JP2014032330A - ハーフミラー及びデジタル一眼レフカメラ - Google Patents
ハーフミラー及びデジタル一眼レフカメラ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014032330A JP2014032330A JP2012173456A JP2012173456A JP2014032330A JP 2014032330 A JP2014032330 A JP 2014032330A JP 2012173456 A JP2012173456 A JP 2012173456A JP 2012173456 A JP2012173456 A JP 2012173456A JP 2014032330 A JP2014032330 A JP 2014032330A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refractive index
- reflectance
- half mirror
- film
- polarized
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
【解決手段】波長587.56 nmの光に対する屈折率nd=1.45〜1.55のガラス基板2の一面21に屈折率nd=2.00〜2.40の高屈折率膜と屈折率nd=1.35〜1.50の低屈折率膜とを少なくとも10層交互に積層してなる多層膜3が設けられ、前記ガラス基板に接する膜が高屈折率膜であることを特徴とするハーフミラー。
【選択図】図2
Description
[1] 波長587.56 nmの光に対する屈折率nd=1.45〜1.55のガラス基板の一面に屈折率nd=2.00〜2.40の高屈折率膜と屈折率nd=1.35〜1.50の低屈折率膜とを少なくとも10層交互に積層してなる多層膜が設けられ、前記ガラス基板に接する膜が高屈折率膜であることを特徴とするハーフミラー。
[2] 上記[1] に記載のハーフミラーであって、可視光波長域380〜780 nmにおいて、ランダム偏光反射率がランダム偏光平均反射率±3%の範囲にあり、S偏光反射率がS偏光平均反射率±7%の範囲にあり、P偏光反射率がP偏光平均反射率±7%の範囲にあることを特徴とするハーフミラー。
[3] 上記[1] 又は[2] に記載のハーフミラーであって、ランダム偏光反射率、S偏光反射率及びP偏光反射率のCIE色度座標が白色の座標から0.007の範囲内にあることを特徴とするハーフミラー。
[4] 上記[1]〜[3] のいずれかに記載のハーフミラーであって、ランダム偏光平均反射率が45〜55%であることを特徴としたハーフミラー。
[5] 上記[1]〜[4] のいずれかに記載のハーフミラーであって、入射角45°の光束を分岐させる45°入射用ハーフミラーであることを特徴とするハーフミラー。
[6] 上記[1]〜[5] のいずれかに記載のハーフミラーであって、前記ガラス基板側から、
1層目の高屈折率膜の光学膜厚が40〜85 nmであり、
2層目の低屈折率膜の光学膜厚が35〜130 nmであり、
3層目の高屈折率膜の光学膜厚が110〜290 nmであり、
4層目の低屈折率膜の光学膜厚が50〜130 nmであり、
5層目の高屈折率膜の光学膜厚が50〜135 nmであり、
6層目の低屈折率膜の光学膜厚が100〜215 nmであり、
7層目の高屈折率膜の光学膜厚が125〜175 nmであり、
8層目の低屈折率膜の光学膜厚が150〜215 nmであり、
9層目の高屈折率膜の光学膜厚が150〜200 nmであり、
10層目の低屈折率膜の光学膜厚が70〜115 nmであることを特徴とするハーフミラー。
[7] 上記[1]〜[6] のいずれかに記載のハーフミラーであって、前記高屈折率膜がTiO2,Nb2O5,Ta2O5,CeO2,ZrO2,HfO2,SnO2,In2O3,ZnO,ZnS,La2O3及びSb2O3からなる群から選ばれた少なくとも1材料からなり、前記低屈折率膜がNaF,CaF2,LiF,MgF2及びSiO2からなる群から選ばれた少なくとも1材料からなることを特徴とするハーフミラー。
[8] 上記[1]〜[7] のいずれかに記載のハーフミラーにおいて、前記ガラス基板の他方の面に反射防止膜が設けられていることを特徴とするハーフミラー。
[9] 上記[1]〜[8] のいずれかに記載のハーフミラーを具備することを特徴とするデジタル一眼レフカメラ。
本発明の一実施例によるハーフミラー1は、図2に示すように、ガラス基板2と、ガラス基板2の入射面21に設けられた多層膜3とを有する。
1層目の高屈折率膜の光学膜厚が40〜85 nmであり、
