JPH10319085A

JPH10319085A - 回路試験装置

Info

Publication number: JPH10319085A
Application number: JP9131267A
Authority: JP
Inventors: Akihiko Sumiyoshi; 吉昭彦住
Original assignee: Toshiba Corp; Toshiba Microelectronics Corp
Current assignee: Toshiba Corp; Toshiba Electronic Device Solutions Corp
Priority date: 1997-05-21
Filing date: 1997-05-21
Publication date: 1998-12-04

Abstract

(57)【要約】【課題】被試験回路に与える電圧や電流の条件および
被試験回路の被試験端子毎に、その安定までの待ち時間
を最適化し、実際の安定状態を検出した上で、測定を実
行することにより、無駄な待ち時間を解消し、半導体生
産における試験工程の効率化を可能にする。【解決手段】試験装置本体７の電圧供給源ユニット１
または電流供給源ユニット２から、被試験ユニット６に
与える電圧または電流を変化させる場合に、電流検出器
１４または電圧検出器１５により測定される電流または
電圧が、安定するのを安定状態検出回路９により判定
し、測定値が安定するのを待って、電圧電流測定器１２
より測定結果を出力させるように制御ユニット４をプロ
グラムしておくことにより、被試験ユニット６の試験に
当たって、最適時間での測定が可能となり、測定時間を
大幅に短縮する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、回路試験装置に係
り、特に、半導体デバイスの実力判定試験を効率的に実
施するに好適な、試験方式に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、半導体装置の回路試験を行う
場合、その入出力端子から、試験信号を与え、それぞれ
の入出力端子の状態を測定することにより、回路ユニッ
トの動作が所期の条件を満たすか、否か、によってその
良否を判定していた。

【０００３】回路試験は、回路の機能をチェックする機
能試験と、入出力端子の電気的特性をチェックする電気
試験に分かれる。この中で、電気試験を実施する場合、
入出力端子の動的な特性、例えば、立ち上がり時間、立
ち下がり時間、遅延時間などを試験する動特性試験と、
電圧特性、電流特性などの静的な特性を試験する静特性
試験を行うのが一般的である。

【０００４】図２は、従来の回路試験装置のブロック図
であり、特に電気的な特性を測定する場合の基本的な構
成を示すものである。

【０００５】図において示すように、試験装置本体７に
は、被試験ユニット６の入出力端子が接続され、その被
試験端子に所定の電圧および電流が供給されるように構
成される。つまり、被試験ユニット６の特定の端子に対
して、電圧ないし電流の特定の状態が付与されるように
構成される。

【０００６】なお、試験装置本体７においては、電圧供
給源ユニット１から、スイッチ１６を介して、被試験ユ
ニット６に対して一定の電圧が印加されるように構成さ
れており、この時に被試験ユニット６に流れる電流が、
電流検出器１４で測定される。一方、電流供給源ユニッ
ト２からは、スイッチ１７を介して、被試験ユニット６
に対して一定の電流が印加されるように構成されてお
り、この時の被試験ユニット６の電圧値が、スイッチ１
８を介して電圧検出器１５で測定されるように構成され
ている。電流検出器１４、電圧検出器１５における電
圧、電流の検出値は、電圧電流測定ユニット３で数値化
され、測定結果出力端８から外部に導出される。なお、
スイッチ１６、１７、１８の開閉および、電圧電流測定
ユニット３の測定動作は、制御ユニット４によってコン
トロールされる。なお、制御ユニット４には、タイマ５
が接続されており、被試験ユニット６の回路試験に当た
っての各種の設定時間を、制御ユニット４に与えてい
る。

【０００７】以上述べたような構成において、図３の波
形図を参照しながら、その動作を説明する。

【０００８】図３（Ａ）は、電圧供給源ユニット１から
スイッチ１６を閉じて被試験ユニット６に対して、所定
の電圧値を与えた場合の、被試験ユニット６における被
試験端子の電圧の変化状態を示すものである。このよう
な場合、電圧供給源ユニット１の内部インピーダンス
（極めて低く設定されるのはもちろんであるが）やその
動特性と、被試験ユニット６の負荷容量やインピーダン
スと、試験回路全体の回路特性の関係から、電圧が安定
するまで、ある程度の時間がかかるのは、やむを得ない
こととされている。したがって、この場合に、電流検出
器１４で検出される電流も、過渡状態から安定状態にな
るまでは、ある程度の時間がかかることになる。

