JPS6028602A - ハ−フミラ− - Google Patents
ハ−フミラ−Info
- Publication number
- JPS6028602A JPS6028602A JP13736783A JP13736783A JPS6028602A JP S6028602 A JPS6028602 A JP S6028602A JP 13736783 A JP13736783 A JP 13736783A JP 13736783 A JP13736783 A JP 13736783A JP S6028602 A JPS6028602 A JP S6028602A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- refractive index
- half mirror
- thickness
- transparent substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/285—Interference filters comprising deposited thin solid films
- G02B5/286—Interference filters comprising deposited thin solid films having four or fewer layers, e.g. for achieving a colour effect
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/0816—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers
- G02B5/085—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal
- G02B5/0858—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal the reflecting layers comprising a single metallic layer with one or more dielectric layers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明はハーフミラ−に関し、更に詳しくは、−眼レフ
レックスカメラの主ミラーに用いられて撮影レンズ透過
光を二分割し、ファインダ光学系と露出制御用や合焦検
出用の測光系とにそれぞれ導く為に適したハーフミラ−
に関する。
レックスカメラの主ミラーに用いられて撮影レンズ透過
光を二分割し、ファインダ光学系と露出制御用や合焦検
出用の測光系とにそれぞれ導く為に適したハーフミラ−
に関する。
従来技術
本願出願大が先に出願し、公開された特開昭５６−８９
７０１号公報には、第６図の実施例に、空気側から透明
基板側へ順に、基板よりも低い屈折率の誘電体からなり
光学的膜厚がλｏ／４（λ０；設ｄ１波長）の第１層、
Ａｇからなる第２層、及び基板よりも旨い屈折率の誘電
体からなり光学的膜厚がλ０／４の第３層の３層構成か
らなるハーフミラ−か開示されている。しかしながら、
この構成では、偏光に対する影響が大きく、従って、ｊ
二連の如く一眼レフレックスカメラの主ミラーに用いら
れると撮影レンズに偏光フィルタが組合せられた場合な
ど不都合か生しることがある。
７０１号公報には、第６図の実施例に、空気側から透明
基板側へ順に、基板よりも低い屈折率の誘電体からなり
光学的膜厚がλｏ／４（λ０；設ｄ１波長）の第１層、
Ａｇからなる第２層、及び基板よりも旨い屈折率の誘電
体からなり光学的膜厚がλ０／４の第３層の３層構成か
らなるハーフミラ−か開示されている。しかしながら、
この構成では、偏光に対する影響が大きく、従って、ｊ
二連の如く一眼レフレックスカメラの主ミラーに用いら
れると撮影レンズに偏光フィルタが組合せられた場合な
ど不都合か生しることがある。
１−１的
本発明は」二連の如き点に鑑みてｊλされたものであり
、その目的は、偏光に対する影響が少ない３層４Ｗｔ成
のハーフミラ−を提供するこトニある。
