JP5527635B2 - アルミニウム系金属の接合方法 - Google Patents
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Description
また、酸素雰囲気で接合が行われるため、特殊なチャンバーが必要となるため、設備コストが増加する点にも問題があった。
また、本発明のさらなる目的は、上記接合方法を適用した各種の接合部品を提供することにある。
そして、接合に際しては、両材料を相対的に加圧した状態で、共晶反応を生じる温度に加熱することによって、両材料の接合界面に母材中のAlとインサート材に含まれる少なくともZnとの共晶反応による溶融物を生成させる。次いで、得られた溶融物と共に母材表面の酸化皮膜を接合界面から排出して、両材料を接合するようにしている。
したがって、両金属の清浄面を接触させ、655K以上に加熱保持すると反応(共晶溶融)が生じ、Al−95%Znが共晶組成となるが、共晶反応自体は合金成分に無関係な一定の変化であり、インサート材の組成は共晶反応の量を増減するに過ぎない。
すなわち、加圧によって材料表面の微視的な凸部同士が擦れ合うことから、一部の酸化皮膜の局所的な破壊によって母材Alとインサート材が接触した部分からAlとインサート材成分金属の間に共晶溶融が生じる。そして、この液相の生成によって近傍の酸化皮膜が破砕、分解され、さらに共晶溶融が全面に拡がっていくことによって、酸化皮膜破壊が拡大し、促進され、両材料の接合が達成される。
まず、図1(a)に示すように、アルミニウム系金属から成る材料、例えばアルミニウム合金材1,1の間に、少なくともZnを含有する材料、例えば亜鉛箔から成るインサート材2を挟んだ状態に重ねる。なお、両材料1,1の表面には、Al2O3を主成分とする酸化皮膜1aが生成している。
この状態で、共晶温度域に達すると、先ず酸化皮膜1a中のAlとインサート金属2のZnとが共晶反応を起こし、共晶溶融相が発生する。そして、図1(d)に示すように、この液相が酸化皮膜1aの亀裂Cから母材側に浸入することによって、共晶溶融範囲が拡がり、破壊された酸化皮膜1aの欠片は液相中に分散する。
このとき、接合条件によっては、上記混合物が完全に排出されて、両材料1,1が直接接合される場合や、混合物層4が介在する部分と直接接合された部分とが混在することもある。また、アルミニウム合金材1,1の接合面の近傍には、Znの拡散が認められることもある。
これに対し、重ね接合やスポット接合の場合には、接合部分から押し出されて、その周囲に残存してシール部となり、接合部のシール性向上に寄与することになる。
また、接合温度については、高過ぎると、母材が溶け込むために液相が過剰に発生し、液相が過多になると接合界面に残存し、強度が得られなくなる傾向がある。具体的には、共晶温度以上、共晶温度+100℃までの温度範囲が好ましい。
ここで、「主成分」とは上記金属の含有量が80%以上のもの、すなわちZn、Zn+Al、Zn+Mg+Al、Zn+Cu+Al、Zn+Ag+Alなどを80%以上含有する金属(純亜鉛又は亜鉛含有合金)を意味するものとする。
また、接合面の表面粗さRaについては、大き過ぎる(粗過ぎる)と凹凸が作る空間を液相が満たせなくなって、酸化皮膜の除去が困難になる傾向がある。逆に小さ過ぎると、凹凸に対して液相が過多となって接合面の接触を妨げ、酸化皮膜に亀裂を作ることが困難になる傾向があるため、接合面の表面粗さに応じて調整する必要がある。
なお、重ね接合やスポット接合、シーム接合のような場合には、接合部から押し出された酸化皮膜や共晶溶融物に由来する成分から成る排出物が両材料の間に残存し、接合部の周囲(接合部がシーム状の場合はその両側)にシール部を形成することになる。
図に示すエンジンヘッドブロック10は、ダイカスト用アルミニウム合金、例えばAl−Si−Cu−Mg系合金(AC4D)から4つに分割鋳造されたピース11,12,13,14から構成されている。