2層目の低屈折率膜の光学膜厚が35〜130 nmであり、
3層目の高屈折率膜の光学膜厚が110〜290 nmであり、
4層目の低屈折率膜の光学膜厚が50〜130 nmであり、
5層目の高屈折率膜の光学膜厚が50〜135 nmであり、
6層目の低屈折率膜の光学膜厚が100〜215 nmであり、
7層目の高屈折率膜の光学膜厚が125〜175 nmであり、
8層目の低屈折率膜の光学膜厚が150〜215 nmであり、
9層目の高屈折率膜の光学膜厚が150〜200 nmであり、
10層目の低屈折率膜の光学膜厚が70〜115 nmであるのが好ましい。
S-BSL7(屈折率nd=1.516)からなる平板ガラス基板2の入射面21にTiO2(屈折率nd=2.302)及びMgF2(屈折率nd=1.388)からなる表8に示す多層膜3を真空蒸着法により形成した。
実施例1のハーフミラー1の平板ガラス基板2の出射面22に、表10に示す反射防止膜4を真空蒸着法により形成した。このハーフミラー1の反射防止膜4が形成された出射面22の45°入射角分光反射率の測定結果を図14に示す。図14から分かるように、可視域の波長範囲380〜780 nmにおいて、ランダム偏光、S偏光及びP偏光の反射率がいずれも2%以下と良好であった。
合成石英(屈折率nd=1.459)からなる平板ガラス基板2の入射面21にTiO2(屈折率nd=2.302)及びMgF2(屈折率nd=1.388)からなる表11に示す多層膜3を真空蒸着法により形成した。
実施例3のハーフミラー1の平板ガラス基板2の出射面22に、表13に示す反射防止膜4を真空蒸着法により形成した。このハーフミラー1の反射防止膜4が形成された出射面22の45°入射角分光反射率の測定結果を図18に示す。図18から分かるように、可視域の波長範囲380〜780 nmにおいて、ランダム偏光、S偏光及びP偏光の反射率がいずれも2%以下と良好であった。
D263(屈折率nd=1.524)からなる平板ガラス基板2の入射面21にTiO2(屈折率nd=2.302)及びMgF2(屈折率nd=1.388)からなる表14に示す多層膜3を真空蒸着法により形成した。
実施例5のハーフミラー1の平板ガラス基板2の出射面22に、表16に示す反射防止膜4を真空蒸着法により形成した。このハーフミラー1の反射防止膜4が形成された出射面22の45°入射角分光反射率の測定結果を図22に示す。図22から分かるように、可視域の波長範囲380〜780 nmにおいて、ランダム偏光、S偏光及びP偏光の反射率がいずれも2%以下と良好であった。
S-BSL7(屈折率nd=1.516)からなる平板ガラス基板2の入射面21にTiO2+ZrO2(屈折率nd=2.038)、Ag(nd=0.055,波長587.56 nmの光の吸収係数kd=3.32)及びMgF2(屈折率nd=1.388)からなる表17に示す三層膜を真空蒸着法により形成した。
比較例1のハーフミラーの平板ガラス基板2の出射面22に、実施例1と同様に反射防止膜4を形成した。平板ガラス基板2の入射面21に三層膜が形成され、出射面22に反射防止膜4が形成されたハーフミラー1において、ハーフミラー1の入射面21に光を入射角45°で入射させ、ランダム偏光、S偏光及びP偏光の分光反射率を測定した。得られた結果を図26に示す。図26に示すように、可視光波長域380〜780 nmのランダム偏光反射率は36.0〜51.1%(ランダム偏光平均反射率47.6%,反射率差11.7%)であり、S偏光反射率は41.3〜59.6%(S偏光平均反射率55.0%,反射率差13.7%)であり、P偏光反射率は30.6〜49.2%(P偏光平均反射率40.2%,反射率差9.7%)であった。
S-BSL7(屈折率nd=1.516)からなる平板ガラス基板2の入射面21にAl2O3(屈折率nd=1.635)、MgF2(屈折率nd=1.388)、M1(メルク株式会社製,屈折率nd=1.736)及びTiO2(屈折率nd=2.302)からなる表19に示す多層膜を真空蒸着法により形成した。
比較例3のハーフミラーの平板ガラス基板2の出射面22に、実施例1と同様に反射防止膜4を形成した。平板ガラス基板2の入射面21に多層膜が形成され、出射面22に反射防止膜4が形成されたハーフミラー1において、ハーフミラー1の入射面21に光を入射角45°で入射させ、ランダム偏光、S偏光及びP偏光の分光反射率を測定した。得られた結果を図29に示す。図29に示すように、可視光波長域380〜780 nmのランダム偏光反射率は44.2〜51.5%(ランダム偏光平均反射率48.8%,反射率差4.6%)であり、S偏光反射率は53.1〜68.5%(S偏光平均反射率64.2%,反射率差11.1%)であり、P偏光反射率は27.6〜38.5%(P偏光平均反射率33.3%,反射率差5.7%)であった。
