JPH0943284A - Ｉｃテストシステムにおけるｄｕｔ電源ピンのバイパス容量測定装置及びバイパス容量開閉スイッチのコンタクトチェック装置 - Google Patents
Ｉｃテストシステムにおけるｄｕｔ電源ピンのバイパス容量測定装置及びバイパス容量開閉スイッチのコンタクトチェック装置Info
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- JPH0943284A JPH0943284A JP7210051A JP21005195A JPH0943284A JP H0943284 A JPH0943284 A JP H0943284A JP 7210051 A JP7210051 A JP 7210051A JP 21005195 A JP21005195 A JP 21005195A JP H0943284 A JPH0943284 A JP H0943284A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、ＤＵＴ電源ピンに接続されるバイ
パス容量値の測定を実現する。又、この測定手段でバイ
パス容量開閉スイッチのコンタクトチェック機能も実現
する。 【構成】 ＤＵＴへの供給電源に電流制限手段７０を直
列に挿入する抵抗付加手段３５０を設け、電源電圧印加
により、被測定容量と電流制限手段で形成した電圧立ち
上がり時定数を測定し、この時定数から被測定容量の値
を算出する容量測定手段３６０設ける。
パス容量値の測定を実現する。又、この測定手段でバイ
パス容量開閉スイッチのコンタクトチェック機能も実現
する。 【構成】 ＤＵＴへの供給電源に電流制限手段７０を直
列に挿入する抵抗付加手段３５０を設け、電源電圧印加
により、被測定容量と電流制限手段で形成した電圧立ち
上がり時定数を測定し、この時定数から被測定容量の値
を算出する容量測定手段３６０設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣテストシステム
において、ＤＵＴ電源ピンに接続されるバイパス容量の
測定手段、及びバイパス容量の開閉スイッチのコンタク
トチェック手段に関する。
において、ＤＵＴ電源ピンに接続されるバイパス容量の
測定手段、及びバイパス容量の開閉スイッチのコンタク
トチェック手段に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣテストシステムでは、複数のプログ
ラマブル電源であるＰＰＳを有していて、これからテス
トヘッドにあるＤＵＴ電源ピンに任意の電源電圧を供給
してデバイス試験に供している。
ラマブル電源であるＰＰＳを有していて、これからテス
トヘッドにあるＤＵＴ電源ピンに任意の電源電圧を供給
してデバイス試験に供している。
【０００３】一個のＰＰＳからＤＵＴへ電源を供給する
電源供給系統図の一例を図５に示す。構成は、ＰＰＳ３
００と、ケーブル２４０、２５０と、コンデンサＣ１１
０、Ｃ１２０と、スイッチ１５０と、ＤＵＴ１００とで
成る。
電源供給系統図の一例を図５に示す。構成は、ＰＰＳ３
００と、ケーブル２４０、２５０と、コンデンサＣ１１
０、Ｃ１２０と、スイッチ１５０と、ＤＵＴ１００とで
成る。
【０００４】ＰＰＳ（programmable power supply）３
００は、任意の電源電圧を所望の精度でＤＵＴ電源ピン
に供給するものであって、原理回路構成は、パワーアン
プ３とスイッチ６とバッファアンプ４と帰還抵抗Ｒ９と
入力抵抗Ｒ８とＤＡコンバータ７と周波数特性補正部４
０とで成る。
００は、任意の電源電圧を所望の精度でＤＵＴ電源ピン
に供給するものであって、原理回路構成は、パワーアン
プ３とスイッチ６とバッファアンプ４と帰還抵抗Ｒ９と
入力抵抗Ｒ８とＤＡコンバータ７と周波数特性補正部４
０とで成る。
【０００５】ＤＡコンバータ７は、外部からの電圧設定
データを受けて、基準のアナログ電圧信号を入力抵抗Ｒ
８の一端に与える。スイッチ６は、パワーアンプ３から
の電源供給を開閉する制御リレーの接点である。
データを受けて、基準のアナログ電圧信号を入力抵抗Ｒ
８の一端に与える。スイッチ６は、パワーアンプ３から
の電源供給を開閉する制御リレーの接点である。
【０００６】周波数特性補正部４０は、パワーアンプ３
の周波数特性を変えて出力の周波数特性を選択する位相
補正回路であり、ＤＵＴに印加する電源の電圧設定変更
直後から安定状態に達する迄のセットリングタイム（se
ttling time）を最適な短時間条件に切り替える位相補
正用コンデンサＣ１、Ｃ２、Ｃ３とスイッチＳＷc1、Ｓ
Ｗc2とで成る。
の周波数特性を変えて出力の周波数特性を選択する位相
補正回路であり、ＤＵＴに印加する電源の電圧設定変更
直後から安定状態に達する迄のセットリングタイム（se
ttling time）を最適な短時間条件に切り替える位相補
正用コンデンサＣ１、Ｃ２、Ｃ３とスイッチＳＷc1、Ｓ
Ｗc2とで成る。
【０００７】パワーアンプ３は、ＤＵＴ電源ピン位置１
０１での電圧が所望の一定電圧にするものであって、差
動増幅器による帰還ループを形成している。即ち、ＤＵ
Ｔへの電源電流によってケーブル２４０自体の電圧ドロ
ップによる影響を無くする為に、ＤＵＴ電源ピン端の電
圧をセンシング（sensing）用の帰還ケーブル２５０を
設けてＰＰＳ側へ帰還し、この信号をバッファアンプ４
でバッファした後、帰還抵抗Ｒ９でパワーアンプ３の入
力端に与えている。
０１での電圧が所望の一定電圧にするものであって、差
動増幅器による帰還ループを形成している。即ち、ＤＵ
Ｔへの電源電流によってケーブル２４０自体の電圧ドロ
ップによる影響を無くする為に、ＤＵＴ電源ピン端の電
圧をセンシング（sensing）用の帰還ケーブル２５０を
設けてＰＰＳ側へ帰還し、この信号をバッファアンプ４
でバッファした後、帰還抵抗Ｒ９でパワーアンプ３の入
力端に与えている。
【０００８】ところで、ＤＵＴ電源ピン直近には、図５
に示すように高周波バイパス用の小容量コンデンサＣ１
１０が接続され、更に低周波バイパス用の中容量コンデ
ンサＣ１２０がスイッチ１５０と直列に接続して設けて
ある。このスイッチ１５０は、制御リレーの接点であ
り、試験プログラムにより任意に制御可能である。この
バイパスコンデンサＣ１２０は、使用者がＤＵＴ品種に
応じて任意容量値のコンデンサ、例えば０．１μ〜３０
μＦを実装して使用する。
に示すように高周波バイパス用の小容量コンデンサＣ１
１０が接続され、更に低周波バイパス用の中容量コンデ
ンサＣ１２０がスイッチ１５０と直列に接続して設けて
ある。このスイッチ１５０は、制御リレーの接点であ
り、試験プログラムにより任意に制御可能である。この
バイパスコンデンサＣ１２０は、使用者がＤＵＴ品種に
