JP2009150789A - 水晶振動子を用いた物理/化学量測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 水晶振動子を有する発振回路と、その発振回路の発振周波数を検知する周波数検知手段と、を具備してなり、測定対象物から水晶振動子に与えられる影響によって前記発振回路の発振周波数が変化することを利用して、前記測定対象物の物理量乃至化学量を測定する物理/化学量測定装置において、外乱影響(温度影響等)を抑えて検出感度を向上させ、なおかつ電源回路も含めた回路構成を極めて簡単化することを課題とする。
【解決手段】 前記発振回路1の構成を、第1コンデンサ11、第2コンデンサ12、第1反転素子13、第2反転素子15及び抵抗16をこの順に環状に直列接続してループ回路を形成するとともに、前記水晶振動子17の一方の電極17aを前記第1コンデンサ11と第2コンデンサ12との間の接続配線に接続し、他方の電極17bを回路コモンに接続したものとした。
【選択図】 図1
【解決手段】 前記発振回路1の構成を、第1コンデンサ11、第2コンデンサ12、第1反転素子13、第2反転素子15及び抵抗16をこの順に環状に直列接続してループ回路を形成するとともに、前記水晶振動子17の一方の電極17aを前記第1コンデンサ11と第2コンデンサ12との間の接続配線に接続し、他方の電極17bを回路コモンに接続したものとした。
【選択図】 図1
Description
本発明は、測定対象物が水晶振動子に与える影響によって水晶振動子の共振特性(固有振動数)が変化することを利用して、該測定対象物の物理量乃至化学量を測定する物理/化学量測定装置に関するものである。
水晶振動子は、水晶振動板と水晶振動板に電圧を印加するように設けられた一対の電極からなるもので、その表面に物質を付着させたり温度を変化させたりして、水晶振動体寸法、弾性率、密度等を変化させると、その変化量に応じて、共振周波数が変化する性質を有している。この性質を利用して、水晶振動子の一方の電極を作用電極として試料ガスや試料溶液に晒し、そのことによる温度変化や化学変化に伴う質量変化などを、共振周波数の変化として検知するようにした温度センサや化学センサ、質量センサ(QCM)などが種々開発されている。
そしてこのようなセンサでは、前記共振周波数の変化を電気的に測定するために、水晶振動子を帰還素子に用いた発振回路を構成し、その発振回路の周波数を検出するようにしている。その代表的なものとしては、図6に示すように、コルピッツ型発振回路を応用したサバロフ回路が知られている。
ところで、この回路の問題点としては、
(1)例えば外乱影響(温度影響等)を排除するために、2つの同等なセンサを用意し、一方を検出用、他方を参照用としてその出力の差分をとることが考えられる。しかし、前述の構成では、特に溶液の成分測定を行う場合には、相互干渉を引き起こすなどのことから、相互に絶縁した電源を使用せざるを得ないが、そうすると、2つのセンサを同一環境下におくことが極めて難しくなり、結果として、検出感度を一定以上向上させることができない。
(2)測定対象物が溶液の場合であってその多成分測定を行うべく、例えばマルチチャンネル化した場合、水晶振動子の接液部分の電極が溶液を介して接続されてしまうために、前述の如く、同一の電源を用いると相互干渉を引き起こす。そのために相互に絶縁した電源を使用せざるを得ないが、電源間の浮遊容量での干渉等を考慮すると、図6の構成では、回路電源が複雑になって、実現性が低くなる。
(3)測定対象物が溶液の場合であって、その溶液が回路のコモンと接続されている場合には、図6の回路では安定動作が困難となる。
などが挙げられる。
(1)例えば外乱影響(温度影響等)を排除するために、2つの同等なセンサを用意し、一方を検出用、他方を参照用としてその出力の差分をとることが考えられる。しかし、前述の構成では、特に溶液の成分測定を行う場合には、相互干渉を引き起こすなどのことから、相互に絶縁した電源を使用せざるを得ないが、そうすると、2つのセンサを同一環境下におくことが極めて難しくなり、結果として、検出感度を一定以上向上させることができない。
(2)測定対象物が溶液の場合であってその多成分測定を行うべく、例えばマルチチャンネル化した場合、水晶振動子の接液部分の電極が溶液を介して接続されてしまうために、前述の如く、同一の電源を用いると相互干渉を引き起こす。そのために相互に絶縁した電源を使用せざるを得ないが、電源間の浮遊容量での干渉等を考慮すると、図6の構成では、回路電源が複雑になって、実現性が低くなる。
(3)測定対象物が溶液の場合であって、その溶液が回路のコモンと接続されている場合には、図6の回路では安定動作が困難となる。
などが挙げられる。
これら問題点は、詳細に検討すると、図6から明らかなように、水晶振動子の各電極を回路コモンに接続できない構成となっていることに起因すると考えられる。そこで、水晶振動子の一方の電極を回路コモンに接続した状態で水晶振動子の特性変化を検出する回路として、本願発明者は、特許文献1や特許文献2に記載されたものを開発している。