特許2725043号公報を参考にして、S-BSL7(屈折率nd=1.51)からなる平板ガラス基板2の入射面21にAl2O3(屈折率nd=1.63)、MgF2(屈折率nd=1.38)、SiO2(屈折率nd=1.46)、Y2O3(屈折率nd=1.8)及びTiO2(屈折率nd=2.35)からなる表21に示す多層膜を真空蒸着法により形成した。
比較例5のハーフミラーの平板ガラス基板2の出射面22に、実施例1と同様に反射防止膜4を形成した。平板ガラス基板2の入射面21に多層膜が形成され、出射面22に反射防止膜4が形成されたハーフミラー1において、ハーフミラー1の入射面21に光を入射角45°で入射させ、ランダム偏光、S偏光及びP偏光の分光反射率を測定した。得られた結果を図32に示す。図32に示すように、
可視光波長域380〜780 nmのランダム偏光反射率は44.0〜49.0%(ランダム偏光平均反射率46.4%,反射率差2.5%)であり、S偏光反射率は52.8〜65.8%(S偏光平均反射率58.7%,反射率差7.1%)であり、P偏光反射率は26.2〜41.2%(P偏光平均反射率34.1%,反射率差7.9%)であった。
実施例2,4及び6及び比較例2,4及び6のハーフミラーの可視域の波長範囲380〜780 nmにおける45°入射角分光反射率の反射率差を図15,19,23,26,29及び32に基づいてまとめたものを表23に示す。表23から分かるように、実施例2,4及び6のS偏光及びP偏光の反射率差は平均反射率±7%の範囲内であったが、比較例2,4及び6のS偏光及びP偏光の反射率差はこの範囲内に収まっていなかった。
実施例2,4及び6及び比較例2,4及び6のハーフミラーに対して、温度60℃及び湿度95%RHの条件下で240時間の耐湿テストを実施した結果を表24に示す。実施例2,4及び6と比較例4及び6には異常が見られなかったが、比較例2についてはハーフミラー面が白濁し、膜の周辺部分が剥がれるという異常が発生した。
実施例2,4及び6及び比較例2,4及び6のハーフミラー1に対して、可視域の波長範囲380〜780 nmの光を入射角45°で入射面21に入射させ、その反射光と透過光のS偏光及びP偏光の色差を偏光フィルムを用いて目視で確認した。その結果を表25に示す。実施例2,4及び6ではS偏光及びP偏光の色差はいずれも確認できなかったが、比較例2ではS偏光及びP偏光にやや色差があり、比較例4ではS偏光にやや色差があり、比較例6ではS偏光及びP偏光にやや色差があった。
2・・・ガラス基板
21・・・入射面
22・・・出射面
3・・・多層膜
4・・・反射防止膜
Claims (9)
- 波長587.56 nmの光に対する屈折率nd=1.45〜1.55のガラス基板の一面に屈折率nd=2.00〜2.40の高屈折率膜と屈折率nd=1.35〜1.50の低屈折率膜とを少なくとも10層交互に積層してなる多層膜が設けられ、前記ガラス基板に接する膜が高屈折率膜であることを特徴とするハーフミラー。
- 請求項1に記載のハーフミラーであって、可視光波長域380〜780 nmにおいて、ランダム偏光反射率がランダム偏光平均反射率±3%の範囲にあり、S偏光反射率がS偏光平均反射率±7%の範囲にあり、P偏光反射率がP偏光平均反射率±7%の範囲にあることを特徴とするハーフミラー。
- 請求項1又は2に記載のハーフミラーであって、ランダム偏光反射率、S偏光反射率及びP偏光反射率のCIE色度座標が白色の座標から0.007の範囲内にあることを特徴とするハーフミラー。
- 請求項1〜3のいずれかに記載のハーフミラーであって、ランダム偏光平均反射率が45〜55%であることを特徴としたハーフミラー。
- 請求項1〜4のいずれかに記載のハーフミラーであって、入射角45°の光束を分岐させる45°入射用ハーフミラーであることを特徴とするハーフミラー。
- 請求項1〜5のいずれかに記載のハーフミラーであって、前記ガラス基板側から、
1層目の高屈折率膜の光学膜厚が40〜85 nmであり、
2層目の低屈折率膜の光学膜厚が35〜130 nmであり、
3層目の高屈折率膜の光学膜厚が110〜290 nmであり、
4層目の低屈折率膜の光学膜厚が50〜130 nmであり、
5層目の高屈折率膜の光学膜厚が50〜135 nmであり、
6層目の低屈折率膜の光学膜厚が100〜215 nmであり、
7層目の高屈折率膜の光学膜厚が125〜175 nmであり、
8層目の低屈折率膜の光学膜厚が150〜215 nmであり、
9層目の高屈折率膜の光学膜厚が150〜200 nmであり、
