JP6245008B2 - 光学素子及び光学素子の製造方法 - Google Patents
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Description
本実施の形態における光学素子は、フツリン酸塩ガラス基板と、フツリン酸塩ガラス基板全面に透明膜とを有する。また、透明膜が、原子層堆積(Atomic Layer Deposition:以下、ALDと略す)により形成された酸化物、窒化物、酸窒化物または炭化物のうちのいずれかを主成分として含有する膜であることが好ましい。
最初に、ALDについて説明する。ALDとは、成膜される材料の原料ガスを供給することにより、原子層ごとに成膜する成膜方法である。これにより、ALDでは、後述するように、フツリン酸塩ガラス基板の周囲全面、すなわち、表面、側面および裏面に成膜できる。また、ステップカバレージが高く、フツリン酸塩ガラス基板の周囲全面にある微小クラック等を埋めることができる。これにより、フツリン酸塩ガラス基板の強度を向上でき、すなわち、光学素子の強度を向上できる。
本願明細書において、透明膜とは、膜のみの可視光領域における透過率が80%以上である膜をいう。前記した透過率は、例えば、成膜していないガラスの透過率と、成膜後のガラスの透過率との差分から算出できる。
次に、フツリン酸塩ガラス基板10について説明する。フツリン酸塩ガラス基板は、リン酸を主成分とし、さらにフッ素を含有するフツリン酸塩ガラスからなる基板である。フツリン酸塩ガラス基板は板厚が0.1〜4mmであることが好ましい。また、光学素子は可視光透過率が高いことが求められており、フツリン酸塩ガラス基板は、400〜600nmにおける平均透過率が60%以上であることが好ましい。
次に、本実施の形態における光学素子の製造方法について図4に基づき説明する。本実施の形態における光学素子は、最初に、ステップ102(S102)に示すように、CuO等を含有するフツリン酸塩ガラスをダイシング等により切断することにより、フツリン酸塩ガラス基板10を形成する。次に、ステップ104(S104)に示すように、形成されたフツリン酸塩ガラス基板10の表面、側面および裏面に、ALDにより透明膜20を成膜する。
次に、透明膜20の成膜方法について説明する。本実施の形態において、一例として、透明膜20として、原子層堆積によりAl2O3からなる透明材料層を成膜する場合について説明する。
本実施の形態において、光学素子の強度は、4点曲げ試験により評価できる。4点曲げ試験は、例えば、島津精密万能試験機(島津製作所社製、商品名:オートグラフ AGC−10kN)を使用して測定できる。
フツリン酸塩ガラス基板として、P2O5:20質量%、CuO:4質量%、Al2O3:4質量%を含む基板を使用した。フツリン酸塩ガラス基板は、板厚が0.3mmのものを使用した。
例2における光学素子は、例1において、成膜時間を長くする以外は同様にして、フツリン酸塩ガラス基板の全面にAl2O3を主成分として含有する透明材料膜を成膜して光学素子を作製した。成膜された透明材料膜の膜厚は196nmであった。
例3における光学素子は、例1におけるALD法によるAl2O3の成膜をすることなく、フツリン酸塩ガラス自体を光学素子とした。
11 微小のクラック
20 透明膜
30 供給源
Claims (8)
- フツリン酸塩ガラス基板と、前記フツリン酸塩ガラス基板の全面に形成された透明膜とを有する光学素子であって、
前記透明膜が、原子層堆積により成膜された酸化物、窒化物、酸窒化物または炭化物のうちのいずれかを主成分として含有する透明材料膜を1以上有し、
前記フツリン酸塩ガラスのクラックが埋め込まれて、側面を含む全面に均一な膜厚を有することを特徴とする光学素子。 - 前記透明膜は、5〜500nmの厚さである請求項1に記載の光学素子。
- 前記透明材料膜は、Al2O3、TiO2、ZrO2、SiO2、AlN、Si3N4、TiONまたはAlONのうちいずれかを主成分として含有する請求項1または2に記載の光学素子。
- 前記フツリン酸塩ガラス基板は、CuOを含有するフツリン酸塩ガラスからなる基板である請求項1〜3のいずれかに記載の光学素子。
- 前記フツリン酸塩ガラス基板は、成分が、P2O5 20〜60質量%、CuO 1〜15質量%、Al2O3 0〜15質量%、Na2O 0〜10質量%、Li2O 0〜10質量%、MgO 0〜20質量%、CaO 0〜20質量%、BaO 0〜20質量%、SrO 0〜20質量%、ZnO 0〜20質量%、Sb2O3 0〜3質量%、CeO2 0〜2質量%で含有し、AlF3 0〜30質量%、NaF 0〜20質量%、LiF 0〜20%、MgF2 0〜30質量%、CaF2 0〜30質量%、SrF2 0〜30質量%、BaF20〜40質量%、かつAlF3、NaF、LiF、MgF2、CaF2、SrF2またはBaF2のいずれかを含有するガラスからなる基板である請求項1〜4のいずれかに記載の光学素子。
- フツリン酸塩ガラスを切断することによりフツリン酸塩ガラス基板を形成する工程と、
前記フツリン酸塩ガラス基板の全面に、前記フツリン酸塩ガラスのクラックが埋め込まれるように、原子層堆積により均一な透明膜を成膜する工程と、
を有し、
前記透明膜は、酸化物、窒化物、酸窒化物または炭化物のうちのいずれかを主成分として含有する透明材料膜を1以上有することを特徴とする光学素子の製造方法。 - 前記フツリン酸塩ガラス基板は、CuOを含有するフツリン酸塩ガラスからなる基板である請求項6に記載の光学素子の製造方法。
- 前記透明膜を成膜する工程は、前記フツリン酸塩ガラス基板の温度を250℃以下とし、TMA(トリメチルアルミニウム)とH2Oとを交互に供給することにより前記透明膜を成膜するものである請求項6または7に記載の光学素子の製造方法。
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