JP4447393B2 - 光学多層膜付きガラス部材、及び該ガラス部材を用いた光学素子 - Google Patents
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Description
この種のガラスとしては、例えば、弗燐酸塩ガラスにCuOを添加した近赤外光吸収フィルターガラスが開示されている(特許文献1)。
ところで、近年、デジタルカメラやビデオカメラの小型化により、カメラの光学系も省スペース化が求められているが、従来の光学素子は、それぞれが単独部材として形成された、近赤外線吸収フィルターガラス、反射防止膜付き基板、ローパスフィルターの各部材が接合されていたため、省スペース化が図れなかった。
また、弗燐酸塩ガラスからなる近赤外光吸収フィルターガラスに光学多層膜を形成する技術も提案されているが、光学素子の小型化の要求により、洗浄工程時や高温高湿耐久試験等で光学多層膜の膜剥がれが発生し問題となっている。
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、弗燐酸塩ガラスに光学多層膜を形成しても膜剥がれが発生しない光学多層膜付きガラス部材、及びこのガラス部材を用いた光学素子を提供することである。
前記弗燐酸塩ガラス基板と前記光学多層膜との間に、弗素(F)を含み前記弗燐酸塩ガラス基板に対する前記光学多層膜の密着性を向上させる密着強化膜が形成されていることを特徴とする光学多層膜付きガラス部材。
(構成2)前記密着強化膜は、弗化マグネシウム(MgF2)、弗化カルシウム(CaF2)、弗化ランタン(LaF3)、弗化ネオジウム(NdF3)、弗化セリウム(CeF3)の何れかから選ばれる材料であることを特徴とする構成1記載の光学多層膜付きガラス部材。
(構成3)前記密着強化膜の膜厚は、前記ガラス基板の主表面を覆うことが可能な膜厚以上であって、前記光学多層膜の光学特性に影響を与えない膜厚以下であることを特徴とする構成1又は2記載の光学多層膜付きガラス部材。
(構成4)前記弗燐酸塩ガラス基板は、カチオン%表示で、P5+が20〜40%含まれる材料からなることを特徴とする構成1乃至3の何れか一に記載の光学多層膜付きガラス部材。
(構成5)構成1乃至4の何れか一に記載の光学多層膜付きガラス部材を所定の大きさに切断してなる光学素子。
本発明において、弗燐酸塩ガラスとは、ガラス形成酸化物として燐酸(酸化リン)を含むガラスのうち、弗素(F)を含むガラスをいう。この弗燐酸塩ガラスは、弗燐酸塩系ガラス又は弗燐酸系ガラスと呼ばれることがある。
具体的には、反射防止膜の場合、基板側から、Al2O3/ZrO2/MgF2の積層膜、TiO2/SiO2…の積層膜、Ta2O5/SiO2…の積層膜、Si−Sn−O/TiO2/SiO2の積層膜、Si−Sn−O/Nb2O5/SiO2の積層膜などが挙げられる。
また、IRカット膜の場合、基板側から、TiO2/SiO2…の積層膜、Ta2O5/SiO2…の積層膜、ZrO2/SiO2…の積層膜などが挙げられる。
光学多層膜の成膜方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、CVD法、イオンビーム蒸着法などが挙げられる。
上記光学多層膜は、弗燐酸塩ガラス基板の片面又は両面に形成することができる。
具体的には、弗燐酸塩ガラス基板/AR膜、弗燐酸塩ガラス基板/IRカット膜、AR膜/弗燐酸塩ガラス基板/AR膜、AR膜/弗燐酸塩ガラス基板/IRカット膜、などのように形成することができる。
密着強化膜の膜厚は、密着性を強化できる程度の膜厚であれば良いが、好ましくはガラス基板の主表面を覆うことが可能な膜厚以上(連続膜)であって、その上に形成する光学多層膜の光学特性に影響を与えない膜厚以下であることが望ましい。具体的には、密着強化膜の下限は、10nm以上とすること(最低10nmとすること)が好ましい。10nm未満だと成膜時の膜厚制御性が悪化し、膜厚ばらつきによる密着強化膜のむらが発生しやすいからである。