10層目の低屈折率膜の光学膜厚が70〜115 nmであることを特徴とするハーフミラー。 - 請求項1〜6のいずれかに記載のハーフミラーであって、前記高屈折率膜がTiO2,Nb2O5,Ta2O5,CeO2,ZrO2,HfO2,SnO2,In2O3,ZnO,ZnS,La2O3及びSb2O3からなる群から選ばれた少なくとも1材料からなり、前記低屈折率膜がNaF,CaF2,LiF,MgF2及びSiO2からなる群から選ばれた少なくとも1材料からなることを特徴とするハーフミラー。
- 請求項1〜7のいずれかに記載のハーフミラーであって、前記ガラス基板の他方の面に反射防止膜が設けられていることを特徴とするハーフミラー。
- 請求項1〜8のいずれかに記載のハーフミラーを具備することを特徴とするデジタル一眼レフカメラ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012173456A JP2014032330A (ja) | 2012-08-03 | 2012-08-03 | ハーフミラー及びデジタル一眼レフカメラ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012173456A JP2014032330A (ja) | 2012-08-03 | 2012-08-03 | ハーフミラー及びデジタル一眼レフカメラ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014032330A true JP2014032330A (ja) | 2014-02-20 |
JP2014032330A5 JP2014032330A5 (ja) | 2015-09-17 |
Family
ID=50282188
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012173456A Pending JP2014032330A (ja) | 2012-08-03 | 2012-08-03 | ハーフミラー及びデジタル一眼レフカメラ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014032330A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017134199A (ja) * | 2016-01-27 | 2017-08-03 | キヤノン株式会社 | 光学素子及びそれを有するファインダー光学系 |
CN107111022A (zh) * | 2015-01-08 | 2017-08-29 | 凸版印刷株式会社 | 显示体及物品 |
WO2018038114A1 (ja) * | 2016-08-22 | 2018-03-01 | ホヤ レンズ タイランド リミテッド | 眼鏡レンズおよび眼鏡 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5811901A (ja) * | 1981-07-15 | 1983-01-22 | Minolta Camera Co Ltd | 多層膜半透鏡 |
JPS6057802A (ja) * | 1983-09-09 | 1985-04-03 | Minolta Camera Co Ltd | 一眼レフレツクスカメラ用ハ−フミラ− |
JPH03119333A (ja) * | 1989-10-02 | 1991-05-21 | Olympus Optical Co Ltd | 撮影装置 |
WO1994000782A1 (en) * | 1992-06-19 | 1994-01-06 | Fujitsu Limited | Photocoupler |
JP2009031406A (ja) * | 2007-07-25 | 2009-02-12 | Hoya Corp | 非偏光ビームスプリッター及びそれを利用した光学計測機器 |
-
2012
- 2012-08-03 JP JP2012173456A patent/JP2014032330A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5811901A (ja) * | 1981-07-15 | 1983-01-22 | Minolta Camera Co Ltd | 多層膜半透鏡 |
JPS6057802A (ja) * | 1983-09-09 | 1985-04-03 | Minolta Camera Co Ltd | 一眼レフレツクスカメラ用ハ−フミラ− |
JPH03119333A (ja) * | 1989-10-02 | 1991-05-21 | Olympus Optical Co Ltd | 撮影装置 |