、その目的は、偏光に対する影響が少ない３層４Ｗｔ成
のハーフミラ−を提供するこトニある。
発明の要旨
−に記目的を達成する為に、本発明者は、上記第１層の
光学的膜厚をλＯ／４がられずかにうすくすると偏光に
対する影響が著しく小さくなるこ々を見い出し、本発明
に至ったのである。従って、第１図図示のように、本発
明に係るハーフミラ−の光半透過膜（ＨＭ）は、空気側
から透明基板ｆＧｌ側へ順に、低屈折率誘電体からなる
第１層（Ｌｌ、ＡｇもしくはＡＩの金属からなる＠２層
（Ｍｅ）、及び高屈折率誘電体からなる第３履用の３層
構成であるとともに、透明基板ｉＧｌの屈折率をｎｏ、
第１層（Ｌｌの屈折率を旧、その光学的膜厚を旧ｄ＋、
９４３層（川の屈折率をｎ３．その光学的膜厚をｎ３ｄ
３とするとき、（１１１，３５≦ｎ１＜ ｌ 、４５ （２１２，０＜ ｎ３＜ ２．３ （３１０，１５λｏ ＜ ｎｔｄ＋ ＜ ０．２１λ０
（４１ｎ３ｄｓ ＝ ０．２５λ０ なる条件を満足することを特徴とするものである。
光学的膜厚をλＯ／４がられずかにうすくすると偏光に
対する影響が著しく小さくなるこ々を見い出し、本発明
に至ったのである。従って、第１図図示のように、本発
明に係るハーフミラ−の光半透過膜（ＨＭ）は、空気側
から透明基板ｆＧｌ側へ順に、低屈折率誘電体からなる
第１層（Ｌｌ、ＡｇもしくはＡＩの金属からなる＠２層
（Ｍｅ）、及び高屈折率誘電体からなる第３履用の３層
構成であるとともに、透明基板ｉＧｌの屈折率をｎｏ、
第１層（Ｌｌの屈折率を旧、その光学的膜厚を旧ｄ＋、
９４３層（川の屈折率をｎ３．その光学的膜厚をｎ３ｄ
３とするとき、（１１１，３５≦ｎ１＜ ｌ 、４５ （２１２，０＜ ｎ３＜ ２．３ （３１０，１５λｏ ＜ ｎｔｄ＋ ＜ ０．２１λ０
（４１ｎ３ｄｓ ＝ ０．２５λ０ なる条件を満足することを特徴とするものである。
以下、各条件（１１〜＋４１について説明する。条件（
１）及び（２１は、それぞれ第１層＋Ｌｌ及び第３層（
川の屈折率範囲を規定するものである。条件（１）の」
１限及び条件（２）の下限を越えると、両層（Ｌ）（川
の屈折率差が小さくなりすぎて偏光の影響が大きくなる
。逆に条件［１１の下限及び条件（２）の上限を越える
誘電体は知られておらず一般的でないので、実現困難で
ある。条件＋３１は第１層ｆＬｌの光学的膜厚範囲を規
定するものであり、条件（３）の上限を越えると偏光に
対する影響が大きくなり、条件［３１の下限を越えると
第１層（Ｉ・）かうすくなりすぎてやはり偏光の影響が
大きくなる。条件（４）は第３層（川の光学的膜厚を規
定するものであり、条件（４）をはずれると、偏光の影
響が大きくなる。
１）及び（２１は、それぞれ第１層＋Ｌｌ及び第３層（
川の屈折率範囲を規定するものである。条件（１）の」
１限及び条件（２）の下限を越えると、両層（Ｌ）（川
の屈折率差が小さくなりすぎて偏光の影響が大きくなる
。逆に条件［１１の下限及び条件（２）の上限を越える
誘電体は知られておらず一般的でないので、実現困難で
ある。条件＋３１は第１層ｆＬｌの光学的膜厚範囲を規
定するものであり、条件（３）の上限を越えると偏光に
対する影響が大きくなり、条件［３１の下限を越えると
第１層（Ｉ・）かうすくなりすぎてやはり偏光の影響が
大きくなる。条件（４）は第３層（川の光学的膜厚を規
定するものであり、条件（４）をはずれると、偏光の影
響が大きくなる。
実施例
以下、本発明の実施例の具体的構成を表を用いて説明す
る。
る。
本実施例は第２層（Ｍｅ）にＡｇを用いたものであり、
その幾何学的膜厚は、所望の反射率：透過率の比に基つ
いて定められるか、１０〜５Ｑ ｎ１ｌｌ の範囲内に
ないとハーフミラ−として有効ではない。
その幾何学的膜厚は、所望の反射率：透過率の比に基つ
いて定められるか、１０〜５Ｑ ｎ１ｌｌ の範囲内に
ないとハーフミラ−として有効ではない。
本実施例は、ガラスからなる透明基板ｆＧｌの上にＺｒ
０ｚ、 Ａｇ＋及びＭｇＦｚをそれぞれ所定膜厚となる
まで順に真空蒸着することによって製造される）本実施
例の入射角４５°の光に対する分光特性を第２図に示す
。第２図において Ｒ，は反射率のＰ波成分 Ｒｓは反
射率のＳ波成分を示し、Ｔｐ は透過率のＰ波成分、Ｔ