弗燐酸塩ガラス基板上に光学多層膜が形成された光学多層膜付きガラス部材は、水溶液で処理される。例えば、洗浄処理やガラス部材を所定の大きさに切断する場合などである。これらの水溶液の処理を行っても本発明の如く密着強化膜を介在させれば、光学多層膜との密着性は良好であり膜剥がれは発生しない。
ガラス部材から所定の大きさに切断して光学フィルターなどの光学素子を製造する方法の概要について説明する。
例えば、精密研磨してなる大きさ90mm×90mm、厚さ0.5mmの弗燐酸塩ガラス上に各種光学薄膜を形成したガラス基板を、50枚程度準備し、これらを紫外線硬化樹脂(水で剥がれる接着剤)で互いに接着して積層した積層ラージブロックとする。次いで、この積層ラージブロックを、積層方向に縦横にクロス切断(例えば、4.5mm×4.5mm、14mm×14mm、20mm×20mm、にクロス切断)して、多数の積層スモールブロックを得る。次に、得られた各積層スモールブロックについて、積層スモールブロックの状態で、一括して、面取り加工を施した後、水に必要時間浸して紫外線硬化樹脂を膨潤させ、1枚1枚が剥がれる状態にし、各基板を分離した後、洗浄を行い、全数検査を行う。これにより、所定の大きさに切断された光学フィルターなどの光学素子が得られる。
光学フィルターなどの光学素子のサイズは、携帯電話用途の場合4〜7mm×4〜7mm程度、小型デジタルカメラ用途の場合8〜14mm×8〜14mm程度が一般的である。
(実施例1)(反射防止膜付き近赤外光吸収フィルター)
精密研磨してなる大きさ90mm×90mm、厚さ0.5mmの複数枚の弗燐酸塩ガラス上に、それぞれ、真空蒸着法により密着強化膜である弗化マグネシウム(MgF2)を膜厚18nm形成した後、同じく真空蒸着法により酸化アルミニウム(Al2O3)(膜厚67nm)/酸化ジルコニウム(ZrO2)(膜厚130nm)/弗化マグネシウム(MgF2)(膜厚98nm)を基板側から順次積層してなる反射防止膜を形成して、反射防止膜付きガラス基板を複数枚得た。この光学特性は、図1に示すように約430nm〜約640nmの可視領域での反射率が0.1%以下と良好であった。また、図1に示すように、密着強化膜を形成しない比較例1と比べ、密着強化膜を介在させているにもかかわらず、反射率が僅かながらも低下し反射率の増加などの悪影響はないことがわかった。
得られた複数枚の反射防止膜付きガラス基板を積層して、大きさ5mm×5mmに切断した後、超音波洗浄を行い携帯電話用途に使用する反射防止膜付き近赤外光吸収フィルター(反射防止膜付き色補正用フィルター)を980枚得た。
この得られた反射防止膜付き近赤外光吸収フィルターについて全数検査したところ、基板に大きな反りを生じていたが膜剥がれは確認されなかった。また、密着強度試験(JISZ1522に規定された粘着テープで幅12〜19mmのものを、反射防止膜に貼り付ける。次にこの粘着テープを反射防止膜の膜面と垂直になように強く引っ張り、粘着テープを瞬間に引き剥がす試験方法)をした後においても膜剥がれは確認されなかった。
さらに、高温高湿耐久試験(条件;温度:60℃×湿度:90%×時間:1000時間)をした後においても膜剥がれは確認されなかった。また、再現性の確認として、蒸着ロットの異なるガラス基板を用いて同じ高温高湿耐久試験を5回行っても膜剥がれは確認されなかった。
精密研磨してなる大きさ90mm×90mm、厚さ0.5mmの弗燐酸塩ガラス上に、真空蒸着法により密着強化膜である弗化マグネシウム(MgF2)を膜厚18nm形成した後、同じく真空蒸着法によりTiO2/SiO2を積層単位とし、これを13層積層してなる赤外線遮断膜(IRカット膜)を形成して、IRカット膜付きガラス基板を得た。尚、このIRカット膜は、50%透過率の半値波長が650nmのIRカット膜である。