WO1994000782A1 (en) * | 1992-06-19 | 1994-01-06 | Fujitsu Limited | Photocoupler |
JP2009031406A (ja) * | 2007-07-25 | 2009-02-12 | Hoya Corp | 非偏光ビームスプリッター及びそれを利用した光学計測機器 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107111022A (zh) * | 2015-01-08 | 2017-08-29 | 凸版印刷株式会社 | 显示体及物品 |
JP2017134199A (ja) * | 2016-01-27 | 2017-08-03 | キヤノン株式会社 | 光学素子及びそれを有するファインダー光学系 |
WO2018038114A1 (ja) * | 2016-08-22 | 2018-03-01 | ホヤ レンズ タイランド リミテッド | 眼鏡レンズおよび眼鏡 |
JPWO2018038114A1 (ja) * | 2016-08-22 | 2018-09-27 | ホヤ レンズ タイランド リミテッドHOYA Lens Thailand Ltd | 眼鏡レンズおよび眼鏡 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5672233B2 (ja) | 光学フィルタ、撮像デバイス、光学系 | |
JP5013022B2 (ja) | 赤外線カットフィルタ | |
TWI526767B (zh) | Optical filter module and optical filter system | |
CN103718070B (zh) | 光学部件 | |
JP6383980B2 (ja) | 近赤外線カットフィルタ | |
JP2004354735A (ja) | 光線カットフィルタ | |
JP7381329B2 (ja) | 撮像装置 | |
JP2010032867A (ja) | Irカットフィルタ | |
JP2014032330A (ja) | ハーフミラー及びデジタル一眼レフカメラ | |
JP5287362B2 (ja) | 光学フィルタおよび撮像システム | |
JP2009192708A (ja) | ビームスプリッター、並びにそれを利用した一眼レフデジタルカメラ及びオートフォーカスビデオカメラ | |
TWI518356B (zh) | Optical device | |
JP2017032852A (ja) | 反射防止膜及び光学部品 | |
US20070153115A1 (en) | Image pickup device | |
JP6268691B2 (ja) | 光束分割光学素子及びデジタル一眼レフカメラ | |
US6661579B2 (en) | Beam splitting for camera using a multilayer film | |
JP3894107B2 (ja) | 赤外域用反射防止膜 | |
JP2006195373A (ja) | 視感度補正近赤外カットフィルタ、並びに、それを用いた光学ローパスフィルタ及び視感度補正素子 | |
JPH0516003B2 (ja) | ||
JP2010175838A (ja) | 光線カットフィルタ | |
JPS6032001A (ja) | 反射防止膜 | |
JP2006078519A (ja) | Ndフィルタ、光量絞り装置、該光量絞り装置を有するカメラ | |
JP6679963B2 (ja) | ハーフミラー面を有する光学素子及びそれを用いた光学機器 | |
JP6941919B2 (ja) | 光学機器及びプリズム | |
JP2020056877A (ja) | 光学フィルタ、及び光学装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150731 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150731 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160531 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160621 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160822 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170207 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20171205 |