JP4905638B2 - 電極の短絡防止方法および短絡防止板 - Google Patents
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Description
〔1〕多結晶シリコンの製造反応炉に設置された電極に板材を設ける短絡防止方法であって、電極と反応炉との間に介設されている絶縁材の上側に、カーボン製の板材によって形成した短絡防止板を電極まわりに張り出すように設けることによって、電極まわりの液滴の流下を阻止し、液滴の析出と堆積による短絡を防止することを特徴とする電極の短絡防止方法。
〔2〕側方に開口する凹部を有する板材によって形成した短絡防止板を少なくとも二枚用い、これら短絡防止板の開口凹部の向きが重ならないように、該短絡防止板を上下に重ねて電極に装着し、該短絡防止材が電極まわりに張り出すように設けることによって、電極まわりの液滴の流下を阻止する上記[1]に記載する電極の短絡防止方法。
〔3〕多結晶シリコンの製造反応炉の電極に装着される短絡防止板であって、電極と炉底の間に介設された絶縁材の上側の電極まわりに装着されるカーボン製の板材によって形成され、側方に開口する凹部を有し、該凹部が電極の軸まわりに装入されることによって該板材が電極まわりに張り出して装着され、電極まわりの液滴の流下を阻止することを特徴とする電極の短絡防止板。
本発明の短絡防止方法は、多結晶シリコンの製造反応炉に設置された電極に板材を設ける短絡防止方法であって、電極と反応炉との間に介設されている絶縁材の上側に、カーボン製の板材によって形成した短絡防止板を電極まわりに張り出すように設けることによって、電極まわりの液滴の流下を阻止し、液滴の析出と堆積による短絡を防止することを特徴とする電極の短絡防止方法である。
Claims (3)
- 多結晶シリコンの製造反応炉に設置された電極に板材を設ける短絡防止方法であって、電極と反応炉との間に介設されている絶縁材の上側に、カーボン製の板材によって形成した短絡防止板を電極まわりに張り出すように設けることによって、電極まわりの液滴の流下を阻止し、液滴の析出と堆積による短絡を防止することを特徴とする電極の短絡防止方法。
- 側方に開口する凹部を有する板材によって形成した短絡防止板を少なくとも二枚用い、これら短絡防止板の開口凹部の向きが重ならないように、該短絡防止板を上下に重ねて電極に装着し、該短絡防止材が電極まわりに張り出すように設けることによって、電極まわりの液滴の流下を阻止する請求項1に記載する電極の短絡防止方法。
- 多結晶シリコンの製造反応炉の電極に装着される短絡防止板であって、電極と炉底の間に介設された絶縁材の上側の電極まわりに装着されるカーボン製の板材によって形成され、側方に開口する凹部を有し、該凹部が電極の軸まわりに装入されることによって該板材が電極まわりに張り出して装着され、電極まわりの液滴の流下を阻止することを特徴とする電極の短絡防止板。
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