JPH06258382A - 電圧印加電流測定回路 - Google Patents

電圧印加電流測定回路

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JPH06258382A
JPH06258382A JP5046819A JP4681993A JPH06258382A JP H06258382 A JPH06258382 A JP H06258382A JP 5046819 A JP5046819 A JP 5046819A JP 4681993 A JP4681993 A JP 4681993A JP H06258382 A JPH06258382 A JP H06258382A
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JP
Japan
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current
voltage
load
resistor
switch
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JP5046819A
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Inventor
Yoshihiro Hashimoto
好弘 橋本
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Advantest Corp
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Advantest Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 微小電流測定モードに切換えた直後でも測定
を行なうことができる回路構造を提供する。 【構成】 負荷1に与えられた電圧が帰還されて負荷に
与える電圧V0 の変動を抑制するように動作する演算増
幅器A1と、演算増幅器A1から負荷1に与えられる電
流を検出する低電流用の電流検出抵抗器R3と、この低
電流用の電流検出抵抗器に並列接続されたスイッチS1
と高電流用の電流検出抵抗器R4とによって構成される
電圧印加電流測定回路において、スイッチS1と高電流
用の電流検出抵抗器R4との間にバッファ増幅器A4を
接続し、スイッチS1がオフに制御されるときこのバッ
ファ増幅器A4の入力端子に負荷に与える電圧V0 を与
える構造とした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は例えばMOS構造のI
Cのように静止時と動作時とで流れる電流の比が大きい
ICの直流特性を測定する場合に用いる電圧印加電流測
定回路に関する。
【0002】
【従来の技術】図3に従来の電圧印加電流測定回路の構
成を示す。図中1は直流特性を測定しようとする負荷を
示す。負荷1には演算増幅器A1から直流電圧V0 を与
える。この直流電圧V0 は直流電圧源2の電圧をVi
した場合V0 =−Vi ・r2 /r1 で与えられる。r1
は抵抗器R1の抵抗値、r2 は抵抗器R2の抵抗値を示
す。演算増幅器A1には帰還回路3を通じて負荷1に与
える電圧V0 を帰還させ、負荷1に与える電圧V0 の変
動を抑制する構造としている。帰還回路3はバッファ増
幅器A2と、帰還抵抗器R2との直列回路によって構成
される。
【0003】R3は演算増幅器A1から負荷1に与えら
れる電流を検出するための電流検出抵抗器を示す。この
抵抗器R3に発生する電圧を電流測定手段4によって測
定し、負荷1の直流特性が測定される。つまり入力電圧
源2の電圧Vi を順次変化させたとき、各電圧値毎に負
荷1に流れる電流を測定し、負荷1の例えば電源端子の
直流特性を測定することができる。
【0004】尚、負荷1と並列にバイパスコンデンサC
2を接続している。更にまた電流検出抵抗器R3にはこ
れと並列に位相補正用コンデンサC1を接続している。
ここでバイパスコンデンサC2と位相補正用コンデンサ
C1の存在理由を簡単に説明する。負荷1がMOS構造
のICの場合、図4に示すように静止時は数μA(マイ
クロアンペア)の電流しか流れないのに対し、反転動作
時には数mA(ミリアンペア)程度の大きい電流がパル
ス状に流れる。負荷1に流れる電流が大きく変動する場