【０００９】例えば、時刻ｔ１で電圧を３Ｖから、５Ｖ
に変化させた場合、被試験ユニット６の試験端子で電圧
が５Ｖに安定するためには、時刻ｔ２まで時間Ｔ１待た
なければならず、時刻ｔ３で電圧を５Ｖから、３Ｖに変
化させた場合、被試験ユニット６の被試験端子で電圧が
３Ｖに安定するためには、時刻ｔ４まで時間Ｔ２だけ待
たなければならない。また、電圧供給源ユニット１の電
圧を３Ｖから１Ｖに変化させる場合など、電圧が安定す
るまで、時刻ｔ５から時刻ｔ６までと、比較的長い時間
Ｔ３も待たなければならない場合もある。

【００１０】図３（Ｂ）は、電流供給源ユニット２から
スイッチ１７を閉じて被試験ユニット６に対して、所定
の電流値を与えた場合の、被試験ユニット６における被
試験端子の電圧の変化状態を示すものである。このよう
な場合も、電流供給源ユニット２の電流供給能力や内部
インピーダンスと、被試験ユニット６の負荷容量やイン
ピーダンスと、試験回路全体の回路特性の関係から、電
流が安定し、被試験ユニット６の被試験端子の電圧が安
定するまでには、ある程度の時間を要する。したがっ
て、この場合に、電圧検出器１５で検出される電圧も、
過渡状態から安定状態になるまでは、ある程度の時間が
かかることになる。

【００１１】例えば、５ｍＡから３ｍＡまで、電流値を
変化させる場合、電流値が安定するまでには、時刻ｔ７
から時刻ｔ８まで、時間Ｔ４だけ待つ必要がある。

【００１２】したがって、図２に示した従来の回路試験
装置では、電圧供給源ユニット１、電流供給源ユニット
２において、電圧、電流を変化させた場合の、被試験ユ
ニット６の被測定端子での、電流、電圧の安定に必要な
時間、つまり時間Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４をカバーでき
るだけの余裕をもった時間を、予め、テストプログラム
に記述しておき、これをタイマ５に設定して、制御ユニ
ット４の動作を制御し、完全に安定した電圧、電流を電
圧電流測定ユニット３に取り込み、これを測定結果出力
端８から測定結果として出力させるように構成されてい
る。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】従来の回路試験装置で
は、電圧供給源ユニット１、電流供給源ユニット２から
被試験ユニット６に与えた、電圧および電流の安定時間
を、予めプログラムするように構成されていたので、そ
れぞれの安定時間を予め見込んでおく必要があった。し
かし、電圧、電流の安定時間を決める要素は、複雑に絡
み合っており、一義的に決定するのは、非常に困難であ
る。このため、従来は、十分に余裕を持った待ち時間を
もって、電圧電流測定ユニット３による電圧、電流の測
定を実施していた。この待ち時間は、測定プログラム作
成時に、予め制御ユニット４に一定の値として、記述し
ておき、回路試験時には、無条件に、この待ち時間が適
用され、この待ち時間をタイマ５に設定して回路試験を
実施していた。

【００１４】しかし、半導体の生産工程では、生産効率
の向上のために、回路の試験時間の短縮も大きな課題と
なっている。もちろん、被試験ユニット６の電気的な静
特性試験に当たっての、電圧、電流の安定までの待ち時
間も、測定時間の短縮化、試験効率化に当たっては、大
きな障害となっている。特に、被試験ユニット６の測定
項目が多い場合や、被試験ユニット６のピン数が数百ピ
ンに及ぶような大規模なものの場合は、この余裕時間の
占める割合が無視できない程に膨大となり、半導体生産
における生産効率を大幅に低減させる原因となってい
た。