そして、所定の治具によって互いに加圧状態に固定されたのち、高周波誘導加熱炉中において、AlとZnの共晶反応が生じる382〜482℃程度の温度範囲、例えば450℃に昇温、保持することによって、各分割ピースがそれぞれ接合され、エンジンヘッドブロック10が完成する。
このようにして製造されたエンジンヘッドブロック10は、シール性に優れ、歪みが少ないものとなる。また、鋳造時に際して、ボア形成用の中子が不要となるので、設計の自由度が向上することになる。
図において、燃料電池用セパレータ20は、アルミニウム合金板材(例えば、5000系、6000系)をプレス成形して成る2枚の波板材21,22を図示するように重ね、楕円マークで示す当接部分を本発明方法によって接合することによって、燃料ガス又は酸化性ガスの通路23を形成した構造を有するものである。
そして、例えば、同様に450℃に昇温、保持することによって、両板材21,22が接合され、アルミニウム合金製の燃料電池用セパレータ20が完成することになる。このときの両板材21,22の表面粗さRaとしては、Ra/t比が上記好適範囲内になるように、例えば0.6μm(Ra/t=0.006)程度に仕上げることにより、良好な接合状態を得ることができる。
また、この方法によれば、多数のセパレータを大型炉内に収納し、多くの接合箇所を同時に接合することもでき、TIG溶接やレーザ溶接による製造に較べて高能率な製造が可能となる。
すなわち、図に示す半導体部品30は、ヒートシンク31上に固定された絶縁基板32を備え、当該基板32の表面上に配置された配線金属33にシリコンチップ34が接合された構造を備えている。
これら配線金属33とシリコンチップ34の接合に際しては、これらの間に、厚さ25μmのAl−Sn−Zn合金の急冷箔帯をインサート材として配置し、治具を用いて、常時10MPaの加圧力が掛かるように固定される。
この方法によれば、低温度、短時間で接合が完了することから、半導体チップへの熱影響を最小限のものとすることができ、部品の歪みや性能劣化を防止することができる。なお、半導体チップとしては、上記したシリコンチップ以外にも、種々のもの、例えばSiCやGaNなどを用いることができる。
また、このような方法によれば、複数のチップを同時に接合することができる。
これに対し、本発明では、上記のようにチップ裏をAlで仕上げており、Alは素材価格が安く、しかも蒸着レートも早いのでコスト低減が可能となる。なお、Alははんだ付けできない材料なので、半導体業界においてチップ裏をAl終端することは一般に行われない。
アルミニウム合金から成る丸棒同士の突き合わせ接合を実施した。
図5(a)に示すように、アルミニウム合金A6061(Al−Mg−Si系)から成る長さ15mm、径5mmの丸棒5と長さ25mm、径10mmの丸棒6を用意した。
このとき、接合端面の加工は、旋盤加工とし、それぞれRa0.01μmの表面粗さのものと、2.5μmのものとに仕上げ、表面粗さについては、触針式の測定器によってそれぞれ確認した。
図5(b)に示すように、丸棒5,6の接合端面間に、上記組成、サイズのインサート材F5を配置し、大気中においてアンヴィルA,Aにより加圧した状態で、接合部の周囲に配置した高周波加熱コイルSによって400〜500℃に加熱し、目的の接合温度に到達後1分間保持して接合を行った。このときの昇温速度は10℃/秒とした。また、接合温度は、丸棒6の接合端面近傍の側面に溶接したR式熱電対Tによって測定した。
なお、アンヴィルA,Aによる加圧力は10〜25MPaの範囲とし、加圧は常温から開始し、接合終了後に除荷することとした。
得られた突き合わせ継手の接合強度を万能試験器による引張試験によって評価した。このときの試験速度は1mm/分とした。
この結果を接合条件と共に表1に示す。
上記アルミニウム合金から成る板材の重ね接合を実施した。