応じて任意容量値のコンデンサ、例えば０．１μ〜３０
μＦを実装して使用する。
【０００９】一方、ＤＵＴ試験用のテストプログラムに
おいては、デバイス試験時間を最小にしてスルプット向
上を計る為に、バイパスコンデンサＣ１２０の値に応じ
て、ＰＰＳ３００のセットリング時間を最小とするよう
に、セットリングタイム設定制御文を使用者が記述して
使用に供する。
おいては、デバイス試験時間を最小にしてスルプット向
上を計る為に、バイパスコンデンサＣ１２０の値に応じ
て、ＰＰＳ３００のセットリング時間を最小とするよう
に、セットリングタイム設定制御文を使用者が記述して
使用に供する。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】ところで、使用者が、
もしバイパスコンデンサＣ１２０の容量値を間違えて実
装してしまった場合、セットリングタイム設定制御文に
よるＰＰＳに設定される周波数特性補正部４０条件によ
っては、ＤＵＴ電源ピンの電圧が不安定になったり、Ｐ
ＰＳ側が負荷変動に対するダイナミック特性であるロー
ド・レギュレーションが悪くなって、正常なデバイス試
験が出来ない場合が生じる。あるいは、バイパスコンデ
ンサＣ１２０の半田付け不良のままでデバイス試験を実
施してしまう場合も有りうる。この場合ではＤＵＴ電源
ピンのダイナミック電流によるリップル電圧を生じて、
測定結果が正常状態とは異なったデータとして得られる
場合がある。従来の構成においては、バイパスコンデン
サＣ１２０の測定は出来なかった。
もしバイパスコンデンサＣ１２０の容量値を間違えて実
装してしまった場合、セットリングタイム設定制御文に
よるＰＰＳに設定される周波数特性補正部４０条件によ
っては、ＤＵＴ電源ピンの電圧が不安定になったり、Ｐ
ＰＳ側が負荷変動に対するダイナミック特性であるロー
ド・レギュレーションが悪くなって、正常なデバイス試
験が出来ない場合が生じる。あるいは、バイパスコンデ
ンサＣ１２０の半田付け不良のままでデバイス試験を実
施してしまう場合も有りうる。この場合ではＤＵＴ電源
ピンのダイナミック電流によるリップル電圧を生じて、
測定結果が正常状態とは異なったデータとして得られる
場合がある。従来の構成においては、バイパスコンデン
サＣ１２０の測定は出来なかった。
【００１１】また、スイッチ１５０は、制御リレーの機
械的な接点であり寿命がある。このスイッチを数百、数
千万回使用により接触不良を起こしたり、あるいは接点
が溶着する不具合の発生も有りうる。従来の構成では、
このスイッチ１５０のコンタクトチェックする検出手段
が無く行われていなかった。これら稀に発生する不具合
を知らずにデバイス試験を行うことは、本来の特性結果
からずれた測定値を得ることに成り、デバイス測定の品
質低下を招き、好ましくなく利用上の難点であった。
械的な接点であり寿命がある。このスイッチを数百、数
千万回使用により接触不良を起こしたり、あるいは接点
が溶着する不具合の発生も有りうる。従来の構成では、
このスイッチ１５０のコンタクトチェックする検出手段
が無く行われていなかった。これら稀に発生する不具合
を知らずにデバイス試験を行うことは、本来の特性結果
からずれた測定値を得ることに成り、デバイス測定の品
質低下を招き、好ましくなく利用上の難点であった。
【００１２】そこで、本発明が解決しようとする課題
は、ＤＵＴ電源ピンに接続されるバイパス容量値の測定
を実現する。又、この測定手段でバイパス容量開閉スイ
ッチのコンタクトチェック機能も実現することを目的と
する。
は、ＤＵＴ電源ピンに接続されるバイパス容量値の測定
を実現する。又、この測定手段でバイパス容量開閉スイ
ッチのコンタクトチェック機能も実現することを目的と
する。
【００１３】
【課題を解決するための手段】第１図は、本発明による
第１の解決手段を示している。上記課題を解決するため
に、本発明の構成では、ＤＵＴへの供給電源に電流制限
手段７０を直列に挿入する抵抗付加手段３５０を設け、
電源電圧印加により、被測定容量と電流制限手段で形成
した電圧立ち上がり時定数を測定し、この時定数から被
測定容量の値を算出する容量測定手段３６０設ける構成
手段にする。第４図は、本発明による第２の解決手段を
示している。上記課題を解決するために、本発明の構成
では、ＤＵＴへの供給電源に定電流印加手段を直列に挿
入する抵抗付加手段３５０設け、電源電圧印加により、
被測定容量と定電流印加手段で形成した電圧立ち上がり
時定数を測定し、この時定数から被測定容量の値を算出
する容量測定手段３６０設ける構成手段にする。上記に
より、被試験デバイスＤＵＴ電源ピンにスイッチ１５０
と直列接続されたバイパス容量の測定を実現する。
第１の解決手段を示している。上記課題を解決するため
に、本発明の構成では、ＤＵＴへの供給電源に電流制限
手段７０を直列に挿入する抵抗付加手段３５０を設け、
電源電圧印加により、被測定容量と電流制限手段で形成
した電圧立ち上がり時定数を測定し、この時定数から被
測定容量の値を算出する容量測定手段３６０設ける構成
手段にする。第４図は、本発明による第２の解決手段を
示している。上記課題を解決するために、本発明の構成
では、ＤＵＴへの供給電源に定電流印加手段を直列に挿
入する抵抗付加手段３５０設け、電源電圧印加により、
被測定容量と定電流印加手段で形成した電圧立ち上がり
時定数を測定し、この時定数から被測定容量の値を算出
する容量測定手段３６０設ける構成手段にする。上記に
より、被試験デバイスＤＵＴ電源ピンにスイッチ１５０
と直列接続されたバイパス容量の測定を実現する。
【００１４】抵抗付加手段３５０としては、電圧センシ
ング用帰還ケーブル２５０からの信号を遮断するスイッ
チＳＷ２１を設け、ＤＵＴへの供給電源に直列に挿入す
る電流制限手段７０あるいは定電流印加回路手段８０を
設け、前記電流制限手段７０あるいは定電流印加回路手
段８０をバイパスするスイッチＳＷ２２を設ける構成手
段がある。
ング用帰還ケーブル２５０からの信号を遮断するスイッ
チＳＷ２１を設け、ＤＵＴへの供給電源に直列に挿入す
る電流制限手段７０あるいは定電流印加回路手段８０を
設け、前記電流制限手段７０あるいは定電流印加回路手
段８０をバイパスするスイッチＳＷ２２を設ける構成手
段がある。
【００１５】電流制限手段７０としては、少なくとも１
つの抵抗Ｒ３１とこの抵抗Ｒ３１をバイパスさせるスイ
ッチＳＷ２２、あるいは少なくとも１つの抵抗Ｒ３１で
構成する手段がある。
つの抵抗Ｒ３１とこの抵抗Ｒ３１をバイパスさせるスイ
ッチＳＷ２２、あるいは少なくとも１つの抵抗Ｒ３１で
構成する手段がある。
【００１６】容量測定手段３６０としては、立ち上がり
電圧を連続的にサンプリング測定するＡＤコンバータ部
１４を設け、前記で得た複数ポイントのサンプリングデ
ータを受けて、時定数τを算出する時定数測定手段を設