ｓは透過率のＳ波成分を示す。
０ｚ、 Ａｇ＋及びＭｇＦｚをそれぞれ所定膜厚となる
まで順に真空蒸着することによって製造される）本実施
例の入射角４５°の光に対する分光特性を第２図に示す
。第２図において Ｒ，は反射率のＰ波成分 Ｒｓは反
射率のＳ波成分を示し、Ｔｐ は透過率のＰ波成分、Ｔ
ｓは透過率のＳ波成分を示す。
図から明らかなように、本実施例においては、可視板長
全域において、透過率Ｔｐ 、Ｔｓ及び反射率Ｒｐ。
全域において、透過率Ｔｐ 、Ｔｓ及び反射率Ｒｐ。
Ｒｓの変化はなだらかで上限値上下限値との差もそれぞ
れ１０％以下であり、かつ、ＴｐとＴＳ及びＲ。
れ１０％以下であり、かつ、ＴｐとＴＳ及びＲ。
とＲｓの差も５％以下のごとくわずかな値であるので、
分光特性がフラットで偏光の影響も小さく、前記特開昭
５６−２７１０６号公報第５図の４層ハーフミラ−の光
学性能を示す第６図にほぼ匹敵する光学性能が３層構成
で得られる。従って、本実施例の方が一層少なくて良い
ので製造が容易てある。
分光特性がフラットで偏光の影響も小さく、前記特開昭
５６−２７１０６号公報第５図の４層ハーフミラ−の光
学性能を示す第６図にほぼ匹敵する光学性能が３層構成
で得られる。従って、本実施例の方が一層少なくて良い
ので製造が容易てある。
実施例２゜
本実施例は、実施例１の第２層（Ｍｅ）を ＡｇからＡ
ｌに代えて各層の膜厚を調整したものである。
ｌに代えて各層の膜厚を調整したものである。
本実施例の如き第２層（Ｍｅ）にＡＩを用いた構成にお
いて、第２層（Ｍｇ）の幾何学的膜厚は、所望の透過率
二反射率の出に基ついて定められるが、５〜３Ｑ ｎ＋
ｎの範囲内にないとハーフミラ−として有効ではない。
いて、第２層（Ｍｇ）の幾何学的膜厚は、所望の透過率
二反射率の出に基ついて定められるが、５〜３Ｑ ｎ＋
ｎの範囲内にないとハーフミラ−として有効ではない。
本実施例は、ガラスからなる透明基板ｆＧＩの上にＺｒ
Ｏ２，Ａｇ、及びＭｇＦ ２をそれぞれ所定膜厚となる
まで順に真空蒸着することによって製造される。
Ｏ２，Ａｇ、及びＭｇＦ ２をそれぞれ所定膜厚となる
まで順に真空蒸着することによって製造される。
本実施例の入射角４５°の光に対する分光特性を、第２
図と同様にして第３図に示す。第３図から明らかなよう
に不実施例においても、３層構成で従来例の４層ハーフ
ミラ−とほぼ同等の光学性能か得られる。
図と同様にして第３図に示す。第３図から明らかなよう
に不実施例においても、３層構成で従来例の４層ハーフ
ミラ−とほぼ同等の光学性能か得られる。
第４図は、本発明に係るノ１−フミラー（ＢＳ）を−眼
レフレックスカメラの主ミラーに用いた例を示しており
、撮影レンズ（ＴＬ）を透過した光はノへ−フミラー（
ＢＳ ）により二分割され、反射光はファインダ系＋Ｆ
］に、透過光は測距もしくは測光用の受光素子（ＰＤ）
にそれぞれ導かれる。
レフレックスカメラの主ミラーに用いた例を示しており
、撮影レンズ（ＴＬ）を透過した光はノへ−フミラー（
ＢＳ ）により二分割され、反射光はファインダ系＋Ｆ
］に、透過光は測距もしくは測光用の受光素子（ＰＤ）
にそれぞれ導かれる。
本発明において、第１層はＭｇＦ２に限定されるもので
はなく、５ｉＯｚ、氷晶石なと屈折率が１．．３５−１
．４５の誘電体であれば良い。また、第３層もＺｒＯ２
ニ限定されるものではな（、ＴｉＯ２，ＣｅＯ２ＺｎＳ
なと屈折率が２．０−２．３の誘電体であれば良い。
はなく、５ｉＯｚ、氷晶石なと屈折率が１．．３５−１
．４５の誘電体であれば良い。また、第３層もＺｒＯ２
ニ限定されるものではな（、ＴｉＯ２，ＣｅＯ２ＺｎＳ
なと屈折率が２．０−２．３の誘電体であれば良い。
効 果
以上詳述したように、本発明に係る／’１−フミラーの
光半透過膜は、空気側から透明基板側へ順に、低屈折率
誘電体からなる第１層、ＡｇもしくはＡｌの金属からな
る第２層、及び高屈折率誘電体からなる第３層の３層構
成であるとともに、透明基板の屈折率をｎｏ、第１層の
屈折率を旧、その光学的膜厚を旧ｄ１．１＜３層の屈折
率を旧、その光学的膜厚をｎ３ｄ３とするとき、 １．３５≦０１≦１．４５ ２．０≦ｎ３ ”； ２．３ ０．１５λ０ ＜ ｎ Ｉｄ ｌ ＜、’ Ｑ 、２１