図6(a)に示すように、上記突き合わせ接合に用いたものと同種のアルミニウム合金から成る長さ56mm、幅15mm、厚さ1mmの板材7を準備し、両板材7,7の端部を15mm重ね合わせて接合することとした。
このとき、接合面の表面粗さRaについては、それぞれ0.01μm、0.1μm及び0.6μmに仕上げたものを用意した。この表面粗さについては、上記同様に、触針式の測定器によって確認した。
図6(b)に示すように、両板材7,7の接合面間に、上記組成、サイズのインサート材F6を配置し、大気中においてアンヴィルA,Aにより加圧した状態で通電することによって450℃又は500℃に加熱して、両板材7,7を重ね接合した。
この重ね接合においては、先端面が平らで、その径が5mmのアンヴィルA,Aを用いており、抵抗発熱による昇温速度は25℃/秒であって、これ以外の接合条件、接合方法については、上記した突き合わせ接合の場合と基本的に変わるものではない。
得られた重ね継手の接合強度を万能試験器による引張せん断試験によって評価した。このときの試験速度は2mm/分、チャック間距離は53mmとした。
この結果を接合条件と共に表1に併せて示す。
また、この実施例の範囲内では、接合温度が高くて加圧力が低い場合や、接合面の表面粗さに対するインサート材の厚さが過大な場合に、接合強度が低下する傾向が認められた。
1a 酸化皮膜
2 インサート材
4 混合物
10 エンジンヘッドブロック
20 燃料電池用セパレータ
30 半導体部品
F1,F2,F3,F5,F6 インサート材
Claims (11)
- アルミニウム系金属から成る両材料の間に、亜鉛を主たる構成元素としマグネシウムを添加元素として含む合金、亜鉛を主たる構成元素としマグネシウムとアルミニウムを添加元素として含む合金、亜鉛を主たる構成元素とし銅とアルミニウムを添加元素として含む合金、錫を主たる構成元素とし亜鉛とアルミニウムを添加元素として含む合金、又は亜鉛を主たる構成元素とし銀とアルミニウムを添加元素として含む合金から成るインサート材を介在させ、両材料を相対的に加圧した状態で、共晶反応を生じる温度に加熱して両材料の接合界面に母材中のアルミニウムとの共晶反応による溶融物を生成させ、当該溶融物と共にアルミニウムの酸化皮膜を接合界面から排出して両材料を接合することを特徴とするアルミニウム系金属の接合方法。
- 接合時の加圧力が5MPa以上30MPa未満であることを特徴とする請求項1に記載の接合方法。
- 上記インサート材が箔であることを特徴とする請求項1又は2に記載の接合方法。
- 両材料の接合面の表面粗さRaとインサート材の厚さtとの比Ra/tが0.00003〜0.06の範囲であることを特徴とする請求項3に記載の接合方法。
- 上記インサート材がめっき又はパウダーデポジション法により両材料の少なくとも一方の接合面に被覆されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つの項に記載の接合方法。
- 請求項1〜5のいずれか1つの項に記載の方法により接合された部品であって、上記両材料が直接、又はインサート材に由来する成分を含む混合物を介して接合されていることを特徴とする部品。
- 上記両材料が直接、又はインサート材に由来する成分を含む混合物を介して接合された接合部と、共晶溶融物及び酸化皮膜に由来する成分から成り、上記接合部の外周側に位置するシール部を備えていることを特徴とする請求項6に記載の部品。
- 亜鉛が両材料の接合面内に拡散していることを特徴とする請求項6又は7に記載の部品。
- 分割鋳造型エンジンヘッドブロックであることを特徴とする請求項6〜8のいずれか1つの項に記載の部品。
- 燃料電池用セパレータであることを特徴とする請求項6〜8のいずれか1つの項に記載の部品。
- 半導体部品であることを特徴とする請求項6〜8のいずれか1つの項に記載の部品。
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