JP5485210B2 - 亀裂のない多結晶シリコンロッドの製造方法 - Google Patents
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Description
黒鉛電極の先端部に、それぞれ、適合する中央の穿孔を備えた高純度の電気黒鉛からなるディスクを差し嵌めた。この黒鉛電極の先端部はディスク表面と面が揃うように閉じられた。このディスクは130mmの直径及び4mmの厚さを有していた。この黒鉛電極中に、常にロッドペアが長い支持ロッドと短い支持ロットとを有し、かつ隣り合うロッドが異なる長さを有するように、2500mm及び2550mmの長さの支持ロッドを差し込んだ。この支持ロッドの端部に、2つの支持ロッドを結合するためのアダプタ及びスリーブを差し込み長い支持ロッドにした。このアダプタは高純度電気黒鉛からなっていた。他方のアダプタ端部中へ、全ての支持ロッドが3000mmの全長を有するように、500mm及び450mmの長さを有する短い支持ロッドを差し込んだ。このアダプタは、同時に、ブリッジの下側でそれぞれの高純度黒鉛ディスクの固定のために用いられた。このディスクは中央の穿孔によってアダプタに差し込まれ、載置せられた。このアダプタ上のディスクは、180mmの直径及び4mmの厚さを有していた。電極側のディスクとブリッジ側のディスクとは心棒に対してそれぞれ90℃の角度をなしていた。これらのディスクは、DIN51911により室温で測定して30μOhm・m未満の比電気抵抗を有していた。こうして組み立てられた支持ロッド上に、多結晶シリコンを180mmの直径に達するまで析出させた。仕上げられた多結晶シリコン棒は、電極側のディスクとブリッジ側のディスクとの間で、両端部のわずかな切断損失で、亀裂及び剥落なしで切断することができるため、この仕上げられた加工されたロッドはその全長にわたり亀裂及び剥落がなかった。
実施例1と同様に行った。比較グループのロッドは、一体式の3000mmの長さの心棒を用いて、つまり上側のディスクなしでかつアダプタなしで、その他は同じパラメータで析出させた。本発明によるディスクは電極上にだけ使用した。
比較例1と同様に行うが、更に電極側のディスクも取り付けなかった。このロッドペアは、従ってディスクを有しておらず、先行技術と同様に析出させた。ブリッジ側の亀裂に加えて更に、電極側のロッド端部にも著しく亀裂があった。ブリッジ側の切断損失に加えて、亀裂のないロッドを達成するまでロッドを切断する際に電極側のロッド端部での著しい切断損失も生じた。1800mmを超える長さを有する亀裂のないロッドは存在しなかった。得られたロッドの15%は、1500mm〜1800mmの長さを有していた。ロッドの55%は、1200mm〜1500mmの範囲内であり、14%は1000mm〜1200mmの間にあった。残りのロッドは、短すぎる亀裂のないロッド長さのため、ゾーンメルティング法では使用できなかった。この多結晶シリコンロッドは、この場合でも、ゾーンメルティング法を用いて無転移で成長可能であった。この低い重量に基づき、これらのロッドは8Zoll単結晶の成長のための原料ロッドとしては適しておらず、6Zollの直径以下の単結晶のために適しているだけであった。
黒鉛電極の先端部に、それぞれ、適合する中央の穿孔を備えた高純度の電気黒鉛からなるディスクを差し嵌めた。この黒鉛電極の先端部はディスク表面と面が揃うように閉じられた。このディスクはそれぞれ120mmの直径及び4mmの厚さを有していた。この黒鉛電極に2400mmの長さを有する支持ロッドが差し込まれた。このロッドペアのブリッジ中に、それぞれ多結晶シリコンからなるディスクを掛着した。ブリッジ中のこのディスクの直径は150mmで、ディスク厚さは2mmであった。ブリッジ中にディスクを掛着するための穿孔は、中心点から0.3×ディスク半径の距離で偏心していた。このディスクは、ブリッジ中でのノッチによって滑りに対して保証されていた。こうして組み立てられた支持ロッド上に、多結晶シリコンを気相から160mmの直径に達するまで析出させた。
実施例2と同様に行った。しかしながら、比較グループとしてブリッジ中のディスクなしで析出させた。析出工程の終了時に、このロッドペアは反応器から取り出す前にブリッジ箇所で分離しなければならなかった。この場合、歪みが解放され、切断の間に剥落が生じた。ブリッジ側の亀裂のないロッド端部が達成されるまでのブリッジ側の切断損失は、400〜700mmであった。100〜200mmの電極側の切断を含めて、この亀裂のないロッド長さは1つのシリコンロッド当たり1500〜1800mmであった。このロッドから、チョクラルスキー引き上げプロセス用の石英坩堝のチャージのために、7〜9個の短いロッド断片を切断することができた。
比較例3と同様に行った。更に、電極側の黒鉛ディスクも設けず、従って先行技術によって作業した。残りのプロセスパラメータは同じであった。ブリッジ及び亀裂のあるブリッジ側のロッド端部の切断により生じる高められたブリッジ側の切断部に加えて、電極側のロッド端部で亀裂及び剥離の理由から高められた切断の発生が生じた。亀裂及び剥落のないロッドを達成するまでの切断の後に、このロッドは1100mm〜1500mmの長さにすぎなかった。このロッドから、チョクラルスキー引き上げプロセス用の石英坩堝のチャージのために、5〜7個の短いロッド断片を切断できるだけであった。
Claims (16)