この光学特性は、図2に示すように約700nm〜約900nmの赤外域の光を極力遮断する(透過率約0.1%以下)ものであった。また、図2に示すように、密着強化膜を形成しない比較例2と比べ、透過率特性に実質的な差異はなく(実施例2と比較例2の透過率曲線は実質的に重なり違いが認められない)、密着強化膜の介在による透過率特性への影響は全く認められなかった。
得られた近赤外線遮断膜付きガラス基板を、大きさ7.5mm×7.5mmに切断した後、超音波洗浄を行いIRカット膜付き近赤外光吸収フィルター(IRカット膜付き色補正用フィルター)を500枚得た。
この得られたIRカット膜付き近赤外光吸収フィルターについて全数検査したところ、基板に大きな反りを生じていたが膜剥がれは確認されなかった。また、上述の実施例1と同様に密着強度試験、高温高湿耐久試験を行ったが、膜剥がれは確認されなかった。また、再現性の確認として、蒸着ロットの異なるガラス基板を用いて同じ高温高湿耐久試験を5回行っても膜剥がれは確認されなかった。
上述の実施例において、密着強化膜である弗化マグネシウム(MgF2)を形成しなかったこと以外は実施例1、2と同様にして近赤外光吸収フィルターを作製した。
得られた近赤外光吸収フィルターについて、製造過程(切断、超音波洗浄工程)において、1000枚中50枚が光学多層膜の膜剥がれが発生した。また、上述の実施例1と同様に密着強度試験、高温高湿耐久試験を行ったが、膜剥がれが多数確認された。
図3に示すように、精密研磨してなる大きさ90mm×90mm、厚さ0.5mmの弗燐酸塩ガラス基板1の一方の面上に、真空蒸着法により密着強化膜2である弗化マグネシウム(MgF2)を膜厚18nm形成した後、同じく真空蒸着法により酸化アルミニウム(Al2O3)(膜厚67nm)/酸化ジルコニウム(ZrO2)(膜厚130nm)/弗化マグネシウム(MgF2)(膜厚98nm)を基板側から順次積層してなる反射防止膜3を形成した。更に、この反射防止膜3を形成した弗燐酸塩ガラス基板1の他方の面(反射防止膜3を形成した面とは反対側の面)上に、真空蒸着法により密着強化膜2である弗化マグネシウム(MgF2)を膜厚18nm形成した後、同じく真空蒸着法によりTiO2/SiO2を積層単位とし、これを13層積層してなるIRカット膜4を形成して、弗燐酸塩ガラス基板の一方の面に反射防止膜を形成し他方の面にIRカット膜を形成したガラス基板を50枚得た。
得られたガラス基板(反射防止膜/密着強化膜/弗燐酸塩ガラス基板/密着強化膜/IRカット膜)50枚を、紫外線硬化樹脂(水で剥がれる接着剤)で互いに接着して積層した積層ラージブロックとする。次いで、この積層ラージブロックを、積層方向に縦横にクロス切断(7.5mm×7.5mm)して、多数の積層スモールブロックを得る。次に、得られた各積層スモールブロックについて、積層スモールブロックの状態で、一括して、面取り加工を施した後、水に必要時間浸して紫外線硬化樹脂を膨潤させ、1枚1枚が剥がれる状態にし、各基板を分離した後、超音波洗浄を行い、反射防止膜及びIRカット膜付き近赤外光吸収フィルター(色補正用フィルター)を5000枚得た。
なお、上記反射防止膜及びIRカット膜をそれぞれ形成した時点で、基板に反り量と反りの方向が異なる反りが生じたが、各時点で膜剥がれは確認されず、基板の反りに起因する膜剥がれは確認されなかった。
上記で得られた反射防止膜及びIRカット膜付き近赤外光吸収フィルターについて全数検査したところ、基板に大きな反りを生じていたがいずれの面においても膜剥がれは確認されなかった。また、上述の実施例1と同様に密着強度試験、高温高湿耐久試験を行ったが、いずれの面においても膜剥がれは確認されなかった。
上述の実施例3において、弗燐酸塩ガラス基板として、特開2004−83290公報記載の弗燐酸塩ガラス基板であって、カチオン%表示でP5+が20〜40%含まれる弗燐酸塩ガラス基板(具体的には、図4に示す各組成を有し、熱膨張係数が150〜180×10−7/℃(0〜300℃)の範囲内の5点、具体的には150×10−7/℃、160×10−7/℃、165×10−7/℃、170×10−7/℃、180×10−7/℃、であるガラス基板)を使用したこと、以外は、実施例3と同様にして、反射防止膜/弗燐酸塩ガラス基板/IRカット膜の構造の反射防止膜及びIRカット膜付き近赤外光吸収フィルター(色補正用フィルター)を、各熱膨張係数についてそれぞれ5000枚作製した。