け、この時定数τと既知の直列抵抗Ｒxから被測定容量
Ｃx＝τ／Ｒxを算出する制御部１０を設ける構成手段が
ある。
電圧を連続的にサンプリング測定するＡＤコンバータ部
１４を設け、前記で得た複数ポイントのサンプリングデ
ータを受けて、時定数τを算出する時定数測定手段を設
け、この時定数τと既知の直列抵抗Ｒxから被測定容量
Ｃx＝τ／Ｒxを算出する制御部１０を設ける構成手段が
ある。
【００１７】時定数測定手段の第１としては、ＡＤコン
バータ部１４からの複数の測定電圧値を受けて、２ポイ
ント間を直線とした近似曲線、あるいは３ポイント間を
通過してカーブフィットする近似曲線により時定数曲線
８２を求め、これから時定数τを算出する手段がある。
時定数測定手段の第２としては、ＤＵＴ電源ピンの立ち
上がり電圧の２点間の時間を測定する立ち上がり時間測
定回路６０を設け、この２点間の時間データから時定数
τを算出する演算部を設ける構成手段がある。
バータ部１４からの複数の測定電圧値を受けて、２ポイ
ント間を直線とした近似曲線、あるいは３ポイント間を
通過してカーブフィットする近似曲線により時定数曲線
８２を求め、これから時定数τを算出する手段がある。
時定数測定手段の第２としては、ＤＵＴ電源ピンの立ち
上がり電圧の２点間の時間を測定する立ち上がり時間測
定回路６０を設け、この２点間の時間データから時定数
τを算出する演算部を設ける構成手段がある。
【００１８】開閉スイッチ１５０のコンタクトチェック
は、次の実現手段がある。即ち、ＤＵＴへの供給電源に
電流制限手段あるいは定電流印加手段を直列に挿入して
設け、第１に、バイパス容量開閉スイッチ１５０を開の
状態で電源電圧の立ち上がりを測定し、第２にバイパス
容量開閉スイッチ１５０を閉の状態で電源電圧の立ち上
がりを測定するＡＤコンバータ部１４を設け、両測定デ
ータ列の対応するデータ同志の差分を求め、この差分デ
ータ列値の傾きからバイパス容量開閉スイッチ１５０の
開閉動作を判定するバイパス容量開閉スイッチ判定手段
を設ける構成手段がある。また、ＤＵＴへの供給電源に
電流制限手段あるいは定電流印加手段を直列に挿入して
設け、第１にバイパス容量開閉スイッチ１５０を開の状
態で電源電圧の立ち上がり時間を計数し、第２にバイパ
ス容量開閉スイッチ１５０を閉の状態で電源電圧の立ち
上がり時間を計数する立ち上がり時間測定回路６０を設
け、両計数値の差により開閉スイッチ１５０の動作判定
を検出するバイパス容量開閉スイッチ判定手段を制御部
１０に設ける構成手段がある。上記により、被試験デバ
イスＤＵＴ電源ピンのバイパス容量を開閉する制御スイ
ッチである開閉スイッチ１５０のコンタクトチェックを
実現できる。
は、次の実現手段がある。即ち、ＤＵＴへの供給電源に
電流制限手段あるいは定電流印加手段を直列に挿入して
設け、第１に、バイパス容量開閉スイッチ１５０を開の
状態で電源電圧の立ち上がりを測定し、第２にバイパス
容量開閉スイッチ１５０を閉の状態で電源電圧の立ち上
がりを測定するＡＤコンバータ部１４を設け、両測定デ
ータ列の対応するデータ同志の差分を求め、この差分デ
ータ列値の傾きからバイパス容量開閉スイッチ１５０の
開閉動作を判定するバイパス容量開閉スイッチ判定手段
を設ける構成手段がある。また、ＤＵＴへの供給電源に
電流制限手段あるいは定電流印加手段を直列に挿入して
設け、第１にバイパス容量開閉スイッチ１５０を開の状
態で電源電圧の立ち上がり時間を計数し、第２にバイパ
ス容量開閉スイッチ１５０を閉の状態で電源電圧の立ち
上がり時間を計数する立ち上がり時間測定回路６０を設
け、両計数値の差により開閉スイッチ１５０の動作判定
を検出するバイパス容量開閉スイッチ判定手段を制御部
１０に設ける構成手段がある。上記により、被試験デバ
イスＤＵＴ電源ピンのバイパス容量を開閉する制御スイ
ッチである開閉スイッチ１５０のコンタクトチェックを
実現できる。
【００１９】
【実施例】本発明では、図２（ｂ）、（ｃ）の等価回路
に示すように、抵抗Ｒxと被測定容量Ｃx（即ちバイパス
コンデンサＣ１２０）とで電源電圧上昇カーブの時定数
τを形成させ、この時定数τを測定し、この時定数τと
既知の抵抗Ｒxから未知の容量値を、Ｃx＝τ／Ｒxを求
める手法である。
に示すように、抵抗Ｒxと被測定容量Ｃx（即ちバイパス
コンデンサＣ１２０）とで電源電圧上昇カーブの時定数
τを形成させ、この時定数τを測定し、この時定数τと
既知の抵抗Ｒxから未知の容量値を、Ｃx＝τ／Ｒxを求
める手法である。
【００２０】（実施例１）実施例１では、ＡＤコンバー
タを使用して電圧上昇経過の各ポイントの電圧を測定
し、この時定数特性曲線から時定数τを求める場合の例
である。図１は、従来構成に対して、抵抗付加手段３５
０と容量測定手段３６０を追加した構成図である。
タを使用して電圧上昇経過の各ポイントの電圧を測定
し、この時定数特性曲線から時定数τを求める場合の例
である。図１は、従来構成に対して、抵抗付加手段３５
０と容量測定手段３６０を追加した構成図である。
【００２１】抵抗付加手段３５０は、電圧センシング用
帰還ケーブル２５０による帰還信号を遮断し、かつ電源
出力に直列に既知の抵抗Ｒxを挿入する。図１の例では
スイッチＳＷ２１、ＳＷ２２と、抵抗Ｒ３０と、電流制
限手段７０とで成る。この電流制限手段７０は、ＳＷ２
３と抵抗Ｒ３１、Ｒ３２とで成る。ここで、等価抵抗Ｒ
xとは、抵抗Ｒ３１単独、あるいは抵抗Ｒ３１、Ｒ３２
を並列接続した抵抗値を意味する。この抵抗値は、ＤＵ
Ｔ接続時において、電圧印加して定常状態後の電圧ドロ
ップが大きくならない程度の抵抗値を使用し、例えばＲ
３１＝５００Ω、Ｒ３２＝５０Ωの抵抗値を使用する。
帰還ケーブル２５０による帰還信号を遮断し、かつ電源
出力に直列に既知の抵抗Ｒxを挿入する。図１の例では
スイッチＳＷ２１、ＳＷ２２と、抵抗Ｒ３０と、電流制
限手段７０とで成る。この電流制限手段７０は、ＳＷ２
３と抵抗Ｒ３１、Ｒ３２とで成る。ここで、等価抵抗Ｒ
xとは、抵抗Ｒ３１単独、あるいは抵抗Ｒ３１、Ｒ３２
を並列接続した抵抗値を意味する。この抵抗値は、ＤＵ
Ｔ接続時において、電圧印加して定常状態後の電圧ドロ
ップが大きくならない程度の抵抗値を使用し、例えばＲ
３１＝５００Ω、Ｒ３２＝５０Ωの抵抗値を使用する。
【００２２】スイッチＳＷ２１、ＳＷ２２、ＳＷ２３
は、制御部１０から制御可能なリレーや半導体スイッチ
素子の接点である。スイッチＳＷ２１は、時定数測定時
にＯＦＦさせて、ＤＵＴ電源ピン位置１０１からの帰還
信号を遮断し、パワーアンプ３出力端の信号を直接高抵
抗Ｒ３０を介して帰還させる。スイッチＳＷ２２は、本
来のＰＰＳとしてＤＵＴへ電源を供給する場合にはクロ
ーズして抵抗Ｒ３１をバイパスさせ、容量Ｃx測定時に
はオープンする。スイッチＳＷ２３は、抵抗値のレンジ