合に、その電流変動を演算増幅器A1が検知して応動す
るまでの時間遅れの期間中にバイパスコンデンサC2が
負荷1に流れる電流変動を補償する動作を行なう。つま
り、負荷1に流れる電流がパルス状に急増する場合はバ
イパスコンデンサC2から放電電流を放出させ、演算増
幅器A1の遅れを補償する。また負荷1に流れる電流が
急減する場合は、バイパスコンデンサC2は充電電流に
より演算増幅器A1から出力される電流を吸収し、演算
増幅器A1の遅れを補償する。
【0005】一方位相補正用コンデンサC1はバイパス
コンデンサC2を接続したことにより演算増幅器A1の
動作が不安定になることを阻止するために設けられてい
る。つまり、図5に演算増幅器A1のオープンループゲ
インを曲線G1で示す。このオープンループゲインG1
はオクターブ−6dBの安定(発振等の動作が起きな
い)した減衰特性を呈する。然るにバイパスコンデンサ
C2を接続すると、バイパスコンデンサC2と電流検出
抵抗器R3によって決まる周波数f1 で折点が形成さ
れ、周波数f1 以上の周波数ではオクターブ−12dB
の減衰特性G2となる。この減衰特性G2のまま、0d
Bを横切ると、発振等の現象を起し、不安定な動作とな
る。このため、減衰特性G2が0dBに至る手前の周波
数f2 で再び折点を形成し、減衰特性G3に修正する。
この減衰特性G3は元のオクターブ−6dBの減衰特性
であり、このオクターブ−6dBの減衰特性G3のまま
0dBを横切ることにより演算増幅器A1は安定に動作
する。この減衰特性G3は位相補正用コンデンサC1で
与えられる。従ってバイパスコンデンサC2の容量C2
と位相補正用コンデンサC1の容量C1 はC2 >C1
選定される。
【0006】一方電流検出抵抗器R3にはこの抵抗器R
3の抵抗値を切換るためにスイッチS1と抵抗器R4と
によって構成される直列回路が並列接続され、スイッチ
S1をオンに制御することにより、抵抗器R4が電流検
出抵抗器R3に並列接続され、電流検出抵抗器R3の抵
抗値を切換ることができるように構成される。つまり電
流検出抵抗器R3の抵抗値r3 と、抵抗器R4の抵抗値
4 は、r3≫r4 に選定される。従ってR3 は低電流
レンジ用の電流検出抵抗器、R4は高電流レンジ用の電
流検出抵抗器として用いられる。
【0007】電流測定手段4は電流検出抵抗器R3の両
端間に発生する電圧を取出す差動増幅器A3と、その出
力電圧をデジタル信号に変換するAD変換器ADCとに
よって構成される。この回路構造によれば、直流電圧源
2から与える電圧Vi を変化させることにより負荷1に
与えられる電圧V0 を変化させることができる。電流測
定手段4により負荷1に流れる電流I0 を測定すること
により、負荷1の内部抵抗rx をr x =V0 /I0 で求
めることができ、印加電圧V0 の変化に対する内部抵抗
xの変化つまり直流特性を測定することができる。
【0008】ところでMOS型のICでは図4に示した
ように静止時に流れる電流と反転動作時に流れる電流と
の比が大きい。例えば静止時には数μA(マイクロアン
ペア)程度しか流れないのに対し、反転動作時には、そ
の反転動作する素子の数に比例して電流が流れる。その
電流比は数1000倍に達することが多い。また多機能
化されたICでは起動時に各種の初期設定動作を自動的
に行なうICがある。このようなICでは図4に示すよ
うに初期動作時(時間T1 )に比較的大きな電流(数m
A)を消費し、その後静止状態T2 に入ると、電流は数
μA乃至は数NA(ナノアンペア)に低下する。
【0009】このように大きく変化する電流を測定する
ために、図3に示した電圧印加電流測定回路ではスイッ
チS1が設けられ、大きい電流を測定する場合はスイッ
チS1をオンにして電流検出抵抗器R3に高電流レンジ
用の電流検出抵抗器R4を並列接続し高電流モードで動
作させ、負荷1に流れる電流I0 が微小値に低下した時
点でスイッチS1をオフにし、低電流レンジに切替てい
る。
【0010】負荷1となるICの初期状態(高電流状
態)から定常状態(低電流状態)に至る時間T1 は極く
短かい時間に限られる。このため電圧印加電流測定回路
では時間T1 内に高電流を測定し、また試験に要する時
間を短かくするためには低電流の測定も高電流から低電
流に立下った直後に測定しなければならない。このため
にスイッチS1は機械接点式のリレーでは動作が間に合