なお、各熱膨張係数のそれぞれについて、上記反射防止膜及びIRカット膜をそれぞれ形成した時点で、基板に反り量と反りの方向が異なる反りが生じたが、各時点で膜剥がれは確認されず、基板の反りに起因する膜剥がれは確認されなかった。
上記で得られた反射防止膜及びIRカット膜付き近赤外光吸収フィルターについて全数検査したところ、各熱膨張係数のそれぞれについて、いずれの面においても膜剥がれは確認されなかった。また、上述の実施例1と同様に密着強度試験、高温高湿耐久試験を行ったが、各熱膨張係数のそれぞれについて、いずれの面においても膜剥がれは確認されなかった。
なお、本実施例で使用した弗燐酸塩ガラス基板は、熱膨張係数が高い場合(具体的には熱膨張係数:165〜180×10−7/℃(0〜300℃)の場合)が含まれるにもかかわらず、このような熱膨張係数が高い場合においても膜剥がれが全く生じないことがわかった。このように熱膨張係数が高い場合においても膜剥がれが全く生じないことから、上記組成の弗燐酸塩ガラス基板は、本願発明の密着強化膜との密着力に特に優れることがわかる。この理由は、本実施例で使用した組成の弗燐酸塩ガラス基板のガラス組成やガラス界面(基板と膜との結合力に影響を及ぼす因子、例えば分子間力、官能基等)に基づく因子が本願発明の密着強化膜との密着力強化に寄与しているからでなないかと考えられる。
なお、上述の実施例3及び4において、それぞれ、真空蒸着法によりTiO2/SiO2を積層単位とし、これを40層又は60層積層してなるIRカット膜4をそれぞれ形成したこと、以外は、実施例3と同様にして、反射防止膜及びIRカット膜付き近赤外光吸収フィルター(色補正用フィルター)を作成し、同様の試験を行った結果、上述の実施例3及び4と同様の結果が得られ、40層、更には60層の光学多層膜を形成した場合であっても、光学多層膜の膜剥がれが生じないことが、確認された。
上述の実施例1、2における密着強化膜を、弗化カルシウム(CaF2)(実施例5)、弗化ランタン(LaF2)(実施例6)、弗化ネオジウム(NdF3)(実施例7)、弗化セリウム(CeF3)(実施例8)にし、膜厚を18nmにしたこと以外は、実施例1、2と同様にして色補正用フィルターを作製した。尚、密着強化膜上に形成する光学多層膜は、密着強化膜材料の屈折率と膜厚を考慮し、適宜膜厚を調整して作製した。
上述と同様の密着強度試験、高温高湿耐久試験を行ったが、いずれの試験においても膜剥がれは確認されず良好な結果が得られた。
2 密着強化膜
3 反射防止膜
4 IRカット膜
Claims (3)
- 弗燐酸塩ガラス基板上に光学多層膜が形成された光学多層膜付きガラス部材であって、
前記弗燐酸塩ガラス基板と前記光学多層膜との間に、弗素(F)を含み前記弗燐酸塩ガラス基板に対する前記光学多層膜の密着性を向上させる密着強化膜が形成されており、
該密着強化膜が、MgF2からなり、
前記弗燐酸塩ガラス基板が、P5+、Mg2+、F−、Cu2+を必須成分として含む近赤外光吸収フィルターガラスであり、
前記光学多層膜が、赤外線遮断膜又は反射防止膜であり、
前記弗燐酸塩ガラス基板の一方の面に赤外線遮断膜を備え、他方の面に反射防止膜を備えたことを特徴とする光学多層膜付きガラス部材。 - 前記密着強化膜の膜厚は、前記ガラス基板の主表面を覆うことが可能な膜厚以上であって、前記光学多層膜の光学特性に影響を与えない膜厚以下であることを特徴とする請求項1記載の光学多層膜付きガラス部材。
- 請求項1又は2に記載の光学多層膜付きガラス部材を所定の大きさに切断してなる光学素子。
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