以及電源電力輸送線26的功能與圖2中所說明的輸入部28-1、輸出部28-2以及電源電力輸送線26的功能一樣。多個第1旁路電容器24分別以並列方式設在電源電力輸送線26和接地電位之間，且可各別地具有不同的容量。
繼電器22選擇”哪一個第1旁路電容器24應連接至電源電力輸送線26”。繼電器控制部38控制著”繼電器22中應選擇哪一個第1旁路電容器24”。例如，繼電器控制部38可在繼電器22中選擇一種具有”與該電子裝置200的操作頻率或電源電流的變動的大小相對應的”容量之第1旁路電容器24。因此，可選擇一種與應測試的電子裝置200 的特性相對應的第1旁路電容器24。
繼電器控制部38亦藉由使用者所給與的資訊來控制”應選擇哪一個第1旁路電容器24”。例如，亦可依據使用者所給與的任一個第1旁路電容器24所顯示的資訊來控制該繼電器22。
又，繼電器控制部38亦可測定該電子裝置200之操作頻率或電源電流的變動的大小，以對應於此測定之值來控制該繼電器22。此時，測試裝置100亦可將繼電器控制部38中測定該電子裝置200之操作頻率或電源電流的變動的大小所需的圖樣供給至電子裝置200中。然後，繼電器控制部38亦可檢出電源電力輸送線26所傳送的電源電壓或電源電流，以測定電子裝置200之操作頻率或電源電流的變動的大小。
以上，雖然使用實施形式來說明本發明，但本發明的技術範圍不限於上述實施形式中所記載的範圍。上述實施形式中可施加多樣化的變更或改良，此為此行的專家所明白。施加此種變更或改良後的形式亦屬本發明的技術範圍中可得到者，這由申請專利範圍的記載即可明白。
產業上的可利用性
由上可知，依據本發明可使插座板小型化且同時可很精確地進行電子裝置的測試。
雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之保護 範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
10‧‧‧主機
12‧‧‧電源單元
14‧‧‧電壓控制電路
20‧‧‧測試頭
22‧‧‧繼電器
24‧‧‧第1旁路電容器
26‧‧‧電源電力輸送線
28-1‧‧‧輸入部
28-2‧‧‧輸出部
30‧‧‧插座板
32‧‧‧第2旁路電容器
34‧‧‧電源電力輸送線
36‧‧‧輸入部
38‧‧‧繼電器控制部
40‧‧‧電纜
100‧‧‧測試裝置
200‧‧‧電子裝置
圖1係本發明的實施形式之測試裝置100的構成的一例。
圖2係主機10，測試頭20以及插座板30的構成中供給電源電力至電子裝置200所用的構成的一例。
圖3係測試頭20的構成的另一例。
10‧‧‧主機
12‧‧‧電源單元
14‧‧‧電壓控制電路
20‧‧‧測試頭
22‧‧‧繼電器
24‧‧‧第1旁路電容器
26‧‧‧電源電力輸送線
28-1‧‧‧輸入部
28-2‧‧‧輸出部
30‧‧‧插座板
32‧‧‧第2旁路電容器
34‧‧‧電源電力輸送線
36‧‧‧輸入部
40‧‧‧電纜
100‧‧‧測試裝置
200‧‧‧電子裝置

Claims (8)

  1. 一種電子裝置測試用之測試裝置，包括：主機，其產生供給至電子裝置之電源電力；插座板，其設有載置著上述電子裝置所用的插座；測試頭，其以可裝卸之方式保持著上述插座板，使上述主機所產生的上述電源電力經由上述插座板而供給至上述電子裝置；第1旁路電容器，其提供於上述測試頭中並經由提供於上述測試頭中的繼電器而連接至提供於上述測試頭中之電源電力輸送線，上述測試頭中之電源電力輸送線連接至上述主機；以及第2旁路電容器，其提供於上述插座板中並固定地連接至提供於上述插座板中之電源電力輸送線，上述插座板中之電源電力輸送線連接至上述測試頭中之電源電力輸送線，其中第1旁路電容器的容量較第2旁路電容器的容量還大，以及上述電源電力經由上述插座板中之電源電力輸送線以及上述測試頭中之電源電力輸送線而從上述主機輸送至上述電子裝置。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之電子裝置測試用之測試裝置，其中由上述主機至上述測試頭為止的電力輸送距離較由上述測試頭至上述電子裝置為止的電力輸送距離還大。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之電子裝置測試用之測試裝置，其中具有上述第1旁路電容器，其容量對應於上述主機至上述測試頭為止的電力輸送距離。
  4. 如申請專利範圍第2項所述之電子裝置測試用之測試裝置，其中具有上述第1旁路電容器，其容量對應於上述電子裝置之操作頻率。
  5. 如申請專利範圍第2項所述之電子裝置測試用之測試裝置，其中上述測試裝置具有上述第1旁路電容器，其容量對應於上述電子裝置的狀態由靜止狀態遷移至操作狀態時上述電子裝置所供給的電源電流的變動的大小。
  6. 如申請專利範圍第2項所述之電子裝置測試用之測試裝置，其中上述測試裝置具有不同容量之上述第1旁路電容器，上述繼電器可選擇是否將任一個上述第1旁路電容器連接至上述測試頭中之電源電力輸送線。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之電子裝置測試用之測試裝置，其中上述繼電器可選擇上述電子裝置的操作頻率所對應的容量的上述第1旁路電容器。
  8. 如申請專利範圍第6項所述之電子裝置測試用之測試裝置，其中上述繼電器可選擇上述第1旁路電容器，其容量對應於上述電子裝置的狀態由靜止狀態遷移至操作狀態時供給至上述電子裝置中之電源電流的變動的大小。
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