DE112005002437T5

DE112005002437T5 - Prüfvorrichtung

Info

Publication number: DE112005002437T5
Application number: DE112005002437T
Authority: DE
Inventors: Nobusuke Seki
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2004-11-16
Filing date: 2005-10-27
Publication date: 2007-10-25
Also published as: KR20070083553A; KR101177157B1; US20080174318A1; JPWO2006054435A1; WO2006054435A1; US7656177B2; TW200617406A; TWI386657B

Abstract

Prüfvorrichtung, die eine elektronische Vorrichtung prüft, welche aufweist:
ein Grundgerät, das eine zu der elektronischen Vorrichtung zu liefernde Quellenleistung erzeugt;
eine Buchsenplatte, in der eine Buchse zum Befestigen der elektronischen Vorrichtung in dieser vorgesehen ist;
einen Prüfkopf, der abnehmbar die Buchsenplatte hält und die von dem Grundgerät erzeugte Quellenleistung über die Buchsenplatte zu der elektronischen Vorrichtung liefert;
einen ersten Bypasskondensator, der mit einer Quellenleistungs-Übertragungsleitung in dem Prüfkopf über ein Relais verbunden ist; und
einen zweiten Bypasskondensator, der mit einer Quellenleistungs-Übertragungsleitung in der Buchsenplatte fest verbunden ist.

Description

TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Prüfvorrichtung, die eine elektronische Vorrichtung wie eine Halbleiterschaltung prüft. Die vorliegende Anmeldung bezieht sich auch auf die folgende Anmeldung, deren Inhalt hier einbezogen wird, falls dies anwendbar ist.
Japanische Patentanmeldung Nr. 2004-332466, die am 16. November 2004 eingereicht wurde.
STAND DER TECHNIK
Herkömmlich hatte eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung eine Konfiguration enthaltend ein Grundgerät, das der Hauptkörper der Prüfvorrichtung ist, eine Buchsenplatte, auf der die elektronische Vorrichtung befestigt wird, und einen Prüfkopf, der die Buchenplatte hält. Das Grundgerät erzeugt Prüfmuster und eine Quellenleistung, die zu der elektronischen Vorrichtung zu liefern sind und liefert sie über Kabel zu dem Prüfkopf.
Darüber hinaus hat eine Leistungszuführungsleitung der Buchenplatte zum Übertragen von Quellenleistung zu der elektronischen Vorrichtung einen Bypasskondensator in der der Nähe der elektronischen Vorrichtung. Das Vorsehen des Bypasskondensators kann Störungen in der Leistungszuführungsleitung reduzieren und Schwankungen von Leistungszuführungsströmen mit hoher Geschwindigkeit folgen.
Als ein Beispiel für eine Prüfung der elektronischen Vorrichtung ist auch eine Prüfung zum Messen von Leistungszuführungsströmen der elektronischen Vorrichtung bekannt. Wenn eine derartige Prüfung durchgeführt wird, ist es aufgrund von Leckströmen des Bypasskondensators schwierig, die Leistungszuführungsströme mit hoher Genauigkeit zu messen. Aus diesem Grund hat die Buchsenplatte ein Relais, das schaltet, ob der Bypasskondensator und die Leistungszuführungsleitung verbunden sind oder nicht.
Da ein relevantes Patentdokument nicht erkannt werden konnte, wird eine Beschreibung hiervon weggelassen.
OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
DURCH DIE ERFINDUNG ZU LÖSENDE PROBLEME
Jedoch wird eine unterdimensionierte Buchsenplatte entwickelt in Bezug auf die Gleichförmigkeit der Temperaturverteilung oder Maschinengenauigkeit in Ver bindung mit dem Prüfkopf. Darüber hinaus wird, um den Prüfungswirkungsgrad zu verbessern, die Anzahl von gleichzeitig geprüften elektronischen Vorrichtungen erhöht, und somit nimmt die Anzahl von auf der Buchsenplatte befestigten elektronischen Vorrichtungen zu. Aus diesem Grund wird es schwierig, einen Bereich zum Befestigen des Bypasskondensators und des Relais zu gewährleisten.