切り替え用であって、オープン時は抵抗Ｒx＝Ｒ３１で
あり、クローズ時は抵抗Ｒx＝Ｒ３１／／Ｒ３２の並列
抵抗値となる。
は、制御部１０から制御可能なリレーや半導体スイッチ
素子の接点である。スイッチＳＷ２１は、時定数測定時
にＯＦＦさせて、ＤＵＴ電源ピン位置１０１からの帰還
信号を遮断し、パワーアンプ３出力端の信号を直接高抵
抗Ｒ３０を介して帰還させる。スイッチＳＷ２２は、本
来のＰＰＳとしてＤＵＴへ電源を供給する場合にはクロ
ーズして抵抗Ｒ３１をバイパスさせ、容量Ｃx測定時に
はオープンする。スイッチＳＷ２３は、抵抗値のレンジ
切り替え用であって、オープン時は抵抗Ｒx＝Ｒ３１で
あり、クローズ時は抵抗Ｒx＝Ｒ３１／／Ｒ３２の並列
抵抗値となる。
【００２３】容量測定手段３６０は、ＡＤコンバータ部
１４と制御部１０とで成る。ＡＤコンバータ部１４は、
ＤＵＴ電源ピンの立ち上がり電圧を連続的にサンプリン
グ測定するものである。サンプリング間隔は、少なくと
も時定数τが算出できるように、抵抗Ｒxのレンジを適
切に切り替えて数ポイント以上をサンプリングできるよ
うにする。ＤＵＴ電源ピンの立ち上がり電圧を一定間隔
で連続的にＡＤ変換した後、この連続測定データを制御
部１０に供給する。
１４と制御部１０とで成る。ＡＤコンバータ部１４は、
ＤＵＴ電源ピンの立ち上がり電圧を連続的にサンプリン
グ測定するものである。サンプリング間隔は、少なくと
も時定数τが算出できるように、抵抗Ｒxのレンジを適
切に切り替えて数ポイント以上をサンプリングできるよ
うにする。ＤＵＴ電源ピンの立ち上がり電圧を一定間隔
で連続的にＡＤ変換した後、この連続測定データを制御
部１０に供給する。
【００２４】制御部１０は、測定系全体を制御し、第１
に、時定数τを算出し、これから未知のバイパスコンデ
ンサＣ１２０の容量値を算出する。第２に、スイッチ１
５０のコンタクトチェックをする。図２（ａ）は、３種
の未知の容量値での電源電圧の立ち上がり曲線を示す。
この中で時定数曲線８２の例で説明する。
に、時定数τを算出し、これから未知のバイパスコンデ
ンサＣ１２０の容量値を算出する。第２に、スイッチ１
５０のコンタクトチェックをする。図２（ａ）は、３種
の未知の容量値での電源電圧の立ち上がり曲線を示す。
この中で時定数曲線８２の例で説明する。
【００２５】第１に、バイパスコンデンサＣ１２０の容
量値の算出を説明する。先ず、ＡＤコンバータ部１４か
らの連続測定データを受けて、２ポイント間を直線とし
た直線補間手法、あるいは３ポイント間を通過してカー
ブフィット（curve fit）する近似曲線により時定数曲
線８２を求める。
量値の算出を説明する。先ず、ＡＤコンバータ部１４か
らの連続測定データを受けて、２ポイント間を直線とし
た直線補間手法、あるいは３ポイント間を通過してカー
ブフィット（curve fit）する近似曲線により時定数曲
線８２を求める。
【００２６】ＤＵＴが接続されていない未実装時のバイ
パスコンデンサＣ１２０の容量値の算出について説明す
る。この場合の等価回路は、図２（ｂ）に示す単純なＲ
Ｃ直列回路である。よって、前記で得られた時定数曲線
８２から、出力電圧６３．２％点となる位置迄の時間τ
2を算出する。このτ2と既知の抵抗Ｒxから、未知の容
量Ｃx＝τ2／Ｒxの計算によりバイパスコンデンサＣ１
２０の容量値が求まることとなる。
パスコンデンサＣ１２０の容量値の算出について説明す
る。この場合の等価回路は、図２（ｂ）に示す単純なＲ
Ｃ直列回路である。よって、前記で得られた時定数曲線
８２から、出力電圧６３．２％点となる位置迄の時間τ
2を算出する。このτ2と既知の抵抗Ｒxから、未知の容
量Ｃx＝τ2／Ｒxの計算によりバイパスコンデンサＣ１
２０の容量値が求まることとなる。
【００２７】次に、ＤＵＴが接続されている場合のバイ
パスコンデンサＣ１２０の容量値算出について説明す
る。ＤＵＴが接続されている場合には、ＤＵＴ自身によ
る電源電流の影響を受け、これが定常状態における等価
回路を図２（ｃ）に示す。ＤＵＴのインピーダンスＺdu
tは、非線形素子である為、電源電圧により変化する
が、定常時のインピーダンス値と仮定する。このインピ
ーダンスは抵抗成分であるので時定数は、τ2＝Ｃx・
（Ｒx／／Ｚdut）の式になる。
パスコンデンサＣ１２０の容量値算出について説明す
る。ＤＵＴが接続されている場合には、ＤＵＴ自身によ
る電源電流の影響を受け、これが定常状態における等価
回路を図２（ｃ）に示す。ＤＵＴのインピーダンスＺdu
tは、非線形素子である為、電源電圧により変化する
が、定常時のインピーダンス値と仮定する。このインピ
ーダンスは抵抗成分であるので時定数は、τ2＝Ｃx・
（Ｒx／／Ｚdut）の式になる。
【００２８】ＤＵＴのインピーダンスＺdutを求める。
ＰＰＳ３００自体には電源電流測定機能を有しているの
で、これを利用して定常状態での電流値Ｉdutを得る。
また定常状態でのＤＵＴ電源ピンの電圧値ＶoutはＡＤ
コンバータ部１４で測定でき、このときの電圧値Ｖdut
を得る。両測定データから、インピーダンスＺdutは、
Ｚdut＝Ｖdut／Ｉdutとして求まり既知となる。
ＰＰＳ３００自体には電源電流測定機能を有しているの
で、これを利用して定常状態での電流値Ｉdutを得る。
また定常状態でのＤＵＴ電源ピンの電圧値ＶoutはＡＤ
コンバータ部１４で測定でき、このときの電圧値Ｖdut
を得る。両測定データから、インピーダンスＺdutは、
Ｚdut＝Ｖdut／Ｉdutとして求まり既知となる。
【００２９】次に図２（ａ）に示す縦軸の出力電圧１０
０％の値は、供給電圧Ｖppsでは無く電圧ドロップした
電圧Ｖdutであるから、時定数τ2の位置は、（Ｖdut／
Ｖpps）×６３．２％の計算で求める。この時定数τ2と
Ｚdutを、上記式に代入すれば未知のＣx値が算出できる
こととなる。ただし、直列に挿入した抵抗による電圧ド
ロップが小さい場合には、ＤＵＴのインピーダンスＺdu
tが無いものと見なして、上記ＤＵＴ非接続の場合の説
明と同様の算出手段としても良い。
０％の値は、供給電圧Ｖppsでは無く電圧ドロップした
電圧Ｖdutであるから、時定数τ2の位置は、（Ｖdut／
Ｖpps）×６３．２％の計算で求める。この時定数τ2と
Ｚdutを、上記式に代入すれば未知のＣx値が算出できる
こととなる。ただし、直列に挿入した抵抗による電圧ド
ロップが小さい場合には、ＤＵＴのインピーダンスＺdu
tが無いものと見なして、上記ＤＵＴ非接続の場合の説
明と同様の算出手段としても良い。
【００３０】次に、第２のスイッチ１５０のコンタクト
チェックの良否判定について説明する。まず、スイッチ
１５０オープン条件とクローズ条件の両条件で各々測定
実施して、ＡＤコンバータ部１４からの測定データを得
る。次に、両データの対応するデータ同志の差分を求め