【００１５】本発明は、上記のような従来技術の問題点
を解消し、被試験ユニットに与える電圧や電流の条件お
よび被試験ユニットの被試験端子毎に、その安定までの
待ち時間を最適化し、実際の安定状態を検出した上で、
測定を実行することにより、無駄な待ち時間を解消し、
半導体生産における試験工程の効率化を可能とした回路
試験装置を提供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、回路試験装置として、被測定回路の端子
と、そこに与える電圧および電流の少なくとも一方と、
を含む条件および測定項目を予めプログラムされた制御
手段と、前記制御手段からの指令に基づき、被試験ユニ
ットに電圧、電流の少なくとも一方を含む、特定の状態
を与える状態付与手段と、前記端子の電圧および電流の
少なくとも一方の測定値を得るための検出手段と、前記
状態付与手段の付与状態の変化を起点として、前記測定
値の安定状態を検出して、安定状態検出信号を出力する
安定状態検出手段と、前記安定状態検出回路からの安定
状態検出信号に基づいて、前記検出手段からの測定値を
測定結果として出力する測定手段と、を備える回路試験
装置を提供するものである。

【００１７】上記目的を達成するために、本発明は、回
路試験装置として、被測定回路の端子と、そこに与える
電圧および電流の少なくとも一方と、を含む条件および
測定項目を予めプログラムされた制御手段と、前記制御
手段からの指令に基づき、被試験ユニットに電圧、電流
の少なくとも一方を含む、特定の状態を与える状態付与
手段と、前記端子の電圧および電流の少なくとも一方の
測定値を得るための検出手段と、前記状態付与手段の付
与状態の変化を起点として、前記測定値の安定状態を検
出して、安定状態検出信号を出力する安定状態検出手段
と、前記安定状態検出回路からの安定状態検出信号に基
づいて、前記状態付与手段の付与状態の変化から前記安
定状態検出回路から安定状態検出信号が出力されるまで
の時間を計時して、これを最適待ち時間として格納する
ファイル手段と、前記制御手段を通じて、前記ファイル
手段からの最適待ち時間をセットされ、前記状態付与手
段の付与状態の変化から、最適待ち時間を計時するタイ
マ手段と、前記タイマ手段での計時結果に基づいて、前
記検出手段からの測定値を測定結果として出力させる測
定手段と、を備える回路試験装置を提供するものであ
る。

【００１８】上記目的を達成するために、本発明は、回
路試験装置として、被測定回路の端子と、そこに与える
電圧および電流の少なくとも一方と、を含む条件および
測定項目を予めプログラムされた制御手段と、前記制御
手段からの指令に基づき、被試験ユニットに電圧、電流
の少なくとも一方を含む、特定の状態を与える状態付与
手段と、前記端子の電圧および電流の少なくとも一方の
測定値を得るための検出手段と、前記制御手段の制御条
件および前記状態付与手段からの付与条件の変化に対応
して、前記状態付与手段の付与状態の変化に対する、前
記検出手段による前記測定値の予測安定時間を、最適待
ち時間としてファイルしておくファイル手段と、前記制
御手段を通じて、前記ファイル手段からの最適待ち時間
をセットされ、前記状態付与手段の付与状態の変化か
ら、最適待ち時間を計時するタイマ手段と、前記タイマ
手段での計時結果に基づいて、前記検出手段からの測定
値を測定結果として出力させる測定手段と、を備える回
路試験装置を提供するものである。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態を説明する。

【００２０】図１は、本発明の、実施形の回路試験装置
のブロック図であり、特に、図２の従来の構成に対し
て、電圧電流測定ユニット３の内部構造と、それに対し
ての外部回路の変更部分を示している。図において示す
ように、電圧電流測定ユニット３には、電圧値および電
流値を測定するための電圧電流測定器１２と、安定状態
検出回路９が組み込まれており、電圧電流測定器１２で
検出した電圧および電流が安定状態になったことを検出
して、安定状態検出信号線１３を通じてこれを制御ユニ
ット４に通知するように構成される。一方、ファイル１
１は、各パラメータ毎に、最適時間をファイルしてお
き、制御ユニット４に与えるように構成される。また、
タイミングエッジゼネレータ１０は、一定の時間間隔
で、パルス信号を制御ユニット４に与え、制御ユニット
４が時間カウントできるようにしている。