特開2004−333148号公報
特開2006−10431号公報
しかしながら、前述した特許文献1、2に記載の回路では、装置構成が複雑になるという新たな問題を生じる。
本発明はかかる問題点を一挙に解決すべく図ったものであって、その主たる所期課題は、外乱影響(温度影響等)を抑えて検出感度を向上させることができ、なおかつ電源回路も含めた回路構成を極めて簡単化できる水晶振動子を用いた物理/化学量測定装置を提供することにある。
すなわち本発明に係る物理/化学量測定装置は、水晶振動子を有する発振回路を具備してなり、試料ガスや試料溶液などの測定対象物が水晶振動子に与える影響によって前記発振回路の発振周波数が変化することを利用して、該測定対象物の物理量乃至化学量を測定するものであって、
前記発振回路が、前記第1コンデンサ、第2コンデンサ、第1反転素子、第2反転素子及び抵抗をこの順に環状に直列接続してループ回路を形成するとともに、前記水晶振動子の一方の電極を前記第1コンデンサと第2コンデンサとの間の接続配線に接続し、他方の電極を当該発振回路のコモン(以下、回路コモンとも言う)に接続したものであることを特徴とする。
前記発振回路が、前記第1コンデンサ、第2コンデンサ、第1反転素子、第2反転素子及び抵抗をこの順に環状に直列接続してループ回路を形成するとともに、前記水晶振動子の一方の電極を前記第1コンデンサと第2コンデンサとの間の接続配線に接続し、他方の電極を当該発振回路のコモン(以下、回路コモンとも言う)に接続したものであることを特徴とする。
安定な発振を可能とするには、前記発振回路中に、ループゲインを調節する調節器を設けておくことが好ましく、その調節器としては、ループゲインを減衰させる減衰器が特に望ましい。また、その配設箇所としては、例えば第1反転素子と第2反転素子との間を挙げることができる。
差分計測によるより精度の高い測定を可能とするには、同等の特性を有する一対の発振回路を設け、一方の発振回路の水晶振動子のみを測定対象物の影響下におき得るように構成しているものが好ましい。特に本発明によれば、溶液測定の場合であっても、各発振回路に共通の電源を用いることができるので、回路電源の複雑化や部品点数の増大を抑制することが可能となる。
具体的な態様としては、前記一方の発振回路の水晶振動子における他方の電極に、特定の物質に感応する感応膜を貼着しているものを挙げることができる。
上記構成の本発明によれば、水晶振動子の他方の電極が回路コモンに接続されているので、この部分のインピーダンスが低くなるうえ、この部分を用い測定に影響の出ない方法でシールドすることなども容易に可能であることから、大気中、液中に拘わらず、電気的ノイズに対して強い構成にできる。
また、特に測定対象物が溶液であって、一方を検出用、他方を参照用とした2つの発振回路を用いて差分測定する場合には、作用電極となる水晶振動子の他方の電極がいずれも発振回路のコモン電位であることから接続可能なので、共通の電源を用いても相互干渉が生じ難く、2つの発振回路を同一環境下においた差分測定が容易にできる。したがって、温度影響などの外乱を排除した、精度良い測定が容易にできるようになる
溶液の多成分測定などの目的で、本発明にかかる測定装置をマルチチャンネル化する場合にも、作用電極となる水晶振動子の他方の電極がいずれも回路コモン電位なので、相互干渉が生じ難く、共通の電源を用いることができる。したがって従来のように回路電源の複雑化を招来しないし、また、各発振回路の切替素子を一素子で構成することも可能となる。
以下、本発明の一実施形態を図面を参照して説明する。
本実施形態に係る物理/化学量測定装置100(図1参照)は、水晶振動子17に外部から何らかの物理的変化を与えることによって該水晶振動子17の共振周波数が変化することを利用したものであり、この共振周波数を測定することにより、その変化を与えた原因である物理量や化学量を測定するものである。測定できる物理量や化学量としては、例えば、微量物質の質量が挙げられる。水晶振動子17の電極表面に微量物質が付着すれば、その物質の質量を共振周波数の変化として定量的に捉えることができるからである。また、水晶振動子17の電極表面を感応膜で覆えば、その感応膜が感応対象物質との間で反応(分離、結合)することで質量が変化した場合などに、その反応を共振周波数の変化として測定することができる。その他に、温度によって水晶振動子17の水晶振動体寸法、弾性率、密度等が変化してその共振周波数が変化するから、温度も測定することができる。
かかる物理/化学量測定装置100について具体的に説明すると、このものは、図1に示すように、水晶振動子17を有する発振回路1と、その発振回路1の発振周波数を検知する周波数検知手段2とを具備している。
発振回路1は、第1コンデンサ11、第2コンデンサ12、非反転増幅部3及び抵抗16をこの順に環状に直列接続して閉ループ回路を構成するとともに、前記水晶振動子17の一方の電極17aを、前記第1コンデンサ11と第2コンデンサ12との間の接続配線に接続し、他方の電極17bを回路コモンに接続したものである。