λ０＋１３（１３＝Ｑ、２５λＯ ｔ入る条件を満足することを特徴とするものであり、こ
のように構成することによって、前記４層ハーフミラ−
の従来例とほぼ同等の光学性能を３層構成で得ることが
でき、膜構成を簡単にして製造を容易にすることができ
る。
光半透過膜は、空気側から透明基板側へ順に、低屈折率
誘電体からなる第１層、ＡｇもしくはＡｌの金属からな
る第２層、及び高屈折率誘電体からなる第３層の３層構
成であるとともに、透明基板の屈折率をｎｏ、第１層の
屈折率を旧、その光学的膜厚を旧ｄ１．１＜３層の屈折
率を旧、その光学的膜厚をｎ３ｄ３とするとき、 １．３５≦０１≦１．４５ ２．０≦ｎ３ ”； ２．３ ０．１５λ０ ＜ ｎ Ｉｄ ｌ ＜、’ Ｑ 、２１
λ０＋１３（１３＝Ｑ、２５λＯ ｔ入る条件を満足することを特徴とするものであり、こ
のように構成することによって、前記４層ハーフミラ−
の従来例とほぼ同等の光学性能を３層構成で得ることが
でき、膜構成を簡単にして製造を容易にすることができ
る。
第１図は本発明に係るハーフミラ−の構成を示す図、第
２図及び第３図はそれぞれ実施例１及び２の入射角４５
°の光に対する分光特性を示すグラフ、第４図は本発明
に係るハーフミラ−を−眼レフレックスカメラの主ミラ
ーに用いた図である。 （Ｇ１；透明基板、（ＨＭ）；光半透過膜１ ［Ｌｌ
ｉ第１層、（Ｍｅ）；第２層、（川；第３層。 以 上 出ＩＭ人 ミノルタカメラ株式会社
２図及び第３図はそれぞれ実施例１及び２の入射角４５
°の光に対する分光特性を示すグラフ、第４図は本発明
に係るハーフミラ−を−眼レフレックスカメラの主ミラ
ーに用いた図である。 （Ｇ１；透明基板、（ＨＭ）；光半透過膜１ ［Ｌｌ
ｉ第１層、（Ｍｅ）；第２層、（川；第３層。 以 上 出ＩＭ人 ミノルタカメラ株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 透明基板上に光半透過膜が形成されたハーフミラ
−において、該光半透過膜は、空気側から透明基板側へ
順に、低屈折率誘電体からなる第１層、ＡｇもしくはＡ
４の金属からなる第２層、及び高屈折率誘電体からなる
第３層の３層構成であるとともに、以下の条件を満足す
ることを特徴とするハーフミラ−； ｉ 、 ３５’−ｎ １ ’−１，４５２，０≦旧り２
．３ ０．１５λｏ ＜ ｎ＋ｄ＋ ＜ Ｑ、２１λＯ旧ｄ３
＝ ０．２５λ０ 但し、ここで、 口０；透明基板の屈折率 旧；第１層の屈折率 旧；第３層の屈折率 ｎ！ｄｔ ；第１層の光学的膜厚 ｎａｄ３；第３層の光学的膜厚 λｏ ； ４ＱＱｎｍ〜７ Ｑ Ｑ ｎｍの範囲内で選
択される設計波長 である。 ２ 第２層はＡｇからなり、その幾何学的膜厚は１０〜
５Ｑｎｍの範囲内にあることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載のハーフミラ−０３、第２層はＡＩからな
り、その幾何学的膜厚は５〜３０曲ｌの範囲内にあるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のハーフミラ
−０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13736783A JPS6028602A (ja) | 1983-07-26 | 1983-07-26 | ハ−フミラ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13736783A JPS6028602A (ja) | 1983-07-26 | 1983-07-26 | ハ−フミラ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6028602A true JPS6028602A (ja) | 1985-02-13 |
Family
ID=15197022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13736783A Pending JPS6028602A (ja) | 1983-07-26 | 1983-07-26 | ハ−フミラ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6028602A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01310302A (ja) * | 1988-06-09 | 1989-12-14 | Nitto Denko Corp | 分光フイルター |