る。そして、この差分データの傾きが所望の傾き値以上
である場合には時定数τが変化していることになる。こ
の場合は、スイッチ１５０の接点の動作が正常と判断さ
れる。逆に所望の傾き未満であれば時定数τの変化が無
いことになり、接点の動作が不良と判定される。ここで
バイパスコンデンサＣ１２０の容量値の大小については
問わないが、少なくともＡＤコンバータで差分が検出可
能な容量値（例えば０．０１μＦ以上）が必要である。
このように、コンタクトチェックの良否判定の場合は、
時定数τの値を求める必要が無く、ＤＵＴ実装の有無に
も関係無く、単に両時定数の相対的な変化が判れば判定
できる。
チェックの良否判定について説明する。まず、スイッチ
１５０オープン条件とクローズ条件の両条件で各々測定
実施して、ＡＤコンバータ部１４からの測定データを得
る。次に、両データの対応するデータ同志の差分を求め
る。そして、この差分データの傾きが所望の傾き値以上
である場合には時定数τが変化していることになる。こ
の場合は、スイッチ１５０の接点の動作が正常と判断さ
れる。逆に所望の傾き未満であれば時定数τの変化が無
いことになり、接点の動作が不良と判定される。ここで
バイパスコンデンサＣ１２０の容量値の大小については
問わないが、少なくともＡＤコンバータで差分が検出可
能な容量値（例えば０．０１μＦ以上）が必要である。
このように、コンタクトチェックの良否判定の場合は、
時定数τの値を求める必要が無く、ＤＵＴ実装の有無に
も関係無く、単に両時定数の相対的な変化が判れば判定
できる。
【００３１】（実施例２）実施例２では、ウィンドウ・
コンパレータを使用して、立ち上がり電圧の下限から上
限迄の時間を測定し、これから未知の容量値を算出する
例である。図３は、実施例１の構成に対し、容量測定手
段３６０のＡＤコンバータ部１４代わりに立ち上がり時
間測定回路６０を設け、これに対応した制御部１０と
し、これにより、第１に被測定容量Ｃxであるバイパス
コンデンサＣ１２０の容量値を求め、第２にスイッチ１
５０のコンタクトチェックを判定する構成図である。抵
抗付加手段３５０は、実施例１と同様である。
コンパレータを使用して、立ち上がり電圧の下限から上
限迄の時間を測定し、これから未知の容量値を算出する
例である。図３は、実施例１の構成に対し、容量測定手
段３６０のＡＤコンバータ部１４代わりに立ち上がり時
間測定回路６０を設け、これに対応した制御部１０と
し、これにより、第１に被測定容量Ｃxであるバイパス
コンデンサＣ１２０の容量値を求め、第２にスイッチ１
５０のコンタクトチェックを判定する構成図である。抵
抗付加手段３５０は、実施例１と同様である。
【００３２】立ち上がり時間測定回路６０の構成は、抵
抗Ｒ７１、Ｒ７２、Ｒ７３と、コンパレータ６１、６
２、６３、とＡＮＤゲート６４と、ＲＳフリップフロッ
プ６５と、カウンタ６６と基準クロック６７clkとで成
る。
抗Ｒ７１、Ｒ７２、Ｒ７３と、コンパレータ６１、６
２、６３、とＡＮＤゲート６４と、ＲＳフリップフロッ
プ６５と、カウンタ６６と基準クロック６７clkとで成
る。
【００３３】抵抗Ｒ７１、Ｒ７２、Ｒ７３は、ステップ
印加される電圧Ｖppsを分圧して、コンパレータ６１、
６２に上限／下限比較用の相対電圧値を供給する。本回
路構成では、ＤＵＴ電源ピンの定常状態の電圧を測定出
来ない。一方、ＤＵＴは一般に１ｖ未満では電源電流が
流れず高インピーダンスと見なせ、図２（ｂ）とほぼ等
価となるので、この電圧領域で検出させる。例えば、印
加電圧Ｖpps＝５．０ｖの場合、下限０．２ｖ、上限
０．８ｖとなる分圧比を与える。これにより、ＤＵＴ接
続の影響誤差を低減する。
印加される電圧Ｖppsを分圧して、コンパレータ６１、
６２に上限／下限比較用の相対電圧値を供給する。本回
路構成では、ＤＵＴ電源ピンの定常状態の電圧を測定出
来ない。一方、ＤＵＴは一般に１ｖ未満では電源電流が
流れず高インピーダンスと見なせ、図２（ｂ）とほぼ等
価となるので、この電圧領域で検出させる。例えば、印
加電圧Ｖpps＝５．０ｖの場合、下限０．２ｖ、上限
０．８ｖとなる分圧比を与える。これにより、ＤＵＴ接
続の影響誤差を低減する。
【００３４】コンパレータ６１、６２によりウィンドウ
・コンパレータを形成する。コンパレータ６２は、立ち
上がり電圧の下限を検出する比較器であり、下限検出に
よりＡＮＤゲート６４を経由してＲＳフリップフロップ
６５をセットする。コンパレータ６１は、立ち上がり電
圧の上限を検出する比較器であり、上限検出によりＡＮ
Ｄゲート６４でコンパレータ６２側の信号を禁止し、Ｒ
Ｓフリップフロップ６５をリセットする。これにより、
下限から上限区間迄の計数イネーブル信号をカウンタ６
６へ供給する。
・コンパレータを形成する。コンパレータ６２は、立ち
上がり電圧の下限を検出する比較器であり、下限検出に
よりＡＮＤゲート６４を経由してＲＳフリップフロップ
６５をセットする。コンパレータ６１は、立ち上がり電
圧の上限を検出する比較器であり、上限検出によりＡＮ
Ｄゲート６４でコンパレータ６２側の信号を禁止し、Ｒ
Ｓフリップフロップ６５をリセットする。これにより、
下限から上限区間迄の計数イネーブル信号をカウンタ６
６へ供給する。
【００３５】カウンタ６６は、基準クロック６７clk
（例えば１０ＭＨｚ）のクロック数を計数する１６ビッ
トカウンタであって、当初は、コンパレータ６３により
クリア状態にある。測定開始後、前記計数イネーブル信
号を受けて、計数開始し、停止する。この計数値を読み
出すことで、電圧の傾きに逆比例した計数値６６cntが
得られる。第１の被測定容量Ｃxであるバイパスコンデ
ンサＣ１２０の容量値を求める為に、制御部１０は、前
記の計数値と既知の抵抗Ｒxから、Ｃx＝Ｋ・６６cnt／
Ｒxで算出する。ここでＫは定数であり、抵抗Ｒ７１、
Ｒ７２、Ｒ７３の分圧比に関連するので予め求めてお
く。
（例えば１０ＭＨｚ）のクロック数を計数する１６ビッ
トカウンタであって、当初は、コンパレータ６３により
クリア状態にある。測定開始後、前記計数イネーブル信
号を受けて、計数開始し、停止する。この計数値を読み
出すことで、電圧の傾きに逆比例した計数値６６cntが
得られる。第１の被測定容量Ｃxであるバイパスコンデ
ンサＣ１２０の容量値を求める為に、制御部１０は、前
記の計数値と既知の抵抗Ｒxから、Ｃx＝Ｋ・６６cnt／
Ｒxで算出する。ここでＫは定数であり、抵抗Ｒ７１、
Ｒ７２、Ｒ７３の分圧比に関連するので予め求めてお
く。
【００３６】第２にスイッチ１５０のコンタクトチェッ
クの判定の為に、制御部１０は、実施例１と同様にし
て、まず、スイッチ１５０オープン条件とクローズ条件
の両条件で各々測定実施して計数値６６cntデータを得
る。次に、両データの差分値が所望の値以上である場合