Darüber hinaus werden Drähte zum Steuern eines Relais und Drähte zur Verwendung in einer Relaistreiber-Leistungszuführung erforderlich, wenn der Bypasskondensator und das Relais in der Buchsenplatte vorgesehen sind. Aus diesem Grund ist es schwierig, da ein Bereich der Buchsenplatte vergrößert werden sollte, mit der vorbeschriebenen Miniaturisierung kompatibel zu sein.
Wenn beispielsweise der Bypasskondensator und das Relais in dem Prüfkopf vorgesehen sind, kann der Bereich der Buchsenplatte reduziert werden. Da jedoch Störungen oder dergleichen, die von Leistungszuführungsleitungen zwischen dem Prüfkopf und der elektronischen Vorrichtung erzeugt werden, nicht beseitigt werden können, kann die elektronische Vorrichtung nicht mit hoher Genauigkeit geprüft werden.
Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Prüfvorrichtung vorzusehen, die die vorgenannten Probleme lösen kann. Die obige und andere Aufgaben können durch in den unabhängigen Ansprüchen beschriebene Kombinationen gelöst werden. Die abhängigen Ansprüche definierte weitere vorteilhafte und beispielhafte Kombinationen der vorliegenden Erfindung.
MITTEL ZUM LÖSEN DER PROBLEME
Um dieses Problem zu lösen ist gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung eine Prüfvorrichtung vorgesehen, die eine elektronische Vorrichtung prüft. Die Prüfvorrichtung enthält: ein Grundgerät, dass eine zu der elektronischen Vorrichtung zu liefernde Quellenleistung erzeugt; eine Buchsenplatte, in der eine Buchse zum Befestigen der elektronischen Vorrichtung vorgesehen ist; ein Prüfkopf, der die Buchsenplatte abnehmbar hält und die von dem Grundgerät erzeugte Quellenleistung über die Buchsenplatte zu der elektronischen Vorrichtung liefert; einen ersten Bypasskondensator, der über ein Relais mit Quellenleistungs-Übertragungsleitung in dem Prüfkopf verbunden ist; und einen zweiten Bypasskondensator, der fest mit einer Quellenleistungs-Übertragungsleitung in der Buchsenplatte verbunden ist.
Ein Abstand für die elektrische Leistungsübertragung zwischen dem Grundgerät und dem Prüfkopf kann größer sein als ein Abstand für die elektrische Leistungsübertragung zwischen dem Prüfkopf und der elektronischen Vorrichtung, und eine Kapazität des ersten Bypasskondensators kann größer als eine Kapazität des zweiten Bypasskondensators sein.
Der erste Bypasskondensator kann eine Kapazität entsprechend dem Abstand für die elektrische Leistungsübertragung zwischen dem Grundgerät und dem Prüfkopf haben, darüber hinaus kann der erste Bypasskondensator eine Kapazität gemäß der Betriebsfrequenz der elektronischen Vorrichtung haben.
Der erste Bypasskondensator kann eine Kapazität gemäß der Größe der Schwankung von zu der elektronischen Vorrichtung gelieferten Leistungszuführungsströmen haben, wenn ein Zustand der elektronischen Vorrichtung von einem Ruhezustand zu einem Betriebszustand übergeht. Die Prüfvorrichtung kann den ersten Bypasskondensator mit einer unterschiedlichen Kapazität haben und das Relais kann auswählen, welcher der ersten Bypasskondensatoren mit der Quellenleistungs-Übertragungsleitung in dem Prüfkopf verbunden ist.
Das Relais kann den ersten Bypasskondensator mit einer Kapazität gemäß der Betriebsfrequenz der elektronischen Vorrichtung auswählen. Das Relais kann den ersten Bypasskondensator mit einer Kapazität gemäß der Größe der Schwankung von zu der elektronischen Vorrichtung gelieferten Leistungszuführungsströmen haben, wenn ein Zustand der elektronischen Vorrichtung von einem Ruhezustand zu einem Betriebszustand übergeht.
Die Zusammenfassung der Erfindung beschreibt nicht notwendigerweise alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung. Die vorliegende Erfindung kann auch eine Unterkombination der vorbeschriebenen Merkmale sein.