| JP2008039960A (ja) * | 2006-08-03 | 2008-02-21 | Oike Ind Co Ltd | 積層フィルム |
| JP2010230771A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Nittoh Kogaku Kk | ハーフミラー、光学部品、光学機器およびヘッドマウントディスプレイ |
-
1983
- 1983-07-26 JP JP13736783A patent/JPS6028602A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01310302A (ja) * | 1988-06-09 | 1989-12-14 | Nitto Denko Corp | 分光フイルター |
| JP2008039960A (ja) * | 2006-08-03 | 2008-02-21 | Oike Ind Co Ltd | 積層フィルム |
| JP2010230771A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Nittoh Kogaku Kk | ハーフミラー、光学部品、光学機器およびヘッドマウントディスプレイ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20070070859A1 (en) | Optical elements and combiner optical systems and image-display units comprising same | |
| JP2007183525A (ja) | 誘電体多層膜フィルタ | |
| US4726654A (en) | Multi-layered anti-reflection coating | |
| JP2003029027A (ja) | 近赤外線カットフィルタ | |
| JP2017040909A (ja) | 光学フィルタおよびそれを有する光学系、撮像装置、レンズ装置 | |
| US7710670B2 (en) | ND filter | |
| JPS6028602A (ja) | ハ−フミラ− | |
| JP2009192708A (ja) | ビームスプリッター、並びにそれを利用した一眼レフデジタルカメラ及びオートフォーカスビデオカメラ | |
| US20220026613A1 (en) | Wire grid polarizer reflection control | |
| JP2835535B2 (ja) | 光学部品の反射防止膜 | |
| JPS5811901A (ja) | 多層膜半透鏡 | |
| JP2004258494A (ja) | Ｎｄフィルタ | |
| JPS6028603A (ja) | プリズム式ビ−ムスプリツタ | |
| JPS6032001A (ja) | 反射防止膜 | |
| JPS6028601A (ja) | プリズム式ビ−ムスプリツタ | |
| JP2014032330A (ja) | ハーフミラー及びデジタル一眼レフカメラ | |
| JPH0516003B2 (ja) | ||
| JPH03215803A (ja) | 帯域フィルター | |
| JPS6133167B2 (ja) | ||
| JPS6239801A (ja) | 半透鏡 | |
| JPS6238402A (ja) | 光学フイルタ− | |
| JPS61243402A (ja) | 半透鏡 | |
| JP2935765B2 (ja) | ダイクロイックミラーの製造方法 | |
| JPS6057802A (ja) | 一眼レフレツクスカメラ用ハ−フミラ− | |
| JP6268691B2 (ja) | 光束分割光学素子及びデジタル一眼レフカメラ |