には、スイッチ１５０の接点の動作が正常と判断され
る。逆に所望の差分値未満の場合には、接点の動作が不
良と判定される。この場合も実施例１同様にバイパスコ
ンデンサＣ１２０の容量値の大小については問わず検出
できる。
クの判定の為に、制御部１０は、実施例１と同様にし
て、まず、スイッチ１５０オープン条件とクローズ条件
の両条件で各々測定実施して計数値６６cntデータを得
る。次に、両データの差分値が所望の値以上である場合
には、スイッチ１５０の接点の動作が正常と判断され
る。逆に所望の差分値未満の場合には、接点の動作が不
良と判定される。この場合も実施例１同様にバイパスコ
ンデンサＣ１２０の容量値の大小については問わず検出
できる。
【００３７】上記実施例１、２の説明では、ＳＷ２３と
抵抗Ｒ３１、Ｒ３２とで成る電流制限手段７０とした構
成例で説明していたが、所望によりＳＷ２３と抵抗Ｒ３
１のみで構成しても良い。
抵抗Ｒ３１、Ｒ３２とで成る電流制限手段７０とした構
成例で説明していたが、所望によりＳＷ２３と抵抗Ｒ３
１のみで構成しても良い。
【００３８】上記実施例１、２の説明では、電流制限手
段７０を直列に挿入して時定数を付与する構成例で説明
していたが、この代わりに、図４に示す構成図のよう
に、定電流印加回路手段８０を設けて置き換え、これに
対応する時定数算出手段を制御部１０に設ける構成とし
ても良く、同様にして実施可能である。
段７０を直列に挿入して時定数を付与する構成例で説明
していたが、この代わりに、図４に示す構成図のよう
に、定電流印加回路手段８０を設けて置き換え、これに
対応する時定数算出手段を制御部１０に設ける構成とし
ても良く、同様にして実施可能である。
【００３９】上記実施例１、２の説明では、バイパスコ
ンデンサＣ１２０の容量値とコンタクトチェックの両方
を実施する場合で説明していたが、所望により、スイッ
チ１５０のコンタクトチェックのみの場合には、時定数
を算出すること無く、単にスイッチ１５０を開閉したと
きの両時定数の変化の有無を判定する判定手段のみを制
御部１０に設ける構成手段としても良い。
ンデンサＣ１２０の容量値とコンタクトチェックの両方
を実施する場合で説明していたが、所望により、スイッ
チ１５０のコンタクトチェックのみの場合には、時定数
を算出すること無く、単にスイッチ１５０を開閉したと
きの両時定数の変化の有無を判定する判定手段のみを制
御部１０に設ける構成手段としても良い。
【００４０】上記実施例１、２の説明では、バイパスコ
ンデンサＣ１２０の容量値を求める場合で説明していた
が、高周波バイパス用の小容量コンデンサＣ１１０が未
接続時の当初の時定数τaを、予め同様の手法により求
め、これを記憶メモリに格納保存しておき、小容量コン
デンサＣ１１０の接続後の時定数τbを測定して、両者
の時定数値から増加した時定数τcを求め、これから小
容量コンデンサＣ１１０の容量を求めることも出来る。
また、これにより、小容量コンデンサＣ１１０の実装の
有無の判定として利用することも可能である。
ンデンサＣ１２０の容量値を求める場合で説明していた
が、高周波バイパス用の小容量コンデンサＣ１１０が未
接続時の当初の時定数τaを、予め同様の手法により求
め、これを記憶メモリに格納保存しておき、小容量コン
デンサＣ１１０の接続後の時定数τbを測定して、両者
の時定数値から増加した時定数τcを求め、これから小
容量コンデンサＣ１１０の容量を求めることも出来る。
また、これにより、小容量コンデンサＣ１１０の実装の
有無の判定として利用することも可能である。
【００４１】上記実施例１、２の説明では、電流制限手
段７０をバイパスするスイッチＳＷ２２を設ける構成例
で説明していたが、所望によりこのスイッチＳＷ２２を
削除した構成としても良い。また、この電流制限手段７
０をパワーアンプ３の出力保護用抵抗と兼用しても良
く、同様にして実施可能である。
段７０をバイパスするスイッチＳＷ２２を設ける構成例
で説明していたが、所望によりこのスイッチＳＷ２２を
削除した構成としても良い。また、この電流制限手段７
０をパワーアンプ３の出力保護用抵抗と兼用しても良
く、同様にして実施可能である。
【００４２】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。電
流制限手段７０あるいは定電流印加回路手段は、未知の
容量Ｃxとで時定数を形成させることで、ステップ電圧
Ｖppsの印加を電圧の傾きに変換する作用を持ち、これ
によりＡＤコンバータ部１４あるいは立ち上がり時間測
定回路６０により時定数を測定可能になる。
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。電
流制限手段７０あるいは定電流印加回路手段は、未知の
容量Ｃxとで時定数を形成させることで、ステップ電圧
Ｖppsの印加を電圧の傾きに変換する作用を持ち、これ
によりＡＤコンバータ部１４あるいは立ち上がり時間測
定回路６０により時定数を測定可能になる。
【００４３】実施例１のＡＤコンバータ部１４と制御部
１０とで成る容量測定手段３６０により、ＤＵＴ電源ピ
ンの立ち上がり電圧Ｖoutを連続的にサンプリング測定
し、電源電圧の立ち上がりの時定数曲線８２を求め、こ
れから時定数τ2を求め、これからバイパスコンデンサ
Ｃ１２０の容量Ｃx＝τ2／Ｒxとして値が得られる。ま
た、スイッチ１５０オープン条件とクローズ条件の両条
件で各々測定実施して、ＡＤコンバータ部１４からの測
定データを得て、両データの対応するデータ同志の差分
を求め、この差分データの傾きの有無により、スイッチ
１５０の接点の動作が正常／不良の判断をするコンタク
トチェックを実現できる。
１０とで成る容量測定手段３６０により、ＤＵＴ電源ピ
ンの立ち上がり電圧Ｖoutを連続的にサンプリング測定
し、電源電圧の立ち上がりの時定数曲線８２を求め、こ
れから時定数τ2を求め、これからバイパスコンデンサ
Ｃ１２０の容量Ｃx＝τ2／Ｒxとして値が得られる。ま
た、スイッチ１５０オープン条件とクローズ条件の両条
件で各々測定実施して、ＡＤコンバータ部１４からの測
定データを得て、両データの対応するデータ同志の差分
を求め、この差分データの傾きの有無により、スイッチ
１５０の接点の動作が正常／不良の判断をするコンタク
トチェックを実現できる。
【００４４】実施例２の立ち上がり時間測定回路６０と
制御部１０とで成る容量測定手段３６０により、コンパ
レータ６１、６２によるウィンドウ・コンパレータを形
成して、２ポイント電圧区間の立ち上がり時間をカウン
タ６６で計数測定することで、容量Ｃx＝Ｋ・６６cnt／
Ｒxで算出できる。また、スイッチ１５０オープン条件
とクローズ条件の両条件で各々立ち上がり時間をカウン
タ６６で計数実施した測定データの差分を求め、この差
分データの有無から、スイッチ１５０の接点の動作が正
