JP5506699B2 - 荷電ビーム装置 - Google Patents
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Description
以下、実施例により本発明を説明する。なお、各実施例において、検査画像を取得する主たるステップを測長ステップと呼ぶが、このステップは荷電粒子ビームを測定箇所で走査する動作をするステップを一般的に指し、その目的は測長だけでなくパターンの形状や材質の情報を取得するための任意のものであってもよく、走査電子顕微鏡だけでなく、イオン走査顕微鏡など荷電ビームを走査する装置に適用できる。
Claims (12)
- 荷電ビーム発生源と、前記荷電ビーム発生源で発生した荷電ビームを走査する偏向制御部と、前記荷電ビームの焦点制御部及び非点補正部と、前記荷電ビームを試料に照射したときの前記試料の表面情報を画像処理する画像処理部とを有する荷電ビーム装置であって、
前記試料表面のパターン情報を得るときの前記荷電ビームの走査条件と焦点又は非点或いはその両者の補正を行うときの前記荷電ビームの走査条件とを切り替える切換え部を更に有し、前記焦点又は非点或いはその両者の補正を行うときの前記荷電ビームの走査条件における走査速度は、前記試料表面のパターン情報を得るときの前記荷電ビームの走査条件における走査速度を越える値に設定され、前記焦点又は非点或いはその両者の補正を行うときの前記荷電ビームの走査条件における電流量は、前記試料表面のパターン情報を得るときの前記荷電ビームの走査条件における電流量を越える値に設定されるものであることを特徴とする荷電ビーム装置。 - 請求項1記載の荷電ビーム装置において、
前記画像処理部で処理されて1画像を得るための前記荷電ビームの総ドーズ量は、前記試料表面のパターン情報を得るときと前記焦点又は非点或いはその両者の補正を行うときとで等しくなるように設定されるものであることを特徴とする荷電ビーム装置。 - 請求項1記載の荷電ビーム装置において、
前記画像処理部で処理されて1画像を得るための前記荷電ビームの総ドーズ量は、前記試料表面のパターン情報を得るときよりも、前記焦点又は非点或いはその両者の補正を行うときに小さな値に設定されるものであることを特徴とする荷電ビーム装置。 - 前記請求項3記載の荷電ビーム装置において、
前記荷電ビームの総ドーズ量は、前記1画面を構成するフレームの数で設定されるものであることを特徴とする荷電ビーム装置。 - 請求項1記載の荷電ビーム装置において、
前記荷電ビームは、前記焦点又は非点或いはその両者の補正を行うときに、前記試料表面に対してチルトするように設定されるものであることを特徴とする荷電ビーム装置。 - 荷電ビーム発生源と、前記荷電ビーム発生源で発生した前記荷電ビームを走査する偏向制御部と、前記荷電ビームの焦点制御部及び非点補正部と、前記荷電ビームを試料に照射したときの前記試料の表面情報を画像処理する画像処理部とを有する荷電ビーム装置であって、
前記試料表面のパターン情報を得るときの前記荷電ビームの走査条件と焦点又は非点或いはその両者の補正を行うときの前記荷電ビームの走査条件とを切り替える切換え部を更に有し、前記焦点又は非点或いはその両者の補正を行うときの前記荷電ビームの走査条件における走査線間隔は、走査すべき走査線間隔の整数倍(1は含まず)として走査し、その後、飛び越えられた走査すべき箇所へ戻って走査するように設定され、前記焦点又は非点或いはその両者の補正を行うときの前記荷電ビームの走査条件における電流量は、前記試料表面のパターン情報を得るときの前記荷電ビームの走査条件における電流量を越える値に設定されるものであることを特徴とする荷電ビーム装置。 - 請求項6記載の荷電ビーム装置において、
前記画像処理部で処理されて1画像を得るための前記荷電ビームの総ドーズ量は、前記試料表面のパターン情報を得るときよりも、前記焦点又は非点或いはその両者の補正を行うときの方が小さな値に設定されるものであることを特徴とする荷電ビーム装置。 - 前記請求項6記載の荷電ビーム装置において、
前記荷電ビームの総ドーズ量は、前記1画面を構成するフレームの数で設定されるものであることを特徴とする荷電ビーム装置。 - 請求項6記載の荷電ビーム装置において、
前記荷電ビームは、前記焦点又は非点或いはその両者の補正を行うときに、前記試料表面に対してチルトするように設定されるものであることを特徴とする荷電ビーム装置。 - 荷電ビーム発生源と、前記荷電ビーム発生源で発生した前記荷電ビームを走査する偏向制御部と、前記荷電ビームの焦点制御部及び非点補正部と、前記荷電ビームを試料に照射したときの前記試料の表面情報を画像処理する画像処理部とを有する荷電ビーム装置であって、
前記試料表面のパターン情報を得るときの前記荷電ビームの走査条件と焦点又は非点或いはその両者の補正を行うときの前記荷電ビームの走査条件とを切り替える切換え部を更に有し、前記焦点又は非点或いはその両者の補正を行うときの前記荷電ビームの走査条件における走査速度は、前記試料表面のパターン情報を得るときの前記荷電ビームの走査条件における走査速度を越える値に設定され、かつ前記焦点又は非点或いはその両者の補正を行うときの前記荷電ビームの走査条件における走査線間隔は、前記試料表面のパターン情報を得るときの前記荷電ビームの走査条件における走査線間隔の整数倍(1は含まず)として走査し、その後、飛び越えられた走査すべき箇所へ戻って走査するように設定され、前記焦点又は非点或いはその両者の補正を行うときの前記荷電ビームの走査条件における電流量は、前記試料表面のパターン情報を得るときの前記荷電ビームの走査条件における電流量を越える値に設定されるものであることを特徴とする荷電ビーム装置。 - 請求項10記載の荷電ビーム装置において、
前記画像処理部で処理されて1画像を得るための前記荷電ビームの総ドーズ量は、前記試料表面のパターン情報を得るときの量よりも、前記焦点又は非点或いはその両者の補正を行うときの方が小さな値に設定されるものであることを特徴とする荷電ビーム装置。 - 請求項10記載の荷電ビーム装置において、
前記荷電ビームは、前記焦点又は非点或いはその両者の補正を行うときに、前記試料表面に対してチルトするように設定されるものであることを特徴とする荷電ビーム装置。
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