JPS6032001A - 反射防止膜 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、写真レンズなどの光学要素の表面に設けられ
てその透過率を向上させる為の反射防止膜に関する。

従来技術 近年、カメラの分野において、撮影レンズの自動無点検
′出装置は種々提案されている。特に、レンス交換が可
能な一眼レフレックスカメラにおいては、種々の交換レ
ンズに対しても自動焦点検出が可能なように、撮影レン
ズを透過した光を受光して焦点検出を行う装置が提案さ
れている。しかしながら、このような装置においても、
焦点が合わせられるべき被写体が低輝度のときには、焦
点検出に充分な光量が得られないので、焦点検出不能も
しくは誤検出となることが考えられる。

そこで、予め°カメラ側から被写体に向けて光をて受光
して焦点検出を行う装置が、本願出願人が先に出願した
特願昭５８−８９７１６号などによって提案されている
。このような装置においては、被写体からの反射光を他
のものと区別する為に焦点検出に近赤外光を用いている
。

一方、写真レンズ用などの反射防止膜としては従来、特
公昭５２−２２２４５号公報や特公昭５３−１４２２７
号公報などにおいて４〜５層構成の反射防止膜が提示さ
れているが、いずれも４００〜７ＱＱｎｍの可視波長域
においてのみ充分な反射防止効果があり、その両側は反
射率が急激に増加している。

従って、このような反射防止膜は、上述の如き近赤外光
を用いる焦点検出には適さない。

目　的　。

本発明は上述の如き点に鑑みてなされたものであり、そ
の目的は、波長８Ｑ　Ｑ　ｎｍ近傍の近赤外光を用いる
焦点検出に適し、可視波長域から近赤外域までの入射光
に対し、良好に反射防止を行うことができるとともに、
入射角による分光特性の変化が少ない反射防止膜を提供
することにある。

発明の要旨 上記目的を達成する為に、本発明に係る反射防止膜は、
空気側から基板側へ順に、第１層、第２層、・・・、第
８層の８層構成からなり、第ｉ層（ｉ−１，２，・・・
、８）の構成物質の屈折率をＮｉ、その光学的膜厚をＮ
１ｄｉとし、設計波長をλ０とするとき、以下の条件を
満足することを特徴とするものである。

１３０≦Ｎｌ≦１．４５　、Ｎ１ｄ＋　＃０．２５λ０
１．９０≦Ｎ２≦２．３０．　Ｎ２（１２≦０２５λ０
１３０≦Ｎ３≦１．ｇ　□　、Ｎ５ｄ３≦０２５λ０１
９０≦Ｎ４≦２．３０　、Ｎ４ｃＬ≦０５０λ０１５８
≦Ｎ５≦１８０．　Ｎ５ｄ５≦０３０λ０１３０≦Ｎ６
≦１，１５　、　、　Ｎａｄｅ≦０４０λ０１４５≦Ｎ
７≦１．６６、Ｎ７ｄ７≦０４０λ０１５８≦Ｎ８≦１
．８０　、Ｎ５ｄｓ≦０３０λＯＮ６〈Ｎ７〈Ｎ８゜ 実施例 以下、本発明の実施例について説明する。

第゛１図は本発明に係る反射防止膜を示す図である。同
図において、（Ｇｌはガラスからなる基板、（０はその
上に形成された反射防止膜である。反射防止膜（０は、
空気側から基板（Ｇ）側へ順に、第１層（■）。

