JP2009267396A - 固体撮像素子パッケージ用窓ガラス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る固体撮像素子パッケージ用窓ガラスは、CuOを含有するフツリン酸塩系ガラスもしくはリン酸塩系ガラスからなり、周縁部の板厚が光学有効面の板厚に比べて薄いことで、近赤外線カット機能を有する固体撮像素子パッケージ用窓ガラスであっても、紫外線硬化型接着剤を用いてパッケージと迅速に貼り付けることができるため、これにより固体撮像素子デバイスの組立てを効率的に行うことが可能である。
【選択図】図4
Description
光学有効面3とは、固体撮像素子9に入射する光がカバーガラス1を透光する範囲をいうものであり、カバーガラス1とパッケージ8との接着面より内側をいうものである。
周縁部2とは、各透光面上の光学有効面3の外側の側面近傍を指すものであり、第2透光面22とパッケージ8との間に設けられる接着剤7が付着する範囲も含まれる。
カバーガラス1とパッケージ8の接着については、従来から熱硬化性接着剤や低融点ガラスが用いられてきたが、近年は接着剤の硬化時間の短縮を目的として紫外線硬化型接着剤7が使用されるようになっている。
紫外線硬化型接着剤7とは、紫外線(200nm〜400nmの範囲の波長)を照射することにより短時間で硬化する性質を備えた接着剤である。
カバーガラス1とパッケージ8の組立て方法としては、カバーガラス1の周縁部2もしくはパッケージ8に紫外線硬化型接着剤7が塗布される。そして、カバーガラス1をパッケージ8の所定位置に設置した後、紫外線ランプを所定時間照射して、接着剤7を硬化することで気密封止する。
本発明のカバーガラス1は、固体撮像素子9の視感度補正を目的として近赤外線カット機能を有している。ガラス組成の詳細については後述するが、ガラスに近赤外線カット機能を持たせるためにフツリン酸塩系ガラスもしくはリン酸塩系ガラスにCuOを含有させている。このCuOは、近赤外線カットのための成分であるが、微少量の含有で300nm付近の紫外線カット機能を有することが発明者により確認された。そのため、本発明のカバーガラス1においては、光学有効面3には影響しない周縁部2の板厚を、光学有効面3の板厚に比べて薄くすることで、光学有効面3の近赤外線カット機能を損なうことなく、接着剤7が設けられた周縁部2を透過する紫外線の量を確保できる。そのため、カバーガラス1の周縁部2に設けられた接着剤7には十分な紫外線が到達し、接着剤7の硬化を短時間で行うことが可能となり、カバーガラス1とパッケージ8とを効率的に組立てることができる。
第1稜線部と第2稜線部とを同様に面取り加工する場合、図2に示すように板厚を薄くできるため、加工部分の紫外線の透過量も多くできる。
また、第2稜線部はカバーガラス1とパッケージ8とを接着する接着剤7が塗布される部位であるため、第2稜線部の面取り量を第1稜線部の面取り量と比べて少なくすることで、図5に示す他の実施形態のようにカバーガラス1とパッケージと8の接着面を確保しつつ、加工部分の板厚を薄くすることができる。また、図6に示す他の実施形態のように第2稜線部を面取り加工しないで、第1稜線部のみを面取り加工することでも同様の効果を得ることができる。
面取り加工量(幅、角度、R形状等)については、カバーガラス1の板厚や紫外線硬化型接着剤7に要求される波長・積算光量や組立て工程に要求される硬化時間により適宜調整される。また、面取り加工部は第2透光面の接着剤塗布部の全範囲を加工する必要はなく、仮に接着剤塗布部から外れた範囲が加工されていても、照射された紫外線が加工部分から屈折して接着剤に到達することで、接着剤7の迅速な硬化に寄与できる。
基礎ガラスとして用いるフツリン酸塩系ガラスは、優れた耐候性を有している。さらにガラス中にCuOを添加することで、可視光域の高い透過率を維持したまま近赤外線を吸収することができるため、近赤外線カット機能を有する固体撮像素子パッケージ用窓ガラスとして好適に用いることが可能である。また、フツリン酸塩系ガラスの熱膨張係数は130×10−7/℃前後であるため、固体撮像素子9を収める樹脂パッケージ8との熱膨張率が近く、固体撮像素子パッケージ用窓ガラス1として好適に用いることが可能である。
基礎ガラスとして用いるリン酸塩系ガラスは、フツリン酸塩系ガラスと比較して硬度が高く曲げなどの外力が作用した際に破壊しにくい。さらにガラス中にCuOを添加することで、可視光域の高い透過率を維持したまま近赤外線を吸収することができるため、近赤外線カット機能を有する固体撮像素子パッケージ用窓ガラスとして好適に用いることが可能である。
また、フツリン酸塩系ガラスの熱膨張係数は80×10−7/℃前後であるため、固体撮像素子9を収めるアルミナセラミックパッケージ8との熱膨張率が近く、固体撮像素子パッケージ用窓ガラス1として好適に用いることが可能である。
また、エッチング液としては、塩酸の他に、塩酸とH2SO4の混酸水溶液も用いることができる。エッチング液の濃度やエッチングの処理時間については、除去すべきクラックの程度によって、適宜調整することができるが、塩酸の濃度としては、3〜25%(質量%)が好ましい。
固体撮像素子パッケージ用窓ガラス1(フツリン酸塩系ガラス、CuO含有量:0.5%、板厚1mm)について、周縁部2を面取り加工したもの、面取り加工しないものを用意した。面取り加工は、面取り加工機にてパッケージ非接触面側の透光面のみを角形状にした。面取り加工形状は、透光面側に幅約1mm、透光面に対して約40°の角形状である。接着剤7が塗布される端面から0.5mmの周縁部2における板厚は約0.5mmであった。
ガラス1の接着に要した時間は、面取り加工有のガラス1を用いた場合、面取り加工無のガラス1を用いた場合と比べて40%程度短かった。
Claims (7)
- CuOを含有するフツリン酸塩系ガラスもしくはリン酸塩系ガラスからなる固体撮像素子パッケージ用窓ガラスであって、周縁部の板厚が光学有効面の板厚に比べて薄いことを特徴とする固体撮像素子パッケージ用窓ガラス。
- 前記周縁部が面取り加工されていることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像素子パッケージ用窓ガラス。
- 前記周縁部の面取り加工は、パッケージ非接着面側がパッケージ接着面側より多く面取りされていることを特徴とする請求項2に記載の固体撮像素子パッケージ用窓ガラス。
- 前記周縁部の面取り加工は、パッケージ非接着面側のみが面取りされていることを特徴とする請求項2に記載の固体撮像素子パッケージ用窓ガラス。
- 前記周縁部は、面取り加工後にエッチング処理されていることを特徴とする請求項2〜請求項4のいずれかに記載の固体撮像素子パッケージ用窓ガラス。
- 前記固体撮像素子パッケージ用窓ガラスの四隅が面取り加工されていることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載の固体撮像素子パッケージ用窓ガラス。
- フツリン酸塩系ガラスもしくはリン酸塩系ガラスからなる基礎ガラス100質量部に対して、CuOが0.1〜5質量部含有されていることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれかに記載の固体撮像素子パッケージ用窓ガラス。
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