非反転増幅部3は、第1反転素子13、調節器たる減衰器14、第2反転素子15をこの順で直列に接続したものである。この実施形態では、前記各反転素子13、15に、例えばCMOS論理素子を用いているが、その他に、オペアンプやコンパレータ、トランジスタ等を用いた高周波増幅器、伝送素子等を用いることも可能である。また、減衰器14は、LCR素子のみで形成した、例えばT型やπ型と称される回路であるが、これに限定されるものではない。
周波数検知手段2は、詳細は図示しないが、例えば、一定周波数で動作するクロック素子を利用したカウンタ回路である。
次に、前記発振回路1について解析した結果を説明する。解析に用いた等価回路は図2に示すとおりであり、ここでは水晶振動子17の等価回路X17と、第1反転素子13の入力部等価回路X13とを含めたものである。
解析に用いた水晶振動子17の等価定数は20MHz品を用い、水晶振動子17の等価直列抵抗XR1は、接液状態での解析とするために、大気中の値より大きな値(約20倍)の220Ωとした。その他の符号の意味と値は以下の通りである。
XL1(等価直列インダクタンス)=2.89・10−3(H)
XC1(等価直列容量) =23.61・10−15(F)
XC0(並列容量) =5.352・10−12(F)
また、この等価回路X17での水晶振動子17の直列(主)共振周波数f0は、
f0=1/{2π(XL1・XC1)1/2}
=1.92674076・107(Hz)
である。
XL1(等価直列インダクタンス)=2.89・10−3(H)
XC1(等価直列容量) =23.61・10−15(F)
XC0(並列容量) =5.352・10−12(F)
また、この等価回路X17での水晶振動子17の直列(主)共振周波数f0は、
f0=1/{2π(XL1・XC1)1/2}
=1.92674076・107(Hz)
である。
解析結果は周囲の回路定数により異なるが、発振の位相条件を満足する定数での結果を図3に示す。図3の結果を見ると、発振回路1に重要な位相条件(同位相)は、水晶振動子17の共振周波数付近と、それよりも低い1MHz以下で満足している。したがって、図2の等価回路に、仮に、直列させた2つの反転素子のみで形成した非反転増幅部を接続して閉ループを形成すると、どちらの周波数で発振するか不確定となる。実際の実験でもそれが原因と思われる異常発振が生じている。この原因は、2段の反転素子のみで非反転増幅部を構成したことから増幅ゲインが高くなりすぎ、共振周波数より低い周波数で発振が生じることにある。
そこで、この実施形態では、前述したように非反転増幅部3に減衰器14を設けてループゲインを調節(低減)し、発振条件であるループゲイン条件(同位相時のループゲインが1以上)が共振周波数近傍で満足され、それより低い周波数ではループゲインが1より下回るように構成している。つまり、このことによって共振周波数近傍でのみ安定な発振を可能としている。
そこで、この実施形態では、前述したように非反転増幅部3に減衰器14を設けてループゲインを調節(低減)し、発振条件であるループゲイン条件(同位相時のループゲインが1以上)が共振周波数近傍で満足され、それより低い周波数ではループゲインが1より下回るように構成している。つまり、このことによって共振周波数近傍でのみ安定な発振を可能としている。
しかして、この物理/化学量測定装置100を用いて測定する場合には、水晶振動子17の他方の電極17b、すなわちコモン側電極を作用電極とし、その作用電極17bに物質を付着させるようにする。例えば溶液中の所望成分を測定する場合には、作用電極17bに感応膜を被覆して化学的吸着を生じせしめるなどする。
次に、本発明の他の実施形態につき説明する。なお、この実施形態において前記実施形態に対応する部材には同一の符号を付すこととしている。
この実施形態に係る物理/化学量測定装置100は、図4に示すように差分測定やマルチチャンネル測定をすべく、発振回路1を複数(図4では2つ)並列に設けた構成としている。また、それに応じて周波数検知手段2も複数設けている。そして測定の場合は、前記実施形態同様、各水晶振動子17のコモン側電極17bを作用電極とする。
この図4の構成と、従来のサバロフ回路を2つ並列に用いた構成を示す図5とを比較すれば明らかなように、図4に係る物理/化学量測定装置100では、相互干渉は考えられないが、図5に示す従来のものであれば、2つの発振回路で電源を共通に用いた場合、水晶振動子のどちらの電極を接液面としても相互干渉が生じ、差分測定やマルチチャンネル測定において不具合が生じることがわかる。
すなわち、このように構成した各実施形態に係る物理/化学量測定装置100によれば、作用電極となる水晶振動子17の他方の電極17bがコモンに接続されているので、この部分のインピーダンスが低くなるうえ、この部分を用い測定に影響の出ない方法でシールドすることなども容易に可能であることから、大気中、液中に拘わらず、電気的ノイズに対して強い構成にできる。
