JP5509691B2 - レンズ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の光学素子の概略構成を示した断面図である。ここで光学素子1は、芯ガラス2と、その表面に形成された第1層の膜3aと最表面層(第2層の膜)3bの2層からなる光学機能膜3とからなるものである。
ステップ2:溶け出した燐酸が光学素子の光学機能膜表面、すなわち最表面層に付着する。
ステップ3:表面に付着した燐酸は、反射防止膜の最表面層に採用されているフッ化マグネシウムと反応する。
ステップ4:フッ化マグネシウムは劣化し、光学素子表面にクモリが発生する。
本発明の光学素子は、従来公知の方法、例えば、ガラス材料を切断、丸め、荒ずり、砂かけ、研磨、芯取り、という方法か、光学素子成形素材を加熱軟化させ、成形型によりプレスし、必要に応じて芯取りする方法、により得られた芯ガラス2の表面に、常法により異なる材質からなる2層以上の薄膜を形成して行えばよく、その際に、光学機能膜の最表面層を燐酸と反応性の低い物質で形成すればよい。
<光学素子(芯ガラス)の準備>
表1〜3に示した組成を有する燐酸を主成分とする光学ガラスのブロック(板材)から素材を切り出し、常法により研削、研磨、芯取りを行い、外径φ7mm、中心肉厚4.3mm、曲率半径が両面とも7mm、(コバ厚:2.424mm)、(体積0.13cc)の両凸レンズ形状の芯ガラス2に加工した。
得られた芯ガラス2を超音波洗浄機により通常のガラス洗浄工程により洗浄した後、図2に示す真空蒸着装置により本発明の反射防止膜として機能する光学機能膜3を形成した。図1は本発明の光学素子の一実施形態を示した断面図であり、光学素子の芯ガラス2は、それぞれ表1〜3に示す燐酸を主成分とする光学ガラスよりなる。光学機能薄膜3は、最表面層の薄膜が燐酸と反応性の低い材料からなるものである。
本発明の反射防止膜について詳細に述べる。代表例として表2の硝材No.7、ndが1.59216のガラスを用いて本発明の反射防止膜を上記反射防止膜(光学機能薄膜)の形成方法により成膜した場合について、以下、従来例も交えながらその特性を検討した。なお、以下に記載した表4〜表28中において、芯ガラスに直接形成される膜を第1層とし、順次第2層、第3層、…第N層と積層する順番に番号を付与した。最大数となる第N層が最表面層であり、AIRは空気(最表面層が空気と接触していること)を表わす。
表4に、芯ガラスの表面にフッ化マグネシウム(MgF2)単層膜を形成した反射防止膜の構成を、図3にはその反射特性を示した。この特性を以下シングル特性と呼ぶことにする。
表5に、芯ガラスの表面に二酸化ケイ素(SiO2)単層膜を形成した反射防止膜の構成を、図4にはその反射特性を示した。
表6〜8に、芯ガラスの表面に最表面層が二酸化ケイ素(SiO2)又はアルミナ(Al2O3)となるシングル特性に近づけるように設計した反射防止膜の構成を、図5〜7には、それぞれ表6〜8に対応した反射特性を示した。さらに、表6に示した構成で最表面層の膜厚を7nmとしたものも製造した(実施例1−2)。
表9に、芯ガラスの表面に従来の多層膜(7層)を形成した反射防止膜の構成を、図8にはその反射特性を示した。この特性を以下マルチ特性7と呼ぶことにする。
表10に、芯ガラスの表面に最表面層が二酸化ケイ素(SiO2)となるマルチ特性7に近づけるように設計した反射防止膜の構成を、図9にはその反射特性を示した。さらに、表10に示した構成で最表面層の膜厚を7nmとしたものも製造した(実施例4−2)。
表11に、芯ガラスの表面に従来の多層膜(3層)を形成した反射防止膜の構成を、図10にはその反射特性を示した。この特性を以下マルチ特性3と呼ぶことにする。
表12及び13に、芯ガラスの表面に最表面層が二酸化ケイ素(SiO2)又はアルミナ(Al2O3)となるマルチ特性3に近づけるように設計した反射防止膜の構成を、図11及び12にはその反射特性を示した。
表14に芯ガラスの表面に、従来の多層膜(5層)を形成した反射防止膜の構成を、図13にはその反射特性を示した。この特性を以下マルチ特性5と呼ぶことにする。
表15〜19に、芯ガラスの表面に最表面層が酸化イットリウム(Y2O3)、H4、酸化ハフニウム(HfO2)、酸化タンタル(Ta2O5)となるマルチ特性5に近づけるように設計した反射防止膜の構成を、図14〜18には、それぞれ表15〜19に対応した反射特性を示した。
表20に、芯ガラスの表面に従来の多層膜(6層)を形成した反射防止膜の構成を、図19にはその反射特性を示した。この特性を以下マルチ特性6と呼ぶことにする。
表21に、芯ガラスの表面に最表面層が酸化イットリウム(Y2O3)となるマルチ特性6に近づけるように設計した反射防止膜の構成を、図20にはその反射特性を示した。
表22に、芯ガラスの表面に従来の多層膜(5層)を形成した反射防止膜の構成を、図21にはその反射特性を示した。この特性を以下マルチ特性5’と呼ぶことにする。
表23に、芯ガラスの表面に最表面層がOH5となるマルチ特性5’に近づけるように設計した反射防止膜の構成を、図22にはその反射特性を示した。
表24に、芯ガラスの表面に従来の多層膜(7層)を形成した反射防止膜の構成を、図23にはその反射特性を示した。この特性を以下マルチ特性7’と呼ぶことにする。