WIRKUNGEN DER ERFINDUNG
Gemäß der vorliegenden Erfindung können die Miniaturisierung einer Buchsenplatte und eine Hochgenauigkeitsprüfung einer elektronischen Vorrichtung miteinander kompatibel sein.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 ist eine Ansicht, die beispielhaft eine Konfiguration einer Prüfvorrichtung 100 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vor liegenden Erfindung zeigt.
2 ist eine Ansicht, die beispielhaft eine Konfiguration zur Zuführung von Quellenleistung zu einer elektronischen Vorrichtung 200 in einer Konfiguration enthaltend ein Grundgerät 10, einen Prüfkopf 20 und eine Buchsenplatte 30 zeigt.
3 ist eine Ansicht, die ein anderes Beispiel für die Konfiguration eines Prüfkopfs 20 zeigt.
BEZUGSZAHLEN
10 Grundgerät, 12 Leistungszuführungseinheit, 14 Spannungssteuerschaltung, 20 Prüfkopf, 22 Relais, 24 erster Bypasskondensator, 26 Quellenleistungs-Übertragungsleitung, 28-1 Eingabeschaltung, 28-2 Ausgabeschaltung, 30 Buchsenplatte, 32 zweiter Bypasskondensator, 34 Quellenleistungs-Übertragungsleitung, 36 Eingabeschaltung, 38 Relaissteuerschaltung, 40 Kabel, 100 Prüfvorrichtung, 200 elektronische Vorrichtung.
BESTE ART DER AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
Die Erfindung wird nun auf der Grundlage der bevorzugten Ausführungsbeispiele beschrieben, die den Bereich der vorliegenden Erfindung nicht beschränken, sondern die Erfindung veranschaulichen sollen. Alle Merkmale und deren Kombinationen, die in dem Ausführungsbeispiel beschrieben sind, sind nicht notwendigerweise wesentlich für die Erfindung.
1 ist eine Ansicht, die beispielhaft eine Konfiguration einer Prüfvorrichtung 100 gemäß einem Aus führungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt. Die Prüfvorrichtung 100 ist eine Vorrichtung, die eine elektronische Vorrichtung wie eine Halbleiterschaltung prüft, und sie enthält ein Grundgerät 10, einen Prüfkopf 20, eine Buchsenplatte 30 und ein Kabel 40. Das Grundgerät 10 erzeugt Prüfmuster und Quellenleistung, die zu der elektronischen Vorrichtung zu liefern sind.
Der Prüfkopf 20 empfängt Prüfmuster und Quellenleistung über das Kabel 40 und liefert sie zu der Buchsenplatte 30. Darüber hinaus hält der Prüfkopf 20 abnehmbar die Buchsenplatte 30. Mit anderen Worten, die Prüfvorrichtung 100 kann verschiedene elektronische Vorrichtungen prüfen beispielsweise durch Auswechseln der Buchsenplatte 30 für jeden Typ von geprüften elektronischen Vorrichtungen.
Die Buchsenplatte 30 hat eine Buchse zum Befestigen der elektronischen Vorrichtung und liefert Prüfmuster und Quellenleistung, die von dem Prüfkopf 20 geliefert werden, zu der elektronischen Vorrichtung. Darüber hinaus kann die Buchsenplatte 30 mehrere Buchsen haben. In diesem Fall kann das Grundgerät 10 Prüfmuster und Leistungszuführungsströme für jede in jeder Buchse befestigte elektronische Vorrichtung erzeugen. Darüber hinaus steuert der Prüfkopf 20, welcher der elektronischen Vorrichtungen von dem Grundgerät 10 empfangene Prüfmuster und Quellenleistung zugeführt werden. Beispielsweise steuert der Prüfkopf 20 mittels einer Schaltverbindung von Drähten, welcher der elektronischen Vorrichtungen die empfangenen Prüfmuster und die Quellenleistung zugeführt werden.