第２層（９）、第３層（至）、第４層■、第５層凹、第
６層（Ｖｌｌ、第７層■及び第８層（ロ）Ｄ構成からな
り、各層の屈折率及び光学的膜厚は前述の通りに限定さ
れる０ 第１層（Ｉ）及び第６層（Ｖｌｌ　ｆ−１：、ＭｇＦ、
　Ｎａ、ＡｌＦ６゜及びＮａ　、Ａｌ　３Ｆ　１．など
低屈折率誘電体からなる。第２層ＯＤ及び第４　ＮＱＶ
Ｉは、ＺｒＯ２＋　Ｔｉ０ｚ　＋　Ｃｅ０ａ　＋ＨｆＯ
２＋　Ｔａ２０５１及びＺｒＯ２とＴｉＯ２との混合物
（ＺｒＴｉＯ，）など高屈折率訪電佐からなる。第３層
０１１）は、ＭｇＦ　２Ｎａ　３ＡＩＦ　ｓ＋　Ｎａ’
−Ａｊ！ｊｐ、４　、Ｓ　１０２　＋　ｋｌ　２０３　
＋　ＮｄＦ　ｓ　ｒ　Ｍｇ　Ｏなどによによってイ再１
戊される。第５層（■及び第３層０１１は、Ａｊ？　２
０３１　ＬａＦ　ａ　＋　ＮｄＦ　ｓ　＊及びＭｇＯな
ど中屈折率誘宙体からなり、第７層ＭＯけＳｉＯ，＋　
もしくはｋｌ、Ｏ，など、同じく中屈折率訪電体からな
る。但し、第７層（９）の屈折率ｒＮ７は第８層α・通
の屈折率Ｎ８とは異なるので、両層が同−物質からなる
ことは本発明に係る反射防止膜（Ｃ）は、基板（Ｇ）の
」二に第８層（■）の構成物質、第７層（■）の構成物
質・・・、第１層（Ｉ）の構成物質を順に、それぞれ所
定膜厚となるまで真空蒸着することによって製造される
。

以下本発明の各実施例の各層の構成物質、屈折率及び光
学的膜厚を基板（Ｇ）の屈折率とともに第１表に示す。

表中λ０は設計波長である。

（以Ｔ−糸θ） 第１表に示された実施例１〜７の垂直入射光に対する分
光反射率特性をそれぞれ第２図〜第４図に示す。図から
明らかなように：各実雄側とも、４００〜７０００ｍの
可視波長域における反射率はほぼ０．５％以下であり、
充分な反射防止効果か得られるとともに、７０００ｍ以
上の近赤外域においても、９　Ｑ　Ｑｎｍまで２％以下
に抑えることかでき、近赤外光を用いる焦点検出に適し
ている。

更に、第１表の実施例３における分光反射率特性の入射
角依存性を第５図に示す。同図の曲線はそれぞれ、反射
防止膜への入射角θが０８．１０’。

２０’及び３０’の光に対する分光反射率特性を示して
いる。図から明らかなように、本実施例において、入射
角θが００〜３０°の範囲内で変化しても分光反射率特
性の変化はごくわずかであり、カメラの撮影レンズなと
種々の入射角の光か入射するレンズ面に適している。

効　果 以上のよう記、本発明によれは、８層構成において、可
視波長域のみならず９　Ｑ　Ｑ　ｎｎｌ程度までの近赤
外域においても充分反射防止効果があり、がっ、入射角
の変化による分光反射率特性の変化もこくわすかで為り
、前述の如き近赤外光を用いる焦点検出を行う装置に適
した反射防止膜を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の構成を示す図、第２〜４図はそれぞれ
実施例１の垂直入射光に対する分光反射率特性を示すグ
ラフ、第５図は実施例３の分光反射率特性の入射角依存
性を示すグラフである。 （Ｇ）；基板、（Ｃ）；反射防止膜、（Ｉ）（ｎ）　・
（％’ＩＩ）；第１層、第２層、・、第８層。 以上 出願人　ミノルタカメラ株式会社 ３　図 ４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 空気側から基板ガラス側へ順に第１層、第２層・・・、
   第８層の８層’ＩＩＩ威からなり、かつ、以下の条件を
   満足することを特徴とする反射防止膜：１３０≦Ｎ】≦
   １．４５　、　Ｎ＋ｄ＋　′；０，２５λ０１９０≦Ｎ
   ２≦２．３０　、　Ｎ２ｄ２≦０．２５λ０１３０≦Ｎ
   ３　≦１，８Ｑ　、　Ｎ５ｄ３≦０．２５λ０１９０≦
   Ｎ４≦２３０．Ｎ４ｄ４≦ｏ５ｏλ０１．５８≦Ｎｓ≦
   １．８０　、　Ｎ５ｄｓ≦０．３０λ０１．３０≦Ｎ６
   ≦１．４５　、　Ｎ２ｄ２≦０．４０λ０１４５≦Ｎ７
   ≦１．６６　、　Ｎ７ｄ７≦０，４　Ｑ　、ｌ。 １５８≦Ｎ８≦１．８０　、　Ｎ５ｄｓ≦０．３０λＯ
   Ｎ６　〈Ｎ７　（Ｎｓ 但Ｌ１ここで Ｎｉ、第１層の構成物質の屈折率（ｉ＝１．ｚ・・・、
   ８）λ０；設計波長 である。