表25に、芯ガラスの表面に最表面層がアルミナ(Al2O3)となるマルチ特性7’に近づけるように設計した反射防止膜の構成を、図24にはその反射特性を示した。
表26に、芯ガラスの表面に従来の多層膜(6層)を形成した反射防止膜の構成を、図25にはその反射特性を示した。この特性を以下マルチ特性6’と呼ぶことにする。
表27に、芯ガラスの表面に最表面層が二酸化ケイ素(SiO2)となるマルチ特性6’に近づけるように設計した反射防止膜の構成を、図26にはその反射特性を示した。
表28に、芯ガラスの表面に最表面層が二酸化ケイ素(SiO2)となる長波長域で使用可能なように設計した反射防止膜の構成を、図27にはその反射特性を示した。
実施例、従来例及び比較例で得られた光学素子について、環境耐久試験を行った。環境耐久試験は、60℃、90%RHに保持された恒温恒湿装置に、得られた光学素子を投入することで行なった。投入してから、125時間、250時間、500時間、750時間、1000時間後の各時間での光学素子のクモリ、クラックの発生状況について高輝度光源を用いて目視観察により行った。さらに顕微鏡観察もあわせて行った。硝材No.7、ndが1.59216のガラスの結果を表29に、硝材No.12、ndが1.43425のガラスの結果を表30に示した。
Claims (8)
- P2O5 36〜48質量%、B2O3 4〜11質量%、Li2O 3〜5質量%、BaO 15〜38質量%、CaO 2〜9質量%、MgO 0〜7質量%、SrO 0〜8質量%、Al2O3 2〜4質量%、他微量成分(ZnO、La2O3、Gd2O3)がそれぞれ 0〜4質量%であり、その屈折率ndは1.58〜1.62、アッベ数vdは63〜68の範囲である燐酸ガラスの表面に、異なる材質で形成された2層以上の膜を積層してなる光学機能膜を有するレンズであって、
前記光学機能膜の最表面層が、SiO2、Al2O3、Y2O3、La2O3、HfO2、Ta2O5、TiO2、ZrO2 及びNb2O 5 よりなる群から選ばれた少なくとも1種以上の材質からなり、その膜厚が5nm以上450nm以下であることを特徴とするレンズ。 - P2O5 0〜7質量%、NaF 0〜2質量%、AlF3 12〜32質量%、MgF2 5〜11質量%、CaF2 15〜17質量%、SrF2 19〜26質量%、Al(PO3)3 0〜27質量%であり、その屈折率ndは1.43〜1.50、アッベ数vdは81〜96の範囲であるフツ燐酸ガラスの表面に、異なる材質で形成された2層以上の膜を積層してなる光学機能膜を有するレンズであって、
前記光学機能膜の最表面層が、SiO2、Al2O3、Y2O3、La2O3、HfO2、Ta2O5、TiO2、ZrO2 及びNb2O 5 よりなる群から選ばれた少なくとも1種以上の材質からなり、その膜厚が5nm以上450nm以下であることを特徴とするレンズ。 - P2O5 36〜48質量%、B2O3 4〜11質量%、Li2O 3〜5質量%、BaO 15〜38質量%、CaO 2〜9質量%、MgO 0〜7質量%、SrO 0〜8質量%、Al2O3 2〜4質量%、他微量成分(ZnO、La2O3、Gd2O3)がそれぞれ 0〜4質量%であり、その屈折率ndは1.58〜1.62、アッベ数vdは63〜68の範囲である燐酸ガラスからなるレンズの表面に、異なる材質で形成された2層以上の膜を順次積層してなる光学機能膜を形成するレンズの製造方法であって、
前記光学機能膜の最表面層を、SiO2、Al2O3、Y2O3、La2O3、HfO2、Ta2O5、TiO2、ZrO2 及びNb2O 5 よりなる群から選ばれた少なくとも1種以上の材質からなり、その膜厚を5nm以上450nm以下とすることを特徴とするレンズの製造方法。 - P2O5 0〜7質量%、NaF 0〜2質量%、AlF3 12〜32質量%、MgF2 5〜11質量%、CaF2 15〜17質量%、SrF2 19〜26質量%、Al(PO3)3 0〜27質量%であり、その屈折率ndは1.43〜1.50、アッベ数vdは81〜96の範囲であるフツ燐酸ガラスからなるレンズの表面に、異なる材質で形成された2層以上の膜を順次積層してなる光学機能膜を形成するレンズの製造方法であって、
前記光学機能膜の最表面層を、SiO2、Al2O3、Y2O3、La2O3、HfO2、Ta2O5、TiO2、ZrO2 及びNb2O 5 よりなる群から選ばれた少なくとも1種以上の材質からなり、その膜厚を5nm以上450nm以下とすることを特徴とするレンズの製造方法。 - 前記光学機能膜を、電子銃蒸発源を用いた真空蒸着成膜法により形成することを特徴とする請求項3又は4記載のレンズの製造方法。
- 前記光学機能膜を、電子銃蒸発源を用いたプラズマアシスト又はイオンアシスト蒸着成膜法により形成することを特徴とする請求項5記載のレンズの製造方法。
- 前記光学機能膜を、スパッタリング成膜法により形成することを特徴とする請求項6記載のレンズの製造方法。
- 前記燐酸ガラス又はフツ燐酸ガラスからなるレンズが、光学素子成形素材を加熱軟化させ、成形型によりプレスして得られることを特徴とする請求項3乃至7のいずれか1項記載のレンズの製造方法。
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