2 ist eine Ansicht, die beispielhaft eine Konfiguration für die Zuführung von Quellenleistung zu ei ner elektronischen Vorrichtung 200 in einer Konfiguration enthaltend das Grundgerät 10, den Prüfkopf 20 und die Buchsenplatte 30 zeigt. Das Grundgerät 10 enthält eine Leistungszuführungseinheit 12 und eine Spannungssteuerschaltung 14. Die Leistungszuführungseinheit 12 gibt eine vorbestimmte Leistungszuführungsspannung aus. Die Spannungsteuerschaltung 14 ist ein Differenzverstärker und empfängt eine von der Leistungszuführungseinheit 12 erzeugte Leistungszuführungsspannung über einen positiven Eingangsanschluss und eine in einen Leistungszuführungsstift der elektronischen Vorrichtung 200 einzugebende Leistungszuführungsspannung über einen negativen Eingangsanschluss. Mit anderen Worten, die Spannungssteuerschaltung 14 steuert die von dem Grundgerät 10 ausgegebene Leistungszuführungsspannung auf einen vorbestimmten Spannungswert mittels einer Rückführung der Leistungszuführungsspannung, um in den Leistungszuführungsstift der elektronischen Vorrichtung 200 eingegeben zu werden.
Der Prüfkopf 20 hat eine Eingabeschaltung 28-1, eine Ausgabeschaltung 28-2, ein Relais 22, einen ersten Bypasskondensator 24 und eine Quellenleistungs-Übertragungsleitung 26. Die Eingabeschaltung 28-1 empfängt Quellenleistung über das Kabel 40 und überträgt sie über die Quellenleistungs-Übertragungsleitung 26 zu der Ausgabeschaltung 28-2. Der erste Bypasskondensator 24 ist zwischen der Quellenleistungs-Übertragungsleitung 26 und Erdpotential vorgesehen und über das Relais 22 mit der Leistungsquellen-Übertragungsleitung 26 verbunden. Die Ausgabeschaltung 28-2 gibt die empfangene Quellenleistung zu der Buchsenplatte 30 aus.
Die Buchsenplatte 30 hat eine Eingabeschaltung 36, eine Quellenleistungs-Übertragungsleitung 34 und einen zweiten Bypasskondensator 32. Darüber hinaus hält die Buchsenplatte 30 die elektronische Vorrichtung 200 in einer nicht gezeigten Buchse. Die Eingabeschaltung 36 liefert die empfangene Quellenleistung über die Quellenleistungs-Übertragungsleitung 34 zu der elektronischen Vorrichtung 200. Der zweite Bypasskondensator 32 ist zwischen der Quellenleistungs-Übertragungsleitung 34 und Erdpotential vorgesehen und fest mit der Quellenleistungs-Übertragungsleitung 34 verbunden. Mit anderen Worten, der zweite Bypasskondensator 32 ist nicht über ein Relais mit der Quellenleistungs-Übertragungsleitung 34 verbunden.
Auf diese Weise kann, da der erste Bypasskondensator 34 in dem Prüfkopf 20 getrennt von dem auf der Buchsenplatte 30 vorgesehenen zweiten Bypasskondensator 32 vorgesehen ist, der zweite Bypasskondensator 32 mit einer kleinen Kapazität verwendet werden. Aus diesem Grund ist es möglich, wenn Leistungszuführungsströme der elektronischen Vorrichtung 200 gemessen werden, einen Einfluss eines Leckstroms in dem zweiten Bypasskondensator 32 zu verringern. Darüber hinaus ist es nicht erforderlich, da ein Einfluss eines Leckstroms in dem zweiten Bypasskondensator 32 klein ist, ein Relais zum Trennen des zweiten Bypasskondensators 32 von der Quellenleistungs-Übertragungsleitung 34 vorzusehen. Aus diesem Grund kann die Buchsenplatte 30 miniaturisiert werden. Darüber hinaus können zwischen dem Grundgerät 10 und dem Prüfkopf 20 erzeugte Störungen durch den ersten Bypasskondensator 24 reduziert werden, und zwischen dem Prüfkopf 20 und der elektronischen Vorrichtung 200 erzeugte Störungen können durch den zweiten Bypasskondensator 32 reduziert werden. Daher ist es möglich, die die elektronische Vorrichtung 200 mit hoher Genauigkeit zu prüfen. Mit anderen Worten, bei der Prüfvorrichtung 100 nach dem vorliegenden Beispiel können die Miniaturisierung der Buchsenplatte 30 und die Genauigkeitsprüfung der elektronischen Vorrichtung 200 miteinander kompatibel sein.