わないため、一般にはFETのような半導体スイッチが
用いられている。
【0011】またスイッチS1がオフの状態でも負荷1
となるICは動作を続ける。例えば時計用のICの場合
には一定時間毎に素子が反転動作するから図4に示すよ
うに一定の周期T2 で高電流が流れる。この高電流は電
流検出抵抗器R3に並列接続したダイオードD1又はD
2を通じて流れ、抵抗器R3とコンデンサC1のRを定
数に影響されずに演算増幅器3からバイパスコンデンサ
C2に充放電電流を供給できる構造としている。
【0012】以上の説明により低電流レンジ用の電流
検出抵抗器R3の抵抗値が大きいこと、この電流検出
抵抗器R3と並列に位相補正用コンデンサC1を接続し
なければならないこと、バイパスコンデンサC2が必
要であること、スイッチS1として半導体スイッチを
使用しなければならないこと、ダイオードD1とD2
の存在理由が理解できよう。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】半導体スイッチとして
FETを用いた場合、図6に示すよう、ゲート−ソース
間容量CGSが回路に接続される。このゲート−ソース間
容量CGSが存在することにより、スイッチS1を構成す
るFETをオン、オフ制御する際に制御信号の立上り及
び立下りのタイミング毎にこのゲート−ソース間容量C
GSにスパイク状の電流ICGS 又は−ICGS が流れる。
【0014】このスパイク電流ICGS 又は−ICGS はバ
イパスコンデンサC2に流れ、バイパスコンデンサC2
の電圧V0 を変動させる。スイッチS1としてNチャン
ネル型FETを用いた場合、スイッチS1をオンに制御
した場合には、スパイク電流はICGS が流れる。この結
果バイパスコンデンサC2の電圧V0 はスパイク電流I
CGS によってわずかに上昇する。この電圧の上昇は帰還
回路3を通じて演算増幅器A1に帰還されるから、演算
増幅器A1はバイパスコンデンサC2の電圧V 0 の上昇
を補正するために出力電圧V1 を低下させる方向に動作
する。この時点で負荷1が未だ電流を必要としない状態
であればバイパスコンデンサC2に充電されている電荷
は位相補正用コンデンサC1を通じて演算増幅器A1に
吸い込まれる。この結果位相コンデンサC1に電荷が充
電される。演算増幅器A1の出力電圧V1 が元の電圧に
戻ると、コンデンサC1 に充電された電荷は抵抗器R4
を通じて放電する。抵抗器R4の抵抗値は小さいからこ
の場合は極く短時間に放電が完了する。
【0015】これに対し、スイッチS1をオフに制御し
た場合にはゲート−ソース間容量C GSを流れるスパイク
電流ICGS はバイパスコンデンサC2の電圧V0 を低下
させる方向に作用する。この変動を抑制するために演算
増幅器A1は出力電圧V1 を上昇させる方向に動作す
る。演算増幅器A1の出力電圧V1 が上昇するとコンデ
ンサC1を通じてバイパスコンデンサC2に充電電流が
流れ電圧V0 を元の電圧に戻す。電圧V0 が元の電圧に
戻った場合に、コンデンサC1に充電された電荷は抵抗
器R3を通じて流れる。つまりコンデンサC1の電圧上
昇はダイオードD1又はD2をオンしない程度の電圧変
化であるから、この場合のコンデンサC1の放電通路は
抵抗器R3 だけで構成される。従って放電に時間が掛る
欠点がある。つまり、コンデンサC1の放電が完了しな
いと電流検出抵抗器R3には電流I 0 の他に、コンデン
サC1の放電電流が流れることになるため、電流測定手
段4はコンデンサC1の放電が終了するまで電流の測定
を持たなければならない。このために1個のICの直流
特性を測定するに要する時間が長くなってしまう欠点が
生じる。
【0016】また図3に示した回路構造を採る場合、高
電流測定モードではスイッチS1を通じて抵抗器R4を
流れる電流が流れる。この結果スイッチS1のオン抵抗
が抵抗器R4の抵抗の一部として直列接続されることに
なるから、オン抵抗が可及的に小さい半導体スイッチ素
子を用いなければならない。またスイッチS1がわの場
合でもオフ抵抗が小さいと、抵抗器R3の抵抗値に誤差
を与えてしまう欠点がある。このためオン抵抗が小さ
く、然もオフ抵抗が大きい半導体スイッチを用いなけれ
ばならない不都合がある。
【0017】
【課題を解決するための手段】この発明ではスイッチS
1と抵抗器R4との間にバッファ増幅器を設けると共