常／不良の判断をするコンタクトチェックを実現でき
る。
制御部１０とで成る容量測定手段３６０により、コンパ
レータ６１、６２によるウィンドウ・コンパレータを形
成して、２ポイント電圧区間の立ち上がり時間をカウン
タ６６で計数測定することで、容量Ｃx＝Ｋ・６６cnt／
Ｒxで算出できる。また、スイッチ１５０オープン条件
とクローズ条件の両条件で各々立ち上がり時間をカウン
タ６６で計数実施した測定データの差分を求め、この差
分データの有無から、スイッチ１５０の接点の動作が正
常／不良の判断をするコンタクトチェックを実現でき
る。
【００４５】これらにより、バイパス容量開閉スイッチ
１５０に接続されているバイパス容量値の測定が実現で
き、また、この測定からバイパス容量開閉スイッチ１５
０のコンタクトチェックを実現できる利点が得られる。
１５０に接続されているバイパス容量値の測定が実現で
き、また、この測定からバイパス容量開閉スイッチ１５
０のコンタクトチェックを実現できる利点が得られる。
【図１】本発明の、実施例１の抵抗付加手段３５０と容
量測定手段３６０を追加したバイパス容量測定、及びコ
ンタクトチェック装置構成図である。
量測定手段３６０を追加したバイパス容量測定、及びコ
ンタクトチェック装置構成図である。
【図２】本発明の、（ａ）直列抵抗Ｒxと被測定容量Ｃx
による電圧上昇特性図と、（ｂ）ＤＵＴ非接続時の抵抗
Ｒxと被測定容量Ｃxによる等価回路と、（ｃ）ＤＵＴ接
続時のＤＵＴ等価抵抗Ｚdutと抵抗Ｒxと被測定容量Ｃx
による等価回路である。
による電圧上昇特性図と、（ｂ）ＤＵＴ非接続時の抵抗
Ｒxと被測定容量Ｃxによる等価回路と、（ｃ）ＤＵＴ接
続時のＤＵＴ等価抵抗Ｚdutと抵抗Ｒxと被測定容量Ｃx
による等価回路である。
【図３】本発明の、実施例２の立ち上がり時間測定回路
６０によるバイパス容量測定、及びコンタクトチェック
装置構成図である。
６０によるバイパス容量測定、及びコンタクトチェック
装置構成図である。
【図４】本発明の、定電流印加回路手段８０に置き換え
た構成のバイパス容量測定、及びコンタクトチェック装
置構成図である。
た構成のバイパス容量測定、及びコンタクトチェック装
置構成図である。
【図５】従来の、ＰＰＳからＤＵＴへ電源を供給する電
源供給系統図の一構成例である。
源供給系統図の一構成例である。
Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３ 位相補正用コンデンサ ３ パワーアンプ ４ バッファアンプ ７ ＤＡコンバータ Ｒ８ 入力抵抗 Ｒ９ 帰還抵抗 １０ 制御部 １４ ＡＤコンバータ部 ＳＷc1、ＳＷc2 スイッチ ＳＷ２１、ＳＷ２２、ＳＷ２３、６、１５０ スイッチ Ｒ３０〜Ｒ３１、Ｒ７１〜Ｒ７３ 抵抗 ４０ 周波数特性補正部 ６０ 立ち上がり時間測定回路 ６１、６２、６３ コンパレータ ６４ ＡＮＤゲート ６５ ＲＳフリップフロップ ６６ カウンタ ６６cnt 計数値 ６７clk 基準クロック ７０ 電流制限手段 ８０ 定電流印加回路手段 ８２ 時定数曲線 １００ ＤＵＴ １０１ ＤＵＴ電源ピン位置 Ｃ１１０、Ｃ１２０ コンデンサ ２４０、２５０ ケーブル ３００ ＰＰＳ ３５０ 抵抗付加手段 ３６０ 容量測定手段
Claims (9)
- 【請求項１】 被試験デバイス（ＤＵＴ）電源ピンにス
イッチ（１５０）と直列接続されたバイパス容量の測定
において、 ＤＵＴへの供給電源に電流制限手段を直列に挿入する抵
抗付加手段を設け、 電源電圧印加により、被測定容量と電流制限手段で形成
した電圧立ち上がり時定数を測定し、この時定数から被
測定容量の値を算出する容量測定手段設け、 以上を具備していることを特徴としたＩＣテストシステ
ムにおけるＤＵＴ電源ピンのバイパス容量測定装置。 - 【請求項２】 被試験デバイス（ＤＵＴ）電源ピンにス
イッチ（１５０）と直列接続された被測定容量の測定に
おいて、 ＤＵＴへの供給電源に定電流印加手段を直列に挿入する
抵抗付加手段設け、 電源電圧印加により、被測定容量と定電流印加手段で形
成した電圧立ち上がり時定数を測定し、この時定数から
被測定容量の値を算出する容量測定手段設け、 以上を具備していることを特徴としたＩＣテストシステ
ムにおけるＤＵＴ電源ピンのバイパス容量測定装置。 - 【請求項３】 請求項１、２記載の抵抗付加手段は、 電圧センシング用帰還ケーブル（２５０）からの信号を
遮断するスイッチを設け、 ＤＵＴへの供給電源に直列に挿入する電流制限手段ある
いは定電流印加回路手段を設け、 前記電流制限手段あるいは定電流印加回路手段をバイパ
スするスイッチを設け、 以上を具備していることを特徴としたＩＣテストシステ
ムにおけるＤＵＴ電源ピンのバイパス容量測定装置。 - 【請求項４】 請求項１記載の電流制限手段は、 少なくとも１つの抵抗（Ｒ３１）とこの抵抗（Ｒ３１）
をバイパスさせるスイッチ（ＳＷ２２）、あるいは少な
くとも１つの抵抗（Ｒ３１）で構成するＩＣテストシス
テムにおけるＤＵＴ電源ピンのバイパス容量測定装置。 - 【請求項５】 請求項１、２記載の容量測定手段は、 立ち上がり電圧を連続的にサンプリング測定するＡＤコ
ンバータ部を設け、 前記で得た複数ポイントのサンプリングデータを受け
て、時定数τを算出する時定数測定手段を設け、 この時定数τと既知の直列抵抗Ｒxから被測定容量Ｃx＝
τ／Ｒxを算出する制御部を設け、 以上を具備していることを特徴としたＩＣテストシステ
ムにおけるＤＵＴ電源ピンのバイパス容量測定装置。 - 【請求項６】 請求項５記載の時定数測定手段は、 ＡＤコンバータ部（１４）からの複数の測定電圧値を受
けて、２ポイント間を直線とした近似曲線、あるいは３
ポイント間を通過してカーブフィットする近似曲線によ
り時定数曲線８２を求め、これから時定数τを算出する
ＩＣテストシステムにおけるＤＵＴ電源ピンのバイパス
容量測定装置。 - 【請求項７】 請求項５記載の時定数測定手段は、 ＤＵＴ電源ピンの立ち上がり電圧の２点間の時間を測定
する立ち上がり時間測定回路（６０）を設け、 この２点間の時間データから時定数τを算出する演算部
を設け、 以上を具備していることを特徴としたＩＣテストシステ
ムにおけるＤＵＴ電源ピンのバイパス容量測定装置。 - 【請求項８】 被試験デバイス（ＤＵＴ）電源ピンのバ
イパス容量を開閉する制御スイッチを有して、この開閉
スイッチのコンタクトチェックにおいて、 ＤＵＴへの供給電源に電流制限手段あるいは定電流印加
手段を直列に挿入して設け、 第１に、バイパス容量開閉スイッチを開の状態で電源電
圧の立ち上がりを測定し、第２にバイパス容量開閉スイ
ッチを閉の状態で電源電圧の立ち上がりを測定するＡＤ
コンバータ部を設け、 両測定データ列の対応するデータ同志の差分を求め、こ
の差分データ列値の傾きからバイパス容量開閉スイッチ
