JP5510660B2 - 駆動回路、物理量測定装置 - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態について図1〜図4を参照して説明する。また、比較例の説明において図6〜図7も参照する。
図1は本実施形態の駆動回路10のブロック図である。駆動回路10は、電流電圧変換回路20、全波整流回路30、比較調整回路40、駆動信号生成回路50を含む。
本実施形態の駆動回路の回路図の例を示す前に、比較例の駆動回路について図6〜図7を用いて説明する。比較例の駆動回路の説明の後で、図2を用いて本実施形態の駆動回路の回路図の例を示して比較する。
図6は比較例の駆動回路500のブロック図である。本実施形態の駆動回路10(図1)と異なり、抵抗のばらつきを補償するための補償回路520を含み、第1の抵抗とは関連のない定電圧源である比較電圧供給回路41を用いている。なお、図1と同じ要素には同じ番号を付しており説明は省略する。
比較例の駆動回路500では、励振電流200の振幅をIdrとすると、Idrと比較電圧Vref0との間には式(7)、式(8)により数9の関係がある。
図2は、本実施形態の駆動回路10の回路図の例である。なお、図1、図6、図7と同じ要素には同じ番号を付しており説明は省略する。
図3(A)〜(C)を用いて本実施形態の駆動回路の効果を説明する。図3(A)はシミュレーションの条件を示すテーブルである。図3(B)、図3(C)はそれぞれ比較例の駆動回路、第1実施形態の駆動回路での励振電流のばらつきを示す図である。
本実施形態の駆動回路では、第1の抵抗と第2の抵抗が同じ温度特性を有し、同じ製造ばらつきを示すことが必要である。そこで、第1の抵抗と第2の抵抗の素材を同じにするためのレイアウト手法について、図4(A)〜図4(C)を用いて説明する。なお、本実施形態では、素材を同じにするとは、単に抵抗の種類を揃えるだけでなく、レイアウトでの配置場所の違いに起因する局所的なばらつき(例えばインプラのイオン注入量の差によるシート抵抗の偏り)を含めて特性を同じにすることを意味する。
本発明の駆動回路の適用例について図5を参照して説明する。図1〜図4と同じ要素には同じ番号を付しており説明は省略する。
図5は物理量測定装置1の例を示す図である。物理量測定装置1は駆動回路10、検出回路90、振動子60、振動子70を含む。検出回路90は、振動子70に設けられた検出手段から例えば差分信号として測定信号290、292を受け取る。測定信号は振動子60の励振電流に比例している。そして、駆動回路10から必要な情報を内部信号294として受け取り、所定の演算を行って測定する物理量に応じた検出信号296を出力する。
Claims (6)
- 振動子を励振させる駆動信号を出力する駆動回路であって、
入力された励振電流を電圧に変換する電流電圧変換回路と、
前記電流電圧変換回路からの出力電圧を全波整流する全波整流回路と、
前記電流電圧変換回路からの出力電圧に基づいて前記駆動信号を生成する駆動信号生成回路と、
前記全波整流回路からの出力電圧を比較電圧と比較して、前記駆動信号の振幅を調整する比較調整回路と、を含み、
前記比較調整回路は、
前記比較電圧を供給する比較電圧供給回路を含み、
前記比較電圧供給回路は、
定電流源と、前記電流電圧変換回路が含む第1の抵抗と同じ素材の第2の抵抗とで前記比較電圧を生成する駆動回路。 - 請求項1に記載の駆動回路において、
前記第1の抵抗および前記第2の抵抗は、同一の抵抗領域にアレイ状に配置される駆動回路。 - 請求項1乃至2のいずれかに記載の駆動回路において、
前記第1の抵抗および前記第2の抵抗は、1つの抵抗値を有する抵抗セルを1つ又は複数組み合わせることで構成される駆動回路。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の駆動回路において、
前記第1の抵抗の抵抗値および前記第2の抵抗の抵抗値は、前記励振電流の振幅と前記振動子破壊する破壊電流が流れる限界値とを比較した演算結果に基づいて定められる駆動回路。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の駆動回路において、
前記電流電圧変換回路と前記比較調整回路とは、共通の接地電位に接続される駆動回路。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載の駆動回路を含む物理量測定装置。
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