に、バッファ増幅器の入力端子にスパイク電流除去用コ
ンデンサを接続し、このスパイク電流除去用コンデンサ
にスイッチS1を構成する半導体スイッチから流れるス
パイク電流を流し、スパイク電流が負荷側に接続したバ
イパスコンデンサC2に流れ込まない構造とし、スイッ
チS1をオン、オフ制御しても、これに伴なって負荷に
与えている電圧V0 を変動させない構造としたものであ
る。
【0018】この発明の構成によれば特にスイッチS1
をオフに制御した場合でも、半導体スイッチから流れ出
るスパイク電流はバッファ増幅器の入力側に接続したス
パイク電流除去用コンデンサに吸収されるから、出力側
のバイパスコンデンサC2の電圧V0 を変動させること
がない。従ってスイッチS1をオフに制御した直後でも
低レンジの電流を測定することができ、短時間にICの
直流試験を行なうことができる。
【0019】
【実施例】図1にこの発明の一実施例を示す。直流電圧
源2から電圧Vi を入力抵抗器R1を通じて演算増幅器
A1の反転入力端子に与え、演算増幅器A1の出力電圧
1 を電流検出抵抗器R3と位相補正用コンデンサC1
から成る並列回路を通じてバイパスコンデンサC2と負
荷1に与えると共に、負荷1及びバイパスコンデンサC
2に与える電圧V0 を帰還回路3を通じて演算増幅器A
1の反転入力端子に帰還させ、演算増幅器A1が電圧V
0 の変動を抑制する方向に動作する点の構成は従来技術
の説明と同じである。
【0020】この発明ではスイッチS1と高電流用の電
流抵抗器R4との間にバッファ増幅器A4を接続すると
共に、バッファ増幅器A4の入力端子と共通電位点との
間にスパイク電流除去用コンデンサC3を接続した構造
を特徴とするものである。スイッチS2はスイッチS1
をオフにしたときにオンに制御され負荷1及びバイパス
コンデンサC2に与える電圧V0 と同じ電圧V2 =V0
をバッファ増幅器A4の入力端子に印加するための電圧
印加手段を構成している。
【0021】上述の構成において、スイッチS1をオ
フ、S2をオンにすると、低電流測定モードで動作す
る。つまり、図1に示すように各部の電圧をV0
2 ,V4 ,V4 ′とすれば、 V0 =V2 =V4 =V4 ′ となる。これにより抵抗器R4の両端には同一電圧V0
が与えられるから、この抵抗器R4を流れる電流I
R4は、 IR4=0 V3 =I0 ・r3 となり、低電流検出用抵抗器R3に発生する電圧がV3
としてAD変換器ADCに与えられ、低電流を測定でき
る。
【0022】スイッチS1をオン、S2をオフの状態に
制御すると、高電流測定モードで動作する。この場合に
は、 V1 =V4 =V4 ′ により、 I0 =IR3+IR43 =nr4 とすると、この抵抗比によりIR3=IR4
1/nとなる。よって I0 =IR4/n+IR4=IR4(1+1/n) V3 =I0 ・r3 ・r4 /(r3 +r4 )=I0 ・r4
・n/(n+1) よって、この場合には高電流用の電流検出抵抗器R4と
低電流用の電流検出抵抗器R3の並列回路に発生する電
圧がV3 としてAD変換器ADCに与えられ、高電流を
測定することができる。
【0023】これと共に、この発明の構成によればスイ
ッチS1及びS2として半導体スイッチ素子を用いた場
合に、この半導体スイッチ素子から発生するスパイク電
流はスパイク電流除去用コンデンサC3に流れ込み除去
される。換言すればこの発明ではスイッチS1又はS2
の何れか一方が必ずオンになるから、スパイク電流除去
用コンデンサC3には演算増幅器A1の出力端子か又は
バッファ増幅器A2の出力端子が必ず接続される。これ
ら増幅器A1又はA2の入力インピーダンスは高いが出
力インピーダンスが充分低いのでスパイク電流除去用コ
ンデンサC3の電圧は瞬時に増幅器A1又はA2の出力
電圧V1 又はV2 に充電される。特にスイッチS1がオ
フ、S2がオンに制御された場合、バッファ増幅器A4
の入力端子にはスイッチS2を通じて増幅器A2から電
圧V2 =V0 =V4 が与えられる。コンデンサC3の電
圧はV1 からV0 に変更されるが、入力端子の電圧V4
がV4 =V0 に充電されれば抵抗器R4の両端は同電位
であるため、抵抗器R4には全く電流が流れない(IR4
=0)。よって低電流測定モードに切換えた直後でも電
流測定手段4は抵抗器R3に発生する電圧を測定し、負
荷1の静止状態における微小電流I0 の値を測定するこ