Darüber hinaus ist der Abstand für die Übertragung elektrischer Leistung zwischen dem Grundgerät 10 und dem Prüfkopf 20 gewöhnlich größer als der Abstand für die Übertragung elektrischer Leistung zwischen dem Prüfkopf 20 und der elektronischen Vorrichtung 200. Beispielsweise beträgt die Länge des Kabels 40 gewöhnlich mehr als mehrere Meter, und der Abstand für die Übertragung elektrischer Leistung zwischen dem Prüfkopf 20 und der elektronischen Vorrichtung 200 beträgt gewöhnlich mehrere 10 cm bis etwa 1 m. In diesem Fall ist es bevorzugt, dass die Kapazität des ersten Bypasskondensators 24 größer als die Kapazität des zweiten Bypasskondensators 32 ist.
Das Ausmaß von auf einer Übertragungsleitung auftretenden Störungen ist üblicherweise proportional zu der Länger der Übertragungsleitung. Aus diesem Grund ist es bevorzugt, dass der erste Bypasskondensator 24 eine Kapazität entsprechend den Abständen für die Übertragung elektrischer Leistung zwischen dem Grundgerät 10 und dem Prüfkopf 20 hat und der zweite Bypasskondensator 32 eine Kapazität entsprechend dem Abstand für die Übertragung elektrischer Leistung zwischen dem Prüfkopf 20 und der elektronischen Vorrichtung 200 hat. Beispielsweise kann der erste Bypasskondensator 24 eine Kapazität haben, die im Wesentlichen proportional zu den Abständen für die Übertragung elektrischer Leistung zwischen dem Grundgerät und dem Prüfkopf 20 ist, und der zweite Bypasskondensator 32 kann eine Kapazität haben, die im We sentlichen proportional zu dem Abstand für die Übertragung elektrischer Leistung zwischen dem Prüfkopf 20 und der elektronischen Vorrichtung 200 ist. Als ein Beispiel kann die Kapazität des ersten Bypasskondensators 24 etwa 10 μF bis 100 μF betragen, und die Kapazität des zweiten Bypasskondensators 32 kann weniger als 1 μF betragen.
Darüber hinaus kann der erste Bypasskondensator 24 eine Kapazität gemäß der Betriebsfrequenz der elektronischen Vorrichtung 200 haben. Beispielsweise kann der erste Bypasskondensator 24 eine Kapazität haben, die im Wesentlichen umgekehrt proportional zu der Betriebsfrequenz der elektronischen Vorrichtung 200 ist. Darüber hinaus ist es bevorzugt, dass der erste Bypasskondensator 24 eine Kapazität hat, die in der Lage ist, der Schwankung der Frequenz von zu der elektronischen Vorrichtung 200 gelieferten Leistungszuführungsströmen zu folgen. Obgleich Ansprechgeschwindigkeiten zum Laden und Entladen des ersten Bypasskondensators 24 gemäß der Kapazität variieren, kann der erste Bypasskondensator 24 eine Kapazität derart haben, dass die Ansprechgeschwindigkeiten eine Ansprechgeschwindigkeit gleich der Betriebsfrequenz der elektronischen Vorrichtung 200 sind.
Darüber hinaus kann der erste Bypasskondensator 24 eine Kapazität gemäß dem Ausmaß der Schwankung von Leistungszuführungsströmen haben, wenn ein Zustand der elektronischen Vorrichtung 200 von einem Ruhezustand zu einem Betriebszustand übergeht. Beispielsweise kann der erste Bypasskondensator 24 eine Kapazität haben, die im Wesentlichen proportional der Größe der Schwankung der Leistungszuführungsströme ist. Ein Ruhezustand ist beispielsweise ein Zustand, in welchem ein Leistungszuführungsstrom der elektro nischen Vorrichtung 200 die kleinste Größe hat und ein Betriebszustand ist beispielsweise ein Zustand, in welchem ein Leistungszuführungsstrom der elektronischen Vorrichtung 200 die größte Größe hat. Obgleich die Schwankungsgeschwindigkeit der von der Spannungssteuerschaltung 14 ausgegebenen Leistungszuführungsströme gering ist, da der erste Bypasskondensator 24 eine Kapazität entsprechend der Größe der Schwankung derartiger Leistungszuführungsströme ist, ist es möglich, Leistungszuführungsströme folgend der Schwankung von Verbrauchsströmen der elektronischen Vorrichtung 200 mit hoher Geschwindigkeit zuzuführen.