【００２１】以上のような構成において、次にその動作
を説明する。

【００２２】被試験ユニット６の特定の端子に電圧供給
源ユニット１から、付与状態として、一定の電圧を与
え、電流値を測定する場合、スイッチ１６を閉じて、電
圧供給源ユニット１から所定の電圧値を与える。電圧値
を変更する場合は、電圧供給源ユニット１の設定電圧を
変更する。この間に、電流検出器１４で、被試験ユニッ
ト６に流れる電流値を測定し、その測定結果を電圧電流
測定ユニット３の電圧電流測定器１２に与える。

【００２３】一方、被試験ユニット６の特定の端子に電
流供給源ユニット２から、付与状態として、一定の電流
を供給し、その場合の、被試験ユニット６の端子の電圧
値を測定する場合、スイッチ１７、１８を閉じて、電流
供給源ユニット２から所定の電流値を与える。電流値を
変更する場合は、電流供給源ユニット２の設定電流を変
更する。この間に、電圧検出器１５で、被試験ユニット
６の測定端子の電圧値を測定し、その測定結果を電圧電
流測定ユニット３の電圧電流測定器１２に与える。

【００２４】いずれの場合も、電圧、電流の供給開始時
から、それぞれの測定値が安定するまでの間には、それ
ぞれの条件に応じた遅延時間が存在する。これらの遅延
時間は、それぞれの測定項目や、測定条件に応じて、異
なる。

【００２５】本実施形においては、これらの測定項目お
よび測定条件毎に異なる回路動作の安定までの遅延時間
に対応して、それぞれ最適な待ち時間を与えて、回路試
験に当たっての無駄時間を排除している。

【００２６】さて、本実施形では、最適な待ち時間を与
えるに当たり、実測モードとプリセットモードを採用し
ている。実測モードは、測定条件、電圧、電流などのパ
ラメータ変更後の、実際の電流値や電圧値の測定に当た
って、測定すべき電流、電圧が実際に安定したことを検
出して、測定結果を出力するモードである。一方、プリ
セットモードは、測定条件、電圧、電流などのパラメー
タ変更後の、実際の電流値や電圧値の測定に当たって、
これらの条件毎に予め設定されている、回路動作安定ま
での遅延時間に対応して、それぞれプリセットされてい
る待ち時間を与えて、測定結果を出力するモードであ
る。

【００２７】ここで、安定状態検出回路９の動作につい
て、図４に基づいて説明する。

【００２８】安定状態検出回路９を動作させる場合、予
め、制御ユニット４から、安定状態検出回路９に対し
て、安定状態検出のための、条件を与えておく。これ
は、電圧電流測定器１２で検出された、電圧値および電
流値の、変動検出限界Ｌと安定検出までの時間Ｔを、安
定状態検出回路９に設定することにより行われる。

【００２９】いま、安定状態検出回路９に与えられる電
圧電流測定器１２の測定値が、図４（Ａ）のように、時
刻ｔ１から、レベルＬ１からレベルＬ２に向かって、変
化するものとする。これに対して、安定状態検出回路９
は、この測定値を微分演算し、同図（Ｂ）に示すよう
な、微分値を発生する。この微分演算値が一定の範囲
内、つまり変動検出限界Ｌの範囲内に入ると、同図
（Ｃ）に示すように、比較値を発生する。この比較値
が、予め設定された時間Ｔ以上に渡って継続した場合、
制御ユニット４に対して、同図（Ｄ）に示すように、時
刻ｔ２から立ち上がる安定状態検出信号ＳＤＳを出力す
る。