- 気相から心棒に析出させることにより多結晶シリコンロッドを製造する方法において、電極先端部の下側の20mmまでからロッドペアのブリッジの下側までの範囲に、析出条件下で多結晶シリコンよりも低い比電気抵抗を有する材料からなる1つ又は複数のディスクを取り付け、
前記ディスクは、心棒中に直接取り付けられるか又は心棒に固定される
ことを特徴とする多結晶シリコンロッドの製造方法。 - 使用されるディスクは30〜200mmの直径を有することを特徴とする、請求項1記載の方法。
- 使用されるディスクの直径は、析出されるロッドの直径に相当することを特徴とする、請求項1又は2記載の方法。
- 電極側に取り付けられたディスクのディスク直径は、ブリッジ側のディスクの直径よりも小さいことを特徴とする、請求項1から3までのいずれか1項記載の方法。
- 前記ディスクの厚さは0.5〜100mmの間にあることを特徴とする、請求項1から4までのいずれか1項記載の方法。
- 前記ディスクは、ロッド軸に対して45〜90度の角度で取り付けられることを特徴とする、請求項1から5までのいずれか1項記載の方法。
- 前記ディスクは、タングステン、タンタル、黒鉛、シリコン、シリコンカーバイド、シリコンナイトライド又はカーボンファイバ強化カーボン複合材料からなることを特徴とする、請求項1から6までのいずれか1項記載の方法。
- 前記ディスクの比抵抗は、20℃で、130μOhm・m未満であることを特徴とする、請求項1から7までのいずれか1項記載の方法。
- 使用されるディスクの表面粗さの算術平均粗さRaは、10〜200μmの粗さ曲線の全体の高さRt及び8〜160μmの平均粗さ深さRzで、1〜20μmであることを特徴とする、請求項1から8までのいずれか1項記載の方法。
- 電極側のディスクは電極先端部から上側に0〜1000mmの距離に取り付けられ、ブリッジ側のディスクはブリッジから下側に200〜1000mmの距離に取り付けられることを特徴とする、請求項1から9までのいずれか1項記載の方法。
- 前記電極側のディスクは前記電極上に直接載置されることを特徴とする、請求項10記載の方法。
- 前記ディスクはアダプタによって前記心棒に固定されることを特徴とする、請求項1から11までのいずれか1項記載の方法。
- 更に1つ又は複数のディスクが前記ロッドペアのブリッジ中に取り付けられることを特徴とする、請求項1から12までのいずれか1項記載の方法。
- 130mm以上の直径を有しかつ1900mm以上の長さを有し、全長にわたり亀裂及び剥落がないことを特徴とする、多結晶シリコンロッド。
- 2100mm以上の長さを有し、全長にわたり亀裂及び剥落がないことを特徴とする、請求項14に記載の多結晶シリコンロッド。
- ゾーンメルティング法(フロートゾーン法)のための、請求項14または請求項15に記載の多結晶ロッドの使用。
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JP6314097B2 (ja) * | 2015-02-19 | 2018-04-18 | 信越化学工業株式会社 | 多結晶シリコン棒 |
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WO2020249188A1 (de) * | 2019-06-11 | 2020-12-17 | Wacker Chemie Ag | Verfahren zur herstellung von polykristallinem silicium |
CN110937606B (zh) * | 2019-12-16 | 2020-10-16 | 亚洲硅业(青海)股份有限公司 | 一种还原炉硅芯、硅芯横梁安装方法及装置 |
KR102634693B1 (ko) * | 2022-12-29 | 2024-02-13 | 하나머티리얼즈(주) | 탄화규소 부품 제조 장치, 이의 증착 노즐, 및 이를 이용한 탄화규소 부품의 제조 방법 |
CN117824889B (zh) * | 2024-03-04 | 2024-06-18 | 杭州中为光电技术有限公司 | 硅棒内力检测系统、检测方法及截断方法 |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US4981102A (en) * | 1984-04-12 | 1991-01-01 | Ethyl Corporation | Chemical vapor deposition reactor and process |
JPS6374909A (ja) | 1986-09-19 | 1988-04-05 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 大直径多結晶シリコン棒の製造方法 |
US4921026A (en) * | 1988-06-01 | 1990-05-01 | Union Carbide Chemicals And Plastics Company Inc. | Polycrystalline silicon capable of yielding long lifetime single crystalline silicon |
IT1246772B (it) * | 1989-12-26 | 1994-11-26 | Advanced Silicon Materials Inc | ''mandrino di grafite avente uno strato esterno di rivestimento __impermeabile all'idrogeno'' |