Darüber hinaus kann der Prüfkopf 20 weiterhin den ersten Bypasskondensator 24 mit einer unterschiedlichen Kapazität haben und den ersten Bypasskondensator 24, der mit der Quellenleistungs-Übertragungsleitung 26 zu verbinden ist, gemäß der Betriebsfrequenz der elektronischen Vorrichtung 200 und der Größe der Schwankung von Leistungszuführungsströmen auswählen.
3 ist eine Ansicht, die ein anderes Beispiel für eine Konfiguration des Prüfkopfes 20 zeigt. Der Prüfkopf 20 bei dem vorliegenden Beispiel hat eine Eingabeschaltung 28-1, eine Ausgabeschaltung 28-2, ein Relais 22, mehrere erste Bypasskondensatoren 24-1, 24-2 und 24-3 (nachfolgend als 24 bezeichnet), eine Quellenleistungs-Übertragungsleitung 26 und eine Relaissteuerschaltung 38.
Die Funktionen der Eingabeschaltung 28-1, der Ausgabeschaltung 28-2 und der Quellenleistungs-Übertragungsleitung 26 sind gleich denjenigen der Eingabeschaltung 28-1, der Ausgabeschaltung 28-2 und der Quellenleistungs-Übertragungsleitung 26, die in 2 beschrieben wurden. Die mehreren ersten Bypasskon densatoren 24 sind parallel zueinander zwischen der Quellenleistungs-Übertragungsleitung 26 und Erdpotential vorgesehen und haben jeweils unterschiedliche Kapazitäten.
Das Relais 22 wählt aus, welcher der ersten Bypasskondensatoren 24 mit der Quellenleistungs-Übertragungsleitung 26 verbunden ist. Die Relaissteuerschaltung 38 steuert, welcher der ersten Bypasskondensatoren 24 durch das Relais 22 ausgewählt wird. Beispielsweise bewirkt die Relaissteuerschaltung 38, dass das Relais 22 den ersten Bypasskondensator 24 mit einer Kapazität entsprechend der Betriebsfrequenz der elektronischen Vorrichtung 200 oder der Größe der Schwankung der Leistungszuführungsströme, die vorstehend beschrieben sind, auswählt. Hierdurch ist es möglich, den ersten Bypasskondensator 24 gemäß einer Charakteristik der zu prüfenden elektronischen Vorrichtung 200 auszuwählen.
Die Relaissteuerschaltung 38 kann gemäß von einem Benutzer gegebenen Informationen steuern, welcher der ersten Bypasskondensatoren 24 ausgewählt wird. Beispielsweise werden Informationen, die zeigen, welcher der ersten Bypasskondensatoren 24 ausgewählt wird, von dem Benutzer gegeben, und die Relaissteuerschaltung 38 kann das Relais 22 auf der Grundlage dieser Informationen steuern.
Darüber hinaus kann die Relaissteuerschaltung 38 die Betriebsfrequenz der elektronischen Vorrichtung 200 oder die Größe der Schwankung von Leistungszuführungsströmen messen und das Relais 22 gemäß dem gemessenen Wert steuern. In diesem Fall kann die Prüfvorrichtung 100 Muster zu der elektronischen Vorrichtung 200 liefern, die bewirken, dass die Relaissteu erschaltung 38 die Betriebsfrequenz der elektronischen Vorrichtung 200 oder die Größe der Schwankung von Leistungszuführungsströmen misst. Dann kann die Relaissteuerschaltung 38 eine Leistungszuführungsspannung oder einen durch die Quellenleistungs-Übertragungsleitung 26 hindurchgehenden Leistungszuführungsstrom erfassen und die Betriebsfrequenz der elektronischen Vorrichtung 200 oder die Größe der Schwankung von Leistungszuführungsströmen messen.