【００３０】具体的には、電圧電流測定器１２からの測
定値を、一定の時間毎にサンプリングし、このサンプリ
ング毎に、その値を、直前のサンプリング時の値と引き
算し、その差分が、変動検出限界の範囲内に入った時点
から、引き続き測定されるサンプリング毎の差分が、変
動検出限界内にある場合に、安定状態と判定することに
より行われる。これらの演算は、アナログでもディジタ
ルでも可能であるが、基本的には、ディジタル演算で行
われる。

【００３１】なお、アナログ演算の場合は、サンプリン
グする代わりに、微分器、比較器、タイマなどの組み合
わせで、回路が構成されることになる。これらの回路構
成は、周知の方式により、様々なバリエーションが適用
可能である。（ａ）実測モードさて、ここで実測モードについて、図５のフローチャー
ト、図４のタイミングチャートに基づいて、その動作を
説明する。

【００３２】まず、ステップＳ１で、予め定められた試
験フローに基づいて、制御ユニット４から、条件設定を
行う。これは、被試験ユニット６の被測定端子の設定、
測定項目の設定、測定項目に対応して電圧供給源ユニッ
ト１または電流供給源ユニット２への電圧または電流の
設定、スイッチ１６、１７、１８の設定、電圧電流測定
器１２への測定項目の設定などの条件で与えられる。

【００３３】続いて、ステップＳ２に移行して、制御ユ
ニット４から、安定状態検出回路９に対して、安定状態
検出のための、条件を安定状態検出回路９に与える。こ
れは、電圧値および電流値の、変動検出限界Ｌと、時間
Ｔを、設定することにより行われる。

【００３４】続いて、ステップＳ３において、スイッチ
１６、１７、１８のオン、オフ設定、電圧供給源ユニッ
ト１または電流供給源ユニット２のレベル変化設定など
により、時刻ｔ１において、被試験ユニット６に対して
与える電圧や電流に変化を与え、測定開始する。

【００３５】これは、例えば、電圧供給源ユニット１か
らの電圧を５Ｖから０Ｖにしたり、電流供給源ユニット
２からの電流を５ｍＡから１ｍＡに変化させるなどの形
で行われる。

【００３６】その結果、当然、電流検出器１４または電
圧検出器１５で測定される電流や電圧が変化して、この
測定値は、電圧電流測定器１２により量子化される。し
かし、測定開始直後は、先にも述べたように、測定値は
安定しない。この間ステップＳ４に示すように、安定状
態検出回路９において、安定状態の検出が行われる。そ
して、時刻ｔ２において、安定状態検出回路９で測定結
果が安定したことが検出され、安定状態検出信号線１３
に安定状態検出信号ＳＤＳが出力されると、ステップＳ
５に示すように、電圧電流測定器１２から測定結果出力
端８を通じて、測定結果の出力がなされる。

【００３７】続いて、ステップＳ６で、測定終了と判定
された場合は、そのまま測定を終了するが、別のパラメ
ータの測定がある場合は、再びステップＳ１に戻り、新
たに条件設定して次の項目の測定を行う。（ｂ）プリセットモード次に、プリセットモードについて、図６のフローチャー
トおよび図７のタイミングチャートに基づいて、その動
作を説明する。

【００３８】さて、ステップＳ１で、予め定められた試
験フローに基づいて、制御ユニット４から、条件設定を
行う。これは、被試験ユニット６の被測定端子の設定、
測定項目の設定、測定項目に対応して電圧供給源ユニッ
ト１または電流供給源ユニット２への電圧または電流の
設定、スイッチ１６、１７、１８のオン、オフ設定、電
圧電流測定器１２への測定項目の設定などの条件で与え
られる。

【００３９】続いて、ステップＳ２に移行して、ステッ
プＳ１で設定された条件に対応する最適待ち時間ＴＡ
を、ファイル１１から制御ユニット４に読み込み、これ
をタイマ５に設定する。

【００４０】続いて、ステップＳ３において、スイッチ
１６、１７、１８の設定、電圧供給源ユニット１または
電流供給源ユニット２のレベル変化設定などにより、時
刻ｔ１において、被試験ユニット６に対して与える電圧
や電流に変化を与え、測定開始する。