また、特に測定対象物が溶液の場合に、2つの発振回路1を用いて差分測定したり、マルチチャンネル測定する場合に、水晶振動子17の作用電極17bがいずれもコモン電位なので、各発振回路1に共通の電源を用いても相互干渉が生じ難い。したがって、各発振回路1を同一環境下においた差分測定が容易にできるし、あるいは、マルチチャンネル測定する場合において、回路電源を独立化するといった複雑な構成が不要となる。また、各発振回路1の切替素子を一素子で構成することも可能となる。
さらに前記実施形態では、既存のCMOSインバータで反転素子を構成し、これを2段にするとともに、抵抗素子のみからなる減衰器14を付帯させて非反転増幅部3を構成しているので、非反転増幅部3を、ループゲインなども考慮した単体素子として新たに開発した場合と比べて、コストを抑制することができる。また、位相調整することなく、減衰器14でのゲイン調整のみによって異常発振を抑制することができる。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。例えばコンデンサは、非常に小さい容量でよいので、単体素子を用いることなく、プリント基板の積層パターン間容量などを用いることにより形成することも可能である。
また減衰器はループゲインを調整できればよいので、発振回路の閉ループ内に配置すればよく、配設部位を前記実施形態の部位に特に限定されるものではないし、場合によって省略も可能である。
また減衰器はループゲインを調整できればよいので、発振回路の閉ループ内に配置すればよく、配設部位を前記実施形態の部位に特に限定されるものではないし、場合によって省略も可能である。
その他、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であることは言うまでもない。
100・・・物理/化学量測定装置
1・・・発振回路
11・・・第1コンデンサ
12・・・第2コンデンサ
13・・・第1反転素子
14・・・調節器(減衰器)
15・・・第2反転素子
16・・・抵抗
17・・・水晶振動子
17a・・・水晶振動子の一方の電極
17b・・・水晶振動子の他方の電極
1・・・発振回路
11・・・第1コンデンサ
12・・・第2コンデンサ
13・・・第1反転素子
14・・・調節器(減衰器)
15・・・第2反転素子
16・・・抵抗
17・・・水晶振動子
17a・・・水晶振動子の一方の電極
17b・・・水晶振動子の他方の電極
Claims (4)
- 水晶振動子を有する発振回路を具備してなり、試料ガスや試料溶液などに含まれる測定対象物が水晶振動子に与える影響によって前記発振回路の発振周波数が変化することを利用して、該測定対象物の物理量乃至化学量を測定するものであって、
前記発振回路が、前記第1コンデンサ、第2コンデンサ、第1反転素子、第2反転素子及び抵抗をこの順に環状に直列接続してループ回路を形成するとともに、前記水晶振動子の一方の電極を前記第1コンデンサと第2コンデンサとの間の接続配線に接続し、他方の電極を当該発振回路のコモンに接続したものであることを特徴とする物理/化学量測定装置。 - 前記発振回路中にループゲインを調節する調節器をさらに設けている請求項1記載の物理/化学量測定装置。
- 一対の同じ発振回路を設け、一方の発振回路の水晶振動子のみを測定対象物の影響下におき得るように構成している請求項1又は2記載の物理/化学量測定装置。
- 前記一方の発振回路の水晶振動子におけるコモン側電極に、特定の物質に感応する感応膜を貼着している請求項3記載の物理/化学量測定装置。
Priority Applications (1)
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JP2007329383A JP2009150789A (ja) | 2007-12-20 | 2007-12-20 | 水晶振動子を用いた物理/化学量測定装置 |
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Cited By (1)
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KR20150134665A (ko) * | 2014-05-22 | 2015-12-02 | 삼성전자주식회사 | 냄새를 측정하는 후각 감지 장치 및 방법 |
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2007
- 2007-12-20 JP JP2007329383A patent/JP2009150789A/ja active Pending
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KR20150134665A (ko) * | 2014-05-22 | 2015-12-02 | 삼성전자주식회사 | 냄새를 측정하는 후각 감지 장치 및 방법 |
KR102207175B1 (ko) * | 2014-05-22 | 2021-01-25 | 삼성전자주식회사 | 냄새를 측정하는 후각 감지 장치 및 방법 |
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