EP0529593B1 (en) * | 1991-08-29 | 1996-02-14 | Ucar Carbon Technology Corporation | A glass carbon coated graphite chuck for use in producing polycrystalline silicon |
US5478396A (en) * | 1992-09-28 | 1995-12-26 | Advanced Silicon Materials, Inc. | Production of high-purity polycrystalline silicon rod for semiconductor applications |
DE4424929C2 (de) | 1994-07-14 | 1997-02-13 | Wacker Chemie Gmbh | Halterung für Trägerkörper in einer Vorrichtung zur Abscheidung von Halbleitermaterial |
DE19741465A1 (de) * | 1997-09-19 | 1999-03-25 | Wacker Chemie Gmbh | Polykristallines Silicium |
DE10019601B4 (de) * | 2000-04-20 | 2006-09-14 | Wacker Chemie Ag | Verfahren zur Herstellung eines polykristallinen Siliciumstabes |
US6676916B2 (en) | 2001-11-30 | 2004-01-13 | Advanced Silicon Materials Llc | Method for inducing controlled cleavage of polycrystalline silicon rod |
US20030180201A1 (en) * | 2002-03-14 | 2003-09-25 | Conocophillips Company | Heat transfer enhancing inserts for tubular catalyst bed reactors |
ITMI20031268A1 (it) * | 2003-06-24 | 2004-12-25 | Italprotec S A S Di Cotogni Carla E C | Scambiatore di calore a fascio tubiero. |
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JP4905638B2 (ja) | 2005-10-11 | 2012-03-28 | 三菱マテリアル株式会社 | 電極の短絡防止方法および短絡防止板 |
DE102007023041A1 (de) | 2007-05-16 | 2008-11-20 | Wacker Chemie Ag | Polykristalliner Siliciumstab für das Zonenziehen und ein Verfahren zu dessen Herstellung |
EP2108619B1 (en) * | 2008-03-21 | 2011-06-22 | Mitsubishi Materials Corporation | Polycrystalline silicon reactor |
DE102008002184A1 (de) * | 2008-06-03 | 2009-12-10 | Wacker Chemie Ag | Vorrichtung zur Umformung elektrischer Energie zur konduktiven Erhitzung von Halbleitermaterial in Stabform |
DE102009021825B3 (de) * | 2009-05-18 | 2010-08-05 | Kgt Graphit Technologie Gmbh | Aufnahmekegel für Silizium-Anzuchtstäbe |
US20110206842A1 (en) * | 2010-02-25 | 2011-08-25 | Vithal Revankar | CVD-Siemens Reactor Process Hydrogen Recycle System |
DE102010003068A1 (de) | 2010-03-19 | 2011-09-22 | Wacker Chemie Ag | Verfahren zur Herstellung von rissfreien polykristallinen Siliciumstäben |
DE102010042869A1 (de) * | 2010-10-25 | 2012-04-26 | Wacker Chemie Ag | Verfahren zur Herstellung von polykristallinen Siliciumstäben |
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