【００４１】その結果、当然、電流検出器１４または電
圧検出器１５で測定される電流や電圧が変化して、この
測定値は、電圧電流測定器１２により量子化される。し
かし、測定開始直後は、先にも述べたように、測定値は
安定しない。この間ステップＳ４に示すように、タイマ
５において、最適待ち時間ＴＡの時間カウントが行わ
れ、時刻ｔ２において、タイムアップすると、ステップ
Ｓ５に示すように、電圧電流測定器１２から測定結果出
力端８を通じて、測定結果の出力がなされる。

【００４２】続いて、ステップＳ６で、測定終了と判定
された場合は、そのまま測定を終了するが、別のパラメ
ータの測定がある場合は、再びステップＳ１に戻り、新
たに条件設定して次の項目の測定を行う。

【００４３】なお、ステップＳ１で測定条件の設定を行
い、この設定の結果、前回の条件による測定の場合と、
最適待ち時間ＴＡに変化がないことが、予め判った場
合、ファイル１１から最適待ち時間ＴＡを読み出した
り、タイマ５に最適待ち時間ＴＡを再設定するのを止め
てもよい。この場合、図８のフローチャートに示すよう
に、ステップＳ１に続く、ステップＳ１２において、前
回の最適待ち時間ＴＡと今回の最適待ち時間ＴＡが同じ
かどうかを判定して、同じ場合のみ、ステップＳ２にお
いて、タイマ５に新たに最適待ち時間ＴＡを設定する。

【００４４】さて、プリセットモードの場合、ファイル
１１に予め、それぞれの測定条件に応じて、最適待ち時
間ＴＡをファイルしておく必要がある。次に、この最適
待ち時間ＴＡのファイル１１への設定動作について説明
する。

【００４５】この動作に関しては、理論値または経験値
から、それぞれの測定条件毎に、予め最適待ち時間ＴＡ
が判っている場合、つまり、図９の図表に示すように、
電圧供給源ユニット１からの電圧、または電流供給源ユ
ニット２からの電流が、それぞれ変化した場合の、被試
験ユニット６の端子のグループＡ、Ｂに対応して、それ
ぞれ測定結果が安定するまでの、最適待ち時間ＴＡを、
ファイル１１に予め設定しておく。この場合、プリセッ
トしておく最適待ち時間ＴＡに関しては、ある程度、余
裕をもった時間を設定しておくことは言うまでもない。

【００４６】なお、ファイル１１への設定動作に関し
て、これを実測してファイルしておくことも可能であ
る。

【００４７】ここで実測によりファイル１１を作成する
手順について、図１０のフローチャートに基づいて、そ
の動作を説明する。

【００４８】まず、ステップＳ１で、予め定められたフ
ァイル作成のフローに基づいて、制御ユニット４から、
条件設定を行う。これは、被試験ユニット６の被測定端
子の設定、測定項目の設定、測定項目に対応して電圧供
給源ユニット１または電流供給源ユニット２への電圧ま
たは電流の設定、スイッチ１６、１７、１８の設定、電
圧電流測定器１２への測定項目の設定などの条件で与え
られる。

【００４９】続いて、ステップＳ２に移行して、制御ユ
ニット４から、安定状態検出回路９に対して、安定状態
検出のための、条件を安定状態検出回路９に与える。こ
れは、電圧値および電流値の、変動検出限界Ｌと、時間
Ｔを、設定することにより行われる。

【００５０】続いて、ステップＳ３において、スイッチ
１６、１７、１８の設定、電圧供給源ユニット１または
電流供給源ユニット２のレベル変化設定などにより、被
試験ユニット６に対して与える電圧や電流に変化を与
え、測定開始する。