とができる。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
電流測定レンジを切換えた直後、特に低電流測定モード
に切換えた直後でもコンデンサC1は充電又は放電動作
を全く行なわないから切換直後でも低電流を測定するこ
とができる。また半導体スイッチ素子から発生するスパ
イク電流によって影響を受けることがない。よって精度
の高い電圧印加が電流測定を高速に行なうことができ
る。
【0025】更にスイッチS1とS2は入力インピーダ
ンスの高いバッファ増幅器A4の入力側に接続されてい
るから、これらスイッチS1及びスイッチS2を通じて
バッファ増幅器A4に電流が流れ込むことがない。つま
り抵抗器R4に電流を流すことがないから、スイッチS
1及びS2はオフ時でもリーク電流が流れてしまう半導
体スイッチ素子を用いてもよい。またオン抵抗が大きく
ても測定誤差の発生に関係しない。よって安価な半導体
スイッチ素子を用いることができる。
【0026】尚、図2はこの発明の変形実施例を示す。
この実施例ではスイッチS2に代えて抵抗器R5によっ
て電圧印加手段を構成した場合を示す。この場合もスイ
ッチS1をオンとオフに切換えることにより高電流測定
モードと、低電流測定モードに切換ることができ、スパ
イクノイズの影響も除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を示す接続図。
【図2】この発明の他の実施例を示す接続図。
【図3】従来の技術を説明するための接続図。
【図4】負荷に流れる電流波形の一例を説明するための
波形図。
【図5】図3に示した演算増幅器の周波数対利得特性を
示す図。
【図6】半導体スイッチ素子を用いた場合に発生するス
パイク電流を説明するための接続図。
【符号の説明】
1 負荷 2 直流電圧源 3 帰還回路 4 電流測定手段 R3 低電流用の電流検出抵抗器 R4 高電流用の電流検出抵抗器 C1 位相補正用コンデンサ C2 バイパスコンデンサ S1,S2 スイッチ C3 スパイク電流除去用コンデンサ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電圧電流特性を測定すべき負荷に演算増
    幅器を通じて所定の直流電圧を与える直流電圧源と、上
    記負荷に与えた電圧を上記演算増幅器に帰還させ、負荷
    に与える電圧の変動を抑制する帰還回路と、演算増幅器
    の出力端子と上記負荷との間に直列接続され演算増幅器
    から負荷に与えられる電流値を検出する電流検出用抵抗
    器と、この電流検出用抵抗器に並列に他の抵抗器を接続
    し、電流検出用抵抗器の抵抗値を切換る半導体スイッチ
    素子と、上記電流検出用抵抗器に発生する電圧を取出し
    て上記負荷に与えられる電流を測定する電流測定手段と
    を具備して構成される電圧印加電流測定回路において、 上記半導体スイッチと他の抵抗器との間に直列接続した
    バッファ増幅器と、 このバッファ増幅器の入力端子と共通電位点との間に接
    続したスパイク電流除去用コンデンサと、 上記半導体スイッチをオフに操作した状態で上記バッフ
    ァ増幅器の入力端子に上記負荷に与える電圧を印加する
    電圧印加手段と、を設けたことを特徴とする電圧印加電
    流測定回路。
JP5046819A 1993-03-08 1993-03-08 電圧印加電流測定回路 Withdrawn JPH06258382A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19746113C2 (de) * 1996-10-18 2000-08-10 Advantest Corp Spannungsversorgungsschaltung
US6255839B1 (en) 1997-12-12 2001-07-03 Advantest Corporation Voltage applied type current measuring circuit in an IC testing apparatus
JP2007127568A (ja) * 2005-11-07 2007-05-24 Advantest Corp 測定装置及び測定方法

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