の開閉動作を判定するバイパス容量開閉スイッチ判定手
段を設け、 以上を具備していることを特徴としたＩＣテストシステ
ムにおけるバイパス容量開閉スイッチのコンタクトチェ
ック装置。 - 【請求項９】 被試験デバイス（ＤＵＴ）電源ピンのバ
イパス容量を開閉する制御スイッチを有して、この開閉
スイッチのコンタクトチェックにおいて、 ＤＵＴへの供給電源に電流制限手段あるいは定電流印加
手段を直列に挿入して設け、 第１にバイパス容量開閉スイッチを開の状態で電源電圧
の立ち上がり時間を計数し、第２にバイパス容量開閉ス
イッチを閉の状態で電源電圧の立ち上がり時間を計数す
る立ち上がり時間測定回路を設け、両計数値の差により
開閉スイッチの動作判定を検出するバイパス容量開閉ス
イッチ判定手段を制御部に設け、 以上を具備していることを特徴としたＩＣテストシステ
ムにおけるバイパス容量開閉スイッチのコンタクトチェ
ック装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7210051A JPH0943284A (ja) | 1995-07-25 | 1995-07-25 | Ｉｃテストシステムにおけるｄｕｔ電源ピンのバイパス容量測定装置及びバイパス容量開閉スイッチのコンタクトチェック装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7210051A JPH0943284A (ja) | 1995-07-25 | 1995-07-25 | Ｉｃテストシステムにおけるｄｕｔ電源ピンのバイパス容量測定装置及びバイパス容量開閉スイッチのコンタクトチェック装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0943284A true JPH0943284A (ja) | 1997-02-14 |
Family
ID=16583001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7210051A Pending JPH0943284A (ja) | 1995-07-25 | 1995-07-25 | Ｉｃテストシステムにおけるｄｕｔ電源ピンのバイパス容量測定装置及びバイパス容量開閉スイッチのコンタクトチェック装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0943284A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006054435A1 (ja) * | 2004-11-16 | 2006-05-26 | Advantest Corporation | 試験装置 |
| JP2009097920A (ja) * | 2007-10-15 | 2009-05-07 | Nippon Eng Kk | テスター装置 |
| WO2009090826A1 (ja) * | 2008-01-16 | 2009-07-23 | Advantest Corporation | 電源回路および試験装置 |
| JP2013503346A (ja) * | 2009-08-27 | 2013-01-31 | アナログ ディヴァイスィズ インク | 電気容量を測定するためのシステム及び方法 |
| JP2018112566A (ja) * | 2018-04-26 | 2018-07-19 | 株式会社アドバンテスト | 測定装置 |
| CN111766545A (zh) * | 2020-05-14 | 2020-10-13 | 浙江南都电源动力股份有限公司 | 一种连接器测试方法及装置 |
| JP2021063802A (ja) * | 2019-10-10 | 2021-04-22 | アナログ・ディヴァイシス・インターナショナル・アンリミテッド・カンパニー | 強制および測定装置のモード切り替えのための堅牢なアーキテクチャ |
-
1995
- 1995-07-25 JP JP7210051A patent/JPH0943284A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006054435A1 (ja) * | 2004-11-16 | 2006-05-26 | Advantest Corporation | 試験装置 |
| US7656177B2 (en) | 2004-11-16 | 2010-02-02 | Advantest Corporation | Test apparatus |
| JP2009097920A (ja) * | 2007-10-15 | 2009-05-07 | Nippon Eng Kk | テスター装置 |
| WO2009090826A1 (ja) * | 2008-01-16 | 2009-07-23 | Advantest Corporation | 電源回路および試験装置 |
| US7834651B2 (en) | 2008-01-16 | 2010-11-16 | Advantest Corporation | Power supply circuit |
| JP5291636B2 (ja) * | 2008-01-16 | 2013-09-18 | 株式会社アドバンテスト | 電源回路および試験装置 |
| JP2013503346A (ja) * | 2009-08-27 | 2013-01-31 | アナログ ディヴァイスィズ インク | 電気容量を測定するためのシステム及び方法 |
| US8866499B2 (en) | 2009-08-27 | 2014-10-21 | Analog Devices, Inc. | System and method for measuring capacitance |
| JP2018112566A (ja) * | 2018-04-26 | 2018-07-19 | 株式会社アドバンテスト | 測定装置 |
| JP2021063802A (ja) * | 2019-10-10 | 2021-04-22 | アナログ・ディヴァイシス・インターナショナル・アンリミテッド・カンパニー | 強制および測定装置のモード切り替えのための堅牢なアーキテクチャ |
| CN111766545A (zh) * | 2020-05-14 | 2020-10-13 | 浙江南都电源动力股份有限公司 | 一种连接器测试方法及装置 |
| CN111766545B (zh) * | 2020-05-14 | 2022-11-15 | 浙江南都电源动力股份有限公司 | 一种连接器测试装置 |
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