【００５１】併せて、ステップＳ４において、制御ユニ
ット４による、タイミングエッジゼネレータ１０からの
パルス列の計数を開始する。

【００５２】その結果、当然、電流検出器１４または電
圧検出器１５で測定される電流や電圧が変化して、この
測定値は、電圧電流測定器１２により量子化される。し
かし、測定開始直後は、先にも述べたように、測定値は
安定しない。この間ステップＳ５に示すように、安定状
態検出回路９において、安定状態の検出が行われる。そ
して、安定状態検出回路９で測定結果が安定したことが
検出され、安定状態検出信号線１３に安定状態検出信号
ＳＤＳが出力されると、ステップＳ６に示すように、制
御ユニット４による、タイミングエッジゼネレータ１０
からのパルス列の計数が停止され、計時が終了する。

【００５３】続いて、ステップＳ７において、制御ユニ
ット４から、測定条件と併せて、計時された結果が、フ
ァイル１１に格納される。

【００５４】次に、ステップＳ８において、ファイル作
成終了か否かの判定を行い、終了と判定された場合は、
そのまま測定を終了するが、別のパラメータでのファイ
ル作成の必要がある場合は、再びステップＳ１に戻り、
新たに条件設定して次の条件に対応したファイル作成作
業に入る。

【００５５】なお、この実施形では、実測モードと、プ
リセットモードのふたつのモードを別々に説明したが、
第１回目の測定では、実測モードで回路測定を実行し、
この時に、制御ユニット４において、タイミングエッジ
ゼネレータ１０からのパルス列を測定することにより、
最適待ち時間ＴＡを計時し、これをファイル１１に格納
することにより、ファイル１１に最適待ち時間ＴＡのプ
リセット値のファイルを作成し、２回目以降の測定で
は、ファイル１１から最適待ち時間ＴＡを呼び出しなが
ら、プリセットモードによる測定を行うようにしてもよ
い。

【００５６】また、プリセットモードでは、前回の測定
時の最適待ち時間ＴＡと、今回のそく提示の最適待ち時
間ＴＡが予め同じであることが判っている場合、ファイ
ル１１を呼び出したり、タイマ５に時間を設定する等の
動作を省略することができるので、その分、処理時間を
短縮することができる。

【００５７】また、実測モードにおいて、安定状態検出
回路９における、安定状態を検出するまでの時間Ｔ、つ
まり微分値が変動検出限界Ｌ以下となってから、安定状
態検出信号ＳＤＳ出力を判定するまでの待ち時間は、測
定条件、つまり電圧、電流、測定端子、測定項目など毎
に最適値を設定するようにしてもよい。もちろん、これ
は変動検出限界Ｌについても同様である。その結果、デ
リケートな測定を行う必要のある測定項目については、
変動検出限界Ｌを小さく、時間Ｔを長く設定することに
より、測定精度を高めることができる。一方、ラフな測
定で済む測定項目にすいては、変動検出限界Ｌを比較的
大きく、時間Ｔを比較的短く設定することにより、測定
時間を短縮することができる。

【００５８】なお、これらの測定条件は、被試験ユニッ
ト６の種類、端子、測定項目によって異なってくるの
で、それぞれの要件に関しては、予めファイル１１に格
納しておくことで、最適な安定状態検出回路９の動作条
件設定が可能である。

【００５９】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の回路試験装
置は、被試験ユニットに与える測定条件、測定項目毎
に、測定値が安定するまでの最適待ち時間を経過してか
ら、測定結果を出力するように構成したので、無駄な待
ち時間がなくなり、特に入出力端子の多い回路や、測定
項目が多い回路の場合に、試験時間を大幅に短縮するこ
とが可能となり、特に半導体生産工程における生産性を
格段に向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形の回路試験装置のブロック図で
ある。