Obgleich die vorliegende Erfindung im Wege eines Ausführungsbeispiels beschrieben wurde, ist festzustellen, dass der Fachmann viele Änderungen und Substitutionen durchführen kann, ohne den Geist und den Bereich der vorliegenden Erfindung zu verlassen. Es ist augenscheinlich anhand der Definition der angefügten Ansprüche, dass Ausführungsbeispiele mit derartigen Modifikationen auch zu dem Bereich der vorliegenden Erfindung gehören.
GEWERBLICHE ANWENDBARKEIT
Wie aus der vorstehenden Beschreibung ersichtlich ist, können gemäß der vorliegenden Erfindung die Miniaturisierung der Buchsenplatte und die genaue Prüfung der elektronischen Vorrichtung kompatibel sein.
Zusammenfassung:
Es ist eine Prüfvorrichtung (100), die eine elektronische Vorrichtung (200) prüft, vorgesehen. Die Prüfvorrichtung enthält ein Grundgerät (10), das zu der elektronischen Vorrichtung zu liefernde Quellenleistung erzeugt, eine Buchsenplatte (30), in der eine Buchse zum Befestigen der elektronischen Vorrichtung in dieser vorgesehen ist, einen Prüfkopf (20), der abnehmbar die Buchsenplatte hält und die von dem Grundgerät erzeugte Quellenleistung über die Buchsenplatte zu der elektronischen Vorrichtung liefert, einen ersten Bypasskondensator (24), der mit einer Quellenleistungs-Übertragungsleitung (26) in dem Prüfkopf über ein Relais (22) verbunden ist, und einen zweiten Bypasskondensator (32), der mit einer Quellenleistungs-Übertragungsleitung (34) in der Buchsenplatte fest verbunden ist.

Claims

Prüfvorrichtung, die eine elektronische Vorrichtung prüft, welche aufweist: ein Grundgerät, das eine zu der elektronischen Vorrichtung zu liefernde Quellenleistung erzeugt; eine Buchsenplatte, in der eine Buchse zum Befestigen der elektronischen Vorrichtung in dieser vorgesehen ist; einen Prüfkopf, der abnehmbar die Buchsenplatte hält und die von dem Grundgerät erzeugte Quellenleistung über die Buchsenplatte zu der elektronischen Vorrichtung liefert; einen ersten Bypasskondensator, der mit einer Quellenleistungs-Übertragungsleitung in dem Prüfkopf über ein Relais verbunden ist; und einen zweiten Bypasskondensator, der mit einer Quellenleistungs-Übertragungsleitung in der Buchsenplatte fest verbunden ist.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, bei der ein Abstand für die Übertragung elektrischer Leistung zwischen dem Grundgerät und dem Prüfkopf größer als ein Abstand für die Übertragung elektrischer Leistung zwischen dem Prüfkopf und der elektronischen Vorrichtung ist, und eine Kapazität des ersten Bypasskondensators größer als eine Kapazität des zweiten Bypasskondensators ist.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 2, bei der der erste Bypasskondensator eine Kapazität gemäß dem Abstand für die Übertragung elektrischer Leistung zwischen dem Grundgerät und dem Prüfkopf hat.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 2, bei der der erste Bypasskondensator eine Kapazität gemäß der Betriebsfrequenz der elektronischen Vorrichtung hat.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 2, bei der der erste Bypasskondensator eine Kapazität gemäß der Größe der Schwankung von zu der elektronischen Vorrichtung gelieferten Leistungszuführungsströmen hat, wenn ein Zustand der elektronischen Vorrichtung von einem Ruhezustand zu einem Betriebszustand übergeht.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 2, bei der die Prüfvorrichtung den ersten Bypasskondensator mit einer unterschiedlichen Kapazität hat, und das Relais auswählt, welcher von den ersten Bypasskondensatoren mit der Quellenleistungs-Übertragungsleitung in dem Prüfkopf verbunden ist.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 6, bei der das Relais den ersten Bypasskondensator mit einer Kapazität gemäß der Betriebsfrequenz der elektronischen Vorrichtung auswählt.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 6, bei der das Relais den ersten Bypasskondensator mit einer Kapazität gemäß der Größe der Schwankung von zu der elektronischen Vorrichtung gelieferten Leistungszuführungsströmen auswählt, wenn ein Zustand der elektronischen Vorrichtung von einem Ruhezustand zu einem Betriebszustand übergeht.