【図２】従来の回路試験装置のブロック図である。

【図３】図２の回路の動作を説明するためのタイミング
チャートである。

【図４】安定状態検出回路の動作を説明するためのタイ
ミングチャートである。

【図５】実測モードでの動作を説明するためのフローチ
ャートである。

【図６】プリセットモードでの動作を説明するためのフ
ローチャートである。

【図７】プリセットモードでの動作を説明するためのタ
イミングチャートである。

【図８】プリセットモードにおけるタイマ設定に当たっ
ての別の動作を説明するためのフローチャートである。

【図９】プリセットモードでの、ファイル作成を説明す
る図表である。

【図１０】プリセットモードにおいて用いるファイル
の、実測による方法を説明するためのフローチャートで
ある。

【符号の説明】

１電圧供給源ユニット２電流供給源ユニット３電圧電流測定ユニット４制御ユニット５タイマ６被試験ユニット７試験装置本体８測定結果出力端９安定状態検出回路１０タイミングエッジゼネレータ１１ファイル１２電圧電流測定器１３安定状態検出信号線１４電流検出器１５電圧検出器１６、１７、１８スイッチ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定回路の端子と、そこに与える電圧お
よび電流の少なくとも一方と、を含む条件および測定項
目を予めプログラムされた制御手段と、前記制御手段からの指令に基づき、被試験ユニットに電
圧、電流の少なくとも一方を含む、特定の状態を与える
状態付与手段と、前記端子の電圧および電流の少なくとも一方の測定値を
得るための検出手段と、前記状態付与手段の付与状態の変化を起点として、前記
測定値の安定状態を検出して、安定状態検出信号を出力
する安定状態検出手段と、前記安定状態検出回路からの安定状態検出信号に基づい
て、前記検出手段からの測定値を測定結果として出力す
る測定手段と、を備えることを特徴とする回路試験装置。
【請求項２】被測定回路の端子と、そこに与える電圧お
よび電流の少なくとも一方と、を含む条件および測定項
目を予めプログラムされた制御手段と、前記制御手段からの指令に基づき、被試験ユニットに電
圧、電流の少なくとも一方を含む、特定の状態を与える
状態付与手段と、前記端子の電圧および電流の少なくとも一方の測定値を
得るための検出手段と、前記状態付与手段の付与状態の変化を起点として、前記
測定値の安定状態を検出して、安定状態検出信号を出力
する安定状態検出手段と、前記安定状態検出回路からの安定状態検出信号に基づい
て、前記状態付与手段の付与状態の変化から前記安定状
態検出回路から安定状態検出信号が出力されるまでの時
間を計時して、これを最適待ち時間として格納するファ
イル手段と、前記制御手段を通じて、前記ファイル手段からの最適待
ち時間をセットされ、前記状態付与手段の付与状態の変
化から、最適待ち時間を計時するタイマ手段と、前記タイマ手段での計時結果に基づいて、前記検出手段
からの測定値を測定結果として出力させる測定手段と、を備えることを特徴とする回路試験装置。
【請求項３】被測定回路の端子と、そこに与える電圧お
よび電流の少なくとも一方と、を含む条件および測定項
目を予めプログラムされた制御手段と、前記制御手段からの指令に基づき、被試験ユニットに電
圧、電流の少なくとも一方を含む、特定の状態を与える
状態付与手段と、前記端子の電圧および電流の少なくとも一方の測定値を
得るための検出手段と、前記制御手段の制御条件および前記状態付与手段からの
付与条件の変化に対応して、前記状態付与手段の付与状
態の変化に対する、前記検出手段による前記測定値の予
測安定時間を、最適待ち時間としてファイルしておくフ
ァイル手段と、前記制御手段を通じて、前記ファイル手段からの最適待
ち時間をセットされ、前記状態付与手段の付与状態の変
化から、最適待ち時間を計時するタイマ手段と、前記タイマ手段での計時結果に基づいて、前記検出手段
からの測定値を測定結果として出力させる測定手段と、を備えることを特徴とする回路試験装置。
【請求項４】前記ファイル手段が、理論値または実測値
の少なくとも一方に基づいて、最適待ち時間を設定され
る、請求項３の回路試験装置。
【請求項５】前記タイマ手段にセットされる最適待ち時
間が、変化しない場合、ファイル手段からの最適待ち時
間の読み出し動作および前記タイマ手段への最適待ち時
間のセット動作の、少なくとも一方を実行しない、請求
項３の回路試験装置。